JP2011060857A - 集光型光発電モジュール及び集光型光発電モジュールの製造方法 - Google Patents

集光型光発電モジュール及び集光型光発電モジュールの製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】化合物半導体を用いる化合物太陽電池セルを備えた集光型光発電モジュールを構成する際に、化合物半導体を含む半導体層に熱による欠陥が生じることを防ぐ。
【解決手段】太陽光を集光する集光レンズと、集光レンズにより集光された太陽光を受光する光発電素子20と、を備え、光発電素子20は、基板21上に形成され、外部配線28aとの接続が可能な第1の電極取り出し部22aを設けた裏面電極層(第1の電極層)22と、裏面電極層22上に順に形成された半導体層23及び透明電極層(第2の電極層)24と、透明電極層24上に所定の間隔を設けて並列に形成され、外部配線28bとの接続が可能な第2の電極取り出し部25aを有する複数の集電電極25と、裏面電極層22と集電電極25の第2の電極取り出し部25aとの間を電気的に絶縁する絶縁部26と、を有することを特徴とする集光型光発電モジュール。
【選択図】図3

Description

本発明は、集光型光発電モジュール及び集光型光発電モジュールの製造方法に関する。
化合物半導体を用いる化合物太陽電池セル(光発電素子)を備えた光発電モジュールは、低コスト化及び高効率化を図るため、集光型光発電モジュールの形態が採用される。集光型光発電モジュールには、例えば、ケースの開口部に取り付けられたフレネルレンズとロッドレンズにより集光された太陽光が太陽電池セルの受光面に照射される透過型と、ロッドレンズによる反射光を非球面ミラーにより集光された太陽光が太陽電池セルの受光面に照射される反射型とが挙げられる。
このような集光型光発電モジュール(集光型太陽電池モジュール)としては、特許文献1に、表面と裏面に電極を有する太陽電池セルと、太陽電池セルの裏面電極と導電性ペーストによって電気的に接合される電極板と、放熱電気絶縁層を介して電極板を支持する支持板を備えた集光型太陽電池モジュールが記載されている。
特開2006−332535号公報
ところで、集光型光発電モジュールでは、フレネルレンズ等の集光レンズにより集光されたエネルギ密度が高い太陽光が光発電素子の受光面に照射される。このとき、太陽光の集光倍率は数十倍〜数百倍である。そして、このような高エネルギ密度の太陽光の照射により、光発電モジュールの発電効率が増大するとともに、高電流密度に対応したデバイスの構成が必要とされる。例えば、個々の光発電素子により変換された電気エネルギは、電極に半田付けで取り付けた外部取り出し線により、外部へ取り出される。
しかし、化合物太陽電池セルの場合、例えば、CIS系等の化合物半導体を含む発電層としての半導体層は、電極に外部取り出し線を半田付けする際の熱により欠陥が生じ、そのために、発電層としての機能が低下するという問題がある。
本発明の目的は、化合物半導体を用いる化合物太陽電池セルを備えた集光型光発電モジュールを構成する際に、化合物半導体を含む半導体層に熱による欠陥が生じることを防ぐことにある。
本発明によれば、以下の(1)〜(9)に係る集光型光発電モジュール及び集光型光発電モジュールの製造方法が提供される。
(1)太陽光を集光する集光レンズと、前記集光レンズにより集光された太陽光を受光する光発電素子と、を備え、前記光発電素子は、基板上に形成され、外部配線との接続が可能な第1の電極取り出し部を設けた第1の電極層と、前記第1の電極層上に順に形成された半導体層及び第2の電極層と、前記第2の電極層上に所定の間隔を設けて並列に形成され、外部配線との接続が可能な第2の電極取り出し部を有する複数の集電電極と、前記第1の電極層と前記集電電極の前記第2の電極取り出し部との間を電気的に絶縁する絶縁部と、を有することを特徴とする集光型光発電モジュール。
(2)前記絶縁部は、前記半導体層及び前記第2の電極層の片側外側部を覆うように形成されることを特徴とする(1)に記載の集光型光発電モジュール。
(3)前記絶縁部は、絶縁性ペーストから構成されることを特徴とする(1)又は(2)に記載の集光型光発電モジュール。
(4)前記絶縁性ペーストは、ガラス粉末と有機バインダとを含むガラスペーストであることを特徴とする(3)に記載の集光型光発電モジュール。
