JP2011082458A - 撮像ユニットの実装構造および製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】接着剤内部の気泡によってプリント配線基板と透光性部材との接着強度が劣化することを防止できる撮像ユニットの実装構造および製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる撮像ユニットは、固体撮像素子２の受光部２ａに対応して開口部３ａが形成されたプリント配線基板３と、プリント配線基板３の実装面とは反対側の基板面に塗布された接着剤６と、プリント配線基板３に接着する接着領域Ｃ１によって囲まれる領域内に貫通孔５ａが形成された孔付透光性部材５と、を備える。プリント配線基板３には、受光部２ａと開口部３ａとを対向させた態様で固体撮像素子が実装される。接着剤６は、開口部３ａを囲むように塗布される。孔付透光性部材５は、接着領域Ｃ１に接着剤６を行き渡らせてプリント配線基板３に接着される。
【選択図】図２

Description

本発明は、ＣＣＤまたはＣＭＯＳ等の固体撮像素子を備えた撮像ユニットの実装構造および製造方法に関するものである。

従来から、デジタルカメラおよびデジタルビデオカメラを始め、被検体の臓器内部を観察するための内視鏡、撮像機能を備えた携帯電話機など、各種態様の電子撮像装置が登場している。電子撮像装置は、ＣＣＤまたはＣＭＯＳイメージセンサ等の固体撮像素子を備えた撮像ユニットを内蔵し、レンズ等の光学系によって固体撮像素子の受光部に被写体の光学像を結像し、この固体撮像素子の光電変換処理によって被写体の画像データを撮像する。

このような撮像ユニットは、例えば、プリント配線基板に形成された開口部に固体撮像素子の受光部を対向させた態様にしてプリント配線基板に固体撮像素子をフリップチップ実装し、その後、この固体撮像素子の実装部位の反対側からプリント配線基板の開口部を塞ぐように、このプリント配線基板に透光性部材を接着剤によって接着して製造される（特許文献１参照）。

特許第３２０７３１９号公報

ところで、プリント配線基板に透光性部材を接着する際、一般に、プリント配線基板の開口部に沿って無端状に接着剤を塗布し、このプリント配線基板上に塗布された接着剤に透光性部材の外周部分を接着している。その後、この接着剤を硬化することによって、透光性部材は、プリント配線基板上に固定される。

しかしながら、上述した従来技術では、プリント配線基板に透光性部材を接着すると同時に、撮像ユニットの内部空間、すなわち、プリント配線基板にフリップチップ実装された固体撮像素子と透光性部材と透光性部材の接着剤とによって囲まれる中空空間が、密閉状態になる。このため、撮像ユニットの内部空間の圧力が透光性部材の接着と同時に上昇し、この結果、透光性部材の接着剤に気泡が発生して、プリント配線基板と透光性部材との接着強度が劣化するという問題点があった。

なお、撮像ユニットの製造工程において、プリント配線基板と透光性部材との接着強度は、予め規定された必要強度を満足していなければならず、したがって、上述したような接着剤内部の気泡によるプリント配線基板と透光性部材との接着強度の劣化は、撮像ユニットの製造不良率の増加（歩留まり低下）を招来する。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、接着剤内部の気泡によってプリント配線基板と透光性部材との接着強度が劣化することを防止できる撮像ユニットの実装構造および製造方法を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる撮像ユニットの実装構造は、固体撮像素子の受光部に対応して開口部が形成され、前記受光部と前記開口部とを対向させて前記固体撮像素子を実装面に実装するプリント配線基板と、前記プリント配線基板の前記実装面とは反対側の基板面に塗布され、前記開口部を囲む接着剤と、前記接着剤を介して前記プリント配線基板に接着する当該透光性部材の接着領域によって囲まれる領域の内側に貫通孔が形成され、前記接着領域に前記接着剤を行き渡らせて前記プリント配線基板に接着する透光性部材と、を備えたことを特徴とする。

また、本発明にかかる撮像ユニットの実装構造は、上記の発明において、少なくとも液密に前記貫通孔を閉塞する閉塞部材をさらに備えたことを特徴とする。

また、本発明にかかる撮像ユニットの実装構造は、上記の発明において、前記閉塞部材は、非透水性を有する微多孔性部材であることを特徴とする。

また、本発明にかかる撮像ユニットの実装構造は、上記の発明において、前記貫通孔は、前記開口部を介して前記受光部と対向する前記透光性部材の透光領域の外側に形成されることを特徴とする。

また、本発明にかかる撮像ユニットの実装構造は、上記の発明において、前記貫通孔の断面形状は、テーパ形状であることを特徴とする。

また、本発明にかかる撮像ユニットの実装構造は、上記の発明において、前記貫通孔は、前記透光性部材に複数形成されることを特徴とする。

また、本発明にかかる撮像ユニットの実装構造は、上記の発明において、複数の前記貫通孔のうちの１以上の貫通孔は、実装後の前記固体撮像素子と前記プリント配線基板と前記接着剤と前記透光性部材とによって囲まれる中空空間に所定の気体を注入する注入口であり、前記１以上の貫通孔を除く残りの貫通孔は、前記中空空間の排気口であることを特徴とする。

また、本発明にかかる撮像ユニットの製造方法は、固体撮像素子の受光部に対応してプリント配線基板に形成された開口部と前記受光部とを対向させて、前記プリント配線基板の実装面に前記固体撮像素子を実装する実装ステップと、前記プリント配線基板の前記実装面とは反対側の基板面に、前記開口部を囲むように接着剤を塗布する塗布ステップと、貫通孔が形成された透光性部材を、前記貫通孔を囲む前記透光性部材の接着領域に前記接着剤を行き渡らせて前記プリント配線基板に接着する接着ステップと、を含むことを特徴とする。

また、本発明にかかる撮像ユニットの製造方法は、上記の発明において、少なくとも液密に前記貫通孔を閉塞する閉塞ステップを含むことを特徴とする。

また、本発明にかかる撮像ユニットの製造方法は、上記の発明において、前記貫通孔を介して、実装後の前記固体撮像素子と前記プリント配線基板と前記接着剤と接着後の前記透光性部材とによって囲まれる中空空間の気体を置換する置換ステップを含むことを特徴とする。

また、本発明にかかる撮像ユニットの製造方法は、上記の発明において、前記置換ステップは、前記透光性部材に形成された複数の前記貫通孔のうちの１以上の貫通孔を介して前記中空空間に所定の気体を注入するとともに、前記１以上の貫通孔を除く残りの貫通孔を介して排気して、前記中空空間の気体を置換することを特徴とする。

