JP2011100318A - 作業工程制御装置、作業工程制御方法およびプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】各ロットを処理する最適な装置を決定することができる技術を提供する。
【解決手段】作業工程制御装置１は、使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出する優先度算出部４１と、優先度算出部４１によって算出された優先度に基づいて各仕掛ロットの割付先である使用可能装置を決定する割付決定部４２とを備える。優先度算出部４１は、前記装置群に仕掛中の仕掛ロットの数であって、前記仕掛ロットの処理に使用可能な使用可能装置別の前記仕掛ロットの数である使用可能装置別仕掛ロット数、前記仕掛ロット別の前記使用可能装置の数である仕掛ロット別使用可能装置数、前記使用可能装置別、前記仕掛ロット別の標準作業時間である使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間および前記使用可能装置別の可能稼働率である使用可能装置別可能稼働率に基づいて優先度を算出する。
【選択図】図１

Description

本発明は、作業工程制御装置、作業工程制御方法およびプログラムに関する。

一般に、複数の半導体ウェハ（例えば２５枚）は１ロットに纏められ、各ロットは、生産する品種に応じて予め設定されている製造工程の順番に従って、順次、加工される。今日の半導体デバイスの製造工場では、複数の品種が同一の生産ライン内で同時に製造されるだけでなく、品種毎に設定されている製造工程も複雑化し、また、１つの製造工程に対し複数の加工装置が対応するような場合、製造歩留まりを向上させるため、特定の装置（同一種類の製造装置の中の特定の作業号機の場合も含む）の作業を禁止するなど、非常に複雑な工程管理が要求されている。

半導体デバイスの製造においては、各ロットの加工に要する時間（ＴＡＴ：Turn Around Time）を極力短縮して、効率的に半導体デバイスを生産することが重要である。効率的に半導体デバイスを生産するために、各製造装置の作業ロットの順番を決定する種々の方法が提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。

特開平７−２００６７５号公報 特開２００５−３０１６５３号公報

しかしながら、上述の方法では、各ロットを処理する最適な装置を決定することができないという問題がある。また、各ロットを処理する装置の決定に長い時間を要するという問題がある。

つまり、作業者の経験則ではなくシステム的に作業ロットを決定する場合、シミュレーションか全パターン網羅検索によって、最適可能装置を求めるが、シミュレーションによって最適可能装置を求める方法では、装置の稼働率が落ちるという問題がある。シミュレーションに与えるルールは、特許文献１に開示されているように、最も早く処理可能な装置を求めるルールであるため、製造工程と作業が禁止された装置の組合せが複雑な場合、作業待ちのロット数が装置数よりも多いのに作業待ちの装置が発生している状態（以下、「装置空き状態」）が発生するからである。

全網羅計算によって最適可能装置を求める方法では、装置台数と仕掛ロットの装置台数のべき乗の計算が必要であるため、計算量が膨大になるという問題がある。特に、生産規模の大きい製造ラインにおいて、最適解の計算時間が非常に長くなるという問題がある。

上記問題を解決するために、本発明は、装置群の各装置の作業工程を制御する作業工程制御装置であって、前記装置群に仕掛中の仕掛ロットの数であって、前記仕掛ロットの処理に使用可能な使用可能装置別の前記仕掛ロットの数である使用可能装置別仕掛ロット数、前記仕掛ロット別の前記使用可能装置の数である仕掛ロット別使用可能装置数、前記使用可能装置別、前記仕掛ロット別の標準作業時間である使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間および前記使用可能装置別の可能稼働率である使用可能装置別可能稼働率に基づいて使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出する優先度算出部と、前記優先度算出部によって算出された前記優先度に基づいて、各仕掛ロットの割付先である前記使用可能装置を決定する割付決定部とを備えることを特徴とする作業工程制御装置である。

また、本発明は、装置群の各装置の作業工程を制御する作業工程制御方法であって、前記装置群に仕掛中の仕掛ロットの数であって、前記仕掛ロットの処理に使用可能な使用可能装置別の前記仕掛ロットの数である使用可能装置別仕掛ロット数、前記仕掛ロット別の前記使用可能装置の数である仕掛ロット別使用可能装置数、前記使用可能装置別、前記仕掛ロット別の標準作業時間である使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間および前記使用可能装置別の可能稼働率である使用可能装置別可能稼働率に基づいて使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出する優先度算出手段と、前記優先度算出手段によって算出された前記優先度に基づいて、各仕掛ロットの割付先である前記使用可能装置を決定する割付決定手段とを有することを特徴とする作業工程制御方法である。

また、本発明は、装置群の各装置の作業工程を制御する作業工程制御装置のコンピュータに、前記装置群に仕掛中の仕掛ロットの数であって、前記仕掛ロットの処理に使用可能な使用可能装置別の前記仕掛ロットの数である使用可能装置別仕掛ロット数、前記仕掛ロット別の前記使用可能装置の数である仕掛ロット別使用可能装置数、前記使用可能装置別、前記仕掛ロット別の標準作業時間である使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間および前記使用可能装置別の可能稼働率である使用可能装置別可能稼働率に基づいて使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出する優先度算出ステップと、前記優先度算出ステップによって算出された前記優先度に基づいて、各仕掛ロットの割付先である前記使用可能装置を決定する割付決定ステップとを実行させることを特徴とするプログラムである。

本発明によれば、実際に作業が発生しているロットのみに関係する使用可能装置数と当該ロットのみを計上する仕掛ロット数を用いて、各ロットの割付先の装置を決定しているため、ある装置群において作業が禁止された装置が複雑に設定されている場合であっても、装置空き状態が無くなるように、各ロットを処理する最適な装置を決定することができる。また、実際に作業が発生しているロットに絞って割付先の装置を決定しているため（具体的には、使用可能装置別仕掛ロット数の逆数、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間の逆数、使用可能装置別可能稼働率、仕掛ロット別使用可能装置数の逆数を乗算し割付先の装置を決定しているため）、シミュレーションや全パターン網羅検索に比べ、計算量が少なくなる。よって、各ロットの加工に要する時間がより短縮し、より効率的に半導体デバイスを生産することができるようになる。

本実施形態における作業工程制御装置１の機能を示す機能ブロック図の一例である。 作業工程制御装置１によって生成される情報を説明するための説明図である。 作業工程制御装置１によって生成される情報を説明するための説明図である。 作業工程制御装置１の動作の一例を示すフローチャートである。 作業工程制御装置１の動作の一例を示すフローチャートである。 作業工程制御装置１の割付方法による割付結果の一例、および、比較対象である他の方法による割付結果の一例である。 比較対象である他の技術による割付結果を説明するための説明図である。 作業工程制御装置１の技術による割付結果を説明するための説明図である。

