JP2011096694A - モールド除去方法およびモールド除去装置 - Google Patents
モールド除去方法およびモールド除去装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011096694A JP2011096694A JP2009246045A JP2009246045A JP2011096694A JP 2011096694 A JP2011096694 A JP 2011096694A JP 2009246045 A JP2009246045 A JP 2009246045A JP 2009246045 A JP2009246045 A JP 2009246045A JP 2011096694 A JP2011096694 A JP 2011096694A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- laser
- processing
- measurement
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】モールドの除去条件を設定する工程と、レーザ光の出射位置にICチップを設置する工程と、モールド部材の高さ位置方向の位置合わせを行い、計測用レーザを出射して該モールド部材のXおよびY方向座標位置の反射/散乱光量を測定し、測定値を記憶する測定工程と、前記モールドの除去条件を満たすか判断する工程と、前記モールドの除去条件を満たしている場合はモールドの除去条件に応じて設定した加工条件でレーザ仕上げ加工を行う仕上加工工程と、前記モールドの除去条件を満たしていない場合は前記記憶したXおよびY方向座標位置の測定値に応じて設定した加工条件でレーザ一次加工を行い、前記レーザ一次加工の完了後に前記測定工程の前に戻る一次加工工程と、を備える。
【選択図】図9
Description
半導体チップに形成された集積回路に動作不良があったときには、原因の解析や回路修正を行うために半導体チップを封止している樹脂を除去して半導体チップを露出させることが求められている。
このため、従来において、ICパッケージを開封する方法として、ICパッケージの半導体チップを封止している樹脂モールドに硝酸などの作用媒体を吹き付けることにより樹脂を除去している(以下「従来技術1」という。たとえば、特許文献1参照。)。また、ドライエッチング等が用いられている(以下「従来技術2」という。たとえば、特許文献2参照。)。
モールドの除去条件を設定する工程と、
レーザ光の出射位置に前記ICチップを設置する工程と、
前記モールド部材の高さ位置方向の位置合わせを行い、計測用レーザを出射して該モールド部材のXおよびY方向座標位置における反射/散乱光量を測定し、該測定値を記憶する測定工程と、
前記測定値が前記モールドの除去条件を満たすか判断する工程と、
前記測定値が前記モールドの除去条件を満たしている場合はモールドの除去条件に応じて設定した加工条件でレーザ仕上げ加工を行う仕上加工工程と、
前記測定値が前記モールドの除去条件を満たしていない場合は前記記憶したXおよびY方向位置における測定値に応じて設定した加工条件でレーザ一次加工を行い、前記レーザ一次加工の完了後に前記測定工程の前に戻る一次加工工程と、
を備えることを特徴としている。
上記「反射/散乱光量」として、たとえば、別に設定した閾値に対しての反射/散乱光量の大小の判定結果を採用することができる。
第1の特徴により、ICチップにダメージを与えないでモールド部材の残留厚さが最小となるまで高速で除去を行うことができる。
また、本発明の除去作業の後に、薬液、ドライエッチングを行う必要がある場合においても、モールド部材の残留厚さが100ミクロン以下まで除去されているため、迅速、かつ、微量の薬液で処理を行うことができる。
さらに、モールドの除去条件を設定し、モールド部材のXおよびY方向の厚さの測定値がモールドの除去条件を満たすか判断して仕上げ加工または一次加工のいずれかを選択させるようにしたことにより、残留モールド厚さに応じた加工を行うことができる。
第2の特徴により、無駄のないより合理的なレーザ加工を行うことができる。
第3の特徴により、2次配線検知を目安としてモールド部材の残留厚さを算出できることから、仕上げ加工の加工条件の設定が容易になる。
すなわち、照射開始からNパルス目のレーザが照射されたときのX方向照射位置=照射開始X座標+(X方向走査速度×N÷パルス周波数)により演算され、照射開始からNパルス目のレーザが照射されたときのY方向照射位置=照射開始Y座標+(Y方向走査速度×N÷パルス周波数)により演算される。
第4の特徴により、モールド部材のXおよびY方向座標の位置におけるモールド部材の残留厚さの測定を連続的、かつ、高速で行うことができる。
また、本発明の除去作業の後に、薬液、ドライエッチングを行う必要がある場合においても、モールド部材の残留厚さが100ミクロン以下まで除去されているため、迅速、かつ、微量の薬液で処理を行うことができる。