(5)前記半導体層は、IB族元素、IIIB族元素、VIB族元素から選ばれるいずれか1種を含むことを特徴とする(1)乃至(4)のいずれかに記載の集光型光発電モジュール。
(6)前記半導体層は、カルコパイライト構造を有するCu−In−Se系半導体を含むことを特徴とする(1)乃至(5)のいずれかに記載の集光型光発電モジュール。
(7)光発電素子を備えた集光型光発電モジュールの製造方法であって、基板上に裏面電極層を成膜する裏面電極層成膜工程と、成膜された前記裏面電極層上に、外部配線との接続が可能な第1の電極取り出し部を残し、半導体層を成膜する半導体層成膜工程と、成膜された前記半導体層上に透明電極層を成膜する透明電極層成膜工程と、成膜された前記裏面電極層の表面の一部と前記半導体層及び前記透明電極層の片側外側部を覆うように絶縁性材料を含む絶縁部を形成する絶縁部形成工程と、成膜された前記透明電極層上に所定の間隔を設けて並列に配置され、且つ、前記絶縁部上に外部配線との接続が可能な第2の電極取り出し部が設けられるように集電電極を形成する集電電極形成工程と、を有することを特徴とする集光型光発電モジュールの製造方法。
(8)前記半導体層は、カルコパイライト構造を有するCu−In−Se系半導体を含むことを特徴とする(7)に記載の集光型光発電モジュールの製造方法。
(9)前記絶縁部の前記絶縁性材料が、無鉛ガラスを含むことを特徴とする(7)又は(8)に記載の集光型光発電モジュールの製造方法。
本発明によれば、化合物半導体を用いる化合物太陽電池セルを備えた集光型光発電モジュールを構成する際に、化合物半導体を含む半導体層に熱による欠陥が生じることを防ぐことができる。
本実施の形態が適用される集光型光発電モジュールの一例を説明する概略図である。 図1に示す集光型光発電モジュールの一例の概略断面図である。 集光型光発電モジュールを構成する光発電素子の一例を説明する概略断面図である。 図3に示す光発電素子の平面図である。 集積型光発電モジュールの製造方法を説明する図である。
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することが出来る。また、使用する図面は本実施の形態を説明するためのものであり、実際の大きさを表すものではない。
本発明が適用される集光型光発電モジュールを構成する光発電素子には、化合物半導体を用いる化合物太陽電池が挙げられ、一般に薄膜系太陽電池の一種として分類される。化合物太陽電池としては、GaAs系太陽電池、CIS系(カルコパイライト系)太陽電池、CuZnSnS(CZTS)太陽電池、CdTe−CdS系太陽電池等が挙げられる。
これらの中でも、CIS系(カルコパイライト系)太陽電池は、光吸収層(発電層)の材料として、シリコンの代わりに、Cu、In、Ga、Al、Se、S等から成るカルコパイライト系と呼ばれるIB−IIIB−VIB族化合物を用いる。代表的なものとしては、Cu(In,Ga)Se、Cu(In,Ga)(Se,S)、CuInS等が挙げられ、それぞれCIGS、CIGSS、CISと略称される。
CIS系(カルコパイライト系)太陽電池は、製造法や材料の組み合わせが豊富であり、また多結晶であるため、大面積化や量産化に好適であり、フレキシブルな製品が得られやすい。
以下、本実施の形態では、CIS系(カルコパイライト系)太陽電池を光発電素子として用いた集光型光発電モジュールに基づき説明する。
図1は、本実施の形態が適用される集光型光発電モジュールの一例を説明する概略図である。図1に示すように、集光型光発電モジュール1は、直方体形状のケース10と、ケース10の太陽光2の入射側に設置された複数個の集光レンズ11とを有している。集光レンズ11は、ケース10の表面に等間隔で配列するように配置されている。後述するように、ケース10の内部には、個々の集光レンズ11のそれぞれに対応する光発電素子が設置されている。尚、図示しないが、集光型光発電モジュール1は、モータ又は油圧駆動を有する駆動系を制御することにより太陽の追尾が行われる。
図2は、図1に示す集光型光発電モジュール1のII−II概略断面図である。図2に示すように、集光型光発電モジュール1は、直方体形状のケース10の太陽光2の入射側に設置された集光レンズ11と、ケース10の集光レンズ11に対向する支持板部12に配置され、個々の集光レンズ11に対応するように設置された複数個の光発電素子20とを有している。個々の光発電素子20は、外部配線28により直列に接続されている。
太陽光2が集光レンズ11により集光された集光束3は、集光レンズ11と対向するケース10の一面で支持板部12に設置された光発電素子20に照射される。光発電素子20は、集光レンズ11の略焦点距離の位置に設置されている。集光レンズ11により集光される太陽光2の集光倍率は数十倍〜数百倍であり、光発電素子20上には、大きなエネルギ密度の太陽光2が照射される。
集光レンズ11としてはフレネルレンズが挙げられる。フレネルレンズは複数枚がそれぞれ固定される場合でも良く、一面の中に多数のフレネルレンズパターンが形成されているものでも良い。複数のフレネルレンズパターンが一枚に形成されている場合、レンズごとのずれが生じ難いため、フレネルレンズと光発電素子20とのアライメントずれを抑えることができる。フレネルレンズの材料としては、例えば、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ガラス等の透光性材料が挙げられる。
ケース10を構成する材料としては、例えば、アルミニウム、ステンレス板、鋼板等が挙げられる。さらに、鋼板に亜鉛、アルミニウム、シリコン等の合金をめっきしたもの等が挙げられる。
集光レンズ11の大きさは、レンズの焦点距離や光発電素子20の大きさ、容量等により適宜選択され特に限定されないが、本実施の形態では、100mm×100mm×2mmt、焦点距離50mmのフレネルレンズを使用している。
図3は、集光型光発電モジュール1を構成する光発電素子20の一例を説明する概略断面図である。光発電素子20は、ケース10(図2参照)の支持板部12に取り付けられた基板21と、基板21上に形成され、外部配線28aとの接続が可能な第1の電極取り出し部22aを設けた第1の電極層としての裏面電極層22と、裏面電極層22上に順に形成された発電層としての半導体層23及び第2の電極層としての透明電極層24とを有している。
透明電極層24上には、外部配線28bとの接続が可能な第2の電極取り出し部25aを有する集電電極25が形成されている。第2の電極取り出し部25aは、集電電極25の前述した裏面電極層22に設けた第1の電極取り出し部22aとは反対側の端部に設けられている。後述するように、集電電極25は、複数個の集電電極25が透明電極層24上に所定の間隔を設けて並列に形成されている。
さらに、絶縁材料から構成され、集電電極25の第2の電極取り出し部25aが設けられた側の端部の下面と裏面電極層22の表面の一部との両方に接するように形成された絶縁部26が設けられている。絶縁部26は、裏面電極層22の表面の一部と第2の電極取り出し部25aとの間を電気的に絶縁している。また、絶縁部26は、半導体層23及び透明電極層24の、前述した裏面電極層22に設けた第1の電極取り出し部22aとは反対側の片側外側部を覆うように形成されている。
裏面電極層22上に設けた第1の電極取り出し部22aには、半田27aにより外部配線28aが接続され、集電電極25の端部に設けた第2の電極取り出し部25aには、半田27bにより外部配線28bが接続されている。
図4は、図3に示す光発電素子20のIV側から見た平面図である。図4に示すように、光発電素子20は、矩形状の基板21(図3参照)上に形成された裏面電極層22の表面に、外部配線28aとの接続が可能な第1の電極取り出し部22aを有している。本実施の形態では、第1の電極取り出し部22aは、裏面電極層22の片側端部の表面を略全体に亘り露出させるように形成されている。
本実施の形態では、第1の電極取り出し部22aの表面の略全体を覆うように半田27aが形成され、外部配線28aと裏面電極層22とを接続している。
次に、絶縁部26は、裏面電極層22のもう一方の片側端部の表面を略全体に亘り覆うように形成されている。本実施の形態では、絶縁部26の一部が透明電極層24の表面の一部を覆うように形成される。
図4に示すように、透明電極層24上には、複数個の集電電極25が所定の間隔を設けて並列に形成されている。さらに、絶縁部26の表面に形成された半田27bによって、複数個の集電電極25の端部に設けた第2の電極取り出し部25a(図3参照)が結合され、外部配線28bと接続している。
透明電極層24上に設けられる複数個の集電電極25の間隔は、光発電素子20の大きさ、容量、透明電極層24の大きさ等により適宜選択され特に限定されないが、本実施の形態では、4mmである。
次に、光発電素子20の構成要素について説明する。
基板21を構成する材料としては、例えば、ステンレス等の金属フィルム、有機フィルム、ガラス等が挙げられる。基板21の大きさは特に限定されないが、本実施の形態では縦×横が20mm×20mmであり、厚さは、0.1mmである。
裏面電極層22を構成する材料としては、金属が好ましく、例えば、Mo、Ti、Cr、Al、Ag、Au、CuおよびPtから選択された少なくとも1つの金属またはこれらの合金が挙げられる。裏面電極層22は、本実施の形態では、厚さ0.3μm程度の金属薄膜である。裏面電極層22は、例えば、蒸着法、スパッタ法、CVD法(化学気相成長法:Chemical Vapor Deposition)等によって基板21上に成膜される。
半導体層23は、例えば、周期表IB族、IIIB族、VIB族の元素を含むカルコパイライト型化合物半導体が挙げられる。本実施の形態では、銅(Cu)、インジウム(In)及びセレン(Se)を含むカルコパイライト構造を有するCu−In−Se系半導体材料により構成されることが好ましい。
半導体層23の厚さは、本実施の形態では、1μm〜3μmの範囲内である。
透明電極層24を構成する金属材料は特に限定されず、例えば、InにSnをドーパントとして添加したITO(Indium Tin Oxide)等の酸化インジウム系金属材料;ドーパントを添加したSnO等の酸化スズ系金属材料;ZnOにAlをドーパントとして添加したAZO、ZnOにGaをドーパントとして添加したGZO、ZnOにInをドーパントとして添加したIZO等の酸化亜鉛系金属材料等が挙げられる。
本実施の形態では、ITO、SnO、ZnOから選択された少なくとも1つを含む金属材料を用い、スパッタリングまたは蒸着法により成膜することが好ましい。透明電極層24の厚さは、本実施の形態では、約0.6μmである。
絶縁部26を構成する材料は、少なくとも、裏面電極層22と集電電極25の第2の電極取り出し部25aとの間を電気的に絶縁することが可能な材料であれば特に限定されない。本実施の形態では、後述するように、絶縁部26は裏面電極層22上に絶縁性ペーストを塗布することにより形成される。
ここで絶縁性ペーストとしては、例えば、ガラス粉末と紫外線硬化樹脂等の有機バインダと溶剤を加えてなるガラスペースト;セラミック粉末と有機バインダと溶剤を加えてなるセラミックペースト等が挙げられる。
ガラスペーストにおけるガラス粉末としては、例えば、SiO−BaO−Al系ガラス粉末、SiO−B系ガラス粉末、SiO−B−Al系ガラス粉末、SiO−Al−アルカリ金属酸化物系ガラス粉末等が挙げられる。さらに、これらのガラス粉末に、アルカリ金属酸化物、ZnO、PbO、Pb、ZrO、TiO等を配合した組成物が挙げられる。また、Bi、SiO、B、ZrO、Al、ZnO、TiO、及びCaO、MgO、SrO、BaO等が所定の組成比で混合されたビスマス系無鉛ガラス等が挙げられる。
セラミックペーストにおけるセラミック粉末としては、例えば、Al、SiO、フォルステライト、コージェライト、ムライト、AlN、Si、SiC、MgTiO、CaTiO等が挙げられる。さらに、少なくともSiO及びBaO、CaO、SrO、MgO等のアルカリ土類金属酸化物を含有する金属酸化物の混合物を、約1,100℃以下で焼成して得られるセラミック材料等が挙げられる。
有機バインダとしては、例えば、少なくとも1個の不飽和結合を有するオリゴマー又はポリマーが挙げられる。具体的には、例えば、ポリエステルアクリレート、ポリエステルメタクリレート、エポキシアクリレート、エポキシメタクリレート等が挙げられる。
有機溶剤としては、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、
ブチルセルソルブ、3−メトキシブチルアセテート等が挙げられる。
このような絶縁性ペーストとしては、市販されている従来公知のものを使用することができる。本実施の形態では、例えば、無鉛ガラスペーストLY32(日本山村硝子株式会社製)を使用している。
複数個の集電電極25は、通常、透明電極層24の表面に銀ペーストをスクリーン印刷し、500℃〜700℃程度で銀ペーストを加熱焼成することにより形成される。また、近年、高温焼成タイプのものと同等の電気抵抗を有し、100℃〜200℃程度の、比較的低温で焼成できる銀ペーストも開発されており、このようなものを使用することができる。
尚、本実施の形態では、半導体層23と透明電極層24との間にバッファー層を設けることもできる。この場合、バッファー層を構成する材料は特に限定されないが、本実施の形態では、InS、ZnS等の硫化物を用いることが好ましい。半導体層23と透明電極層24の間にバッファー層を設けることにより、半導体層23と透明電極層24との界面で発生する欠陥を抑制することができる。
次に、集光型光発電モジュールの製造方法について説明する。
図5は、集光型光発電モジュール1の製造方法を説明する図である。図1と同じ構成については同じ符号を用い、その説明を省略する。
先ず、図5(a)に示すように、前述した材料からなる基板21上に、スパッタリングにより金属薄膜からなる裏面電極層22を成膜する(裏面電極層成膜工程)。
続いて、裏面電極層22上に、第1の電極取り出し部22aと後述する絶縁部26を形成する部分以外の裏面電極層22の表面を覆いつつ、半導体層23を成膜し(半導体層成膜工程)、続いて、成膜された半導体層23上に透明電極層24を成膜する(透明電極層成膜工程)。
ここで、本実施の形態では、半導体層23は、複数のp型半導体形成用前駆体層とn型半導体形成用前駆体層とを積層させて成膜することが好ましい。即ち、本実施の形態では、化合物半導体としてCu−In−Se系半導体材料を採用し、裏面電極層22側にp型半導体を形成しやすいCuとSeとの混合物からなるp型半導体形成用前駆体層を成膜し、次に、透明電極層24側にn型半導体を形成しやすいInとSeとの混合物からなるn型半導体形成用前駆体層を成膜することが好ましい。p型半導体形成用前駆体層とn型半導体形成用前駆体層とは、加熱処理により相互に溶融拡散し、良好な結晶性を有する半導体からなる半導体層23が生成し、pn接合が形成される。
半導体層23の成膜方法としては、例えば、真空蒸着法、気相セレン化法、スパッタリング法、ハイブリッドスパッタ法等が知られている。透明電極層24の成膜方法は、スパッタリング法、MOCVD法等が挙げられる。
続いて、図5(b)に示すように、成膜された裏面電極層22の表面の一部と半導体層23及び透明電極層24の片側外側部を覆うように絶縁性材料を含む絶縁ペーストを塗布し、絶縁性ペースト層26aを形成する。本実施の形態では、絶縁性ペースト層26aの一部は、透明電極層24の片側端部の表面を覆うように形成される。絶縁ペーストは、例えば、スクリーン印刷法により塗布される。続いて、絶縁性ペースト層26aを加熱し、絶縁性材料を含む絶縁部26を形成する。
絶縁性ペースト層26aを加熱処理する温度は、特に限定されないが、本実施の形態では、通常、200℃〜500℃、好ましくは、300℃〜400℃である。また、加熱処理の時間は、約10時間である。
次に、図5(c)に示すように、成膜された透明電極層24上に、スクリーン印刷により銀ペーストを塗布し、前述した絶縁部26上に外部配線との接続が可能な第2の電極取り出し部25aが設けられるように集電電極25を形成する(集電電極形成工程)。本実施の形態では、集電電極25には、透明電極層24の表面端部から突き出るように形成された部分に、第2の電極取り出し部25aが設けられ、第2の電極取り出し部25aは、絶縁部26の表面の一部を覆っている。尚、図4において説明したように、本実施の形態では、複数個の集電電極25が、成膜された透明電極層24上に所定の間隔を設けて並列に配置された光発電素子20が得られる。
続いて、図5(d)に示すように、光発電素子20をケース10(図2参照)の支持板部12に取り付け、固定する。この場合、支持板部12の上面に、電気絶縁性を有する熱伝導材料からなる放熱板(図示せず)を取り付けてもよい。次に、外部配線28aを半田27aによって裏面電極層22の第1の電極取り出し部22aに半田付けする。
一方、外部配線28bを半田27bによって集電電極25の第2の電極取り出し部25aに半田付けし、光発電素子20を電気的に接合する。
本実施の形態では、集電電極25の端部に設けた第2の電極取り出し部25aと裏面電極層22とが、絶縁部26により電気的に絶縁されているので、集電電極25と裏面電極層22とが短絡することなく、第2の電極取り出し部25aにおいて半田27bによって外部配線28bを半田付けされる。
このとき、第2の電極取り出し部25aは、集電電極25の透明電極層24の表面端部から突き出るように形成された部分に設けられているので、半導体層23の上側の部分を避け、外部配線28bの半田付けを絶縁部26の上で行うことができる。このため、外部配線28bを接合する際に、透明電極層24の下層に成膜されている半導体層23に、熱的ダメージを与えることなく半田付けが行われる。これによって、化合物半導体を含む半導体層23に熱による欠陥が生じることが防止される。
また、絶縁部26によって半導体層23及び透明電極層24の片側外側部が覆われるので、これらの層も、外部配線28bを半田付けする際の熱的ダメージを受けない。
尚、以上の説明は、本発明の実施の形態を説明するための一例に過ぎず、本発明は本実施の形態に限定されるものではない。
本発明は複数の元素から構成される化合物半導体層と、これを挟む2つの電極層を備える光発電素子や、このような構造を有する光発電素子を備える集光型光発電モジュールの製造方法に応用することができる。例えば、Cd−Te系に代表されるIII−V族半導体、Cu−In−Se系に代表されるI−III−VI族半導体、Cu−Zn−Sn−S系化合物に代表されるI−II−IV−VI族半導体、II−IV−V族半導体、Si−Ge系等の2種類以上の元素からなるIV族半導体に適用することも可能である。
1…集光型光発電モジュール、2…太陽光、3…集光束、10…ケース、11…集光レンズ、12…支持板部、20…光発電素子、21…基板、22…裏面電極層、22a…第1の電極取り出し部、23…半導体層、24…透明電極層、25…集電電極、25a…第2の電極取り出し部、26…絶縁部、27a,27b…半田、28,28a,28b…外部配線

Claims (9)

  1. 太陽光を集光する集光レンズと、
    前記集光レンズにより集光された太陽光を受光する光発電素子と、を備え、
    前記光発電素子は、
    基板上に形成され、外部配線との接続が可能な第1の電極取り出し部を設けた第1の電極層と、
    前記第1の電極層上に順に形成された半導体層及び第2の電極層と、
    前記第2の電極層上に所定の間隔を設けて並列に形成され、外部配線との接続が可能な第2の電極取り出し部を有する複数の集電電極と、
    前記第1の電極層と前記集電電極の前記第2の電極取り出し部との間を電気的に絶縁する絶縁部と、
    を有することを特徴とする集光型光発電モジュール。
  2. 前記絶縁部は、前記半導体層及び前記第2の電極層の片側外側部を覆うように形成されることを特徴とする請求項1に記載の集光型光発電モジュール。
  3. 前記絶縁部は、絶縁性ペーストから構成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の集光型光発電モジュール。
  4. 前記絶縁性ペーストは、ガラス粉末と有機バインダとを含むガラスペーストであることを特徴とする請求項3に記載の集光型光発電モジュール。
  5. 前記半導体層は、IB族元素、IIIB族元素、VIB族元素から選ばれるいずれか1種を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の集光型光発電モジュール。
  6. 前記半導体層は、カルコパイライト構造を有するCu−In−Se系半導体を含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の集光型光発電モジュール。
  7. 光発電素子を備えた集光型光発電モジュールの製造方法であって、
    基板上に裏面電極層を成膜する裏面電極層成膜工程と、
    成膜された前記裏面電極層上に、外部配線との接続が可能な第1の電極取り出し部を残し、半導体層を成膜する半導体層成膜工程と、
    成膜された前記半導体層上に透明電極層を成膜する透明電極層成膜工程と、
    成膜された前記裏面電極層の表面の一部と前記半導体層及び前記透明電極層の片側外側部を覆うように絶縁性材料を含む絶縁部を形成する絶縁部形成工程と、
    成膜された前記透明電極層上に所定の間隔を設けて並列に配置され、且つ、前記絶縁部上に外部配線との接続が可能な第2の電極取り出し部が設けられるように集電電極を形成する集電電極形成工程と、
    を有することを特徴とする集光型光発電モジュールの製造方法。
  8. 前記半導体層は、カルコパイライト構造を有するCu−In−Se系半導体を含むことを特徴とする請求項7に記載の集光型光発電モジュールの製造方法。
  9. 前記絶縁部の前記絶縁性材料が、無鉛ガラスを含むことを特徴とする請求項7又は8に記載の集光型光発電モジュールの製造方法。
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