JP2007057247A - 静電容量型センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】 高感度な静電容量型センサを提供する。
【解決手段】 板状の固定電極5と板状の可動電極4とを対向して配置した静電容量型センサであって、固定電極5は、外部との電気的な接続に用いる固定電極用パッド部8を有し、可動電極4は、外部との電気的な接続に用いる可動電極用パッド部7を有し、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間を結ぶ直線上に、電気的に中立な中立部6を備える。
【選択図】 図1
【解決手段】 板状の固定電極5と板状の可動電極4とを対向して配置した静電容量型センサであって、固定電極5は、外部との電気的な接続に用いる固定電極用パッド部8を有し、可動電極4は、外部との電気的な接続に用いる可動電極用パッド部7を有し、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間を結ぶ直線上に、電気的に中立な中立部6を備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、板状の固定電極と板状の可動電極とを対向して配置した静電容量型センサに関する。
音響や圧力などを検出するセンサとして、図7(a)の斜視図及び図7(b)の断面図に示すように、板状の固定電極25と板状の可動電極24とを対向して配置した静電容量型センサがある。図7に示す静電容量型センサを作製するとき、支持部材21上に可動電極24となる導電性の基板22と、絶縁部23と、固定電極25となる導電材料とを堆積させ、支持部材21を厚さ方向に部分的にエッチングして、可動電極24を作製し、可動電極24と固定電極25との間に空間を形成するように絶縁部23及び固定電極25となる導電材料の一部を除去している。また、外部からの音響や圧力変化が可動電極24に伝わり易くなるよう、固定電極25には複数の孔25aが設けられている。更に、基板22の上には可動電極24と外部との電気的な接続に用いる可動電極用パッド部27が設けられ、固定電極25には自身と外部との電気的な接続に用いる固定電極用パッド部28が設けられる。
また、MEMSなどの微細加工技術を用いることで、図7に示した静電容量型センサを非常に小型に作製できる。
また、MEMSなどの微細加工技術を用いることで、図7に示した静電容量型センサを非常に小型に作製できる。
この静電容量型センサを動作させるとき、図8に示すように、可動電極用パッド部27と固定電極用パッド部28とを可動電極用ワイヤ30と固定電極用ワイヤ31とによって直流電源33に接続し、可動電極24と固定電極25との間にバイアス電圧を印加する。そして、可動電極24と固定電極25との間の電極間電圧は増幅部34で増幅され、出力端35から出力される。
可動電極24が音響や圧力などの影響を受けず、可動電極24と固定電極25との間隔に変化が無ければ、可動電極24と固定電極25との間の電極間電圧にも変化は無い。ところが、可動電極24の周囲に生じた音響や圧力変化によって可動電極24が振動し、可動電極24と固定電極25との間隔に変化が生じると、可動電極24と固定電極25との間の静電容量が変化して、電極間電圧にも変化が生じる。従って、静電容量型センサでは、可動電極24と固定電極25との間の静電容量の変化に伴う電極間電圧の変化を測定することで、発生した音響や圧力を検出できる(例えば、特許文献1を参照)。
静電容量型センサを小型化しながら検出感度を確保するためには、可動電極24の面積及び固定電極25の面積をできるだけ大きく確保しながら、他の部位を小さくすることが要求される。その場合、可動電極用パッド部27及び固定電極用パッド部28を設けるスペースも限られてくるため、図7に示すように、可動電極用パッド部27及び固定電極用パッド部28は互いに近接し、且つ、同一方向に面して設けられることになる。その結果、図8に示すように、可動電極用パッド部27及びそこに接続される可動電極用ワイヤ30と、固定電極用パッド部28及びそこに接続される固定電極用ワイヤ31とが近接し、それらの間には浮遊容量が発生してしまう。特に、微細加工技術を用いた静電容量型センサの小型化が進められている現状では、可動電極24と固定電極25との間隔を十分に離すことはできず、その結果、浮遊容量の発生を十分に抑えることもできない。
