JP2011054777A - 単一光子発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2次元フォトニック結晶光共振器のコアとなる材料と、2次元フォトニック結晶光共振器のコアとなる材料中に導入された発光体と、水素化アモルファスシリコンをコアとする光導波路と、2次元フォトニック結晶光共振器のクラッドとして機能する低屈折率材料と、水素化アモルファスシリコン光導波路のクラッドとして機能する低屈折率材料と、ウエハ接合用接着材料と、デバイス基板とを含み、2次元フォトニック結晶光共振器が、少なくとも1つの鏡映面を有し、水素化アモルファスシリコン光導波路が、2次元フォトニック結晶光共振器近傍において、少なくとも1つの鏡映面を有するとともに、2次元フォトニック結晶光共振器、水素化アモルファスシリコン光導波路が、互いの鏡映面が重なり合うように配置されている単一光子発生装置。
【選択図】図1
Description
量子暗号通信は、従来の計算量理論に基づく安全性保証ではなく、物理法則に基づく安全性保証を特徴とする。
送信者、受信者は、盗聴の有無を検知することにより、盗聴されていないことが保証された情報を互いに共有することが可能となる。単一光子を用いた量子暗号通信は、第三者に知られてはならない情報の共有に適した通信方式である。
単一光子を用いた量子暗号通信は、共通鍵暗号方式における共通鍵の配送への応用が期待されている。
第一の問題点として、2DPC光共振器は、上下対称構造を有するため、上下方向に対して対称に光を放射することが挙げられる(図37)。
単一光子の生成において、上面(、又は下面)に放射される確率は、50%となる。
よって、上面(、又は下面)に受光光学系を配置した場合、単一光子を受光できる確率は、最大で50%となる。
ここで、2DPC光共振器において、上下非対称構造を導入し、上下方向に対する光の放射を不均一とする対策が考えられるが、一般に、上下非対称構造を導入すると、TE(Transverse−Electric)−TM(Transverse−Magnetic)結合が生じ、光共振器としての特性が劣化することが知られている。
通信のためには、光ファイバーを用いて単一光子を伝送させなければならない。しかしながら、放射パターンが広い放射角を有するため、光ファイバーとの効率の良い結合が非常に難しくなる。
単一光子を用いた通信方式では、ある単一光子が損失により失われると、その単一光子がもつ情報は全く伝送されない事態となる。よって、光ファイバーに効率よく単一光子を伝送することが可能な単一光子発生装置の実現は、非常に重要である。
第二に、集積化に適した2DPC光共振器単一光子発生装置を提供すること。
第三に、単一光子の偏波方向を制御可能な2DPC光共振器単一光子発生装置を提供すること。
(1)構成要素として、2次元フォトニック結晶光共振器のコアとなる材料と、2次元フォトニック結晶光共振器のコアとなる材料中に導入された発光体と、水素化アモルファスシリコンをコアとする光導波路と、2次元フォトニック結晶光共振器のクラッドとして機能する低屈折率材料と、水素化アモルファスシリコン光導波路のクラッドとして機能する低屈折率材料と、ウエハ接合用接着材料と、デバイス基板とを含み、
2次元フォトニック結晶光共振器が、少なくとも1つの鏡映面を有し、水素化アモルファスシリコン光導波路が、2次元フォトニック結晶光共振器近傍において、少なくとも1つの鏡映面を有するとともに、2次元フォトニック結晶光共振器、水素化アモルファスシリコン光導波路が、互いの鏡映面が重なり合うように配置されていることを特徴とする単一光子発生装置。
(2)上記2次元フォトニック結晶が、三角格子2次元フォトニック結晶、又は正方格子2次元フォトニック結晶であることを特徴とする(1)に記載の単一光子発生装置。
(3)上記2次元フォトニック結晶光共振器のコアとなる材料が、化合物半導体であることを特徴とする(1)乃至(2)のいずれかに記載の単一光子発生装置。