以下、本発明の一実施形態による作業工程制御装置１を、図面を参照して説明する。図１は、本実施形態における作業工程制御装置１の構成を示す機能ブロック図の一例である。図２、図３は、作業工程制御装置１によって生成される情報を説明するための説明図である。

作業工程制御装置１は、生産ラインに設置されている複数の装置（号機）の作業工程を制御（管理）する。作業工程制御装置１の制御対象である各装置は、それぞれが対象とする作業工程によって１以上の装置群（例えば、シリコンのドライエッチングを行う装置群、加工の際の不具合を検出するための欠陥検査装置群）を構成する。なお、ある装置群は、同一の複数の装置から構成されていてもよいし、互いに異なる複数の装置から構成されていてもよし、同一または異なる複数の装置から構成されていてもよい。また、ある装置群は、作業工程に応じて、作業が可能な「作業可能装置」と作業が禁止された「作業禁止装置」とが含まれている。

作業工程制御装置１は、図１に示すように、優先順位仮割当部１０、装置空判断部２０、優先度算出情報計算部３０およびロット割付部４０を備える。優先度算出情報計算部３０は、使用可能装置別仕掛ロット数計算部３１、使用可能装置別可能稼働率計算部３２、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間計算部３３および仕掛ロット別使用可能装置数計算部３４を備える。ロット割付部４０は、優先度算出部４１および割付決定部４２を備える。

優先順位仮割当部１０は、作業すべきロットが所定の装置群に仕掛った場合、ＦＩＦＯ（先入れ先出し）等の既知のルールに従って、仕掛ロットの優先処理（ディスパッチ）について仮割当を実行する。仕掛ロットとは、その時点で実際に作業待ち状態となっているロットである。

仮割当を実行した優先順位仮割当部１０は、仮割当の実行結果を装置空判断部２０に通知し、装置空判断部２０から、装置空判断部２０が装置空き状態であるか否かを判断した判断結果を取得する。なお、仮割当の実行結果は、例えば、装置別に、仮割当に係る各ロットの作業開始時間および作業終了時間を含む情報（即ち、装置別ロット別ガントチャートを構成するような情報）である。

優先順位仮割当部１０は、装置空き状態である旨の判断結果を取得した場合、仮割当の実行結果を優先度算出情報計算部３０に通知する。

装置空判断部２０は、優先順位仮割当部１０から仮割当の実行結果を取得する。仮割当の実行結果を取得した装置空判断部２０は、装置群内の各装置の作業状態と、現在の仕掛ロットの状態（仮割当の結果に基づく状況）とに基づいて、装置空き状態であるか否かを判断する。装置空判断部２０は、判断結果を優先順位仮割当部１０に通知する。なお、装置空判断部２０は、装置群内の各装置の作業状態については内部で管理している。

使用可能装置別仕掛ロット数計算部３１は、優先順位仮割当部１０から仮割当の実行結果を取得する。仮割当の実行結果を取得した使用可能装置別仕掛ロット数計算部３１は、仮割当の実行結果に基づいて、使用可能装置別仕掛ロット数を計算する。使用可能装置別仕掛ロット数は、装置群に仕掛中の仕掛ロットの数であって、仕掛ロットの処理に使用可能な使用可能装置別の仕掛ロットの数である。

例えば、使用可能装置別仕掛ロット数計算部３１は、図２（ａ）に示す「仕掛ロット−使用可能装置一覧表」の使用可能装置別仕掛ロット数を計算する。なお、図２（ａ）に示す例において、使用可能装置別仕掛ロット数計算部３１は、使用可能装置Ａに係る仕掛ロットの数５（仕掛ロット１、仕掛ロット３、仕掛ロット４、仕掛ロット６、仕掛ロット８）から、使用可能装置Ａに係る仕掛ロット数「５（ロット）」を計算し、使用可能装置Ｂに係る仕掛ロットの数４（仕掛ロット２、仕掛ロット３、仕掛ロット４、仕掛ロット８）から、使用可能装置Ｂに係る仕掛ロット数「４（ロット）」を計算している。

なお、図２、図３は、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの４台の装置を含む装置群に対し、Ｎｏ１〜８の８つのロットが仕掛っている場合の例である。各仕掛ロットにはその作業工程に応じて、作業禁止装置が設定（図２において×印）。例えば、仕掛ロット１は、使用可能装置Ａ、Ｃ、Ｄでの作業が可能であるが、使用可能装置Ｂでの作業は禁止されている。

使用可能装置別仕掛ロット数を計算した使用可能装置別仕掛ロット数計算部３１は、計算結果を優先度算出部４１に通知する。なお、使用可能装置別仕掛ロット数計算部３１は、計算結果を優先度算出部４１に通知することに代えて、優先度算出部４１が参照できる領域に計算結果を書き込むようにしてもよい（例えば、優先度算出部４１が仕掛ロット−使用可能装置一覧表を参照できるときは、作業可能装置一覧表に計算結果を書き込むようにしてもよい）。

使用可能装置別可能稼働率計算部３２は、優先順位仮割当部１０から仮割当の実行結果を取得する。仮割当の実行結果を取得した使用可能装置別可能稼働率計算部３２は、実績値に基づいて、使用可能装置別可能稼働率を計算する（例えば、実績値の平均を算出する）。使用可能装置別可能稼働率は、使用可能装置別の可能稼働率である。なお、使用可能装置別可能稼働率計算部３２は、実績値を内部で管理し、または、外部から取得し、使用可能装置別可能稼働率を計算するが、実績値が更新された場合に、使用可能装置別可能稼働率を計算するようにしてもよい。

例えば、使用可能装置別可能稼働率計算部３２は、図２（ａ）に示す「仕掛ロット−使用可能装置一覧表」の使用可能装置別可能稼働率を計算する。

使用可能装置別可能稼働率を計算した使用可能装置別可能稼働率計算部３２は、計算結果を優先度算出部４１に通知する。なお、使用可能装置別可能稼働率計算部３２は、計算結果を優先度算出部４１に通知することに代えて、優先度算出部４１が参照できる領域に計算結果を書き込むようにしてもよい（例えば、優先度算出部４１が仕掛ロット−使用可能装置一覧表を参照できるときは、作業可能装置一覧表に計算結果を書き込むようにしてもよい）。

