JP2011071166A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6133164B2 (ja) 2013-08-12 2017-05-24 東京エレクトロン株式会社 群管理システム及びプログラム
KR102192094B1 (ko) * 2016-03-31 2020-12-16 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 기판 처리 장치, 장치 관리 컨트롤러 및 기록 매체
JP7247743B2 (ja) * 2019-05-20 2023-03-29 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理方法
CN110879805B (zh) * 2019-11-22 2022-04-05 北京锐安科技有限公司 一种数据异常发现方法、装置、服务器及存储介质
US11545379B2 (en) * 2020-07-31 2023-01-03 Nanya Technology Corporation System and method for controlling semiconductor manufacturing equipment
CN113111095B (zh) * 2021-04-02 2021-10-26 国网北京市电力公司 一种智能化信息管理方法及系统
JP2023043716A (ja) * 2021-09-16 2023-03-29 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 処理装置群管理システム、処理装置群管理方法およびプログラム
JP2023110948A (ja) * 2022-01-31 2023-08-10 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 処理レシピの生成方法、処理レシピの生成装置、処理装置システム、処理レシピ表示方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6123983A (en) * 1998-04-23 2000-09-26 Sandia Corporation Method and apparatus for monitoring plasma processing operations
JP4358465B2 (ja) * 2001-08-23 2009-11-04 株式会社日立国際電気 被処理体の処理装置及びその製造方法
JP4474814B2 (ja) * 2001-09-05 2010-06-09 三菱電機株式会社 監視システム
TW200516686A (en) 2003-11-10 2005-05-16 Renesas Tech Corp Manufacturing method for semiconductor integrated circuit device
JP4497462B2 (ja) * 2004-06-24 2010-07-07 株式会社安川電機 装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ
JP4953427B2 (ja) * 2006-06-21 2012-06-13 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、表示方法、記録媒体及びプログラム
US7966151B2 (en) * 2006-10-24 2011-06-21 Ford Motor Company Method for analyzing operation of a machine
JP5145116B2 (ja) * 2008-05-21 2013-02-13 株式会社日立ハイテクノロジーズ 表面欠陥データ表示管理装置および表面欠陥データ表示管理方法
US8467994B2 (en) * 2010-09-28 2013-06-18 General Electric Company Monitoring system and display for use in a monitoring system

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