さらに、モールドの除去条件を設定し、モールド部材のXおよびY方向座標位置における測定値がモールドの除去条件を満たすか判断して仕上げ加工または一次加工のいずれかを選択させるようにしたことにより、残留モールド厚さに応じた加工を行うことができる。
さらにまた、反射光量を補正する光量補正手段を省き、反射光を光学系を介さずに直接計測するようにしたことにより装置構成を簡素なものとすることができる。
(1)ICチップにダメージを与えないでモールド部材の残留厚さが最小となるまで高速で除去を行うことができる。
また、本発明の除去作業の後に、薬液、ドライエッチングを行う必要がある場合においても、モールド部材の残留厚さが100ミクロン以下まで除去されているため、迅速、かつ、微量の薬液で処理を行うことができる。
(2)モールドの除去条件を設定し、モールド部材のXおよびY方向座標位置の測定値がモールドの除去条件を満たすか判断して仕上げ加工または一次加工のいずれかを選択させるようにしたことにより、残留モールド厚さに応じた加工を行うことができる。
(3)モールドの除去条件の設定項目として、少なくとも、除去エリア、戻り光量閾値、IC戻り光検知、2次配線検知または追加仕上げのいずれか1つを含むことにより、無駄のないより合理的なレーザ加工を行うことができる。
(4)2次配線検知を目安としてモールド部材の残留厚さを算出できることから、仕上げ加工の加工条件の設定が容易になる。
(6)反射光量を補正する光量補正手段を省き、反射光を光学系を介さずに直接計測するようにしたことにより装置構成を簡素なものとすることができる。
レーザ加工装置1は、幅、高さおよび奥行き寸法がそれぞれ数十センチメートル程度であり、机の上に設置可能なコンパクト設計となっている。また、パソコン2の画面から処理範囲、加工開始・停止等全ての制御を処理できる。ICチップ表面からプラスチックモールドを残厚さ100ミクロン以下まで除去でき、たとえば、10mm×10mmの面積の処理時間は約2分である。
図2は、樹脂等のモールド除去に使用されるレーザ加工装置1の第1の例の概略構成を模式的に示す図である。
レーザ加工装置1は、所定の加工対象物10(以下「ワーク」ということがある。)の加工を行うための加工用レーザ光および加工用レー
ザ光の焦点とワーク10との位置合せ及びモールドの残留厚さを計測するための計測用レーザ光を出射するレーザ光出射手段としてのレーザ光源11と、レーザ光源11から出射されたレーザ光をワーク10のXおよびY方向の所定位置に照射できるガルバノスキャナー等からなるレーザ走査装置12と、ワーク10で反射された計測用レーザ光の反射光量を測定するための反射光量測定手段としての受光素子13と、ワーク10を撮影可能な撮像素子14と、レーザ走査装置12から出射された加工用レーザ光や計測用レーザ光の光路を形成するための光学系15とを備えている。
また、レーザ加工装置1は、ワーク10をZ方向に移動可能に保持する移動ステージ16と、レーザ加工装置1の各種の制御を行う制御部17とを備えている。
また、本形態では、ワーク10に照射されるレーザ光の光軸方向を加工表面に対して垂直にしているが、角度をつけ斜めに照射しても実施可能である。
また、本形態では、加工用レーザ光の波長と計測用レーザ光の波長とがほぼ等しくなっており、加工用レーザ光の焦点位置と計測用レーザ光の焦点位置とはほぼ一致する。
なお、図3において、図2と同じ符号は同じ部材を示しており、それらの部材の説明は省略する。
本例では、レーザ光源11とレーザ走査装置12とを結ぶ光路にビームスプリッタ23を設置し、ワーク10で反射された反射光を光学系15、レーザ走査装置12を通してビームスプリッタ23に導き、ビームスプリッタ23で反射された光を受光素子13で受光するようにしている。
本例によれば、加工光と同一光軸上で計測が可能であるために反射/散乱光がX、Y方向に対し均等に出力されていない状態でも測定素子位置変化による測定誤差が発生しないため、測定精度が向上する効果を有する。
レーザ射出面と移動ステージ16との距離測定と試加工により、焦点と見られる位置を生産の検査段階で求めておく。この結果を装置の制御ソフトウエアに保存して、運転時には移動ステージ16に載るワーク10の厚さ分だけZ方向をさらに離すように制御することにより設定する。
以下、上述したレーザ加工装置を使用してパッケージ内の半導体チップを覆っている樹脂モールドを除去して半導体チップを露出するための樹脂モールド除去方法を説明する。
図4は、加工対象物であるワークとして、例えば、ICパッケージを示したもので、(A)は、レーザ加工前のワークの断面の状態を、(B)は、レーザ加工途中のワークの断面状態を、(C)は、レーザ加工によりプラスチックモールドがほぼ開封されたワークの断面状態を示している。
図4(A)に示すように、ICパッケージ30は、概略、トランジスタ、ダイオード、抵抗、キャパシタなどのICチップ31、ICチップを相互に電気的に接続する2次配線32、および、ICチップ31を覆うプラスチックモールド33から構成されている。