使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間計算部３３は、優先順位仮割当部１０から仮割当の実行結果を取得する。仮割当の実行結果を取得した使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間計算部３３は、実績値に基づいて、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間を計算する（例えば、実績値の平均を算出する）。使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間は、使用可能装置別仕掛ロット別の標準作業時間である。装置準備時間とは、ロットは処理していないが、装置の稼動上どうしても必要な時間（例えば、調整時間、ガス準備時間）である。なお、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間計算部３３は、実績値を内部で管理し、または、外部から取得し、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間を計算するが、実績値が更新された場合に、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間を計算するようにしてもよい。

例えば、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間計算部３３は、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間として、図２（ａ）に示す「仕掛ロット−使用可能装置一覧表」の太枠内の各セルの値を計算する。

使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間を計算した使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間計算部３３は、計算結果を優先度算出部４１に通知する。なお、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間計算部３３は、計算結果を優先度算出部４１に通知することに代えて、優先度算出部４１が参照できる領域に計算結果を書き込むようにしてもよい（例えば、優先度算出部４１が仕掛ロット−使用可能装置一覧表を参照できるときは、作業可能装置一覧表に計算結果を書き込むようにしてもよい）。

仕掛ロット別使用可能装置数計算部３４は、優先順位仮割当部１０から仮割当の実行結果を取得する。仮割当の実行結果を取得した仕掛ロット別使用可能装置数計算部３４は、仮割当の実行結果に基づいて、仕掛ロット別使用可能装置数を計算する。仕掛ロット別使用可能装置数は、仕掛ロット別の使用可能装置の数である。

例えば、仕掛ロット別使用可能装置数計算部３４は、図２（ａ）に示す「仕掛ロット−使用可能装置一覧表」において仕掛ロット別使用可能装置数を計算する。なお、図２（ａ）に示す例において、仕掛ロット別使用可能装置数計算部３４は、仕掛ロット１に係る使用可能装置の数３（使用可能装置Ａ、使用可能装置Ｃ、使用可能装置Ｄ）から、仕掛ロット１に係る使用可能装置数「３（台）」を計算し、仕掛ロット２に係る使用可能装置の数１（使用可能装置Ｂ）から、仕掛ロット２に係る使用可能装置数「１（台）」を計算している。

仕掛ロット別使用可能装置数を計算した仕掛ロット別使用可能装置数計算部３４は、計算結果を優先度算出部４１に通知する。なお、仕掛ロット別使用可能装置数計算部３４は、計算結果を優先度算出部４１に通知することに代えて、優先度算出部４１が参照できる領域に計算結果を書き込むようにしてもよい（例えば、優先度算出部４１が仕掛ロット−使用可能装置一覧表を参照できるときは、作業可能装置一覧表に計算結果を書き込むようにしてもよい）。

優先度算出部４１は、優先度算出情報計算部３０（使用可能装置別仕掛ロット数計算部３１、使用可能装置別可能稼働率計算部３２、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間計算部３３および仕掛ロット別使用可能装置数計算部３４）が計算した各計算結果を取得する。各計算結果を取得した優先度算出部４１は、各計算結果に基づいて、使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出する。具体的には、優先度算出部４１は、下記式（１）に従って、使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出する。但し、Ａ１＝使用可能装置別仕掛ロット数計算部３１による計算結果（即ち、使用可能装置別仕掛ロット数）、Ａ２＝使用可能装置別可能稼働率計算部３２による計算結果（即ち、使用可能装置別可能稼働率）、Ａ３＝使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間計算部３３による計算結果（即ち、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間）、Ａ４＝仕掛ロット別使用可能装置数計算部３４による計算結果（即ち、仕掛ロット別使用可能装置数）である。

優先度＝Ａ２／（Ａ１×Ａ３×Ａ４）・・・（１）

例えば、優先度算出部４１は、優先度算出情報計算部３０が計算した図２（ａ）に示す「仕掛ロット−使用可能装置一覧表」を参照し、図２（ｂ）に示す「優先度表」を生成する。なお、図２（ｂ）に示す例において、優先度算出部４１は、Ａ１＝使用可能装置Ａに係る仕掛ロット数「５（ロット）」、Ａ２＝使用可能装置Ａに係る可能稼働率「０．９」、Ａ３＝使用可能装置Ａ−仕掛ロット１に係る標準作業時間「０．５（時間）」、Ａ４＝仕掛ロット１に係る使用可能装置数「３（台）」から、使用可能装置Ａ−仕掛ロット１に係る優先度「０．１２」（＝０．９／（５×０．５×３））を算出し、Ａ１＝使用可能装置Ｃに係る仕掛ロット数「２（ロット）」、Ａ２＝使用可能装置Ｃに係る可能稼働率「０．９」、Ａ３＝使用可能装置Ｃ−仕掛ロット７に係る標準作業時間「３（時間）」、Ａ４＝仕掛ロット７に係る使用可能装置数「１（台）」から、使用可能装置Ｃ−仕掛ロット７に係る優先度「０．１５」（＝０．９／（２×３×１））を算出している。

なお、使用可能装置別仕掛ロット別の優先度の意味するところは、使用可能装置毎の仕掛ロット数が小さいほど、また、使用可能装置毎の稼働率が高いほど、また、各仕掛ロットの使用可能装置での標準作業時間が小さいほど、また、各仕掛ロットの使用可能装置数が少ないほど、その仕掛ロットを優先して作業した方が、装置郡内の装置空きが少なくなると言うことである。

使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出した優先度算出部４１は、算出結果である優先度を示す優先度情報を割付決定部４２に通知する。なお、優先度算出部４１は、優先度情報を割付決定部４２に通知することに代えて、割付決定部４２が参照できる領域に優先度を書き込むようにしてもよい（例えば、割付決定部４２が優先度表を参照できるときは、優先度表に優先度を書き込むようにしてもよい）。

割付決定部４２は、優先度算出部４１が算出した使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を取得する。使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を取得した割付決定部４２は、当該優先度に基づいて、各仕掛ロットの割付先である使用可能装置を決定する。

まず、割付決定部４２は、仕掛ロットと割付先の使用可能装置との組の候補として、優先度の降順（大きい順）に、仕掛ロットと使用可能装置とを要素とする組を抽出する（優先度に対応付けて、仕掛ロットと使用可能装置とを要素とする組を抽出し、優先度の降順に各組をソートしてもよい）。

例えば、割付決定部４２は、図２（ｂ）に示す「優先度表」を参照し、図３の太枠内に示すように、優先度の降順に、仕掛ロットと使用可能装置とを要素とする組を抽出する。例えば、割付決定部４２は、図２（ｂ）において使用可能装置Ｂ−仕掛ロット４に係る優先度「０．２」が最大であるため、図３に示すように、仕掛ロット４と使用可能装置Ｂとを要素とする組を最初に抽出し、図２（ｂ）において使用可能装置Ｃ−仕掛ロット１に係る優先度および使用可能装置Ｃ−仕掛ロット７に係る優先度「０．１５」が次点であるため、図３に示すように、何れか先に抽出している（図３の例では、仕掛ロットのＮｏの降順に抽出している）。