本発明にかかる撮像ユニットの実装構造および製造方法によれば、プリント配線基板と透光性部材を接着する接着剤の内部に気泡が発生することを抑制でき、これによって、プリント配線基板と透光性部材との接着強度が劣化することを防止できるという効果を奏する。

図１は、本発明の実施の形態１にかかる実装構造を備えた撮像ユニットの一構成例を示す模式図である。 図２は、図１に示す撮像ユニットのＡ−Ａ線断面模式図である。 図３は、本発明の実施の形態１にかかる撮像ユニットの孔付透光性部材の一構成例を示す模式図である。 図４は、本発明の実施の形態１にかかる撮像ユニットの製造方法の一例を示すフローチャートである。 図５は、プリント配線基板に固体撮像素子をフリップチップ実装する状態を示す模式図である。 図６は、プリント配線基板に孔付透光性部材を接着する状態を示す模式図である。 図７は、プリント配線基板に接着した後の孔付透光性部材の貫通孔部分を示す断面模式図である。 図８は、孔付透光性部材の貫通孔に封止剤を充填する状態を示す模式図である。 図９は、孔付透光性部材の貫通孔の作用を説明するための断面模式図である。 図１０は、本発明の実施の形態２にかかる実装構造を備えた撮像ユニットの一構成例を示す模式図である。 図１１は、図１０に示す撮像ユニットのＡ−Ａ線断面模式図である。 図１２は、本発明の実施の形態２にかかる撮像ユニットの孔付透光性部材の一構成例を示す模式図である。 図１３は、本発明の実施の形態２にかかる撮像ユニットの製造方法の一例を示すフローチャートである。 図１４は、プリント配線基板に孔付透光性部材を接着した状態を示す断面模式図である。 図１５は、撮像ユニットの内部空間の気体を置換する状態を示す模式図である。 図１６は、撮像ユニットの内部空間の気体置換処理における気体の流れの一例を示す断面模式図である。 図１７は、本発明の実施の形態１における孔付透光性部材の一変形例を示す模式図である。 図１８は、本発明の実施の形態２における孔付透光性部材の一変形例を示す模式図である。 図１９は、孔付透光性部材の貫通孔を閉塞する閉塞部材の変形例１を示す模式図である。 図２０は、孔付透光性部材の貫通孔を閉塞する閉塞部材の変形例２を示す模式図である。 図２１は、貫通孔部分の溶解処理によって貫通孔を閉塞する状態を示す模式図である。 図２２は、孔付透光性部材における貫通孔の断面形状の一変形例を示す断面模式図である。

以下、図面を参照して、本発明にかかる撮像ユニットの実装構造および製造方法の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１にかかる実装構造を備えた撮像ユニットの一構成例を示す模式図である。図２は、図１に示す撮像ユニットのＡ−Ａ線断面模式図である。図１，２に示すように、この実施の形態１にかかる撮像ユニット１は、被写体の画像を撮像する固体撮像素子２と、固体撮像素子２をフリップチップ実装するプリント配線基板３と、固体撮像素子２とプリント配線基板３とを固定する接着剤４と、この固体撮像素子２に対して被写体からの光の透過する孔付透光性部材５と、孔付透光性部材５とプリント配線基板３とを固定する接着剤６と、孔付透光性部材５に形成された貫通孔５ａを閉塞する封止剤７とを備える。

固体撮像素子２は、ＣＣＤまたはＣＭＯＳイメージセンサ等に例示されるベアチップ状の半導体素子であり、被写体からの光を受光して被写体の画像を撮像する撮像機能を有する。具体的には、固体撮像素子２は、サブストレート等のチップ基板上に、被写体からの光を受光する受光部２ａと、撮像動作を実行するための駆動回路が形成された駆動回路部２ｂと、駆動回路部２ｂと電気的に接続された複数の突起電極２ｃとを備える。

受光部２ａは、格子形状等の所定の形状に配置される画素群およびマイクロレンズ等を用いて実現される。受光部２ａは、固体撮像素子２のチップ基板上の所定位置に形成され、駆動回路部２ｂは、この受光部２ａの周辺に形成される。

複数の突起電極２ｃの各々は、固体撮像素子２のチップ基板に形成された配線（図示せず）を介して駆動回路部２ｂと電気的に接続された複数の電極パッドの各々に形成される。これら複数の電極パッド（図示せず）は、例えばチップ基板の対向する２辺または４辺等、駆動回路部２ｂの周辺に形成される。

上述したような構成を有する固体撮像素子２は、プリント配線基板３上にフリップチップ実装される。具体的には、図２に示すように、固体撮像素子２は、プリント配線基板３の実装面に塗布された接着剤４を介し、プリント配線基板３の開口部３ａと受光部２ａとを対向させてプリント配線基板３上にフリップチップ実装される。なお、このプリント配線基板３の実装面は、上述した固体撮像素子２の突起電極２ｃと電気的に接続される複数の電極パッドが形成された基板面である。

このようにプリント配線基板３に対して固体撮像素子２をフリップチップ実装することによって、固体撮像素子２は、プリント配線基板３に対して固定されるとともに、複数の突起電極２ｃは、プリント配線基板３の回路配線と電気的に接続される。このようなフリップチップ実装後の固体撮像素子２において、受光部２ａは、後述する孔付透光性部材５等を介して被写体からの光を受光し、この受光した光を光電変換処理する。駆動回路部２ｂは、受光部２ａによって光電変換処理された信号をもとに被写体の画像信号を生成し、この生成した画像信号を複数の突起電極２ｃを介してプリント配線基板３側に出力する。

プリント配線基板３は、上述した固体撮像素子２の撮像機能を実現するための回路および配線がパターン形成された単層構造または多層構造の回路基板である。また、プリント配線基板３には、図２に示すように、固体撮像素子２の受光部２ａに対応して開口部３ａが形成され、開口部３ａの周辺には、このパターン形成された配線を介して回路と電気的に接続された複数の電極パッド（図示せず）が形成される。

開口部３ａは、固体撮像素子２の受光部２ａに対応して設計された開口寸法、すなわち、受光部２ａの大きさに対して所定以上に大きい開口寸法を有し、この受光部２ａに対する被写体からの光の入射を可能にする。なお、このような開口部３ａを有するプリント配線基板３の実装面には、上述したように、受光部２ａと開口部３ａとを対向させた態様で固体撮像素子２がフリップチップ実装される。