(4)上記2次元フォトニック結晶光共振器のコアとなる材料中に導入された発光体が、量子ドットであることを特徴とする(1)乃至(3)のいずれかに記載の単一光子発生装置。
(5)上記水素化アモルファスシリコン光導波路が、細線光導波路構造、又はリブ型光導波路構造であることを特徴とする(1)乃至(4)のいずれかに記載の単一光子発生装置。
(6)上記2次元フォトニック結晶光共振器のクラッドとして機能する低屈折率材料が、SiO2であることを特徴とする(1)乃至(5)のいずれかに記載の単一光子発生装置。
(7)上記水素化アモルファスシリコン光導波路のクラッドとして機能する低屈折率材料が、SiO2であることを特徴とする(1)乃至(6)のいずれかに記載の単一光子発生装置。
(8)上記ウエハ接合用接着材料が、BCB樹脂、又はSOG(Spin On Glass)であることを特徴とする(1)乃至(7)のいずれかに記載の単一光子発生装置。
(9)上記デバイス基板が、Si基板、SOI(Silicon On Insulator)基板、又は石英基板であることを特徴とする(1)乃至(8)のいずれかに記載の単一光子発生装置。
(10)上記2次元フォトニック結晶光共振器、水素化アモルファスシリコン光導波路において、作製上生じる位置合わせ誤差による鏡映面の位置ずれ量が、100nm以下であることを特徴とする(1)乃至(9)のいずれかに記載の単一光子発生装置。
図1に、本発明に係る単一光子発生装置の実施例を示す。
本単一光子発生装置は、第一の構成要素として、2DPC光共振器のコアとなる材料を含む。例えば、上記2DPC光共振器のコアとなる材料としては、GaAs、InP等の化合物半導体を用いればよい。
a−Si:H光導波路は、第二に、単一光子を光ファイバーへと効率よく伝送するために使用される。例えば、a−Si:H光導波路、光ファイバー間に、スポットサイズコンバーター等を挿入することにより、単一光子を損失なく光ファイバーへと伝送することが可能となる。
a−Si:Hの光学特性は、作製法、作製条件に依存するが、一般に、シリコンより大きな光学バンドギャップを有する。そのため、シリコンより広い波長帯域に対して、光を吸収なく透過させることが可能である。
a−Si:Hの広い透過波長帯域は、光照射による励起を行う際、大きな利点となる。
ウエハ接合用接着材料を用いたウエハ接合は、第一に、単一光子発生装置の集積化の実現に使用される。例えば、ウエハ接合用接着材料を用いたウエハ接合の導入により、他の光デバイスとの光・光集積化、他の電子デバイスとの光・電子集積化が実現可能となる。
ウエハ接合用接着材料を用いたウエハ接合は、第二に、2DPC光共振器コアの周囲を低屈折材料で覆うために利用される。ウエハ接合工程を含むことで、2DPC光共振器コアの上下両面に低屈折率材料を導入することが可能となる。
しかしながら、格子定数の違い等の原因により、低屈折率材料上に高品質な化合物半導体を結晶成長させることは、一般に困難である。
ウエハ接合用接着材料を用いたウエハ接合工程を含むことから、例えば、高品質な化合物半導体をコアとする2DPC光共振器の実現が容易となる。
また、ウエハ接合用接着材料を用いたウエハ接合は、ウエハ接合界面に凹凸が存在する場合にも、良好なウエハ接合が可能であるという利点がある。
(1)本単一光子発生装置において、2DPC光共振器は、少なくとも一つの鏡映面を含む(図3)。a−Si:H光導波路は、2DPC光共振器近傍において、少なくとも一つの鏡映面を含む(図4)。
(2)2DPC光共振器、a−Si:H光導波路は、互いの鏡映面が重なり合うように配置される(図5)。
このように鏡映面を合わせて配置することで、単一光子の偏波方向を、TE偏波、又はTM偏波に制御して、光ファイバーへと出射することが可能となる。
また上記実施例では、2DPCの基本構造として、円孔を用いているが(図3)、本発明では、その他の基本構造を用いてもよい。例えば、楕円孔、三角孔等の利用が挙げられる。