なお、割付決定部４２は、図３に示すように、優先度に対応付けて、仕掛ロットと使用可能装置とを要素とする組を抽出してもよい。即ち、優先度と仕掛ロットと使用可能装置とを要素とする組を抽出してもよい。

続いて、割付決定部４２は、候補として抽出した複数の組（何れかの組の要素として既に選択した仕掛ロットを要素とする組を除く）のなかから、何れかの組の要素として仕掛ロットの全てを選択する迄、優先度の降順に１つずつ組を選択し、仕掛ロットと割付先の使用可能装置との組として決定する。つまり、割付決定部４２は、優先度の降順に、仕掛ロットの割付先である使用可能装置を決定する。

例えば、図３に示す例において、まず、割付決定部４２は、組（仕掛ロット４−使用可能装置Ｂ）を選択し、仕掛ロット４と割付先として使用可能装置Ｂを決定する。次に、割付決定部４２は、組（仕掛ロット１−使用可能装置Ｃ）を選択し、仕掛ロット１と割付先として使用可能装置Ｃを決定する。以下、同様に、候補として抽出した複数の組（何れかの組の要素として既に選択した仕掛ロットを要素とする組を除く）のなかから、何れかの組の要素として仕掛ロットの全てを選択する迄、優先度の降順に１つずつ組を選択し、全ての仕掛ロットの割付先を決定する。なお、図３の決定欄に付した＊印は、割付の決定を示している。

つまり、割付決定部４２は、仕掛ロットと割付先の使用可能装置との組を抽出し、抽出した組のなかから、各組に対応する使用可能装置別仕掛ロット別の優先度の降順に順次一組ずつ組を選択することによって、各仕掛ロットの割付先である使用可能装置を決定している。または、割付決定部４２は、使用可能装置別仕掛ロット別の優先度に対応付けて仕掛ロットと割付先の使用可能装置との組を抽出し、当該優先度の降順に順次一組ずつ組を選択することによって、各仕掛ロットの割付先である使用可能装置を決定している。

換言すれば、図２（ｂ）および図３に示すように、割付決定部４２は、一の仕掛ロットの割付先の使用可能装置として、当該仕掛ロットに係る優先度（当該仕掛ロットと何れかの使用可能装置とに係る使用可能装置別仕掛ロット別の優先度、即ち、何れかの使用可能装置−当該仕掛ロットに係る優先度）のうち、優先度が最大の一の使用可能装置（一の使用可能装置−当該仕掛ロットに係る優先度が最大であるときの当該使用可能装置）を選択する。

例えば、割付決定部４２は、図２（ｂ）および図３に示すように、仕掛ロット１の割付先の使用可能装置として、仕掛ロット１に係る３つの優先度（使用可能装置Ａ−仕掛ロット１に係る優先度「０．１２」、使用可能装置Ｃ−仕掛ロット１に係る優先度「０．１５」、使用可能装置Ｄ−仕掛ロット１に係る優先度「０．０３３３３３」）のうち、優先度が最大の使用可能装置Ｃを選択している（図３の（イ）参照）。

また、割付決定部４２は、仕掛ロット２の割付先の使用可能装置として、仕掛ロット２に係る１つの優先度（使用可能装置Ｂ−仕掛ロット２に係る優先度「０．０９５２３８」）のうち、優先度が最大の使用可能装置Ｂを選択している（図３の（ロ）参照）。

また、割付決定部４２は、仕掛ロット３の割付先の使用可能装置として、仕掛ロット３に係る３つの優先度（使用可能装置Ａ−仕掛ロット３に係る優先度「０．０８５７１４」、使用可能装置Ｂ−仕掛ロット３に係る優先度「０．０２８９８６」、使用可能装置Ｄ−仕掛ロット３に係る優先度「０．０６６６６７」）のうち、優先度が最大の使用可能装置Ａを選択している（図３の（ハ）参照）。

同様に、割付決定部４２は、仕掛ロット４の割付先の使用可能装置として使用可能装置Ｂを選択し（図３の（ニ）参照）、仕掛ロット５の割付先の使用可能装置として使用可能装置Ｄを選択し（図３の（ホ）参照）、仕掛ロット６の割付先の使用可能装置として使用可能装置Ａを選択し（図３の（ヘ）参照）、仕掛ロット７の割付先の使用可能装置として使用可能装置Ｃを選択し（図３の（ト）参照）、仕掛ロット８の割付先の使用可能装置として使用可能装置Ｂを選択している（図３の（チ）参照）。

以下、図４、図５に示すフローチャートを用いて作業工程制御装置１の動作を説明する。なお、図４に示すフローチャートは、作業すべきロットが特定の装置群に仕掛ったとき、即ち、仕掛ロットが発生したときに開始する。

図４において、優先順位仮割当部１０は、ＦＩＦＯ（先入れ先出し）等の既知のルールに従って、仕掛ロットの優先処理（ディスパッチ）について仮割当を実行する（ステップＳ１０）。仮割当を実行した優先順位仮割当部１０は、仮割当の実行結果を装置空判断部２０に通知する。

仮割当の実行結果を取得した装置空判断部２０は、装置群内の各装置の作業状態と、現在の仕掛ロットの状態（仮割当の結果に基づく状況）とに基づいて、装置空き状態であるか否かを判断する（ステップＳ２０）。装置空判断部２０は、判断結果を優先順位仮割当部１０に通知する。

優先順位仮割当部１０は、装置空き状態である旨の判断結果を装置空判断部２０から取得した場合、即ち、装置空判断部２０が装置空き状態であると判断した場合（ステップＳ２０：Ｙｅｓ）、優先度算出情報計算部３０に仮割当の実行結果を通知し、優先度算出情報計算部３０およびロット割付部４０は、仕掛ロットの割付処理を実行する（ステップＳ３０）。なお、優先度算出情報計算部３０およびロット割付部４０による当該仕掛ロットの割付処理の動作（アルゴリズム）の詳細は後述する（図５参照）。

優先順位仮割当部１０は、装置空き状態でない旨の判断結果を装置空判断部２０から取得した場合、即ち、装置空判断部２０が装置空き状態でないと判断した場合（ステップＳ２０：Ｎｏ）、または、ステップＳ３０に続いて、当該ロット以外のロットが到着しているか否か、即ち、新たに仕掛ロットが発生したか否かを判断する（ステップＳ４０）。

