JP2011052275A - エアロゾルデポジション装置及びエアロゾルデポジション方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 成膜基板を保持する基板保持部材と、ノズルとを備えた成膜室と、前記成膜室に配管を介してエアロゾル状態の材料粒子を供給するエアロゾル発生器と、前記エアロゾル発生器にキャリアガスを供給するキャリアガス供給手段とを有するエアロゾルデポジション装置の前記成膜室(成膜ノズル)と前記エアロゾル発生器とを結合する前記配管の途中に、表面非晶質層形成部を設ける。
【選択図】 図1
Description
比較のために、従来の製法によってリチウムイオン電池を作製して容量密度の変化を調べて比較した。この比較例1においては厚さが30μmのアルミニウム箔からなる正極の集電体53上に、LiCoO2、アセチレンブラック、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)樹脂を93:2:5の重量比で混合した電極材料をテープ成形法で77μmの厚さに塗布して正電極膜54を形成した。なお、LiCoO2の平均粒径は5μmであった。
比較のために、従来の製法によってリチウムイオン電池を作製して容量密度の変化を調べて比較した。この比較例2においては、比較例1と同様に、厚さが30μmのアルミニウム箔からなる正極の集電体53上に、LiCoO2、アセチレンブラック、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)樹脂を93:2:5の重量比で混合した電極材料をテープ成形法で77μmの厚さに塗布して正電極膜54を形成した。なお、LiCoO2の平均粒径は5μmであった。
(付記1)
成膜基板を保持する基板保持部材と、成膜ノズルとを備えた成膜室と、
前記成膜室に配管を介してエアロゾル状態の材料粒子を供給するエアロゾル発生器と、 前記エアロゾル発生器にキャリアガスを供給するキャリアガス供給手段と
前記成膜室と前記エアロゾル発生器とを結合する前記配管の途中に、表面非晶質層形成部と、を設けたエアロゾルデポジション装置。
(付記2)
前記表面非晶質層形成部のエアロゾル流入部及びエアロゾル流出部の断面積が前記配管の断面及び前記成膜ノズルの開口面積より大きい付記1に記載のエアロゾルデポジション装置。
(付記3)
前記表面非晶質層形成部に、前記エアロゾル流入部から流入した材料粒子を破砕して、前記破砕した材料粒子の表面に非晶質層を形成するために衝突部材を有する付記2に記載のエアロゾルデポジション装置。
(付記4)
前記表面非晶質層形成部のエアロゾル流入部及びエアロゾル流出部が同じ側に設けられ、前記表面非晶質層形成部の内部に前記エアロゾル流入部から流入したエアロゾルが前記表面非晶質層形成部の内部で方向転換する弧状部を有する付記2に記載のエアロゾルデポジション装置。
(付記5)
前記表面非晶質層形成部が、分級機能を有し、成膜に使用されない相対的に大粒径の材料粒子を回収する回収部を有する付記1乃至付記4のいずれか1に記載のエアロゾルデポジション装置。
(付記6)
エアロゾル発生器で発生させた材料粒子とキャリアガスとを含むエアロゾルを配管を介して表面非晶質層形成部に搬送する工程と、
前記表面非晶質層形成部で前記エアロゾルに含まれる材料粒子及び凝集粒子のいずれかもしくは両方を破砕して、前記破砕して微粒子化した材料粒子の表面を非晶質層とする工程と、
前記表面を非晶質層に改変した材料粒子を成膜ノズルから成膜基板に噴射する工程と、 前記噴射した材料粒子の表面エネルギーの高い前記非晶質層の作用により前記材料粒子同士を結合して膜状態に成膜する工程と
を有するエアロゾルデポジション方法。
(付記7)
前記材料粒子が、リチウムイオン電池の酸化物からなる電極材料であり、前記キャリアガスが酸素ガスである付記6に記載のエアロゾルデポジション方法。
(付記8)
前記材料粒子が、リチウムイオン電池の負極材料となる炭素粒子であり、前記キャリアガスが窒素ガスである付記6に記載のエアロゾルデポジション方法。
(付記9)
前記エアロガスが、材料粒子より粒径の小さな導電剤微粒子を含んでいる付記7または付記8に記載のエアロゾルデポジション方法。
(付記10)
前記材料粒子が、強誘電体材料或いは誘電率が10以上の高誘電率材料のいずれかである付記6に記載のエアロゾルデポジション方法。
2 基板保持部材
3 成膜基板
4 成膜ノズル
5 エアロゾル用配管
6 エアロゾル発生器
7 キャリアガス供給手段
8 真空ポンプ
9 超音波振動器
10 酸素ガスタンク
11,14,16 配管
12,15 流量計
13 窒素ガスタンク
17 支柱
18 XYZθステージ
19 開口
20 エアロゾル
21 材料粒子
22 アモルファス層
30 表面非晶質層形成装置
31 表面非晶質層形成室
32 衝撃部材
33 流入管
34 流出管
35,36 テーパ部
37 粒子回収部
