JP2011105361A - 回路部材接続用接着フィルム梱包体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、中空部を有する筒状の巻芯及び当該巻芯上にロール状に巻きつけられた回路部材接続用接着フィルムを有する積層体エレメント10と、積層体エレメント10を収容する梱包容器20と、を備える回路部材接続用接着フィルム梱包体100であって、中空部に乾燥剤を有する回路部材接続用接着フィルム梱包体100を提供する。
【選択図】図1
Description
[保護フィルム/接着剤層/支持基材の積層構造を有する回路部材接続用接着フィルムの作製]
グリシジル基含有アクリルゴム(ナガセケムテックス株式会社製、商品名:HTR−860P−3、重量平均分子量:80万、Tg:−7℃)100質量部に対し、高純度特殊多官能エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名:1032−H60、エポキシ当量:169)160質量部、アミノ基含有トリアジン変性クレゾールノボラック樹脂(大日本インキ化学工業株式会社製、商品名:LA−3018、エポキシ当量:151)140質量部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名:A−DPH)30質量部、硬化促進剤としてイミダゾール化合物(四国化成株式会社製、商品名:2PZ−CN)3質量部、光開始剤(チバスペシャリティーケミカルズ株式会社製、商品名:Irg−184)1.5質量部の質量比率で準備し、これらをシクロヘキサノンに加えて攪拌混合し、更に真空脱気することにより、樹脂ワニスを得た。
[保護フィルム/接着剤層/バックグラインドテープの積層構造を有する回路部材接続用接着フィルムの作製]
主モノマーとして2−エチルヘキシルアクリレートとメチルメタクリレートを用い、官能基モノマーとしてヒドロキシエチルアクリレートとアクリル酸を用いて、溶液重合法にてアクリル共重合体を得た。この合成したアクリル共重合体の重量平均分子量は40万、ガラス転移点は−38℃であった。このアクリル共重合体100質量部に対し、多官能イソシアネート架橋剤(日本ポリウレタン株式会社製、商品名:コローネートHL)を10質量部配合した粘着剤溶液を調製した。そして、粘着剤溶液をポリオレフィンフィルム(厚さ100μm)の上に乾燥時の粘着剤厚さが10μmになるように塗工し、乾燥した。更に、シリコーン系離型剤を塗布した二軸延伸ポリエステルフィルムセパレータ(厚さ25μm)を粘着剤面にラミネートした。この粘着フィルムを室温で1週間放置して十分にエージングを行い、バックグラインドテープを得た。
製造例1で得られた回路部材接続用接着フィルムを、プラスチック製の円筒状の巻芯(内径:78mm、外径:88mm、幅:300mm)に巻き取った。これによって、巻芯上に、保護フィルム、接着剤層、支持基材(又はダイシングテープ)がこの順で積層された回路部材接続用接着フィルムが、支持基材を外側にしてロール状に巻きつけられた積層体エレメントを得た。
シリカゲル粒子の平均質量:0.026g/個
シリカゲル粒子の見かけの密度:1.5g/cm3、(平均質量と平均半径とから算出)
シリカゲル粒子の合計体積:3.3cm3、(シリカゲル粒子の合計質量/シリカゲルの見かけの密度=5(g)/1.5(g/cm3)で算出)
乾燥剤用容器中におけるシリカゲル粒子の含有量:3.3/15×100=22体積%
梱包容器の開口をヒートシールにより封止する前に、ポリシーラー(富士インパルス株式会社製)を用いて袋の内部を真空引きしたこと以外は、実施例1と同様にして、回路部材接続用接着フィルム梱包体を作製した。
実施例1と同様にして、積層体エレメントを作製した。次に、乾燥剤用容器として、袋状のポリエチレン(横×縦:85mm×120mm、容器内容積:172cm3)に、乾燥剤の粒子のサイズよりも小さなサイズの穴を数ヶ所開けたものを準備した。この穴を開けた袋に、乾燥したシリカゲル(中粒状(青色)、和光純薬工業株式会社製)100g(シリカゲル体積:62.5cm3)を収容し、ヒートシールにより袋の口を閉じた。シリカゲルを収容した袋を、乾燥剤として、積層体エレメントの巻芯の内部(中空部内)に配置した。そして、実施例1と同様にして、巻芯の内部にこの乾燥剤を配置した状態で、梱包容器の開口をヒートシールにより封止して、梱包容器を密封し、回路部材接続用接着フィルム梱包体を作製した。回路部材接続用接着フィルム梱包体に含まれる乾燥剤は、巻芯の中空部内を移動することが可能な状態であった。