優先順位仮割当部１０は、当該ロット以外のロットが到着していると判断した場合（ステップＳ４０：Ｙｅｓ）、ステップＳ１０に戻る。一方、当該ロット以外のロットが到着していないと判断した場合（ステップＳ４０：Ｎｏ）、本フローチャートは終了する。なお、優先順位仮割当部１０は、新たに仕掛ロットが発生したときに図４のフローチャートを再開する。

図５において、優先順位仮割当部１０から仮割当の実行結果を取得した使用可能装置別仕掛ロット数計算部３１は、仮割当の実行結果に基づいて、使用可能装置別仕掛ロット数を計算する（ステップＳ３１）。使用可能装置別仕掛ロット数を計算した使用可能装置別仕掛ロット数計算部３１は、計算結果を優先度算出部４１に通知する。

優先順位仮割当部１０から仮割当の実行結果を取得した使用可能装置別可能稼働率計算部３２は、仮割当の実行結果に基づいて、使用可能装置別可能稼働率を計算する（ステップＳ３２）。使用可能装置別可能稼働率を計算した使用可能装置別可能稼働率計算部３２は、計算結果を優先度算出部４１に通知する。

優先順位仮割当部１０から仮割当の実行結果を取得した使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間計算部３３は、仮割当の実行結果に基づいて、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間を計算する（ステップＳ３３）。使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間を計算した使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間計算部３３は、計算結果を優先度算出部４１に通知する。

優先順位仮割当部１０から仮割当の実行結果を取得した仕掛ロット別使用可能装置数計算部３４は、仮割当の実行結果に基づいて、仕掛ロット別使用可能装置数を計算する（ステップＳ３４）。仕掛ロット別使用可能装置数を計算した仕掛ロット別使用可能装置数計算部３４は、計算結果を優先度算出部４１に通知する。

各計算結果を取得した優先度算出部４１は、各計算結果に基づいて、上記式（１）に従って、使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出する（ステップＳ３５）。使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出した優先度算出部４１は、算出結果である優先度を示す優先度情報を割付決定部４２に通知する。

使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を取得した割付決定部４２は、仕掛ロットと割付先の使用可能装置との組の候補として、当該優先度の降順に、仕掛ロットと使用可能装置とを要素とする組を抽出する。即ち、割付決定部４２は、仕掛ロットと割付先の使用可能装置との組の候補を、優先度順にソートする（ステップＳ３６）。

次に、割付決定部４２は、優先度の降順に、仕掛ロットの割付先である使用可能装置を決定する（ステップＳ３７）。具体的には、割付決定部４２は、候補として抽出した複数の組（何れかの組の要素として既に選択した仕掛ロットを要素とする組を除く）のなかから、何れかの組の要素として仕掛ロットの全てを選択する迄、優先度の降順に１つずつ組を選択し、仕掛ロットと割付先の使用可能装置との組として決定する。換言すれば、割付決定部４２は、１つの仕掛ロットは、１台の使用可能装置に割り付けるという制約条件を加え、優先度に従って割り付ける。そして、図５のフローチャートは終了し、図４のステップＳ４０に進む。なお、仕掛ロットの割付先である使用可能装置を決定した割付決定部４２は、各使用可能装置に割り付けに係る決定結果を通知し、各使用可能装置は当該決定結果に基づいて、作業を開始する。
なお、上記各ステップ（アルゴリズム）をシミュレーターやスケジューラに取り込み、仕掛ロットの割り付けを自動で行ってもよい。

続いて、図６を用いて、作業工程制御装置１による割付方法と既知の他の割付方法とを比較して説明する。なお、図６の割付結果は、ロット１からロット８のロットが当該順番によって到着し、図２（ａ）のように、仕掛中になっている場合における、各方法による割付結果の一例である。

（既知の方法１）
既知の方法１は、ＦＩＦＯでかつ、到着順に、各ロットの作業終了時刻を最も早くするルールを適用した方法である。方法１では、各装置への割り付けロットは、図６（ａ）に示すようになる。

従って、使用可能装置Ａは、仕掛ロット１と仕掛ロット４と仕掛ロット６とを実行するため、４．５（時間）経過後に作業が終了する。使用可能装置Ｂは、仕掛ロット２と仕掛ロット８とを実行するため、３．１（時間）経過後に作業が終了する。使用可能装置Ｃは、仕掛ロット７を実行するため、３（時間）経過後に作業が終了する。使用可能装置Ｄは、仕掛ロット３と仕掛ロット５とを実行するため、２．５（時間）経過後に作業が終了する。よって、全ての仕掛ロットの作業が終了するのは、最も遅く作業が終了する、使用可能装置Ａの作業終了時である４．５（時間）経過後である。