例えば、2DPC光共振器の形成方法としては、円孔サイズを変える方法、円孔位置をシフトさせる方法、2DPC線欠陥導波路をヘテロ接続させる方法、2DPC線欠陥導波路の一部に変調構造を導入する方法等が挙げられる。
但し、本発明において、2DPC光共振器は、a−Si:H光導波路と共有することが可能な鏡映面を、少なくとも一つはもつ必要がある。
例えば、先端部を細くした光導波路構造、先端部を太くした光導波路構造、導波路幅を任意に変調した光導波路構造等が挙げられる。
但し、本発明において、a−Si:H光導波路は、2DPC光共振器と共有することが可能な鏡映面を、少なくとも一つはもつ必要がある。
本発明では、2つの鏡映面の位置ずれΔrが零であることが理想的であるが、Δrが零から外れたからといって、突然に動作不良に至るわけではない。Δrが十分小さな値であれば、正常な動作が保証される。これは、通常の光デバイスにおける作製誤差に関する議論と同様である。
上記実施例では、2DPC光共振器のコアとなる材料中に導入する発光体としてInAs量子ドットを挙げたが、本発明では、その他の発光体を用いてもよい。
また、2DPC光共振器のコアとなる材料としてSiを、2DPC光共振器のコアとなる材料中に導入する発光体としてGe量子ドットを用いる場合が挙げられる。
また、本発明では、a−Si:H光導波路、光ファイバー間に、任意の光学素子を挿入してもよい。例えば、光変調器、方向性結合器、偏波回転素子、光スイッチ等の挿入が挙げられる。
ここで、本発明は、単一光子源同士の高集積化に適しているだけでなく、単一光子をa−Si:H光導波路を用いて取り出していることから、任意の光学素子との光・光集積化に適しているという大きな利点がある。
第一に、2DPC光共振器のコアとなる材料を有する基板と、デバイス基板を用意する(図8)。例えば、2DPC光共振器のコアとなる材料としては、化合物半導体が挙げられる。例えば、デバイス基板としては、Si基板が挙げられる。
2DPC光共振器のコアとなる材料上に、2DPC光共振器のクラッドとなる低屈折率材料を形成する(図9)。例えば、低屈折率材料としては、SiO2が挙げられる。
ウエハ接合用接着材料を用いたウエハ接合を実施する(図11)。
2DPC光共振器のコアとなる材料を有する基板のうち、余分な部材を除去する(図12)。
2DPC光共振器及びa−Si:H光導波路のクラッドとなる低屈折率材料を形成する(図14)。例えば、低屈折率材料としては、SiO2が挙げられる。
a−Si:H光導波路のクラッドとなる低屈折率材料を形成する(図16)。例えば、低屈折率材料としては、SiO2が挙げられる。
以上の作製工程を用いることで、図1で示した本発明に係る単一光子発生装置を実際に作製することができる。
上記実施例では、ウエハ接合後に、2DPC光共振器構造を作製したが(図13)、最初の段階で、2DPC光共振器のコアとなる材料に2DPC光共振器構造を作製してもよい。
上記実施例では、2DPC光共振器のコアとなる材料を有する基板上に、ウエハ接合用接着材料を塗布しているが(図10)、デバイス基板側にウエハ接合用接着材料を塗布してもよい。
上記実施例では、2DPC光共振器のコアとなる材料を有する基板における余分な部材を除去する際、犠牲層を用いるとしているが(図11、12)、その他の基板除去法を用いてもよい。例えば、エッチストップ層を用いる方法、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法、水素イオン注入を用いる方法等が挙げられる。
2DPC光共振器の直下にa−Si:H光導波路を形成する場合の作製工程としては、2DPC光共振器のコアとなる材料を有する基板上にa−Si:H光導波路を作製し、その後、ウエハ接合を用いてデバイス基板上に集積するという工程が挙げられる。
図17−23に、作製工程の説明図を示す。但し、本作製工程では、最初の段階で、2DPC光共振器のコアとなる材料に2DPC光共振器構造を作製するとした。
以下に、作製工程を簡単に説明する。