更に、可動電極24と固定電極25との間に印加されるバイアス電圧に交流成分が混在しているときには、上記浮遊容量は、交流成分にとってのバイパスコンデンサとして作用し、ノイズレベルが悪化してしまう。従って、発生した音響や圧力を高感度で検出できなくなる。
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、高感度な静電容量型センサを提供する点にある。
上記目的を達成するための本発明に係る静電容量型センサの特徴構成は、板状の固定電極と板状の可動電極とを対向して配置した静電容量型センサであって、
前記固定電極は、外部との電気的な接続に用いる固定電極用パッド部を有し、
前記可動電極は、外部との電気的な接続に用いる可動電極用パッド部を有し、
前記固定電極用パッド部と前記可動電極用パッド部との間を結ぶ直線上に、電気的に中立な中立部を備える点にある。
前記固定電極は、外部との電気的な接続に用いる固定電極用パッド部を有し、
前記可動電極は、外部との電気的な接続に用いる可動電極用パッド部を有し、
前記固定電極用パッド部と前記可動電極用パッド部との間を結ぶ直線上に、電気的に中立な中立部を備える点にある。
上記特徴構成によれば、電気的に中立な中立部が、上記固定電極用パッド部と上記可動電極用パッド部との間を結ぶ直線上に設けられるので、固定電極用パッド部と中立部との間には浮遊容量は生じず、且つ、可動電極用パッド部と中立部との間には浮遊容量は生じない。つまり、固定電極用パッド部と可動電極用パッド部との間には浮遊容量は生じないので、可動電極と固定電極との間に印加されるバイアス電圧に交流成分が混在していたとしても、その交流成分にとってのバイパスコンデンサとして作用し得る容量成分は存在しない。従って、可動電極と固定電極との間に印加されるバイアス電圧に交流成分が混在していたとしても、ノイズレベルが悪化してしまうことはなく、発生した音響や圧力を高感度で検出できるようになる。
本発明に係る静電容量型センサの別の特徴構成は、前記中立部が、前記固定電極と前記可動電極との対向面に平行な方向において、前記固定電極用パッド部と前記可動電極用パッド部との間に位置する点にある。
上記特徴構成によれば、固定電極用パッド部と可動電極用パッド部とが対向面に平行な方向において近接して配置されていたとしても、その間に設けられた中立部によって、固定電極用パッド部と可動電極用パッド部との間、及び、固定電極用パッド部に接続される配線と可動電極用パッド部に接続される配線との間に浮遊容量が発生しないようにできる。
本発明に係る静電容量型センサの更に別の特徴構成は、前記中立部は、前記対向面に平行な方向において、前記可動電極及び前記固定電極の外側を部分的に取り囲むように構成されている点にある。
上記特徴構成によれば、対向面に平行な方向において、可動電極及び固定電極の外側が、電気的に中立な中立部によって部分的に取り囲まれているので、可動電極及び固定電極を周囲から電気的に隔離された状態に位置させることができる。そして、可動電極として作用する部分の電極面積と固定電極として作用する部分の電極面積とを、中立部で確定させることができる。
以下に本発明の静電容量型センサについて図面を参照して説明する。図1は、本発明の静電容量型センサの斜視図である。また、図2は、図1の線分A−A’での断面図であり、図3は、図1の線分B−B’での断面図である。
図1〜図3に示すように、本発明の静電容量型センサは、支持部材1上に、可動電極4となる基板2と、絶縁部3と、固定電極5となる導電材料とを堆積させ、支持部材1を厚さ方向に部分的にエッチングすることで基板2の一部を露出させて円形の可動電極4を作製し、円盤状の可動電極4と円盤状の固定電極5との間に空間を形成するように絶縁層の一部を除去している。つまり、基板2のうち、支持部材1と当接していない部分が可動電極4として作用する。また、支持部材1及び基板2は矩形に形成される。
支持部材1には、シリコンウェハ等が用いられ、可動電極4となる基板2には、(ポリ)シリコンやAl、Tiなどの金属等の材料が用いられ、絶縁部3には、SiO2や窒化シリコン等の材料が用いられ、固定電極5となる導電材料には、(ポリ)シリコンやAl、Tiなどの金属等の材料が用いられる。