なお、図６（ａ）では、最初に到着した仕掛ロット１に関しては、使用可能装置Ａに割り付けた場合の作業終了時刻「０．５（時間）後」（使用可能装置Ａ−仕掛ロット１に係る標準作業時間「０．５（時間）」）、使用可能装置Ｃに割り付けた場合の作業終了時刻「１（時間）後」（使用可能装置Ｃ−仕掛ロット１に係る標準作業時間「１（時間）」）、使用可能装置Ｄに割り付けた場合の作業終了時刻「２（時間）後」（使用可能装置Ｄ−仕掛ロット１に係る標準作業時間「２（時間）」）であるため、作業終了時刻が最も早くなるように、仕掛ロット１を使用可能装置Ａに割り付けている。
次いで、２番目に到着した仕掛ロット２に関しては、使用可能装置Ｂのみに割り付け可能であるため、仕掛ロット２を使用可能装置Ｂに割り付けている。
次いで、３番目に到着した仕掛ロット３に関しては、使用可能装置Ａに割り付けた場合の作業終了時刻「１．２（時間）後」（使用可能装置Ａ−仕掛ロット１に係る標準作業時間「０．５（時間）」と使用可能装置Ａ−仕掛ロット３に係る標準作業時間「０．７（時間）」の合計）、使用可能装置Ｂに割り付けた場合の作業終了時刻「４．４（時間）後」（使用可能装置Ｂ−仕掛ロット２に係る標準作業時間「２．１（時間）」と使用可能装置Ｂ−仕掛ロット３に係る標準作業時間「２．３（時間）」の合計）、使用可能装置Ｄに割り付けた場合の作業終了時刻「１（時間）後」（使用可能装置Ｄ−仕掛ロット３に係る標準作業時間「１（時間）」）であるため、作業終了時刻が最も早くなるように、仕掛ロット３を使用可能装置Ｄに割り付けている。
次いで、４番目に到着した仕掛ロット４に関しては、使用可能装置Ａに割り付けた場合の作業終了時刻「１．５（時間）後」（使用可能装置Ａ−仕掛ロット１に係る標準作業時間「０．５（時間）」と使用可能装置Ａ−仕掛ロット４に係る標準作業時間「１（時間）」の合計）、使用可能装置Ｂに割り付けた場合の作業終了時刻「２．６（時間）後」（使用可能装置Ｂ−仕掛ロット２に係る標準作業時間「２．１（時間）」と使用可能装置Ｂ−仕掛ロット４に係る標準作業時間「０．５（時間）」の合計）であるため、作業終了時刻が最も早くなるように、仕掛ロット４を使用可能装置Ａに割り付けている。
次いで、５番目に到着した仕掛ロット５に関しては、使用可能装置Ｄのみに割り付け可能であるため、仕掛ロット５を使用可能装置Ｄに割り付けている。
次いで、６番目に到着した仕掛ロット６に関しては、使用可能装置Ａに割り付けた場合の作業終了時刻「４．５（時間）後」（使用可能装置Ａ−仕掛ロット１に係る標準作業時間「０．５（時間）」と使用可能装置Ａ−仕掛ロット４に係る標準作業時間「１（時間）」と使用可能装置Ａ−仕掛ロット６に係る標準作業時間「３（時間）」の合計）、使用可能装置Ｄに割り付けた場合の作業終了時刻「８．５（時間）後」（使用可能装置Ｄ−仕掛ロット３に係る標準作業時間「１（時間）」と使用可能装置Ｄ−仕掛ロット５に係る標準作業時間「１．５（時間）」と使用可能装置Ｄ−仕掛ロット６に係る標準作業時間「６（時間）」の合計）であるため、作業終了時刻が最も早くなるように、仕掛ロット６を使用可能装置Ａに割り付けている。
次いで、７番目に到着した仕掛ロット７に関しては、使用可能装置Ｃのみに割り付け可能であるため、仕掛ロット７を使用可能装置Ｃに割り付けている。
次いで、８番目に到着した仕掛ロット８に関しては、使用可能装置Ａに割り付けた場合の作業終了時刻「６．５（時間）後」（使用可能装置Ａ−仕掛ロット１に係る標準作業時間「０．５（時間）」と使用可能装置Ａ−仕掛ロット４に係る標準作業時間「１（時間）」と使用可能装置Ａ−仕掛ロット６に係る標準作業時間「３（時間）」と使用可能装置Ａ−仕掛ロット６に係る標準作業時間「２（時間）」の合計）、使用可能装置Ｂに割り付けた場合の作業終了時刻「３．１（時間）後」（使用可能装置Ｂ−仕掛ロット２に係る標準作業時間「２．１（時間）」と使用可能装置Ｂ−仕掛ロット８に係る標準作業時間「１（時間）」の合計）であるため、作業終了時刻が最も早くなるように、仕掛ロット８を使用可能装置Ｂに割り付けている。

（既知の方法２）
既知の方法２は、ＦＩＦＯでかつ、各ロットの標準作業時間を最も短くするルールを適用した方法である。方法２では、各装置への割り付けロットは、図６（ｂ）に示すようになる。

従って、使用可能装置Ａは、仕掛ロット１と仕掛ロット３と仕掛ロット６とを実行するため、４．２（時間）経過後に作業が終了する。使用可能装置Ｂは、仕掛ロット２と仕掛ロット４と仕掛ロット８とを実行するため、３．６（時間）経過後に作業が終了する。使用可能装置Ｃは、仕掛ロット７を実行するため、３（時間）経過後に作業が終了する。使用可能装置Ｄは、仕掛ロット５を実行するため、１．５（時間）経過後に作業が終了する。よって、全ての仕掛ロットの作業が終了するのは、最も遅く作業が終了する、使用可能装置Ａの作業終了時である４．２（時間）経過後である。

（作業工程制御装置１による割付方法）
一方、作業工程制御装置１による割付方法では、図３によれば、図６（ｃ）に示すようになる。なお、図６（ｃ）の（ハ）〜（ニ）は、図３の（ハ）〜（ニ）に対応している。

従って、使用可能装置Ａは、仕掛ロット３と仕掛ロット６とを実行するため、３．７（時間）経過後に作業が終了する。使用可能装置Ｂは、仕掛ロット２と仕掛ロット４と仕掛ロット８とを実行するため、３．６（時間）経過後に作業が終了する。使用可能装置Ｃは、仕掛ロット１と仕掛ロット７とを実行するため、４（時間）経過後に作業が終了する。使用可能装置Ｄは、仕掛ロット５を実行するため、１．５（時間）経過後に作業が終了する。よって、全ての仕掛ロットの作業が終了するのは、最も遅く作業が終了する、使用可能装置Ｃの作業終了時である４（時間）経過後である。これは、既知の方法１の４．５（時間）経過後、既知の方法２の４．２（時間）経過後よりも早い。

以上のように、作業工程制御装置１の割付方法は、既知の方法１、２の割付方法と比較し、装置郡全体の作業終了までのＴＡＴを短縮することができる。作業工程制御装置１の割付方法は、使用可能装置別仕掛ロット数が少ない（作業禁止工程が多い）使用可能装置を効率的に使用するようにし、装置郡全体の作業終了までのＴＡＴを短縮するようにしている。例えば、図６に示すように、既知の方法１、２の割付方法の場合には、使用可能装置別仕掛ロット数が最小（作業禁止工程が最大）である使用可能装置Ｃに対し仕掛ロット７のみを割り付けるようにしているが、作業工程制御装置１の割付方法の場合には、仕掛ロット７に加え仕掛ロット１も割り付けるようにしている。

続いて、上記特許文献２（特開２００５−３０１６５３号公報）の技術と比較し、作業工程制御装置１を更に説明する。

（特許文献２の技術の場合）
特許文献２の技術は、例えば、装置１および装置２から構成される装置群において工程Ａおよび工程Ｂの割付先を決定する場合、装置１または装置２において作業可能な他の工程Ｃ、工程Ｄ、工程Ｅ、工程Ｆが、上記割付先の決定に影響を与える。即ち、特許文献２の技術を適用する場合、工程−装置一覧表は、例えば、図７（ａ）にようになる。なお、図７（ａ）の工程−装置一覧表は、図２（ａ）に示す仕掛ロット−使用可能装置一覧表に相当し、図７（ａ）の太枠内の各セルの値は、処理時間（標準作業時間）である。