シリカゲル粒子の平均質量:0.038g/個
シリカゲル粒子の見かけの密度:1.6g/cm3(平均質量と平均半径とから算出)
シリカゲル粒子の合計体積:62.5cm3(シリカゲル粒子の合計質量/シリカゲル粒子の見かけの密度=100g/1.6(g/cm3)で算出)
乾燥剤用容器中におけるシリカゲル粒子の含有量:62.5/172×100=36体積%
梱包容器の開口をヒートシールにより封止する前に、ポリシーラー(富士インパルス株式会社製)を用いて袋の内部を真空引きしたこと以外は、実施例3と同様にして、回路部材接続用接着フィルム梱包体を作製した。
製造例1で得られた回路部材接続用接着フィルムの代わりに製造例2で得られた回路部材接続用接着フィルムを用いたこと以外は、実施例1と同様にして、回路部材接続用接着フィルム梱包体を作製した。
乾燥剤が収容された乾燥剤用容器を、回路部材接続用接着フィルムのロールの表面と接触するように配置したこと以外は、実施例2と同様にして回路部材接続用接着フィルム梱包体を作製した。
実施例1と同様にして、積層体エレメントを作製した。その後、積層体エレメントを梱包しなかった。
(回路部材接続用接着フィルム梱包体の保管)
実施例1〜5及び比較例1で作製した回路部材接続用接着フィルム梱包体、及び比較例2で作製した積層体エレメントを以下の保管条件により暗所にて保管し、保管後の回路部材接続用接着フィルムの評価を以下の条件で行った。
保管条件A
保管温度:20℃、保管湿度:40%RH、保管時間:96時間
保管条件B
保管温度:5℃、保管湿度:25%RH、保管時間:1ヶ月
実施例1〜5及び比較例1〜2で作製し、上述の保管条件で保管した回路部材接続用接着フィルムを、80℃に加熱されたラミネーターを用いてシリコンウエハ(回路面SiO2膜有、厚さ:625μm)上に貼り付けて、積層体を得た。これをバックグラインダーに配置し、厚さが280μmとなるまでシリコンウエハの裏面を研削(バックグラインド)した。研削したウエハを目視及び顕微鏡観察で視察し、下記の基準に基づいてバックグラインド性を評価した。
a:厚さが均一でウエハの破損及びマイクロクラックの発生がない。
b:厚さが不均一でウエハの破損及びマイクロクラックの発生がある。
c:フィルムがウエハに貼りつかず、評価できなかった。
実施例1〜4及び比較例1〜2で得られた回路部材接続用接着フィルムがシリコンウエハ上に積層された積層体の接着剤層に対し、紫外線を用いて照度15mW/cm2で500mJの露光を行った。露光後のウエハにダイシングテープを貼り付け、支持基材を剥離した後に6.5mm×6.5mmのサイズにダイシングし、接着剤付半導体チップを得た。
a:剪断接着強度の値が2.0MPa以上
b:剪断接着強度の値が1.0MPa以上2.0MPa未満
c:剪断接着強度の値が1.0MPa未満
Claims (6)
- 中空部を有する筒状の巻芯、及び当該巻芯上にロール状に巻きつけられた回路部材接続用接着フィルムを有する積層体エレメントと、前記積層体エレメントを収容する梱包容器と、を備える回路部材接続用接着フィルム梱包体であって、
前記中空部に乾燥剤を有する回路部材接続用接着フィルム梱包体。 - 前記梱包容器はアルミニウムのコーティング層を有する、請求項1に記載の回路部材接続用接着フィルム梱包体。
- 前記梱包容器は袋状である、請求項1又は2に記載の回路部材接続用接着フィルム梱包体。
- 前記積層体エレメントは、ロール状に巻きつけられた回路部材接続用接着フィルムを挟むように、前記巻芯の両端に装着された一対のパッキンを備えており、
前記パッキンの径方向断面の外径が、前記回路部材接続用接着フィルムのロールの横断面の外径よりも大きい、請求項1〜3のいずれか一項に記載の回路部材接続用接着フィルム梱包体。 - 中空部を有する筒状の巻芯、及び当該巻芯上にロール状に巻きつけられた回路部材接続用接着フィルムを有する積層体エレメントと、前記巻芯の中空部に配置された乾燥剤と、を梱包容器に収容する収容工程と、
前記梱包容器を封止する封止工程と、
を有する、回路部材接続用接着フィルム梱包体の製造方法。 - 前記封止工程では、前記梱包容器の内部の気体の少なくとも一部を吸引して除去し、前記梱包容器をヒートシールで封止する、請求項5に記載の回路部材接続用接着フィルム梱包体の製造方法。
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