一方、配線材料である銅、アルミの反射率を図7に示すと、YAGレーザでは銅、アルミ共に80%以上、CO2レーザでは95%以上と非常に高い反射率である。また、シリコン等からなるICチップ31もモールド材料にくらべてこれらのレーザ光をよく反射する。一方ICモールド材料はこのレーザ光を良く吸収する。
なお、本発明の加工対象であるワークとしては、樹脂モールドに限らず、例えば、セラミックなどバルク材を混入した複合材料にも適用可能である。
プラスチックモールド33の厚さが大きい場合、照射された計測用レーザ光は、プラスチックモールド33に吸収され、比較的小さい光量の反射・散乱光が生ずる。加工が進行し、2次配線が露出し始めると金属配線の大きい反射により受光素子13で受光する計測光量は増加する。 プラスチックモールド33が無くなると反射率が比較的高いチップ31表面での反射・散乱光のみが計測されるため、計測光量は最大値を取る。この計測光量の変化を制御部17の加工状態検知手段でモニタすることで加工状態、すなわちプラスチックモールド33の残留厚さを把握することができる。
2次配線32とICチップ31との高さの差があらかじめ分かっている場合、ICチップ31上に残留したプラスチックモールド33の厚さを知ることができる。このような場合は、2次配線32の検知をもって以後の加工条件を設定することができる。
今、図に示すように、X−Y座標の原点を測定開始位置と設定し、パルス光からなる計測用レーザをX方向に移動しながら照射し、右端まで照射したら左端に戻り、Y方向に移動して次の列をX方向に移動しながら照射するようにして測定エリアの全部にわたって測定する。
その際、計測用レーザのパルス数及び走査速度は既知とすると、測定開始位置とレーザの照射開始タイミングから、測定点のX−Y位置を特定することができる。測定点とこの測定点における反射光量から、IC30のX−Y位置におけるプラスチックモールド33の残留厚さが演算され、記憶される。
なお、計測用のレーザ光としてはパルス光に限らず、連続光でもよい。
レーザ加工は、図に示すように、X−Y座標の原点を加工開始位置と設定し、加工用レーザをX方向に移動しながら照射し、右端まで照射したら左端に戻り、Y方向に移動して次の列をX方向に移動しながら照射するようにして加工エリアの全部にわたって行う。
その際、ICパッケージ30のX−Y位置におけるプラスチックモールド33の残留厚さが記憶されているから、この記憶に基づいて加工条件を設定する。加工条件には、照射/非照射、レーザ出力、レーザ照射周波数、レーザ走査速度、レーザ走査回数、レーザ照射パルス等がある。
なお、加工用レーザ光としてはパルス光に限らず、連続光でもよい。
(a)プラスチックモールドの除去条件を設定する(工程2)。
設定項目としては、レーザ出力条件、除去エリア、戻り光量閾値、ICチップ戻り光検知、2次配線検知及び検知後の追加仕上げの回数などである。
(b)レーザ走査装置及び移動ステージを操作して、レーザ光の照射位置にワークを配置する(工程3)。
(c)プラスチックモールドの残留厚さをモニタするため、反射、散乱光量を測定する(工程4)。
測定は、ICのX及びY方向の位置を特定しながら行う。
(d)ICのX及びY方向の位置における計測用レーザ光の反射光量を記憶する(工程5)。
(e)ICのX及びY方向領域についてプラスチックモールドの残留厚さの測定が終了したか判断する(工程6)。
終了していなければ工程3に戻る。
加工物に応じた加工システムの改良、加工ノウハウの蓄積が十分な場合はこの繰り返される3から6の行程の何回かは省略することも可能である。
(f)プラスチックモールドの除去条件において設定した項目の条件を満たしているか(例えば、別に設定した閾値に対しての反射/散乱光量の大小の判定結果)判断する(工程7)。
満たしている場合は、レーザ仕上加工工程に移行し、満たしていない場合は、レーザ一次加工工程に移行する。
(g)レーザ仕上げ加工を行うため、レーザ照射位置を原点に戻す(工程8)。
(h)プラスチックモールドの除去条件に応じて加工条件を設定する(レーザ出力条件を仕上げ加工条件に変更する。)(工程9)。
たとえば、プラスチックモールドの除去条件に2次配線検知を設定した場合、2次配線検知後、ICチップ上に残留した厚さを算出し、これに基づいて、加工条件、すなわち、照射/非照射、レーザ出力、レーザ照射周波数、レーザ走査速度、レーザ走査回数、レーザ照射パルスなどの加工条件を設定する。
(i)加工条件に基づいてレーザ加工を行う(工程10)。
(j)設定した加工条件が終了したか判断する(工程11)。
終了していなければ工程8に戻る。加工ノウハウの蓄積が十分な場合、この工程は省略することも可能である。
(k)レーザ一次加工を行うため、レーザ走査装置及び移動ステージを操作して、レーザ光の照射位置にワークを配置する(工程13)。