次いで、特許文献２の技術では、優先順位（初期値）＝処理時間×使用可能装置数×処理可能工程数に従って、図７（ｂ）に示すように、優先順位の初期値を算出している。図７（ｂ）の太枠内の各セルの値は、優先順位の初期値である。例えば、装置１−工程Ａの優先順位（初期値）「２」は、処理時間「１」×使用可能装置数「１」×処理可能工程数「２」から算出し、装置２−工程Ｂの優先順位（初期値）「１０」は、処理時間「１」×使用可能装置数「２」×処理可能工程数「５」から算出している。

工程Ａ、工程Ｂの単位時間（例えば１日）のロット数がともに１ロットであるとき、特許文献２の技術では、図７（ｃ）に示すように、装置１に工程Ａの１ロットを割り付ける（予約する）。次いで、装置負荷＝処理時間×割付済みロット数÷稼動可能時間に従って、図７（ｃ）に示すように、各装置の装置負荷を算出する。例えば、装置１の装置負荷「０．０４」は、処理時間「１」×割付済みロット数「１」÷稼動可能時間「２４」から算出し、装置２の装置負荷「０」は、処理時間「１」×割付済みロット数「０」÷稼動可能時間「２４」から算出している。

次いで、特許文献２の技術では、優先順位（更新値）＝優先順位（初期値）×｛（装置負荷×１０）^ｋ＋１｝に従って、図７（ｄ）に示すように、優先順位の更新値を算出している。図７（ｄ）の太枠内の各セルの値は、優先順位の更新値である。例えば、装置１−工程Ａの優先順位（更新値）「２．８」は、優先順位（初期値）「２」×｛（０．０４×１０）^１＋１｝から算出し、装置２−工程Ｂの優先順位（更新値）「１０」は、優先順位（初期値）「１０」×｛（０×１０）^１＋１｝から算出している。なお、図７（ｄ）ではｋ＝１としているが、ｋは正の整数であればよい。

次いで、特許文献２の技術では、図７（ｅ）に示すように、装置１に工程Ｂの１ロットを割り付ける。つまり、特許文献２の技術では、装置１に対し、工程Ａのロットも工程Ｂのロットも割り付ける。換言すれば、装置１が工程Ａのロットも工程Ｂのロットも処理することになる。

（作業工程制御装置１の場合）
特許文献２の技術と比較するため、図７に示す各工程を、便宜上、図８に示すようにロットと置き換える。また、比較のため、図８の説明においても、図７における前提（工程Ａ、工程Ｂの単位時間（例えば１日）のロット数がともに１ロットであるときという前提）と同一の前提があるものとする。

作業工程制御装置１では、例えば、装置１および装置２から構成される装置群においてロットＡおよびロットＢの割付先を決定する場合、装置１または装置２において作業可能な他のロットＣ、ロットＤ、ロットＥ、ロットＦが上記割付先の決定に影響を与えない。即ち、作業工程制御装置１を適用する場合、仕掛ロット−使用可能装置一覧表は、例えば、図８（ａ）に示すようになる。なお、図８（ａ）の太枠内の各セルの値は、処理時間（標準作業時間）である。なお、図８に示すように、仕掛ロットＡ、Ｂについて、装置１では、ロットＡ、ロットＢともに作業可能（割付可能）、装置２ではロットＢのみ作業可能（割付可能）である。

次いで、作業工程制御装置１では、優先度＝可能稼働率／（仕掛ロット数×標準作業時間×使用可能装置数）に従って、図８（ｂ）に示すように、優先度を算出する。図７（ｂ）の太枠内の各セルの値は、優先度である。例えば、装置１−工程Ａの優先度「０．４５」は、可能稼働率「０．９」／（仕掛ロット数「２」×標準作業時間「１」×使用可能装置数「１」）から算出し、装置２−工程Ｂの優先度「０．４」は、可能稼働率「０．８」／（仕掛ロット数「１」×標準作業時間「１」×使用可能装置数「２」）から算出する。

次いで、作業工程制御装置１では、図８（ｃ）に示すように、仕掛ロットと割付先の使用可能装置との組の候補として、優先度の降順に、仕掛ロットと使用可能装置とを要素とする組を抽出し、割付先の使用可能装置を決定する。図８（ｃ）の太枠内は抽出部分、決定欄に付した＊印は割付の決定を示している。つまり、作業工程制御装置１では、装置１に対し仕掛ロットＡを、装置２に対し仕掛ロットＢを割り付ける。換言すれば、装置１がロットＡを処理し、装置２がロットＢを処理することになる。

以上のように、特許文献２の技術による割付と、作業工程制御装置１の割付とは、実際に作業が発生していない工程（ロット）が、割付先の決定に影響を与えるか否かが異なる。より詳細には、特許文献２では、優先度（優先順位）の算出パラメータとして、実際に作業が発生しているか否かに関係なく処理可能な工程に係る使用可能装置数と当該処理可能な工程を計上する処理可能工定数を使用しているが、作業工程制御装置１では、実際に作業が発生しているロット（即ち仕掛ロット）のみに関係する使用可能装置数と当該ロットのみを計上する仕掛ロット数を使用している点が異なる。換言すれば、作業工程制御装置１は、実際に作業が発生しているか否かの観点から対象（ロット）を絞っている点が、特許文献２の技術と異なる。

上記相違点によって、特許文献２の技術に比べ、作業工程制御装置１では、効率的な割付けを実現できるようになる。例えば、特許文献２の技術による割付では、図７に示すように、工程Ａも工程Ｂも装置１に割り付けられ、装置２は稼動しないが（装置２の待機時間が無駄になるが）、作業工程制御装置１の割付では、装置１がロットＡを処理し、装置２がロットＢを処理するため効率的になる。また、作業工程制御装置１は、作業対象を最初に絞っているため、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆに係る優先度（優先順位）を計算する工程が存在しない点も有益である。

以上、本実施形態による作業工程制御装置１によれば、実際に作業が発生しているロットのみに関係する使用可能装置数と当該ロットのみを計上する仕掛ロット数を用いて、各ロットの割付先の装置を決定しているため、ある装置群において作業が禁止された装置が複雑に設定されている場合であっても、装置空き状態が無くなるように、各ロットを処理する最適な装置を決定することができる。また、実際に作業が発生しているロットに絞って割付先の装置を決定しているため（具体的には、使用可能装置別仕掛ロット数の逆数、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間の逆数、使用可能装置別可能稼働率、仕掛ロット別使用可能装置数の逆数を乗算し割付先の装置を決定しているため）、シミュレーションや全パターン網羅検索に比べ、計算量が少なくなる。よって、各ロットの加工に要する時間がより短縮し、より効率的に半導体デバイスを生産することができるようになる。換言すれば、装置稼働率が上昇し、生産性の向上に寄与する。更に、スケジューラに組み込めば、自動で最適作業可能装置が選択できるため、人手も不要となる。