2DPC光共振器のコアとなる材料に、2DPC光共振器構造を作製する(図17)。
2DPC光共振器のコアとなる材料上に、2DPC光共振器及びa−Si:H光導波路のクラッドとなる低屈折率材料を形成する(図18)。例えば、低屈折率材料としては、SiO2が挙げられる。
a−Si:H光導波路のクラッドとなる低屈折率材料を形成する(図20)。例えば、低屈折率材料としては、SiO2が挙げられる。
ウエハ接合用接着材料をウエハ接合界面に塗布する。例えば、ウエハ接合用接着材料としては、BCB樹脂が挙げられる。
ウエハ接合用接着材料を用いたウエハ接合を実施する(図21)。
2DPC光共振器のコアとなる材料を有する基板のうち、余分な部材を除去する(図22)。
2DPC光共振器のクラッドとなる低屈折率材料を形成する(図23)。例えば、低屈折率材料としては、SiO2が挙げられる。
以上の作製工程を用いることで、2DPC光共振器の直下にa−Si:H光導波路を形成した、本発明による単一光子発生装置を実際に作製することができる。
ここで、2DPC光共振器のコアの屈折率は、GaAs、InP等の化合物半導体を想定し、3.4とする。また、2DPC光共振器のクラッドの屈折率は、SiO2を想定し、1.445とする。
このとき、2DPCのコアの厚さを275nm、円孔間隔を392nm、円孔半径を122nmとした場合、2DPCL7光共振器の基底共振モードの共振波長は1.55μmとなる。
ここで、2DPCL7光共振器の基底共振モードは、2万4300と十分大きなQ値を有する。
図25に、2DPCL7光共振器の基底共振モードの電界分布(Ey)を示す。
図27に、2DPCL7光共振器、a−Si:H光導波路を結合させた場合の断面図を示す。
a−Si:H光導波路のコアの屈折率は、3.5とする。また、クラッドの屈折率は、SiO2を想定し、1.445とする。a−Si:H光導波路の構造は、光通信波長1.55μm、TE偏波の単一光子の伝送を考慮し、横幅400nm、高さ200nmとした。
数値解析手法としては、一般的な3次元電磁界解析手法である3DFDTD(Finite−Difference Time−Domain)法を用いた。
ここで、a−Si:H光導波路中を伝搬する光は、TE偏波のみである。これは、2DPCL7光共振器、a−Si:H光導波路が共有する鏡映面上において、2DPCL7光共振器の共振モードが、TE偏波であることに起因する。
偏波制御においては、2DPC光共振器、a−Si:H光導波路の鏡映面を一致させることが非常に重要である。
図29に、2DPCL7光共振器、a−Si:H光導波路の中心間距離を変化させた場合の光取り出し効率を示す。中心間距離310〜560nmにおいて、光取り出し効率50%以上が実現される。また、中心間距離365nmにおいて、光取り出し効率71%が実現される。
一般に、単一光子の生成には、比較的低いQ値が適することが知られている。例えば、Q値が大きすぎる場合、単一光子は、光共振器中に長時間蓄えられることになる。この場合、単一光子が、光共振器外部に放出されず、発光体によって吸収されてしまうという事態が生じる。そのため、単一光子の生成には、比較的低いQ値が望ましい。
よって、Q値140〜6200は、単一光子の生成を目的とした場合、妥当なQ値と言える。
ここで、a−Si:H光導波路の位置をx方向に変化させた場合、2DPC光共振器、a−Si:H光導波路の鏡映面の一致は崩れない。つまり、a−Si:H光導波路の位置をx方向に変化させた場合においても、上記と同様にTE偏波の単一光子の生成が実現される。
a−Si:H光導波路の位置をx方向に変化させた場合においても、適切な位置を選ぶことで、50%以上の高い光取り出し効率が実現可能である。
ここで、a−Si:H光導波路の先端が、2DPCL7光共振器の直上にない場合でも、光取り出し効率50%以上が実現可能である点に注意する必要がある。例えば、x=−1765nm(図34)において、68%の高い光取り出し効率が実現可能である。