なお、プリント配線基板３は、外力の印加によって容易に変形可能である柔軟なフレキシブル回路基板であってもよいし、フレキシブル回路基板に比して変形し難いリジッド回路基板であってもよい。また、プリント配線基板３の材質は、ガラス繊維強化エポキシまたはポリイミド等の樹脂であってもよいし、セラミックまたは金属であってもよい。

接着剤４は、上述した固体撮像素子２とプリント配線基板３とを確実に固定するためのものであり、例えば、エポキシ系、フェノール系、シリコン系、ウレタン系またはアクリル系等の絶縁性接着剤である。

このような接着剤４は、図２に示すように、固体撮像素子２の実装面（すなわち突起電極２ｃが形成された基板面）とプリント配線基板３の実装面との間に介在し、この固体撮像素子２の周囲に沿って裾野形状を形成した状態で硬化される。この結果、接着剤４は、固体撮像素子２とプリント配線基板３とを接着して、固体撮像素子２とプリント配線基板３との実装強度、すなわち、固体撮像素子２の各突起電極２ｃとプリント配線基板３の各電極パッドとの接合強度を所定の規定強度以上にする。また、接着剤４は、このような固体撮像素子２とプリント配線基板３との間隙を閉塞することによって、この間隙を介しての受光部２ａへの異物混入および不要光の入射を防止する。

なお、接着剤４は、上述した絶縁性接着剤に限定されず、異方導電性接着剤であってもよい。この場合、接着剤４は、上述した固体撮像素子２のフリップチップ実装において、固体撮像素子２とプリント配線基板３とを接着するとともに、このフリップチップ実装された固体撮像素子２の各突起電極２ｃとプリント配線基板３の各電極パッドとを各々電気的に接続する。

孔付透光性部材５は、所定の位置に貫通孔５ａが形成された透光性部材であり、被写体からの光に対して透明なガラス、アクリル等の樹脂、ローパスフィルタ、ＩＲカットフィルタ、レンズまたはプリズム等の光学部材を用いて実現される。

図３は、本発明の実施の形態１にかかる撮像ユニットの孔付透光性部材の一構成例を示す模式図である。なお、図３には、図２の方向Ｂから見た孔付透光性部材５が模式的に示されている。図２，３に示すように、孔付透光性部材５は、接着剤６を介してプリント配線基板３に接着する接着領域Ｃ１と、プリント配線基板３に接着された状態において開口部３ａと対向する透光領域Ｃ２とを有する。接着領域Ｃ１は、プリント配線基板３に孔付透光性部材５を接着する際に接着剤６を行き渡らせる領域である。一方、透光領域Ｃ２は、プリント配線基板３にフリップチップ実装された状態の固体撮像素子２の受光部２ａに向けて被写体からの光を透過する領域である。

また、孔付透光性部材５には、上述したように貫通孔５ａが形成される。貫通孔５ａは、図２，３に示すように、孔付透光性部材５の接着領域Ｃ１によって囲まれる領域の内側であって、透光領域Ｃ２の外側に形成される。より具体的には、貫通孔５ａは、この接着領域Ｃ１と透光領域Ｃ２とによって挟まれた矩形の狭間領域の隅部に形成される。

このような貫通孔５ａは、接着剤６を介してプリント配線基板３に孔付透光性部材５を接着する際、図２に示す撮像ユニット１の内部空間１０と撮像ユニット１の外部空間とを連通する連通孔として機能する。ここで、内部空間１０は、図２に示すように、フリップチップ実装後の固体撮像素子２（具体的には固体撮像素子２および接着剤４）と、プリント配線基板３と、孔付透光性部材５と、接着剤６とによって囲まれる中空空間である。すなわち、貫通孔５ａは、接着剤６を介してプリント配線基板３に孔付透光性部材５を接着する際に、この内部空間１０に連通して内部空間１０の圧力の上昇を抑制する。

なお、このような貫通孔５ａを有する孔付透光性部材５は、接着剤６を介してプリント配線基板３に接着することによって、固体撮像素子２の受光部２ａへの光透過性を損なうことなく、プリント配線基板３の開口部３ａを閉じる。

接着剤６は、プリント配線基板３に孔付透光性部材５を固定するためのものである。具体的には、接着剤６は、上述したプリント配線基板３における固体撮像素子２の実装面とは反対側の基板面に、開口部３ａを囲むように塗布される。このように塗布された接着剤６は、この基板面と孔付透光性部材５の接着領域Ｃ１との間に介在し、この孔付透光性部材５によって押圧される。この結果、基板面上の接着剤６は、接着領域Ｃ１の全てに行き渡り、最終的に、孔付透光性部材５の外周部分に裾野形状を形成しつつ無端状になって、開口部３ａを包囲する。その後、この無端状の接着剤６は、紫外線照射処理等によって硬化され、この結果、プリント配線基板３の基板面と孔付透光性部材５の接着領域Ｃ１とを接着、固定する。

封止剤７は、孔付透光性部材５の貫通孔５ａを少なくとも液密に閉塞する閉塞部材として機能する。具体的には、封止剤７は、図１に示すように、貫通孔５ａの内部に充填され、その後、所定の硬化処理によって硬化される。このように硬化された封止剤７は、気密且つ液密に貫通孔５ａを閉塞し、この結果、撮像ユニット１の内部空間１０（図２参照）は、撮像ユニット１の外部空間に対して気密且つ液密に密閉される。このような封止剤７は、貫通孔５ａを介しての内部空間１０（具体的には受光部２ａ）への異物混入および液体浸入を防止する。

なお、封止剤７は、エポキシ系、フェノール系、シリコン系、ウレタン系またはアクリル系等の熱硬化型の封止剤であってもよいし、紫外線硬化型の封止剤であってもよいが、いずれの場合であっても、貫通孔５ａから内部空間１０側へ液垂れしない程度に高い粘性を有することが望ましい。

つぎに、本発明の実施の形態１にかかる撮像ユニット１の製造方法について説明する。図４は、本発明の実施の形態１にかかる撮像ユニットの製造方法の一例を示すフローチャートである。図５は、プリント配線基板に固体撮像素子をフリップチップ実装する状態を示す模式図である。図６は、プリント配線基板に孔付透光性部材を接着する状態を示す模式図である。図７は、プリント配線基板に接着した後の孔付透光性部材の貫通孔部分を示す断面模式図である。図８は、孔付透光性部材の貫通孔に封止剤を充填する状態を示す模式図である。

本発明の実施の形態１にかかる撮像ユニット１を製造する場合、図４に示すように、まず、固体撮像素子２の突起電極２ｃを形成する（ステップＳ１０１）。このステップＳ１０１において、固体撮像素子２のチップ基板に形成された各電極パッドに、ワイヤボンディング方式、めっき方式、または印刷方式等の所定の形成方式によって、突起電極２ｃを形成する。

なお、突起電極２ｃは、ワイヤボンディング方式によって形成された金または銅等のスタッドバンプであってもよいし、めっき方式によって形成された金、銀、銅、インジウムまたは半田等の金属バンプであってもよい。また、突起電極２ｃは、金属ボールまたは表面に金属めっきを施した樹脂ボールであってもよいし、印刷等によってパターン形成された導電性接着剤であってもよい。

つぎに、上述したように突起電極２ｃが形成された固体撮像素子２をプリント配線基板３に実装する（ステップＳ１０２）。このステップＳ１０２において、接着剤４を介してプリント配線基板３の実装面に固体撮像素子２をフリップチップ実装する。

具体的には、まず、プリント配線基板３の実装面に、開口部３ａを囲むように適量の接着剤４を塗布する。続いて、図５に示すように、プリント配線基板３の開口部３ａと固体撮像素子２の受光部２ａ（図２参照）とを対向させて、プリント配線基板３上の接着剤４に固体撮像素子２を接着する。この場合、接着剤４が塗布されたプリント配線基板３の実装面に固体撮像素子２を押し付けて、プリント配線基板３の各電極パッド（図示せず）に突起電極２ｃを電気的に接続する。その後、熱圧着処理、超音波処理、または紫外線照射処理等の所定の硬化処理を行って接着剤４を硬化し、これによって、接着剤４を介してプリント配線基板３の実装面と固体撮像素子２とを接着、固定する。

つぎに、上述したように固体撮像素子２を実装した後のプリント配線基板３に、孔付透光性部材５を接着するための接着剤６を塗布する（ステップＳ１０３）。このステップＳ１０３において、まず、プリント配線基板３の実装面とは反対側の基板面、すなわち、固体撮像素子２が実装されていない側の基板面を上方に向け、この基板面に、開口部３ａを囲むように接着剤６を塗布する。これによって、接着剤６は、例えば図６に示すように、開口部３ａの周囲に無端状に塗布される。

続いて、この塗布した接着剤６を介してプリント配線基板３に孔付透光性部材５を接着する（ステップＳ１０４）。このステップＳ１０４において、図６に示すように、プリント配線基板３上の接着剤６に対して孔付透光性部材５の接着領域Ｃ１（図３参照）を面的に押圧する。これによって、この接着領域Ｃ１の全域に接着剤６を行き渡らせて、プリント配線基板３と孔付透光性部材５とを接着する。この場合、プリント配線基板３と孔付透光性部材５との間に介在する接着剤６は、孔付透光性部材５の外周部分に裾野形状を形成しつつ無端状になって、開口部３ａを包囲する。

ここで、上述したようにプリント配線基板３に接着した孔付透光性部材５の貫通孔５ａは、図７に示すように、プリント配線基板３の開口部３ａと対向しない状態であり、且つ、内部空間１０に連通する。なお、この内部空間１０は、固体撮像素子２とプリント配線基板３と孔付透光性部材５と接着剤４，６とによって囲まれた中空空間である。

その後、上述したようにプリント配線基板３と孔付透光性部材５との間に介在する接着剤６を硬化する（ステップＳ１０５）。このステップＳ１０５において、接着剤６は、例えば紫外線照射処理によって硬化する。この結果、プリント配線基板３の基板面と孔付透光性部材５の接着領域Ｃ１とは、接着剤６を介して固定される。

つぎに、プリント配線基板３上の孔付透光性部材５の貫通孔５ａを閉塞する（ステップＳ１０６）。このステップＳ１０６において、図８に示すように、孔付透光性部材５の貫通孔５ａの位置にディスペンサ１１の吐出口を合わせて、貫通孔５ａ内部に閉塞部材として機能する封止剤７を充填する。この場合、貫通孔５ａから内部空間１０に封止剤７が溢れ出ないようにディスペンサ１１を操作して、封止剤７の充填量（吐出量）を適量に調整する。その後、加熱処理または紫外線照射処理等を行って、貫通孔５ａ内の封止剤７を硬化する。この結果、封止剤７は、気密且つ液密に貫通孔５ａを閉塞する。

上述したステップＳ１０１〜Ｓ１０６の各製造工程を順次行うことによって、図１，２に示した実装構造を有する撮像ユニット１を製造することができる。このように製造された撮像ユニット１は、デジタルカメラおよびデジタルビデオカメラを始め、被検体の臓器内部を観察するための内視鏡、撮像機能を備えた携帯電話機等、各種態様の電子撮像装置に内蔵することができる。

ここで、上述したステップＳ１０４においてプリント配線基板３に孔付透光性部材５を接着する際の貫通孔５ａの作用について説明する。図９は、孔付透光性部材の貫通孔の作用を説明するための断面模式図である。なお、図９の破線矢印は、気体の流れを示す。

ステップＳ１０４においてプリント配線基板３に接着する孔付透光性部材５には、図３に示したように接着領域Ｃ１によって囲まれる領域内に貫通孔５ａが形成されている。このような貫通孔５ａは、図９に示すように、接着剤６を介してプリント配線基板３に孔付透光性部材５を接着すると同時に内部空間１０から気体を外部に排出し、これによって、内部空間１０の圧力上昇を抑制する。このような貫通孔５ａによる圧力抑制作用によって、プリント配線基板３に孔付透光性部材５を接着する際に過度な気体圧力が接着剤６に印加されることを防止でき、これによって、接着剤６に気泡が発生することを防止できる。

この結果、接着剤６内の気泡によるプリント配線基板３と孔付透光性部材５との接着強度の劣化を防止でき、これによって、撮像ユニット１の製造工程におけるプリント配線基板３と孔付透光性部材５との接着強度を規定の必要強度に維持でき、さらには、接着剤６内の気泡から派生した貫通孔からの異物混入の防止および撮像ユニット１の製造不良率の低減（歩留まり向上）を図ることができる。

以上、説明したように、本発明の実施の形態１では、固体撮像素子の受光部と対向するように形成されたプリント配線基板の開口部を囲む接着剤を介して、このプリント配線基板における固体撮像素子の実装面の反対側の基板面に、予め貫通孔を形成した孔付透光性部材を接着するようにし、且つ、このプリント配線基板の開口部を通して固体撮像素子の受光部と孔付透光性部材の透光領域と対向させるとともに、この貫通孔を包囲する孔付透光性部材の接着領域に、このプリント配線基板上の接着剤が無端状に行き渡るように構成した。

このため、接着剤を介してプリント配線基板と孔付透光性部材とを接着してプリント配線基板の開口部を閉じる際、固体撮像素子とプリント配線基板と孔付透光性部材と接着剤とによって囲まれる中空の内部空間と外部空間とを、この孔付透光性部材の貫通孔を介して連通させることができる。これによって、この貫通孔を通してこの内部空間から気体を排出して内部空間の圧力上昇を抑制しつつ、接着剤を介してプリント配線基板に孔付透光性部材を接着することができる。

これによって、プリント配線基板と孔付透光性部材との間の接着剤に過度な気体圧力が印加されることを防止して、この接着剤内部に気泡（ボイド）が発生することを防止できる。この結果、接着剤を介して容易にプリント配線基板と孔付透光性部材とを接着できるとともに、接着剤内の気泡から派生した貫通孔からの異物混入の防止と、撮像ユニットの製造工程におけるプリント配線基板と孔付透光性部材との接着強度の劣化とを防止でき、さらには、撮像ユニットの歩留まり向上を図ることができる。

また、本発明の実施の形態１では、孔付透光性部材において、接着領域の内側であって透光領域の外側に貫通孔を形成するように構成した。このため、この貫通孔を閉塞する封止材等の閉塞部材が孔付透光性部材の透光領域内に位置することがなく、この結果、貫通孔内部の閉塞部材に起因して、透光領域を通した固体撮像素子の受光部への光の入射が阻害されることを防止でき、固体撮像素子の撮像機能の阻害を防止できる。

（実施の形態２）
つぎに、本発明の実施の形態２について説明する。上述した実施の形態１では、孔付透光性部材５に単一の貫通孔５ａが形成されていたが、この実施の形態２では、孔付透光性部材に複数の貫通孔が形成され、これら複数の貫通孔を通して撮像ユニットの内部空間の気体を置換するようにしている。

図１０は、本発明の実施の形態２にかかる実装構造を備えた撮像ユニットの一構成例を示す模式図である。図１１は、図１０に示す撮像ユニットのＡ−Ａ線断面模式図である。図１０，１１に示すように、この実施の形態２にかかる撮像ユニット２１は、上述した実施の形態１にかかる撮像ユニット１の孔付透光性部材５に代えて、予め複数の貫通孔５ａ〜５ｄが形成された孔付透光性部材２５を備える。その他の構成は実施の形態１と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。

孔付透光性部材２５は、予め複数（例えば４つ）の貫通孔５ａ〜５ｄが形成された透光性部材であり、これら４つの貫通孔５ａ〜５ｄが形成されたこと以外、上述した実施の形態１における孔付透光性部材５と同様である。

図１２は、本発明の実施の形態２にかかる撮像ユニットの孔付透光性部材の一構成例を示す模式図である。なお、図１２には、図１１の方向Ｂから見た孔付透光性部材２５が模式的に示されている。図１１，１２に示すように、孔付透光性部材２５は、実施の形態１における孔付透光性部材５と同様に接着領域Ｃ１および透光領域Ｃ２を有する。

また、孔付透光性部材２５には、上述したように４つの貫通孔５ａ〜５ｄが形成される。４つの貫通孔５ａ〜５ｄの各々は、図１２に示すように、孔付透光性部材２５の接着領域Ｃ１によって囲まれる領域内であって、透光領域Ｃ２の外側に形成される。より具体的には、貫通孔５ａ〜５ｄの各々は、この接着領域Ｃ１と透光領域Ｃ２とによって挟まれた矩形の狭間領域の隅部に形成される。

これら４つの貫通孔５ａ〜５ｄは、接着剤６を介してプリント配線基板３に孔付透光性部材２５を接着する際、上述した実施の形態１における貫通孔５ａの場合と同様に、図１１に示す撮像ユニット２１の内部空間１０と撮像ユニット２１の外部空間とを連通する連通孔として機能する。すなわち、貫通孔５ａ〜５ｄは、接着剤６を介してプリント配線基板３に孔付透光性部材２５を接着する際に、この内部空間１０に連通して内部空間１０の圧力の上昇を抑制する。

さらに、これら４つの貫通孔５ａ〜５ｄは、撮像ユニット２１の内部空間１０の気体置換処理を可能にする通気口として各々機能する。具体的には、貫通孔５ａ〜５ｄのうちの一つ、例えば貫通孔５ａは、例えば不活性ガス等の所定の気体を内部空間１０に注入するための注入口であり、残りの貫通孔５ｂ，５ｃ，５ｄは、この内部空間１０から気体を排出する排気口である。

なお、これら４つの貫通孔５ａ〜５ｄにおける注入口と排気口との関係は、上述したものに限定されない。すなわち、貫通孔５ｂ，５ｃ，５ｄのうちのいずれかを注入口にし、貫通孔５ａを含む残りの貫通孔を排気口にしてもよい。

このような４つの貫通孔５ａ〜５ｄを有する孔付透光性部材２５は、実施の形態１の場合と同様に接着剤６を介してプリント配線基板３に接着することによって、固体撮像素子２の受光部２ａへの光透過性を損なうことなく、プリント配線基板３の開口部３ａを閉じる。

なお、この実施の形態２において、封止剤７は、上述した孔付透光性部材２５の貫通孔５ａ〜５ｄを少なくとも液密に閉塞する閉塞部材として機能する。具体的には、封止剤７は、図１０に示すように、貫通孔５ａ〜５ｄの各内部に充填され、その後、所定の硬化処理によって硬化される。

このように硬化された封止剤７は、気密且つ液密に貫通孔５ａ〜５ｄの各々を閉塞し、この結果、撮像ユニット２１の内部空間１０（図１１参照）は、撮像ユニット２１の外部空間に対して気密且つ液密に密閉される。このような封止剤７は、貫通孔５ａ〜５ｄを介しての内部空間１０（具体的には受光部２ａ）への異物混入および液体浸入を防止する。

つぎに、本発明の実施の形態２にかかる撮像ユニット２１の製造方法について説明する。図１３は、本発明の実施の形態２にかかる撮像ユニットの製造方法の一例を示すフローチャートである。図１４は、プリント配線基板に孔付透光性部材を接着した状態を示す断面模式図である。図１５は、撮像ユニットの内部空間の気体を置換する状態を示す模式図である。図１６は、撮像ユニットの内部空間の気体置換処理における気体の流れの一例を示す断面模式図である。

本発明の実施の形態２にかかる撮像ユニット１を製造する場合、図１３に示すように、まず、実施の形態１におけるステップＳ１０１と同様に固体撮像素子２の突起電極２ｃを形成し（ステップＳ２０１）、次いで、実施の形態１におけるステップＳ１０２と同様にプリント配線基板３に固体撮像素子２を実装する（ステップＳ２０２）。

つぎに、実施の形態１におけるステップＳ１０３と同様にプリント配線基板３に接着剤６を塗布し（ステップＳ２０３）、次いで、実施の形態１におけるステップＳ１０４と同様に、接着剤６を介してプリント配線基板３に孔付透光性部材２５を接着する（ステップＳ２０４）。

このステップＳ２０４において、孔付透光性部材２５における４つの貫通孔５ａ〜５ｄは、図１４に示すように、プリント配線基板３の開口部３ａと対向しない状態であり、且つ、内部空間１０に連通する。なお、この内部空間１０は、固体撮像素子２とプリント配線基板３と孔付透光性部材２５と接着剤４，６とによって囲まれた中空空間である。

その後、実施の形態１におけるステップＳ１０５と同様に、プリント配線基板３と孔付透光性部材５との間に介在する接着剤６を硬化し（ステップＳ２０５）、次いで、固体撮像素子２とプリント配線基板３と孔付透光性部材２５と接着剤４，６とによって囲まれた内部空間１０の気体を所定の気体に置換する（ステップＳ２０６）。

具体的には、このステップＳ２０６において、図１５に示すように、注入口としての貫通孔５ａから不活性ガスを注入するとともに、排気口としての貫通孔５ｂ，５ｃ，５ｄから内部空間１０の気体を排出して、この内部空間１０の気体置換処理を行う。

ここで、この気体置換処理において、貫通孔５ａから注入された不活性ガスは、図１６に示すように、接着剤４，６の内壁面および固体撮像素子２の受光部２の表面等、開口部３ａを介して内部空間１０の全域に隈なく行き渡り、最終的に、内部空間１０に充満する。一方、最初に内部空間１０を充満していた空気等の気体は、この貫通孔５ａからの不活性ガスによって押し流されて、貫通孔５ｂ，５ｃ，５ｄを介して内部空間１０から排出される。

このような貫通孔５ａからの不活性ガスの注入処理および貫通孔５ｂ，５ｃ，５ｄからの排気処理を十分行うことによって、内部空間１０の気体は、不活性ガスに置換される。これと同時に、内部空間１０に存在していた異物は、受光部２ａの表面等から吹き飛ばされ、最終的に、貫通孔５ｂ，５ｃ，５ｄを介して内部空間１０から排出される。

その後、実施の形態１におけるステップＳ１０６と同様に、プリント配線基板３上の孔付透光性部材２５における全ての貫通孔５ａ〜５ｄを閉塞する（ステップＳ２０７）。このステップＳ２０７において、図８に示したディスペンサ１１等の所定の装置を用い、実施の形態１の場合と同様の手法によって、孔付透光性部材２５の貫通孔５ａ〜５ｄの各内部に封止剤７を充填し、充填後の封止剤７を硬化する。この結果、封止剤７は、気密且つ液密に貫通孔５ａ〜５ｄを閉塞する。

上述したステップＳ２０１〜Ｓ２０７の各製造工程を順次行うことによって、図１０，１１に示した実装構造を有する撮像ユニット２１を製造することができる。このように製造された撮像ユニット２１は、デジタルカメラおよびデジタルビデオカメラを始め、被検体の臓器内部を観察するための内視鏡、撮像機能を備えた携帯電話機等、各種態様の電子撮像装置に内蔵することができる。

ここで、ステップＳ２０４においてプリント配線基板３に接着する孔付透光性部材２５には、図１２に示したように接着領域Ｃ１によって囲まれる領域内に貫通孔５ａ〜５ｄが形成されている。これらの貫通孔５ａ〜５ｄは、上述した実施の形態１の場合と同様に、接着剤６を介してプリント配線基板３に孔付透光性部材２５を接着すると同時に内部空間１０から気体を外部に排出し、これによって、内部空間１０の圧力上昇を抑制する。この結果、実施の形態１の場合と同様に、プリント配線基板３に孔付透光性部材５を接着する際に過度な気体圧力が接着剤６に印加されることを防止でき、これによって、接着剤６に気泡が発生することを防止できる。

また、これらの貫通孔５ａ〜５ｄは、図１６に示したように、内部空間１０への不活性ガスの注入処理および内部空間１０の排気処理を可能にし、これによって、内部空間１０の当初の気体を不活性ガスに置換することができる。この結果、排気しつつ内部空間１０から異物を除去できるとともに、内部空間１０の湿度および酸素濃度を低減することができ、これによって、受光部２ａ等の酸化または結露に起因する固体撮像素子２の機能劣化を防止することができる。

以上、説明したように、本発明の実施の形態２では、固体撮像素子の受光部と対向するように形成されたプリント配線基板の開口部を囲む接着剤を介して、このプリント配線基板における固体撮像素子の実装面の反対側の基板面に、予め複数の貫通孔を形成した孔付透光性部材を接着するようにし、且つ、これら複数の貫通孔を包囲する孔付透光性部材の接着領域に、このプリント配線基板上の接着剤が無端状に行き渡るようにし、その他を実施の形態１と同様に構成した。

このため、上述した実施の形態１の場合と同様の作用効果を享受するとともに、固体撮像素子とプリント配線基板と孔付透光性部材と接着剤とによって囲まれる中空の内部空間と外部空間とを、この孔付透光性部材における複数の貫通孔を介して連通させることができ、これによって、この内部空間の気体を、不活性ガス等の当初の内部気体に比して低湿度且つ低酸素濃度の気体に置換できる。これによって、実施の形態１の場合と同様にプリント配線基板と孔付透光性部材との間の接着剤内部に気泡が発生することを防止できるとともに、この内部空間の湿度および酸素濃度を低減でき、この結果、受光部の酸化または結露等による固体撮像素子の機能劣化を防止できる。

また、本発明の実施の形態２では、孔付透光性部材において、接着領域の内側であり且つ透光領域の外側である矩形の狭間領域の四隅に貫通孔を形成しているので、不活性ガスの注入口としての貫通孔と排気口としての貫通孔との離間距離を可能な限り大きくすることができる。これによって、撮像ユニットの内部空間に不活性ガスを隅々まで行き渡らせることができ、この結果、この内部空間に不活性ガスを容易に充満させて、この内部空間の湿度および酸素濃度を容易に低減できる。

なお、上述した実施の形態１，２では、孔付透光性部材において、接着領域Ｃ１と透光領域Ｃ２とに挟まれた矩形の狭間領域の隅部分に貫通孔が形成されていたが、これに限らず、孔付透光性部材の貫通孔は、接着領域Ｃ１によって囲まれる内側の領域に形成されればよく、例えば、透光領域Ｃ２内に形成されてもよい。この場合、透光領域Ｃ２内の貫通孔は、孔付透光性部材と同様の光学特性（屈折率等）を有する閉塞部材によって閉塞すればよい。

また、上述した実施の形態１では、孔付透光性部材５において、接着領域Ｃ１と透光領域Ｃ２とに挟まれた矩形の狭間領域の隅部分に貫通孔５ａが形成されていたが、これに限らず、貫通孔５ａは、例えば図１７に示すように、この狭間領域の辺部分に形成されてもよい。

さらには、孔付透光性部材５における接着領域Ｃ１と透光領域Ｃ２との狭間領域は、上述した矩形の領域に限らず、環形状等の所望の形状の領域であってもよい。また、孔付透光性部材５には、複数の貫通孔が形成されてもよい。

一方、上述した実施の形態２では、孔付透光性部材２５において、接着領域Ｃ１と透光領域Ｃ２とに挟まれた矩形の狭間領域の隅部分に貫通孔５ａ〜５ｄが形成されていたが、これに限らず、複数の貫通孔が孔付透光性部材に形成されていればよい。例えば図１８に示すように、孔付透光性部材２５における接着領域Ｃ１と透光領域Ｃ２との狭間領域の隅部分に、２つの貫通孔５ａ，５ｂが形成されてもよい。この場合、気体の注入口としての貫通孔５ａと排気口としての貫通孔５ｂとの離間距離Ｄは、可能な限り大きいことが望ましい。何故ならば、離間距離Ｄが大きいほど、上述した内部空間１０の気体を容易且つ確実に置換できるからである。

さらには、孔付透光性部材２５における接着領域Ｃ１と透光領域Ｃ２との狭間領域は、上述した矩形の領域に限らず、環形状等の所望の形状の領域であってもよい。また、孔付透光性部材２５に形成される貫通孔の数量は、複数に限らず、単一であってもよい。この場合、孔付透光性部材２５における単一の貫通孔を介して、上述した内部空間１０の気体を吸引し、内部空間１０を十分に減圧状態（例えば真空状態）にし、その後、この単一の貫通孔を介して内部空間１０に不活性ガス等の所定の気体を注入すれば、上述した実施の形態２の場合と同様の気体置換処理を達成できる。

また、上述した実施の形態２では、撮像ユニット２１の内部空間１０の気体を不活性ガスに置換していたが、これに限らず、ハロゲンガス、ドライエアー、窒素ガス等の少なくとも空気に比して低湿度の気体であればよい。あるいは、上述したステップＳ２０６において内部空間１０の気体を吸引し、内部空間１０を減圧状態（例えば真空状態）にしてもよい。

さらに、上述した実施の形態１，２では、孔付透光性部材の貫通孔に樹脂等の封止剤を充填して、液密且つ気密に貫通孔を閉塞していたが、これに限らず、充填タイプ以外の閉塞部材によって孔付透光性部材の貫通孔を閉塞してもよい。

図１９は、孔付透光性部材の貫通孔を閉塞する閉塞部材の変形例１を示す模式図である。図２０は、孔付透光性部材の貫通孔を閉塞する閉塞部材の変形例２を示す模式図である。孔付透光性部材５，２５の貫通孔（例えば貫通孔５ａ）は、図１９に示すように、蓋タイプの閉塞部材１５によって液密且つ気密に閉塞されてもよいし、図２０に示すように、通気性および非透水性を有するフィルム状または繊維状の微多孔性部材等の通気非透水性部材１６によって液密に閉塞されてもよい。

ここで、図２０に示すように通気非透水性部材１６によって孔付透光性部材５，２５の貫通孔を閉塞した場合、撮像ユニット１，２１の内部空間１０と外部空間との通気性を維持しつつ、液密に内部空間１０を閉塞することができる。このため、内部空間１０の気体圧力と外気圧とを常時一定に保つことができ、これによって、撮像ユニット１，２１を使用する外部環境の気圧変化に合わせて、内部空間１０の気体圧力を容易に変化させることができる。この結果、例えば山頂等の高所に例示される低気圧環境または水中等の高気圧環境であっても、内部空間１０の気体圧力と外気圧とを一定に保つことができ、これによって、内部空間１０の気体の膨張または収縮に起因する撮像ユニット（具体的には孔付透光性部材、固体撮像素子、プリント配線基板等）の反りを抑制することができる。

また、上述した実施の形態１，２では、孔付透光性部材の貫通孔に樹脂等の封止剤を充填して貫通孔を閉塞していたが、これに限らず、加熱処理等によって貫通孔部分を溶解して貫通孔を閉塞してもよい。図２１は、貫通孔部分の溶解処理によって貫通孔を閉塞する状態を示す模式図である。図２１に示すように、孔付透光性部材５，２５の貫通孔（例えば貫通孔５ａ）の周囲に加熱溶解可能な突起部１７を形成し、加熱装置によって突起部１７を溶接して貫通孔を閉塞してもよい。この場合、孔付透光性部材５，２５の突起部１７の材質は、ケイ酸塩ガラス等の通常のガラスに比して融点が低いプラスチック等の光学部材であることが望ましい。

さらに、上述した実施の形態１，２では、孔付透光性部材の貫通孔を閉塞していたが、これに限らず、孔付透光性部材の貫通孔を閉塞しなくてもよい。この場合、固体撮像素子の受光部への光の入射が可能な窓が形成された筐体等の所定の構造体の内部に、本発明にかかる撮像ユニット自体を少なくとも液密に収納すればよい。