図1〜図3に示すように、本発明の静電容量型センサは、支持部材1上に、可動電極4となる基板2と、絶縁部3と、固定電極5となる導電材料とを堆積させ、支持部材1を厚さ方向に部分的にエッチングすることで基板2の一部を露出させて円形の可動電極4を作製し、円盤状の可動電極4と円盤状の固定電極5との間に空間を形成するように絶縁層の一部を除去している。つまり、基板2のうち、支持部材1と当接していない部分が可動電極4として作用する。また、支持部材1及び基板2は矩形に形成される。
支持部材1には、シリコンウェハ等が用いられ、可動電極4となる基板2には、(ポリ)シリコンやAl、Tiなどの金属等の材料が用いられ、絶縁部3には、SiO2や窒化シリコン等の材料が用いられ、固定電極5となる導電材料には、(ポリ)シリコンやAl、Tiなどの金属等の材料が用いられる。
板状の可動電極4と板状の固定電極5とは、互いに絶縁された状態を保ったまま対向して配置される。よって、可動電極4と固定電極5とでコンデンサが形成される。このとき、各電極は、可動電極4と固定電極5との対向する部分の面積が略等しくなるように構成される。但し、可動電極4と固定電極5との対向する部分の面積(つまり、電極面積)は、互いに異なっていてもよい。
固定電極5は、可動電極4に対向した電極部5aと、電極部5aから対向面に平行な方向に突出した形状の固定電極用接続部5bとを有する。固定電極用接続部5bの表面には、外部との電気的な接続に用いる固定電極用パッド部8が形成される。また、固定電極5には外部から伝わる音響や圧力が可動電極4へ伝わるようにする孔5cが設けられている。この固定電極用パッド部8には、AuやAl等の材料が用いられる。そして、上記固定電極用接続部5bは絶縁部3を介して基板2に固定されており、上記電極部5aは空間を挟んで可動電極4と対向している。このようにして、固定電極5の一部である固定電極用接続部5bと、可動電極4と等電位である基板2との間は、絶縁部3によって電気的に絶縁される。以上のように構成することで、可動電極4が音響や圧力などにより振動しなければ、固定電極5と可動電極4との間の静電容量にも変化は生じない。
可動電極4と同一部材で形成され、可動電極4と等電位である基板2には、可動電極4と外部との電気的な接続に用いる可動電極用パッド部7が形成される。この可動電極用パッド部7は、固定電極用パッド部8の近傍の基板2上であって、可動電極用パッド部7からは、可動電極4と固定電極5との対向面の平行方向に移動した位置に設けられる。この可動電極用パッド部7には、AuやAl等の材料が用いられる。このように、静電容量型センサを小型化していくと、必然的に、可動電極用パッド部7及び固定電極用パッド部8を設けるスペースが限られ、可動電極用パッド部7及び固定電極用パッド部8は互いに近接し、且つ、同一方向に面して設けられることになる。
更に、本実施形態の静電容量型センサには、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間を結ぶ直線上に、電気的に中立な中立部としての中立パターン6が設けられている。中立パターン6は、固定電極5の固定電極用接続部5bと基板2との間に設けられる絶縁部3と同じプロセスにおいて作製された絶縁部3の上に形成されるので、基板2とは電気的に絶縁されている。そして、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間に存在する絶縁部3及び中立パターン6は、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間の電磁的な作用を遮蔽する遮蔽部13として機能する。また、中立パターン6は、固定電極5と可動電極4との対向面に平行な方向において、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間に位置する。
