JP2011061140A - 膜除去検査装置及び膜除去検査方法並びに太陽電池パネル生産ライン及び太陽電池パネル生産方法 - Google Patents
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Abstract
検査に基づく太陽電池膜生産ラインの長さが長くなることなく、または占有面積が増えることなく、あるいは検査時間のみの時間が不要な検査機能を有する膜除去装置を提供し、並びに、各層の膜除去工程または膜間で発生した加工等の不良を検出できる検査機能を有する膜除去装置または信頼性の高い太陽電池膜生産ラインあるいは太陽電池膜生産方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、太陽電池膜を構成する層を形成する膜にレーザ光を照射して前記膜の一部を除去しスクライブを形成し、前記スクライブ状態を検査する際に、前記膜の一部を除去しながら、少なくとも前記スクライブを撮像し、前記スクライブ状態を検査することを特徴とする。
【選択図】図2
Description
また、状来の検査工程は、表面TCO膜の膜除去工程後の絶縁抵抗検査と製造ラインの最後工程の発電量検査工程のみであったため、半導体膜と裏面TCO膜の膜除去工程で発生した加工不良は最終工程まで確認出来なかった。
検査に基づく太陽電池膜生産ラインの長さが長くなることなく、または設置面積が増えることなく、あるいは検査時間のみの時間が不要な検査機能を有する膜除去装置を提供することである。
図3は太陽電池膜の一実施形態を模式的に示す図である。太陽電池膜3は、ガラス基板30の上に1層目として表面TCO膜31、2層目として光電変換する半導体膜(a-Si)32及び3層目として裏面TCO膜33の3層の膜を有し、半導体膜(a-Si)32を通過した光を反射させて光電変換を上げるためのアルミニウム膜ALを有する。太陽光Sを下から照射すると半導体膜(a-Si)32で光電変換され、負荷(図示せず)を接続すると波状の矢印Aのように電流が流れる。
膜除去検査装置12は、基台8、太陽電池膜3を浮上させて支持するエア浮上ステージ5、エア浮上ステージをX軸方向(矢印B)に移動させるステージ駆動部4、膜を除去するためのレーザ照射部6、膜の除去状態(スクライブの状態)を検査する検査部2及びこれ等を制御する制御部20を有する。検査部2は、膜の除去状態を撮像する撮像部1と撮像部からのデータを処理する制御部20内に設けられたデータ処理部21を有する。
レーザ照射部6は、基台8上に固定されたテーブル69上に設置されたレーザ発生装置62と反射ミラー63、レーザ光61を膜除去位置に導くためのレーザガイド孔67を有するレーザ走査台65、レーザ走査台65をY軸方向(矢印C)に走査するためのレーザ走査駆動部66及びレーザ走査台65に設けられた反射ミラー64を有する。レーザ走査駆動部66はテーブル69の側部に設けられたリニアモータ固定子を有する走行レール66aとレーザ走査台65に設けられたリニアモータ可動子(図示せず)とで構成される。
3:太陽電池膜 4:ステージ駆動部
5:エア浮上ステージ 6:レーザ照射部
7:撮像ユニット 7f:除膜前撮像ユニット
7b:除膜後撮像ユニット 8:基台
10:太陽電池パネル製造ライン 11:1層目形成装置
12:膜除去検査装置 13:洗浄装置
14:絶縁抵抗検査装置 15:2層目形成装置
16:3層目形成装置 17:エッジリムーブ装置
18:アセンブリ装置 19:発電量検査装置
20:制御部 21:データ処理部
30:ガラス基板 31:表面TCO膜
31S:1層スクライブ 32:半導体膜
32S:2層スクライブ 33:裏面TCO膜
33S:23層スクライブ 61:レーザ光
62:レーザ発生装置 65:レーザ走査台