(l)ICのX及びY方向位置におけるプラスチックモールドの残留厚さの記憶に応じて加工条件を設定する(工程14)。
たとえば、プラスチックモールドの除去条件に2次配線検知を設定したが、2次配線が検出されない場合、これに基づいて、加工条件、すなわち、照射/非照射、レーザ出力、レーザ照射周波数、レーザ走査速度、レーザ走査回数、レーザ照射パルスなどの加工条件を設定する。
(m)加工条件に基づいてレーザ加工を行う(工程15)。
(n)設定した加工条件が終了したか判断する(工程16)。
終了していなければ工程13に戻る。終了していれば、測定ループ内の工程3に戻る。
これにより受光素子で受光する計測光量は増加する。樹脂モールドが無くなると反射率が比較的高いICチップ表面での反射・散乱光のみが計測されるため、計測光量は最大値を取る。この計測光量の変化を制御部17の加工状態検知手段でモニタすることで加工状態を把握することができる。
2 パソコン
10 加工対象物(ワーク)
11 レーザ光源
12 レーザ走査装置
13 受光素子
14 撮像素子
15 光学系
16 移動ステージ
17 制御部
18 集光レンズ
19 ビームスプリッタ
20 レンズ
21 保持部
22 駆動部
23 ビームスプリッタ
30 ICパッケージ
31 ICチップ
32 2次配線
33 プラスチックモールド
34 ICパッケージの上面
Claims (5)
- ICチップおよび2次配線と、これらを覆うモールド部材とからなるICパッケージを用意する工程と、
モールドの除去条件を設定する工程と、
レーザ光の出射位置に前記ICチップを設置する工程と、
前記モールド部材の高さ位置方向の位置合わせを行い、計測用レーザを出射して該モールド部材のXおよびY方向座標位置における反射/散乱光量を測定し、該測定値を記憶する測定工程と、
前記測定値が前記モールドの除去条件を満たすか判断する工程と、
前記測定値が前記モールドの除去条件を満たしている場合はモールドの除去条件に応じて設定した加工条件でレーザ仕上げ加工を行う仕上加工工程と、
前記測定値が前記モールドの除去条件を満たしていない場合は前記記憶したXおよびY方向位置における測定値に応じて設定した加工条件でレーザ一次加工を行い、前記レーザ一次加工の完了後に前記測定工程の前に戻る一次加工工程と、
を備えるモールド除去方法。 - モールドの除去条件の設定項目として、少なくとも、除去エリア、戻り光量閾値、IC戻り光検知、2次配線検知または追加仕上げのいずれか1つを含むことを特徴とする請求項1記載のモールド除去方法。
- モールドの除去条件の設定項目として2次配線検知を含む場合、前記2次配線の検知によりICチップまでのZ方向距離を算出し、これに基づいた加工条件でレーザ仕上げ加工を行うことを特徴とする請求項1または2記載のモールド除去方法。
- 計測用レーザを出射して該モールド部材のXおよびY方向座標位置における反射/散乱光量を測定し、該測定値を記憶する測定工程において、パルス光からなる計測用レーザを連続的に照射し、レーザ照射開始タイミング、パルス周波数および走査速度に基づいてモールド部材のXおよびY方向の測定位置を演算しながら当該測定位置における反射/散乱光量を記憶することを特徴とする請求項1ないし2のいずれか1項に記載のモールド除去方法。
- ICチップおよび2次配線と、これらを覆うモールド部材とからなるICパッケージをレーザ加工する装置において、加工用レーザ光と前記加工用レーザ光よりも出力の小さな計測用レーザ光とを出射する一のレーザ光出射手段と、モールドの除去条件を設定する除去条件設定手段と、前記ICパッケージのXおよびY方向の所定位置にレーザ光を照射するレーザ走査手段と、Z方向に移動可能に設けられ前記ICパッケージを載置する載置手段と、前記ICパッケージで反射された前記計測用レーザ光の反射光量を測定する受光手段と、前記反射光量に基づいてモールド部材のXおよびY方向座標位置における反射/散乱光量を測定し、該測定値を記憶する測定手段と、前記測定値が前記モールドの除去条件を満たすか判断する判断手段と、前記測定値が前記モールドの除去条件を満たしている場合はモールドの除去条件に応じて設定した加工条件でレーザ仕上げ加工を行わせ、前記測定値が前記モールドの除去条件を満たしていない場合は前記記憶したXおよびY方向位置における測定値に応じて設定した加工条件でレーザ一次加工を行わせ、一次加工完了後に再度モールド部材のXおよびY方向座標位置における反射/散乱光量を測定させるように制御する制御手段を備えることを特徴とするモールド除去装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009246045A JP5224139B2 (ja) | 2009-10-27 | 2009-10-27 | モールド除去方法およびモールド除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009246045A JP5224139B2 (ja) | 2009-10-27 | 2009-10-27 | モールド除去方法およびモールド除去装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011096694A true JP2011096694A (ja) | 2011-05-12 |