41 衝撃板
42 半球状部材
43 衝撃突起部
44 弧状部
51,53 集電体
52 負電極膜
54 正電極膜
55 セパレータ
56 電解液
61 銅箔
62 エアロゾルデポジション膜
63 BaTiO3膜
64 上部電極
70,80 FR−4基板
71,81 ラミネート層
72,86 レジストパターン
73 表面電極
74,83 ビアホール
75,84 銅層
76,89 配線
82 銅箔
85 エアロゾルデポジション膜
87 BaTiO3膜
88 表面電極
Claims (5)
- 成膜基板を保持する基板保持部材と、ノズルとを備えた成膜室と、
前記成膜室に配管を介してエアロゾル状態の材料粒子を供給するエアロゾル発生器と、 前記エアロゾル発生器にキャリアガスを供給するキャリアガス供給手段と、
前記成膜室内部の成膜ノズルと前記エアロゾル発生器とを結合する前記配管の途中に、表面非晶質層形成部と、
を設けたエアロゾルデポジション装置。 - 前記表面非晶質層形成部のエアロゾル流入部及びエアロゾル流出部の断面積が前記配管の断面及び前記ノズルの開口面積より大きい請求項1に記載のエアロゾルデポジション装置。
- 前記表面非晶質層形成部に、前記エアロゾル流入部から流入した材料粒子もしくは材料凝集粒子のいずれかもしくは両方を破砕して、前記破砕した材料粒子の表面に非晶質層を形成するための衝突部材を有する請求項2に記載のエアロゾルデポジション装置。
- エアロゾル発生器で発生させた材料粒子とキャリアガスとを含むエアロゾルを、配管を介して表面非晶質層形成部に搬送する工程と、
前記表面非晶質層形成部で前記エアロゾルに含まれる材料粒子もしくは材料凝集粒子のいずれかもしくは両方を破砕して、前記破砕して微粒子化した材料粒子の表面を非晶質層とする工程と、
前記表面を非晶質層に改変した材料粒子をノズルから成膜基板に噴射する工程と、
前記噴射した材料粒子の表面エネルギーの高い前記非晶質層の作用により前記材料粒子同士を結合して膜状態に成膜する工程と
を有するエアロゾルデポジション方法。 - 前記材料粒子が、酸化物導電材料、強誘電体材料或いは誘電率が10以上の高誘電率材料のいずれかである請求項4に記載のエアロゾルデポジション方法。
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JP2011228390A (ja) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Fujitsu Ltd | キャパシタ及びその製造方法 |
JP2012209463A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Fujitsu Ltd | 誘電体膜の製造方法、デカップリングキャパシタの製造方法及びデカップリングキャパシタ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000212766A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-08-02 | Agency Of Ind Science & Technol | 超微粒子成膜法 |
JP2008291291A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 脆性材料膜構造体 |
-
2009
- 2009-09-02 JP JP2009202213A patent/JP5712474B2/ja active Active
Patent Citations (2)
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JP2000212766A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-08-02 | Agency Of Ind Science & Technol | 超微粒子成膜法 |
JP2008291291A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 脆性材料膜構造体 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011228390A (ja) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Fujitsu Ltd | キャパシタ及びその製造方法 |
JP2012209463A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Fujitsu Ltd | 誘電体膜の製造方法、デカップリングキャパシタの製造方法及びデカップリングキャパシタ |
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