66:レーザ走査駆動部 71:照明手段
72:撮像手段 73:撮像部走査駆動部
74:異物等 75:撮像エリア
76:膜残り AL:アルミニウム膜。
Claims (15)
- 太陽電池膜を構成する層を形成する膜にレーザ光を照射して前記膜の一部を除去しスクライブを形成する膜除去部を有する膜除去検査装置において、
前記膜を照明する照明手段と前記照明光によって得られる像を撮像する撮像手段を具備する撮像部と前記撮像部の撮像データに基づいて前記スクライブ状態を検査するデータ処理部とを具備する検査部を有することを特徴とする膜除去検査装置。 - 前記膜除去部は前記レーザ光を走査するレーザ光走査手段を有し、前記撮像部は前記レーザ光の走査と同期して移動できる同期移動手段を有することを特徴とする請求項1に記載の膜除去検査装置。
- 前記撮像部は前記膜を除去する前と前記膜を除去した後を撮像することを特徴とする請求項1または2に記載の膜除去検査装置。
- 前記撮像部は、前記膜を除去する前と前記膜を除去した後の撮像は前記レーザ光照射位置の前後をそれぞれ撮像する前記照明手段と前記撮像手段を具備する撮像ユニットを2ユニット有することを特徴とする請求項3に記載の膜除去検査装置。
- 前記撮像部は前記太陽電池膜に対して前記レーザ光の照射側に設けられたことを特徴とする請求項1または2に記載の膜除去検査装置。
- 前記レーザ光走査手段は、前記レーザ光を反射する反射ミラーと前記反射ミラーを設置し走査するレーザ走査台を具備し、前記照明手段と前記撮像手段とのうち少なくとも一方を前記レーザ走査台に設けたことを特徴とする請求項5に記載の膜除去検査装置。
- 前記撮像部は前記太陽電池膜に対して前記レーザ光の照射側とは反対側に設けられたことを特徴とする請求項1または2に記載の膜除去検査装置。
- 前記撮像部の記照明手段と前記撮像手段は、前記太陽電池膜に対して前記レーザ光の照射側とその反対側とに別々に設けられたことを特徴とする請求項1または2に記載の膜除去検査装置。
- 前記データ処理部は、前記太陽電池膜を構成する各層の前記撮像データを合成し、前記各層に形成される前記スクライブの隣接状態を検査することを特徴とする請求項1に記載の膜除去検査装置。
- 前記照明手段はライン状に照明するライン照明手段であり、前記撮像手段はライン状を撮像するライン撮像手段であることを特徴とする請求項1に記載の膜除去検査装置。
- 太陽電池膜を構成する層を形成する膜にレーザ光を照射して前記膜の一部を除去しスクライブを形成し、前記スクライブ状態を検査する膜除去検査方法において、
前記膜の一部を除去しながら少なくとも前記スクライブを撮像し、前記スクライブ状態を検査することを特徴とする膜除去検査方法。 - 前記撮像は前記膜を除去する前と前記膜を除去した後を別々に撮像することを特徴とする請求項11に記載の膜除去検査方法。
- 前記太陽電池膜を構成する各層を前記撮像して得られる撮像データを合成し、前記各層に形成される前記スクライブの隣接状態を検査することを特徴とする請求項11に記載の膜除去検査方法。
- 太陽電池膜を構成する複数の層を形成し、前記太陽電池膜の製造状態を検査する太陽電池パネル製造ラインにおいて、
前記層を形成する膜形成装置の後段に請求項1乃至10のいずれかに記載の膜除去検査装置を設けたことを特徴とする太陽電池パネル製造ライン。 - 太陽電池膜を構成する複数の層を形成し、その後に前記層を形成する膜の一部を除去しスクライブを形成し、前記太陽電池膜の製造状態を検査する太陽電池パネル製造方法において、
前記膜の一部を除去しながら少なくとも前記スクライブを撮像し、前記スクライブ状態を検査することを特徴とする太陽電池パネル製造方法。
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