JP5224139B2 JP5224139B2 (ja) | 2013-07-03 |
Family
ID=44113332
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009246045A Expired - Fee Related JP5224139B2 (ja) | 2009-10-27 | 2009-10-27 | モールド除去方法およびモールド除去装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5224139B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108723583A (zh) * | 2017-04-18 | 2018-11-02 | 发那科株式会社 | 具有测量功能的激光加工系统 |
WO2020261862A1 (ja) * | 2019-06-26 | 2020-12-30 | 株式会社アマダ | レーザ加工機の設定方法及びレーザ加工機 |
CN117705946A (zh) * | 2023-12-12 | 2024-03-15 | 南京长芯检测科技有限公司 | 一种ic封装样品内非导电胶失效确定方法及系统 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11254270A (ja) * | 1998-03-04 | 1999-09-21 | Canon Inc | 封止体の開封装置および封止体の開封方法 |
JP2003045921A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-02-14 | Data Storage Inst | 集積回路パッケージの封止除去方法および封止除去装置 |
US20050005748A1 (en) * | 2001-11-02 | 2005-01-13 | Klaus Burger | Method for opening the plastic housing of an electronic module |
US20070075050A1 (en) * | 2005-06-30 | 2007-04-05 | Jon Heyl | Semiconductor failure analysis tool |
WO2009069577A1 (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-04 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | モールド除去方法 |
-
2009
- 2009-10-27 JP JP2009246045A patent/JP5224139B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11254270A (ja) * | 1998-03-04 | 1999-09-21 | Canon Inc | 封止体の開封装置および封止体の開封方法 |
JP2003045921A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-02-14 | Data Storage Inst | 集積回路パッケージの封止除去方法および封止除去装置 |
US20050005748A1 (en) * | 2001-11-02 | 2005-01-13 | Klaus Burger | Method for opening the plastic housing of an electronic module |
US20070075050A1 (en) * | 2005-06-30 | 2007-04-05 | Jon Heyl | Semiconductor failure analysis tool |
WO2009069577A1 (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-04 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | モールド除去方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108723583A (zh) * | 2017-04-18 | 2018-11-02 | 发那科株式会社 | 具有测量功能的激光加工系统 |
