JP2011047668A - 静電容量式センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】錘部6(可動電極体)の幹部61の両端部に、櫛歯状可動電極63の突出方向に沿うとともに、固定電極体5の幹部51にオーバーラップする位置まで延設した延設部62を設け、前記オーバーラップして重複した延設部62と固定電極体5の幹部51との間のギャップと、両端部に配置された櫛歯状固定電極52と当該櫛歯状固定電極52に重複する延設部62との間のギャップと、を同じ隙間に形成し、前記重複した延設部62と固定電極体5の幹部51とのどちらか一方の面にストッパ15を設ける。
【選択図】図1
Description
4 シリコン基板(半導体層)
5 固定電極体
6 錘部(可動電極体)
7 ばね部
15 ストッパ
51 幹部
52 櫛歯状固定電極
61 幹部
62 延設部
63 櫛歯状可動電極
Claims (1)
- 半導体層をエッチングすることによって可動電極体と固定電極体とが形成される静電容量式センサにおいて、
前記固定電極体は、櫛歯状固定電極と、前記櫛歯状固定電極の基端部を連結する幹部と、を備え、
前記可動電極体は、前記櫛歯状固定電極に間隙をもって対向配置されるとともに、前記櫛歯状固定電極と交互に配置される櫛歯状可動電極と、前記櫛歯状可動電極の基端部を連結する幹部と、を備えており、
前記可動電極体の幹部の両端部に、前記櫛歯状可動電極の突出方向に沿うとともに、前記固定電極体の幹部にオーバーラップする位置まで延設した延設部を設け、
前記オーバーラップして重複した延設部と固定電極体の幹部との間のギャップと、両端部に配置された櫛歯状固定電極と当該櫛歯状固定電極に重複する延設部との間のギャップと、を同じ隙間に形成し、
前記重複した延設部と固定電極体の幹部とのどちらか一方の面に、前記可動電極体の動作により、前記櫛歯状可動電極が前記櫛歯状固定電極に接触するのを防止するストッパを設けたことを特徴とする静電容量式センサ。
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