以上、光通信波長1.55μm、TE偏波の単一光子を光ファイバーへと出射する単一光子発生装置の具体的な実施例について説明を行った。
上記実施例のように、2DPC光共振器、a−Si:H光導波路が共有する鏡映面上において、2DPC光共振器の共振モードがTE偏波である場合、a−Si:H光導波路を伝搬する単一光子もTE偏波となる。
上記実施例では、2DPC光共振器、a−Si:H光導波路が共有する鏡映面上において、TE偏波となる基底共振モードを用いたが、共有する鏡映面上において、TM偏波となる高次共振モードに注目すれば、TM偏波の単一光子を光ファイバーへと出射する単一光子発生装置を実現できる。
本発明は、2DPC光共振器を用いた単一光子発生装置に関して、高効率化、高集積化、高偏波制御化を、同時に実現する単一光子発生装置を提供するものである。
Claims (10)
- 構成要素として、2次元フォトニック結晶光共振器のコアとなる材料と、2次元フォトニック結晶光共振器のコアとなる材料中に導入された発光体と、水素化アモルファスシリコンをコアとする光導波路と、2次元フォトニック結晶光共振器のクラッドとして機能する低屈折率材料と、水素化アモルファスシリコン光導波路のクラッドとして機能する低屈折率材料と、ウエハ接合用接着材料と、デバイス基板とを含み、
2次元フォトニック結晶光共振器が、少なくとも1つの鏡映面を有し、水素化アモルファスシリコン光導波路が、2次元フォトニック結晶光共振器近傍において、少なくとも1つの鏡映面を有するとともに、2次元フォトニック結晶光共振器、水素化アモルファスシリコン光導波路が、互いの鏡映面が重なり合うように配置されていることを特徴とする単一光子発生装置。 - 上記2次元フォトニック結晶が、三角格子2次元フォトニック結晶、又は正方格子2次元フォトニック結晶であることを特徴とする請求項1に記載の単一光子発生装置。
- 上記2次元フォトニック結晶光共振器のコアとなる材料が、化合物半導体であることを特徴とする請求項1乃至2のいずれか1項に記載の単一光子発生装置。
- 上記2次元フォトニック結晶光共振器のコアとなる材料中に導入された発光体が、量子ドットであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の単一光子発生装置。
- 上記水素化アモルファスシリコン光導波路が、細線光導波路構造、又はリブ型光導波路構造であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の単一光子発生装置。
- 上記2次元フォトニック結晶光共振器のクラッドとして機能する低屈折率材料が、SiO2であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の単一光子発生装置。
- 上記水素化アモルファスシリコン光導波路のクラッドとして機能する低屈折率材料が、SiO2であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の単一光子発生装置。
- 上記ウエハ接合用接着材料が、BCB樹脂、又はSOG(Spin On Glass)であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の単一光子発生装置。
- 上記デバイス基板が、Si基板、SOI(Silicon On Insulator)基板、又は石英基板であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の単一光子発生装置。
- 上記2次元フォトニック結晶光共振器、水素化アモルファスシリコン光導波路において、作製上生じる位置合わせ誤差による鏡映面の位置ずれ量が、100nm以下であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の単一光子発生装置。
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