JP2018176245A (ja) * | 2017-04-18 | 2018-11-15 | ファナック株式会社 | 測定機能を有するレーザ加工システム |
US10502555B2 (en) | 2017-04-18 | 2019-12-10 | Fanuc Corporation | Laser processing system having measurement function |
CN108723583B (zh) * | 2017-04-18 | 2020-12-01 | 发那科株式会社 | 具有测量功能的激光加工系统 |
WO2020261862A1 (ja) * | 2019-06-26 | 2020-12-30 | 株式会社アマダ | レーザ加工機の設定方法及びレーザ加工機 |
JP2021003718A (ja) * | 2019-06-26 | 2021-01-14 | 株式会社アマダ | レーザ加工機の設定方法及びレーザ加工機 |
CN117705946A (zh) * | 2023-12-12 | 2024-03-15 | 南京长芯检测科技有限公司 | 一种ic封装样品内非导电胶失效确定方法及系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5224139B2 (ja) | 2013-07-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5137088B2 (ja) | モールド除去方法 | |
US20110266266A1 (en) | Laser processing machine | |
KR102226222B1 (ko) | 레이저 가공 장치 | |
WO2021166345A1 (ja) | 半導体故障解析装置及び半導体故障解析方法 | |
JP4174267B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP6757185B2 (ja) | レーザー光線の検査方法 | |
JP2015190826A (ja) | 基板検査装置 | |
JP5224139B2 (ja) | モールド除去方法およびモールド除去装置 | |
JP2009283566A (ja) | ウエーハのレーザー加工方法およびレーザー加工装置 | |
JP5420890B2 (ja) | チャックテーブルに保持された被加工物の高さ位置計測装置 | |
JP7043124B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP5656690B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP5142252B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2015225909A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
KR100911365B1 (ko) | 영상 처리를 이용한 레이저 트리밍 장치 및 그 방법 | |
US20210193521A1 (en) | Device chip manufacturing method | |
JP7305273B2 (ja) | レーザー加工方法及びレーザー加工装置 | |
JP2011104667A (ja) | 切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法 | |
CN113424016A (zh) | 用于在印刷电路板上得到有关有机可焊性保护层的信息的方法 | |
JP3926620B2 (ja) | レーザ加工装置およびその方法 | |
WO2023145183A1 (ja) | 加工条件取得方法、及び、レーザ加工装置 | |
KR20230171386A (ko) | 가공 장치 | |
JP2022186378A (ja) | レーザー加工方法及びレーザー加工装置 | |
JP2503492B2 (ja) | レ−ザ加工装置 | |
CN116571900A (zh) | 激光加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20120404 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121017 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121022 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5224139 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160322 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |