JP2011076032A

JP2011076032A - シャフト固定式摺動ステージ

Info

Publication number: JP2011076032A
Application number: JP2009230267A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Muramatsu; 洋明村松
Original assignee: Miruc Optical Co Ltd
Current assignee: Miruc Optical Co Ltd
Priority date: 2009-10-02
Filing date: 2009-10-02
Publication date: 2011-04-14
Anticipated expiration: 2029-10-02
Also published as: JP4610666B1

Abstract

【課題】スタンドに固定されたシャフトに対して強固に接続され、取り付けられた精密機器をスタンドに対して精度良く位置調整するシャフト固定式摺動ステージを提供する。
【解決手段】摺動部品５を固定部品６に対して摺動させ、精密機器をスタンドに対して位置調整する摺動ユニット２と、摺動ユニット２に連結され、シャフト１１を挿入させるシャフト挿入孔８を有する連結ブロック３と、回転ノブ１２と、シャフトが貫通されるシャフト貫通孔９を有する挿入部１３とを有し、クランプ挿入孔１０に挿入されるクランプノブ１２と、を備え、シャフトをシャフト貫通孔９に貫通させ、回転ノブ１２を締め込むことで摺動ユニット２をシャフトに固定する。
【選択図】図１

Description

本発明は、シャフト固定式摺動ステージに係り、特に、スタンドに固定されたシャフトに取付けられるシャフト固定式摺動ステージに関する。

ＣＣＤカメラやセンサなどの電機・電子機器、レンズや顕微鏡等の光学機器、ＬＥＤなどの照明機器といった精密機器は、取り付けに際し、位置決めやピント合わせのために位置調整しなければならない。また、取り付け後において、さらにその位置を微調整する場合も発生する。

これらの精密機器は、一般的に「ステージ」と称される機械要素上に設置されて位置調整される。このステージには、精密機器が取付けられる摺動部品と、スタンドに固定される固定部品とが摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を固定部品に対して手動で摺動させるアリ溝摺動ステージがある。このアリ溝摺動ステージには、その摺動機構によりラックアンドピニオンギア式アリ溝摺動ステージ、及び送りネジ式アリ溝摺動ステージがある。

図１３に、ラックアンドピニオンギア式アリ溝摺動ステージの一般的な構成を示す。また、図１４に、ラックアンドピニオンギア式アリ溝摺動ステージの内部構成を示す。図１４（ｂ）は、図１３のＡ−Ａ断面図であり、図１４（ａ）は、図１４（ｂ）をＢ−Ｂ方向から見た平面図であり、図１４（ｃ）は、図１４（ｂ）をＣ−Ｃ方向から見た平面図である。このラックアンドピニオンギア式アリ溝摺動ステージ１００は、台形状のアリ溝１０２を有する固定部品１０５に対し、台形状のアリ１０１を有する摺動部品１０４が移動可能に嵌合される。この固定部品１０５は、固定用孔１０６を有するベース１０８を介してスタンド（図示せず）に固定される。また、摺動部品１０４は、精密機器取付用孔１０７に挿入されるボルト（図示せず）を介して精密機器（図示せず）に接続される。図１４に示すように、この摺動部品１０４は、ハンドル１０９を回転させることによりハンドル１０９に設けられたピニオンギア１１０が回転し、摺動部品１０４の裏面に設けられ、ピニオンギア１１０と係合するラック１１２が移動することで、図１３中の矢印の方向に移動する。すなわち、この摺動機構により、ハンドル１０９の回転が摺動部品１０４の水平方向への移動に変換される。このように、ラックアンドピニオンギア式アリ溝摺動ステージ１００は、ハンドル１０９が摺動部品１０４の摺動方向に対して交差する方向に設けられるという特徴を有する。

図１５に、送りネジ式アリ溝摺動ステージの一般的な構成を示す。また、図１６に、送りネジ式アリ溝摺動ステージの内部構成を示す。図１６（ｂ）は、図１５のＤ−Ｄ断面図であり、図１６（ａ）は、図１５（ｂ）をＥ−Ｅ方向から見た平面図であり、図１６（ｃ）は、図１５（ｂ）をＦ−Ｆ方向から見た平面図である。送りネジ式アリ溝摺動ステージ２００は、台形状のアリ溝２０２を有する固定部品２０５に対し、台形状のアリ２０１を有する摺動部品２０４が移動可能に嵌合される。この固定部品２０５は、固定用孔２０６を有するベース２０８を介してスタンド（図示せず）に固定される。また、摺動部品２０４は、精密機器取付用孔２０７に挿入されるボルト（図示せず）を介して精密機器（図示せず）に接続される。図１６に示すように、摺動機構である雄ネジ棒２１０を雌ネジ筒２１１に係合させ、ハンドル２０９を回転させることで摺動部品２０４が固定部品２０５に対して摺動する。このように、送りネジ式アリ溝摺動ステージ２００は、ハンドル２０９が摺動部品２０４の摺動方向に対して同じ方向に設けられるという特徴を有する。

これらのアリ溝摺動ステージ１００，２００には、使用目的に応じて多様な形式がある。例えば、１方向に摺動するＸ軸アリ溝摺動ステージ、交差する２方向に摺動するＸＹ軸アリ溝摺動ステージ、上下方向に摺動するＺ軸アリ溝摺動ステージ、回転して摺動する回転ステージなどである。また、これらのアリ溝摺動ステージ１００，２００は、アリ溝摺動ステージ１００，２００の使用状況により、スタンドに固定されたシャフトに取り付けられる場合がある。

図１７に、顕微鏡などの光学機器に用いられる一般的な鏡筒調節機構を示す。顕微鏡などの光学機器では、スタンド（図示せず）に固定されたシャフト３１に鏡筒３８を取り付け、鏡筒３８を上下させることで焦点を合わせる鏡筒調節機構３９を備える。この鏡筒調節機構３９は、鏡筒３８を保持する鏡筒保持部３４及び鏡筒押えネジ３３を含む摺動部品３５、及び鏡筒３８を上下に摺動させるハンドル３７及びシャフト３１に固定させる固定ビス３２を含む固定部品３６がアリ溝摺動面４１を形成する。この鏡筒調節機構３９では、固定ビス３２を回転させることで、樹脂４２が埋め込まれたボルトの先端部をシャフト３１に押し付けて固定部品３６をシャフト３１に固定させる。

一方、特許文献１には、光波距離計用プリズム支持装置が開示されている。ここでは、測定点に立てるポールには、プリズムホルダが取り付けネジにより取り付けてあり、このプリズムホルダの前面に光波距離計用のプリズムと、上面に水準器とが取り付けてある。プリズムホルダは、取り付けネジを緩めることにより上下に移動可能で、プリズムの高さを調節することができる。

特開平６−２８１４６１号公報

従来の顕微鏡などの光学機器に用いられる、シャフトに固定する鏡筒調節機構は、固定ビスの樹脂が埋め込まれたボルトの先端部により固定部品をシャフトに固定させる。すなわち、固定ビスの樹脂を点接触でシャフトを押し付けて固定部品をシャフトに固定する機構である。そのため、振動などにより固定ビスによる固定度が低下する虞がある。

また、繰り返し鏡筒の調節を行うと、ボルトの先端部に埋め込まれた樹脂が磨耗し、ずれ易くなり鏡筒の位置精度が低下する虞がある。

本願の目的は、かかる課題を解決し、スタンドに固定されたシャフトに対して強固に接続され、取り付けられた精密機器をスタンドに対して精度良く位置調整するシャフト固定式摺動ステージを提供することである。

上記目的を達成するため、本発明に係るシャフト固定式摺動ステージは、アリを有する摺動部品を、ハンドル操作によりアリ溝を有する固定部品に対して摺動させ、摺動部品に取り付けられた精密機器をスタンドに対して位置調整する摺動ユニットと、摺動ユニットに連結され、スタンドに固定されたシャフトを挿入させるシャフト挿入孔を有する連結ブロックと、回転ノブと、シャフトが貫通されるシャフト貫通孔を有する挿入部とを有し、連結ブロックに設けられたクランプ挿入孔に挿入されるクランプノブと、を備え、シャフト挿入孔に挿入されたシャフトをさらに連結ブロック内に挿入されたクランプノブのシャフト貫通孔に貫通させ、回転ノブを締め込むことで摺動ユニットをシャフトに固定することを特徴とする。

上記構成により、シャフト固定式摺動ステージは、連結ブロックがシャフト挿入孔を有し、連結ブロックのクランプ挿入孔に挿入されるクランプノブがシャフト貫通孔を有する。このシャフト挿入孔及びシャフト貫通孔が重ね合わされ、そこにシャフトが挿入される。そして、このシャフトをクランプノブの回転ノブで締め込むことでシャフト固定式摺動ステージをシャフトに強固に固定することができる。

このように、連結ブロック及びクランプノブによりシャフトに対して強固に固定することで、重量がある摺動ユニットを連結ブロックに連結させ、ずれや撓みなどの不具合を発生させずに摺動ユニットを摺動させることが可能となる。

また、シャフト固定式摺動ステージは、クランプノブが、挿入部と回転ノブとがワッシャを介してボルト接合され、回転ノブを締め込むことでシャフト貫通孔を貫通しているシャフトを引き付けて、摺動ユニットをシャフトに固定することが好ましい。これにより、摺動ユニットをシャフトに対して面接触により強固に固定することができる。

また、シャフト固定式摺動ステージは、連結ブロックが立方体であり、摺動ユニットの摺動方向と交差する方向にクランプ挿入孔を有し、クランプ挿入孔と交差する他の２方向にシャフト挿入孔を有することが好ましい。これにより、シャフト固定式摺動ステージをシャフトの側方、或いはシャフトの上方の何れにも取り付けることができる。

また、シャフト固定式摺動ステージは、摺動ユニットが、摺動部品に設けられたラックと、ハンドルに設けられたピニオンギアとが係合する駆動機構を備えたラックアンドピニオン式摺動ユニット、又は、摺動部品に設けられた雌ネジ筒と、ハンドルに設けられた雄ネジ棒とが係合する駆動機構を備えた送りネジ式摺動ユニットのいずれかであることが好ましい。これにより、ハンドルが摺動部品の摺動方向に対して交差する方向に設けられるラックアンドピニオン式摺動ユニットと、ハンドルが摺動部品の摺動方向に対して同じ方向に設けられる送りネジ式摺動ユニットとの構造上の特性を生かして、ハンドルの向きを調整することができる。

また、シャフト固定式摺動ステージは、第１の摺動ユニットには、連結ブロックに連結される側と反対側において、第１の摺動ユニットと交差する方向に摺動する第２の摺動ユニットが連結されることが好ましい。これにより、第１の摺動ユニットに第２の摺動ユニットを連結させ、精密機器をシャフト上でＸＹ平面的に摺動させることができる。

また、シャフト固定式摺動ステージは、第１の摺動ユニット及び第２の摺動ユニットに、ラックアンドピニオン式摺動ユニットと送りネジ式摺動ユニットとを組み合わせることで、第１の摺動ユニットのハンドルと、第２の摺動ユニットのハンドルとが同じ方向に向けられることが好ましい。これにより、２方向に摺動するシャフト固定式摺動ステージのハンドルが同じ方向に向き、使用者の操作性を向上させることができる。

また、シャフト固定式摺動ステージは、第２の摺動ユニットには、第１の摺動ユニットに連結される方向と交差する方向に第３の摺動ユニットが連結されることが好ましい。これにより、第２の摺動ユニットに第３の摺動ユニットを連結させ、精密機器をシャフト上でＸＹＺの立体的に摺動させることができる。

また、シャフト固定式摺動ステージは、第１、第２及び第３の摺動ユニットにラックアンドピニオン式摺動ユニットと送りネジ式摺動ユニットとを組み合わせることで、第１の摺動ユニットのハンドル、第２の摺動ユニットのハンドル、及び第３の摺動ユニットのハンドルをすべて同じ方向に向けることが好ましい。これにより、３方向に摺動するシャフト固定式摺動ステージのハンドルがすべて１つの方向に向き、使用者の操作性を向上させることができる。

さらに、シャフト固定式摺動ステージは、第３の摺動ユニットには、精密機器の取付け位置を調整する精密機器取付け用アダプタが連結されることが好ましい。これにより、例えば、ＣＣＤカメラなどを適切な位置に設置することができる。

以上のように、本発明に係るシャフト固定式摺動ステージによれば、スタンドに固定されたシャフトに対して強固に接続され、取り付けられた精密機器をスタンドに対して精度良く位置調整するシャフト固定式摺動ステージを提供することができる。

本発明に係るシャフト固定式摺動ステージの第１の実施形態の概略構成を示す透視図である。スタンドに固定されたシャフトに取り付けられたシャフト固定式摺動ステージを示す断面図である。連結ブロック、クランプノブ、及びシャフトの位置関係を示す側面図である。クランプノブを拡大して示す側面図である。第１の実施形態のシャフト固定式摺動ステージの平面図、正面図、及び底面図である。第１の実施形態のシャフト固定式摺動ステージの左側面図、背面図、及び右側面図である。本発明に係るシャフト固定式摺動ステージの第２の実施形態の概略構成を示す透視図である。第２の実施形態のシャフト固定式摺動ステージの平面図、正面図、及び底面図である。第２の実施形態のシャフト固定式摺動ステージの左側面図、背面図、及び右側面図である。本発明に係るシャフト固定式摺動ステージの第３の実施形態の概略構成を示す透視図である。第３の実施形態のシャフト固定式摺動ステージの平面図、正面図、及び底面図である。第３の実施形態のシャフト固定式摺動ステージの左側面図、背面図、及び右側面図である。ラックアンドピニオンギア方式によるアリ溝摺動ステージの一般的な構成を示す斜視図である。ラックアンドピニオンギア方式によるアリ溝摺動ステージの内部の構成を示す断面図及び平面図である。送りネジ式によるアリ溝摺動ステージの一般的な構成を示す斜視図である。送りネジ式によるアリ溝摺動ステージの内部の構成を示す断面図及び平面図である。顕微鏡などの光学機器に用いられる一般的な鏡筒調節機構を示す側面図である。

（第１実施形態）
以下に、図面を用いて本発明に係るシャフト固定式摺動ステージの実施形態につき、詳細に説明する。図１に、本発明に係るシャフト固定式摺動ステージの第１実施形態の概略構成を斜視図で示す。また、図２に、シャフトに取り付けられたシャフト固定式摺動ステージを示す。図２に示すように、シャフト１１は、架台２７に接続されたスタンド２６に固定される。図２（ａ）は、シャフト固定式摺動ステージ１がシャフト１１の側方に取り付けられた場合を示す。また、図２（ｂ）は、シャフト固定式摺動ステージ１がシャフト１１の頂部に取り付けられた場合を示す。本実施形態では、スタンド２６は、マグネットスタンドであり、磁石により架台２７に固定されているが、シャフト１１は、架台２７に直接接続されても良い。また、スタンド２６は取付け架台であっても良い。本発明に係るシャフト固定式摺動ステージ１は、摺動ユニット２、連結ブロック３、及びクランプノブ４から構成される。

摺動ユニット２は、本実施形態ではアリ溝摺動ユニットである。すなわち、アリ１７を有する摺動部品５とアリ溝１８を有する固定部品６とが嵌合され、ハンドル７の回転操作により摺動部品５のアリ１７を固定部品６のアリ溝１８に対して摺動させる。そして、アリ溝摺動ユニット２の精密機器用接続孔１５に取り付けられた精密機器（図示せず）をスタンド１１に対して位置調整する。また、摺動部品５及び固定部品６の側面にそれぞれ対向して設けられた目盛１６により移動距離を測定する。

この摺動ユニット２は、本実施形態ではアリ溝摺動ユニットのうちラックアンドピニオン式摺動ユニット２０である。すなわち、図１４に示すように、摺動部品１０４に設けられたラック１１２と、ハンドル１０９に設けられたピニオンギア１１０とが係合される駆動機構を備える。そして、摺動部品５が固定部品６に対して図１中の矢印の方向（Ｘ）に摺動する。このハンドル７は、摺動部品５の摺動方向（Ｘ）に対して交差する方向に設けられる。この摺動ユニット２は、後述する送りネジ式摺動ユニット２１であっても良い。すなわち、図１６に示すように、摺動部品２０４に設けられた雌ネジ筒２１１と、ハンドル２０９に設けられた雄ネジ棒２１０とが係合される駆動機構を備える。そして、摺動部品５が固定部品６に対して図１中の矢印の方向（Ｘ）に摺動する。この場合には、ハンドル７は摺動部品５の摺動方向（Ｘ）と同じ方向に設けられる。

図３に、連結ブロック３、クランプノブ４、及びシャフト１１の位置関係を示す。図３（ａ）は、図２（ａ）に対応するシャフト固定式摺動ステージ１の断面図であり、図３（ｂ）は、図２（ｂ）に対応するシャフト固定式摺動ステージ１の断面図である。連結ブロック３は立方体であり６つの側面からなる部品である。それぞれの面には交差する方向に孔が明けられ、連結ブロック３には３つの挿入孔が設けられている。すなわち、摺動ユニット２の摺動方向と交差する方向の２面を貫通してクランプ挿入孔１０が設けられる。また、他の４面をそれぞれ貫通してシャフト１１を挿入させるシャフト挿入孔８ａ，８ｂが設けられる。シャフト１１は、シャフト挿入孔８ａ，８ｂのうちの何れかを選択して挿入される。

図４に、クランプノブ４を拡大して示す。クランプノブ４は、回転ノブ１２、挿入部１３、接続ボルト２９、及びワッシャ１４から構成される。また、挿入部１３は、シャフト１１が貫通するシャフト貫通孔９を有する。そして、回転ノブ１２には、挿入部１３に設けられた接続ボルト２９と係合する接続孔３０が設けられる。回転ノブ１２と挿入部１３との間にはワッシャ１４が挿入される。

図３（ａ）では、シャフト１１は、シャフト挿入孔８ａに挿入され、図２（ａ）に示す摺動ユニット連結面２８はシャフト１１が挿入されないシャフト挿入孔８ｂの面となる。これにより、図２（ａ）に示すように、摺動部品５はシャフト１１の側方に設けられる。また、図３（ｂ）では、シャフト１１は、シャフト挿入孔８ｂに挿入され、図２（ｂ）に示す摺動ユニット連結面２８はシャフト１１が挿入されないシャフト挿入孔８ａの上面となる。これにより、図２（ｂ）に示すように、摺動部品５はシャフト１１の上方に設けられる。このように、シャフト１１を、シャフト挿入孔８ａ又はシャフト挿入孔８ｂの何れかを選択して挿入することで、シャフト固定式摺動ステージ１を異なる形態で使用することができる。

連結ブロック３のシャフト挿入孔８ａ，８ｂに挿入されたシャフト１１は、さらに連結ブロック３内に挿入されたクランプノブ４のシャフト貫通孔９を貫通する。すなわち、シャフト１１は、シャフト挿入孔８ａ又はシャフト挿入孔８ｂと、シャフト貫通孔９とが重なり合った部分に挿入される。そして、連結ブロック３は、回転ノブ１２が締め込まれることでシャフト１１に固定される。すなわち、連結ブロック３は、クランプノブ４の回転ノブ１２を締め込むことで、シャフト貫通孔９を貫通しているシャフト１１を引き付け、シャフト貫通孔９の貫通壁により面的に締め付けられてシャフト１１に固定される。

このように、連結ブロック３及びクランプノブ４によりシャフト１１に対して強固に固定することで、重量がある摺動ユニット２を連結ブロック３に連結させ、ずれや撓みなどの不具合を発生させずに摺動ユニット２を摺動させることが可能となる。

図５及び図６に、第１実施形態のシャフト固定式摺動ステージ１の６面図を示す。図１の斜視図に対し、図５（ａ）は平面図であり、図５（ｂ）は正面図であり、図５（ｃ）は底面図である。また、図１の斜視図に対し、図６（ａ）は左側面図であり、図６（ｂ）は背面図であり、図６（ｃ）は右側面図である。

（第２実施形態）
図７に、第２実施形態のシャフト固定式摺動ステージ４０を示す。本シャフト固定式摺動ステージ４０は、第１摺動ユニット２ａ、第２摺動ユニット２ｂ、連結ブロック３、及びクランプノブ４から構成される。すなわち、第１実施形態のシャフト固定式摺動ステージ１の摺動ユニット２が第１摺動ユニット２ａとなり、この第１摺動ユニット２ａに対し、連結ブロック３に連結される側と反対側に新たに第２摺動ユニット２ｂが連結される。この第２摺動ユニット２ｂには、第１摺動ユニット２ａと交差する方向に摺動する送りネジ式摺動ユニット２１が用いられる。この第１摺動ユニット２ａは、第１摺動部品５ａ及び第１固定部品６ａから構成され、第２摺動ユニット２ａは、第２摺動部品５ｂ及び第２固定部品６ｂから構成される。この場合、第１摺動部品５ａは、第２摺動ユニット２ｂの第２固定部品６ｂを兼用することができる。以下、第１実施形態のシャフト固定式摺動ステージ１と同様であるものは説明を省略する。

このように、第１摺動ユニット２ａ及び第２摺動ユニット２ｂにラックアンドピニオン式摺動ユニット２０及び送りネジ式摺動ユニット２１を組み合わせることで、第１摺動ユニット２ａの第１ハンドル７ａと、第２摺動ユニット２ｂの第２ハンドル７ｂとを同じ方向に向け、操作性を向上させることができる。すなわち、第１摺動ユニット２ａと第２摺動ユニット２ｂとは交差する方向に摺動するが、ラックアンドピニオン式摺動ユニット２０と送りネジ式摺動ユニット２１とはハンドル７ａ，７ｂの方向が同じ方向である。このことを利用して、第１摺動ユニット２ａ及び第２摺動ユニット２ｂにラックアンドピニオン式摺動ユニット２０及び送りネジ式摺動ユニット２１を組み合わせることで、ハンドル７ａ，７ｂを同じ方向に向けることが可能になる。

図８及び図９に、第２実施形態のシャフト固定式摺動ステージ４０の６面図を示す。図７の斜視図に対し、図８（ａ）は平面図であり、図８（ｂ）は正面図であり、図８（ｃ）は底面図である。また、図７の斜視図に対し、図９（ａ）は左側面図であり、図９（ｂ）は背面図であり、図９（ｃ）は右側面図である。

（第３実施形態）
図１０に、第３実施形態のシャフト固定式摺動ステージ５０を示す。本シャフト固定式摺動ステージ５０は、第１摺動ユニット２ａ、第２摺動ユニット２ｂ、第３摺動ユニット２ｃ、連結ブロック３、及びクランプノブ４から構成される。すなわち、第２実施形態のシャフト固定式摺動ステージ４０の第２摺動ユニット２ｂに対し、第１摺動ユニット２ａに連結される方向と交差する方向に第３摺動ユニット２ｃが連結される。この第３摺動ユニット２ｃは、第１摺動ユニット２ａ及び第２摺動ユニット２ｂと交差する方向に摺動し、ラックアンドピニオン式摺動ユニット２０ｂが用いられる。この第３摺動ユニット２ｃは、第３摺動部品５ｃ及び第３固定部品６ｃから構成される。以下、第２実施形態のシャフト固定式摺動ステージ４０と同様であるものは説明を省略する。

このように、第１摺動ユニット２ａ、第２摺動ユニット２ｂ、及び第３摺動ユニット２ｃにラックアンドピニオン式摺動ユニット２０及び送りネジ式摺動ユニット２１を組み合わせることで、第１摺動ユニット２ａの第１ハンドル７ａ、第２摺動ユニット２ｂの第２ハンドル７ｂ、及び第３摺動ユニット２ｃの第３ハンドル７ｃをすべて同じ方向に向けることが可能となる。

図１１及び図１２に、第３実施形態のシャフト固定式摺動ステージ５０の６面図を示す。図１０の斜視図に対し、図１１（ａ）は平面図であり、図１１（ｂ）は正面図であり、図１１（ｃ）は底面図である。また、図１０の斜視図に対し、図１２（ａ）は左側面図であり、図１２（ｂ）は背面図であり、図１２（ｃ）は右側面図である。

この第３摺動ユニット２ｃには、さらに精密機器（図示せず）の取り付け方向を合わせるために精密機器取付け用アダプタ（図示せず）が連結されても良い。

１，４０，５０シャフト固定式摺動ステージ、２摺動ユニット、２ａ第１摺動ユニット、２ｂ第２摺動ユニット、２ｃ第３摺動ユニット、３連結ブロック、４クランプノブ、５，３５，１０４，２０４摺動部品、５ａ第１摺動部品、５ｂ第２摺動部品、５ｃ第３摺動部品、６，３６，１０５，２０５固定部品、６ａ第１固定部品、６ｂ第２固定部品、６ｃ第３固定部品、７，３７，１０９，２０９ハンドル、７ａ第１ハンドル、７ｂ第２ハンドル、７ｃ第３ハンドル、８ａ，８ｂシャフト挿入孔、９シャフト貫通孔、１０クランプ挿入孔、１１，３１シャフト、１２回転ノブ、１３挿入部、１４ワッシャ、１５，１０７，２０７精密機器取付用孔、１６目盛、１７，１０１，２０１アリ、１８，１０２，２０２アリ溝、２０，２０ａ，２０ｂラックアンドピニオン式摺動ユニット、２１送りネジ式摺動ユニット、２２，１１２ラック、２３，１１０ピニオンギア、２４，２１１雌ネジ筒、２５，２１０雄ネジ棒、２６スタンド、２７架台、２８摺動ユニット連結面、２９接続ボルト、３０接続孔、３２固定ビス、３３鏡筒押えネジ、３４鏡頭保持部、３８鏡筒、３９鏡筒調節機構、４１アリ溝摺動面、４２樹脂、１００ラックアンドピニオン式アリ溝摺動ステージ、１０６，２０６固定用孔、１０８，２０８ベース、２００送りネジ式アリ溝摺動ステージ。

Claims

アリを有する摺動部品を、ハンドル操作によりアリ溝を有する固定部品に対して摺動させ、摺動部品に取り付けられた精密機器をスタンドに対して位置調整する摺動ユニットと、
摺動ユニットに連結され、スタンドに固定されたシャフトを挿入させるシャフト挿入孔を有する連結ブロックと、
回転ノブと、シャフトが貫通されるシャフト貫通孔を有する挿入部とを有し、連結ブロックに設けられたクランプ挿入孔に挿入されるクランプノブと、を備え、
シャフト挿入孔に挿入されたシャフトを、さらに連結ブロック内に挿入されたクランプノブのシャフト貫通孔に貫通させ、回転ノブを締め込むことで摺動ユニットをシャフトに固定することを特徴とするシャフト固定式摺動ステージ。
請求項１に記載のシャフト固定式摺動ステージであって、クランプノブは、挿入部と回転ノブとがワッシャを介してボルト接合され、回転ノブを締め込むことでシャフト貫通孔を貫通しているシャフトを引き付けて、摺動ユニットをシャフトに固定することを特徴とするシャフト固定式摺動ステージ。
請求項１又は２に記載のシャフト固定式摺動ステージであって、連結ブロックは、立方体であり、摺動ユニットの摺動方向と交差する方向にクランプ挿入孔を有し、クランプ挿入孔と交差する他の２方向にシャフト挿入孔を有することを特徴とするシャフト固定式摺動ステージ。
請求項１乃至３のいずれか１に記載のシャフト固定式摺動ステージであって、摺動ユニットは、摺動部品に設けられたラックと、ハンドルに設けられたピニオンギアとが係合する駆動機構を備えたラックアンドピニオン式摺動ユニット、又は、摺動部品に設けられた雌ネジ筒と、ハンドルに設けられた雄ネジ棒とが係合する駆動機構を備えた送りネジ式摺動ユニットのいずれかであることを特徴とするシャフト固定式摺動ステージ。
請求項４に記載のシャフト固定式摺動ステージであって、第１の摺動ユニットには、連結ブロックに連結される側と反対側において、第１の摺動ユニットと交差する方向に摺動する第２の摺動ユニットが連結されることを特徴とするシャフト固定式摺動ステージ。
請求項５に記載のシャフト固定式摺動ステージであって、第１の摺動ユニット及び第２の摺動ユニットに、ラックアンドピニオン式摺動ユニットと送りネジ式摺動ユニットとを組み合わせることで、第１の摺動ユニットのハンドルと、第２の摺動ユニットのハンドルとが同じ方向に向けられることを特徴とするシャフト固定式摺動ステージ。
請求項５に記載のシャフト固定式摺動ステージであって、第２の摺動ユニットには、第１の摺動ユニットに連結される方向と交差する方向に第３の摺動ユニットが連結されることを特徴とするシャフト固定式摺動ステージ。
請求項７に記載のシャフト固定式摺動ステージであって、第１、第２及び第３の摺動ユニットにラックアンドピニオン式摺動ユニットと送りネジ式摺動ユニットとを組み合わせることで、第１の摺動ユニットのハンドル、第２の摺動ユニットのハンドル、及び第３の摺動ユニットのハンドルをすべて同じ方向に向けることを特徴とするシャフト固定式摺動ステージ。
請求項７に記載のシャフト固定式摺動ステージであって、第３の摺動ユニットには、精密機器の取付け位置を調整する精密機器取付け用アダプタが連結されることを特徴とするシャフト固定式摺動ステージ。