JP2011091261A - 基板処理装置、基板処理方法及びこの方法によって処理された基板 - Google Patents
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- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Abstract
【解決手段】基板処理装置100は、搬送機構40と、転写機構50とを備える。転写機構50は、電子写真方式を用いて微粒子11を基板10に転写する機構である。転写機構50は、感光ドラム25、転写ローラ28、現像ユニット60、光源23、帯電器24、除電器26及びクリーニングブレード27を備える。転写機構50により、潜像パターンを現像するように微粒子11が感光ドラム25に選択的に付着され、その付着した微粒子11が基板10に転写される。微粒子11が付着される基板10上の位置が高精度に制御される。
【選択図】図1
Description
前記支持機構は、基板を支持する。
前記転写機構は、感光体と、前記基板の表面に凹凸構造を形成するために、前記凹凸構造に対応する潜像パターンを前記感光体に描画することが可能な光源とを有し、前記潜像パターンに応じて選択的に前記感光体に付着した粒子を、前記支持された基板の表面に転写する。
前記潜像パターンに応じて選択的に前記感光体に粒子が付着される。前記感光体に付着した前記粒子が前記基板の表面に転写される。そして、前記転写された粒子をマスクとして、前記基板の表面がエッチングされる。
前記表面には、感光体に描画された潜像パターンに応じて感光体に選択的に付着した粒子が転写される。
前記凹凸構造は、前記粒子をマスクとして、前記表面をエッチングすることで前記表面に形成される。
前記支持機構は、基板を支持する。
前記転写機構は、感光体と、前記基板の表面に凹凸構造を形成するために、前記凹凸構造に対応する潜像パターンを前記感光体に描画することが可能な光源とを有し、前記潜像パターンに応じて選択的に前記感光体に付着した粒子を、前記支持された基板の表面に転写する。
前記潜像パターンに応じて選択的に前記感光体に粒子が付着される。前記感光体に付着した前記粒子が前記基板の表面に転写される。そして、前記転写された粒子をマスクとして、前記基板の表面がエッチングされる。
10s…表面
11…微粒子
23…光源
25…感光ドラム
28…転写ローラ
29…直流電源
40…搬送機構
50…転写機構
60…現像ユニット
100…基板処理装置
Claims (10)
- 基板を支持する支持機構と、
感光体と、前記基板の表面に凹凸構造を形成するために、前記凹凸構造に対応する潜像パターンを前記感光体に描画することが可能な光源とを有し、前記潜像パターンに応じて選択的に前記感光体に付着した粒子を、前記支持された基板の表面に転写する転写機構と
を具備する基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記転写機構は、前記感光体から前記基板の表面に前記粒子を転写させるための電界を形成するように、前記基板に電圧を印加する電圧印加部を有する基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記電圧印加部は、パルス状の電圧を前記基板に印加する基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記光源は、青色及び青紫色の領域のうちいずれか1つの領域の波長の光を前記感光体に照射する基板処理装置。 - 基板の表面に形成すべき凹凸構造に対応する潜像パターンを前記感光体に描画し、
前記潜像パターンに応じて選択的に前記感光体に粒子を付着させ、
前記感光体に付着した前記粒子を前記基板の表面に転写し、
前記転写された粒子をマスクとして、前記基板の表面をエッチングする
基板処理方法。 - 請求項5に記載の基板処理方法であって、
前記エッチングは、前記エッチングにより前記マスクを除去することを含む
基板処理方法。 - 請求項5に記載の基板処理方法であって、
前記粒子は、有機物材料である
基板処理方法。 - 請求項5に記載の基板処理方法であって、
前記基板は、前記表面に発光層が形成される発光ダイオード用のサファイア基板である
基板処理方法。 - 請求項5に記載の基板処理方法であって、
前記基板は、前記表面に光電変換層が形成される光電変換デバイス用のシリコン基板である
基板処理方法。 - 感光体に描画された潜像パターンに応じて感光体に選択的に付着した粒子が転写される表面と、
前記粒子をマスクとして、前記表面をエッチングすることで前記表面に形成された凹凸構造と
を具備する基板。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2009
- 2009-10-23 JP JP2009244535A patent/JP2011091261A/ja active Pending
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