また、上述した実施の形態１，２では、孔付透光性部材の貫通孔の形状が円筒形状であったが、これに限らず、孔付透光性部材の貫通孔の形状は、矩形状または楕円形状等の所望の形状であってもよい。さらに、この貫通孔の断面形状は、図２等に例示したような出入り口の径が同様のものに限らず、テーパ形状であってもよい。例えば図２２に示すように、孔付透光性部材５，２５の貫通孔（例えば貫通孔５ａ）の断面形状は、内部空間１０側から外側に向けて広口になるテーパ形状であってもよい。これによって、上述した封止剤７等の閉塞部材を貫通孔に充填する場合にディスペンサの吐出口と貫通孔との位置あわせを容易に行えるようになり、貫通孔の閉塞工程を容易に行うことができる。さらには、貫通孔から置換用の気体を内部空間１０に容易に注入できるようになる。

一方、孔付透光性部材５，２５の貫通孔（例えば貫通孔５ａ）の断面形状は、図２２に示したものとは逆に、外側から内部空間１０側に向けて広口になるテーパ形状であってもよい。さらには、孔付透光性部材に複数の貫通孔が形成される場合、これら複数の貫通孔は、断面形状が全て同様のテーパ形状のものであってもよいし、異なる態様のテーパ形状を組み合わせたものであってもよいし、断面がテーパ形状であるものとテーパ形状以外であるものとの組み合わせであってもよい。

なお、断面がテーパ形状の貫通孔を孔付透光性部材に形成する場合、外側が広口のテーパ形状（図２２参照）の貫通孔を気体の注入口とし、内部空間１０側が広口のテーパ形状の貫通孔を排気口にすることが望ましい。これによって、内部空間１０に対する気体の注入および排気が容易になり、この結果、内部空間１０の気体を容易に置換することができる。

一方、上述した実施の形態２では、孔付透光性部材２５における４つの貫通孔５ａ〜５ｄのうちの一つを気体の注入口とし、残りを排気口にしていたが、これに限らず、孔付透光性部材２５に形成された複数の貫通孔のうちの１以上の貫通孔を気体の注入口とし、この注入口以外の残りの貫通孔を排気口にしてもよい。

また、上述した実施の形態１，２では、プリント配線基板と孔付透光性部材とを接着する接着剤６が、紫外線照射処理によって硬化する紫外線硬化型の接着剤であったが、これに限らず、上述した接着剤６は、エポキシ系、フェノール系、シリコン系、ウレタン系またはアクリル系等の熱硬化型の接着剤であってもよい。

以上のように、本発明にかかる撮像ユニットの実装構造および製造方法は、接着剤を介するプリント配線基板と透光性部材との接着に有用であり、特に、プリント配線基板と透光性部材との間に介在する接着剤内部の気泡発生を抑制して、プリント配線基板と透光性部材との接着強度の劣化を防止できる撮像ユニットの実装構造および製造方法に適している。

１，２１ 撮像ユニット
２ 固体撮像素子
２ａ 受光部
２ｂ 駆動回路部
２ｃ 突起電極
３ プリント配線基板
３ａ 開口部
４，６ 接着剤
５，２５ 孔付透光性部材
５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ 貫通孔
７ 封止剤
１０ 内部空間
１１ ディスペンサ
１５ 閉塞部材
１６ 通気非透水性部材
１７ 突起部
Ｃ１ 接着領域
Ｃ２ 透光領域

Claims (11)

1. 固体撮像素子の受光部に対応して開口部が形成され、前記受光部と前記開口部とを対向させて前記固体撮像素子を実装面に実装するプリント配線基板と、
   前記プリント配線基板の前記実装面とは反対側の基板面に塗布され、前記開口部を囲む接着剤と、
   前記接着剤を介して前記プリント配線基板に接着する当該透光性部材の接着領域によって囲まれる領域の内側に貫通孔が形成され、前記接着領域に前記接着剤を行き渡らせて前記プリント配線基板に接着する透光性部材と、
   を備えたことを特徴とする撮像ユニットの実装構造。
2. 少なくとも液密に前記貫通孔を閉塞する閉塞部材をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の撮像ユニットの実装構造。
3. 前記閉塞部材は、非透水性を有する微多孔性部材であることを特徴とする請求項２に記載の撮像ユニットの実装構造。
4. 前記貫通孔は、前記開口部を介して前記受光部と対向する前記透光性部材の透光領域の外側に形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の撮像ユニットの実装構造。
5. 前記貫通孔の断面形状は、テーパ形状であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の撮像ユニットの実装構造。
6. 前記貫通孔は、前記透光性部材に複数形成されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の撮像ユニットの実装構造。
7. 複数の前記貫通孔のうちの１以上の貫通孔は、実装後の前記固体撮像素子と前記プリント配線基板と前記接着剤と前記透光性部材とによって囲まれる中空空間に所定の気体を注入する注入口であり、
   前記１以上の貫通孔を除く残りの貫通孔は、前記中空空間の排気口であることを特徴とする請求項６に記載の撮像ユニットの実装構造。
8. 固体撮像素子の受光部に対応してプリント配線基板に形成された開口部と前記受光部とを対向させて、前記プリント配線基板の実装面に前記固体撮像素子を実装する実装ステップと、
   前記プリント配線基板の前記実装面とは反対側の基板面に、前記開口部を囲むように接着剤を塗布する塗布ステップと、
   貫通孔が形成された透光性部材を、前記貫通孔を囲む前記透光性部材の接着領域に前記接着剤を行き渡らせて前記プリント配線基板に接着する接着ステップと、
   を含むことを特徴とする撮像ユニットの製造方法。
9. 少なくとも液密に前記貫通孔を閉塞する閉塞ステップを含むことを特徴とする請求項８に記載の撮像ユニットの製造方法。
10. 前記貫通孔を介して、実装後の前記固体撮像素子と前記プリント配線基板と前記接着剤と接着後の前記透光性部材とによって囲まれる中空空間の気体を置換する置換ステップを含むことを特徴とする請求項８または９に記載の撮像ユニットの製造方法。
11. 前記置換ステップは、前記透光性部材に形成された複数の前記貫通孔のうちの１以上の貫通孔を介して前記中空空間に所定の気体を注入するとともに、前記１以上の貫通孔を除く残りの貫通孔を介して排気して、前記中空空間の気体を置換することを特徴とする請求項１０に記載の撮像ユニットの製造方法。

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