なお、上記特許文献２では、装置空き状態を無くすようなロットの割り付けはできない。上述のように、特許文献２の方法では、初期値を計算する際、対象範囲を全ての存在する工程に設定しており、各装置で作業するべきロットの仕掛の有無が無視されているためである。

なお、本実施形態において、優先度算出部４１は、上記式（１）に従って、使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出しているが、優先度算出部４１によって算出される優先度は、使用可能装置別仕掛ロット数の逆数、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間の逆数、使用可能装置別可能稼働率、仕掛ロット別使用可能装置数の逆数を乗算した値に比例する値であればよい。例えば、優先度算出部４１は、上記式（１）に代えて、下記式（２）または下記式（３）に従って、使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出するようにしてもよい。なお、下記式（２）（３）においてＫ、Ｋ_１、Ｋ_２、Ｋ_３、Ｋ_４はそれぞれ係数、Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４はそれぞれ上記式（１）と同様である。

優先度＝（Ｋ×Ａ２）／（Ａ１×Ａ３×Ａ４）・・・（２）
優先度＝（Ｋ_２×Ａ２）／｛（Ｋ_１×Ａ１）×（Ｋ_３×Ａ３）×（Ｋ_４×Ａ４）｝・・・（３）

また、本実施形態において、作業工程制御装置１は、図１に示すように、優先順位仮割当部１０、装置空判断部２０、優先度算出情報計算部３０およびロット割付部４０を備える構成であったが、作業工程制御装置１は、少なくともロット割付部４０（優先度算出部４１および割付決定部４２）を備える構成であればよい。

例えば、作業工程制御装置１がロット割付部４０のみを備える構成の場合、優先度算出部４１は、優先度算出情報計算部３０を備える外部の装置から、使用可能装置別仕掛ロット数、使用可能装置別可能稼働率、使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間、仕掛ロット別使用可能装置数を取得し、使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出する。なお、優先度算出情報計算部３０を備える上記外部の装置は、優先順位仮割当部１０および装置空判断部２０を更に備え、仮割当の実行結果を内部で生成してもよいし、優先順位仮割当部１０および装置空判断部２０を備える外部の装置（作業工程制御装置１とも異なる装置）から、仮割当の実行結果を取得してもよい。

なお、本発明の一実施形態による作業工程制御装置１の各処理を実行するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、当該記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより、本発明の一実施形態による作業工程制御装置１の各処理に係る上述した種々の処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものであってもよい。また、「コンピュータシステム」は、ＷＷＷシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）も含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、フラッシュメモリ等の書き込み可能な不揮発性メモリ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。

さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリ（例えばＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory））のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク（通信網）や電話回線等の通信回線（通信線）のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であっても良い。

以上、この発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。

１・・・作業工程制御装置
１０・・・優先順位仮割当部
２０・・・装置空判定部
３０・・・優先度算出情報計算部
３１・・・使用可能装置別仕掛ロット数計算部
３２・・・使用可能装置別可能稼働率計算部
３３・・・使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間計算部
３４・・・仕掛ロット別使用可能装置数計算部
４０・・・ロット割付部
４１・・・優先度算出部
４２・・・割付決定部

Claims (6)

1. 装置群の各装置の作業工程を制御する作業工程制御装置であって、
   前記装置群に仕掛中の仕掛ロットの数であって、前記仕掛ロットの処理に使用可能な使用可能装置別の前記仕掛ロットの数である使用可能装置別仕掛ロット数、前記仕掛ロット別の前記使用可能装置の数である仕掛ロット別使用可能装置数、前記使用可能装置別、前記仕掛ロット別の標準作業時間である使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間および前記使用可能装置別の可能稼働率である使用可能装置別可能稼働率に基づいて使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出する優先度算出部と、
   前記優先度算出部によって算出された前記優先度に基づいて、各仕掛ロットの割付先である前記使用可能装置を決定する割付決定部と
   を備えることを特徴とする作業工程制御装置。
2. 前記優先度算出部によって算出される前記優先度は、前記使用可能装置別仕掛ロット数の逆数、前記使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間の逆数、前記使用可能装置別可能稼働率、前記仕掛ロット別使用可能装置数の逆数を乗算した値に比例することを特徴とする請求項１に記載の作業工程制御装置。
3. 前記割付決定部は、
   一の前記仕掛ロットの割付先の前記使用可能装置として、当該仕掛ロットに係る前記優先度のうち、前記優先度が最大の一の使用可能装置を選択することを特徴とする請求項１に記載の作業工程制御装置。
4. 前記割付決定部は、
   前記仕掛ロットと割付先の使用可能装置との組を抽出し、抽出した組のなかから、各組に対応する前記優先度の降順に順次一組ずつ組を選択することによって、各仕掛ロットの割付先である使用可能装置を決定することを特徴とする請求項１に記載の作業工程制御装置。
5. 装置群の各装置の作業工程を制御する作業工程制御方法であって、
   前記装置群に仕掛中の仕掛ロットの数であって、前記仕掛ロットの処理に使用可能な使用可能装置別の前記仕掛ロットの数である使用可能装置別仕掛ロット数、前記仕掛ロット別の前記使用可能装置の数である仕掛ロット別使用可能装置数、前記使用可能装置別、前記仕掛ロット別の標準作業時間である使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間および前記使用可能装置別の可能稼働率である使用可能装置別可能稼働率に基づいて使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出する優先度算出手段と、
   前記優先度算出手段によって算出された前記優先度に基づいて、各仕掛ロットの割付先である前記使用可能装置を決定する割付決定手段と
   を有することを特徴とする作業工程制御方法。
6. 装置群の各装置の作業工程を制御する作業工程制御装置のコンピュータに、
   前記装置群に仕掛中の仕掛ロットの数であって、前記仕掛ロットの処理に使用可能な使用可能装置別の前記仕掛ロットの数である使用可能装置別仕掛ロット数、前記仕掛ロット別の前記使用可能装置の数である仕掛ロット別使用可能装置数、前記使用可能装置別、前記仕掛ロット別の標準作業時間である使用可能装置別仕掛ロット別標準作業時間および前記使用可能装置別の可能稼働率である使用可能装置別可能稼働率に基づいて使用可能装置別仕掛ロット別の優先度を算出する優先度算出ステップと、
   前記優先度算出ステップによって算出された前記優先度に基づいて、各仕掛ロットの割付先である前記使用可能装置を決定する割付決定ステップと
   を実行させることを特徴とするプログラム。

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