以上のように、電気的に中立な中立パターン6が、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間を結ぶ直線上に設けられるので、固定電極用パッド部8と中立パターン6との間には浮遊容量は生じず、且つ、可動電極用パッド部7と中立パターン6との間には浮遊容量は生じない。つまり、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間には浮遊容量は生じないので、可動電極4と固定電極5との間に印加されるバイアス電圧に交流成分が混在していたとしても、その交流成分にとってのバイパスコンデンサとして作用し得る容量成分は存在しない。従って、可動電極4と固定電極5との間に印加されるバイアス電圧に交流成分が混在していたとしても、ノイズレベルが悪化してしまうことはなく、発生した音響や圧力を高感度で検出できるようになる。
更に、中立パターン6は、対向面に平行な方向において、可動電極4及び固定電極5の外側を部分的に取り囲むように構成されている。そして、中立パターン6の一端には中立パターン用接続部6aが設けられ、中立パターン用接続部6aの表面には外部との電気的な接続に用いる中立パターン用パッド部9が形成される。この中立パターン用パッド部9を、中立パターン用ワイヤ12を用いて任意の電位とすることにより、中立パターン6は電気的に中立した状態になる。
以上のように、対向面に平行な方向において、可動電極4及び固定電極5の外側が、電気的に中立な中立パターン6及び絶縁部3によって部分的に取り囲まれているので、可動電極4及び固定電極5を周囲から電気的に隔離された状態に位置させることができる。そして、可動電極4として作用する部分の電極面積と固定電極5として作用する部分の電極面積とを、中立パターン6で確定させることができる。
図4は、図1〜図3に示した静電容量型センサの等価回路図である。可動電極4には直流電源16によってバイアス電圧が印加され、固定電極5には増幅部14が接続されて、増幅処理後の信号が出力端15から出力される。また、中立パターン用パッド部9は接地される。よって、本実施形態の静電容量型センサでは、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間、及び、夫々に接続される固定電極用ワイヤ11と可動電極用ワイヤ10との間には、電気的に中立な中立パターン6が存在することになる。従って、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間、及び、夫々に接続される固定電極用ワイヤ11と可動電極用ワイヤ10との間に発生し得る浮遊容量を低減できる。つまり、可動電極4と固定電極5との間に印加されるバイアス電圧に交流成分が混在していたとしても、上記浮遊容量が、交流成分にとってのバイパスコンデンサとして作用することを防止できる。その結果、上記交流成分の存在によってノイズレベルが悪化してしまうこともなく、発生した音響や圧力を高感度で検出できるようになる。図4では、中立パターン用ワイヤ12を増幅部14の出力端15と同電位にしているが、中立パターン用ワイヤ12を接地するなどしてもよい。
<別実施形態>
<1>
上記実施形態では、遮蔽部13を構成する絶縁部3及び中立パターン6と、固定電極用パッド部8が設けられる固定電極用接続部5b及び絶縁部3とは互いに分離されているが、これらを結合して形成してもよい。例えば、図5に示す別の静電容量型センサの部分断面図では、絶縁部3は、固定電極5の固定電極用接続部5bの下方から、中立パターン6の下方に渡って一続きに形成されている。更に、絶縁部3の上方に形成され、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間を結ぶ直線上に位置する中立パターン6は、固定電極5と可動電極4との対向面に水平な方向に沿って延伸した延伸部6bを有する。そして、中立パターン6の延伸部6bは、固定電極5の固定電極用接続部5bの下方に形成された絶縁部3を対向面に垂直な方向に分割させている。つまり、中立パターン6の延伸部6bは、固定電極用接続部5bと基板2との間に位置する絶縁部3を、基板2と延伸部6bとの間に位置する絶縁部3aと、延伸部6bと固定電極用接続部5bとの間に位置する絶縁部3bとに分割している。
<1>
上記実施形態では、遮蔽部13を構成する絶縁部3及び中立パターン6と、固定電極用パッド部8が設けられる固定電極用接続部5b及び絶縁部3とは互いに分離されているが、これらを結合して形成してもよい。例えば、図5に示す別の静電容量型センサの部分断面図では、絶縁部3は、固定電極5の固定電極用接続部5bの下方から、中立パターン6の下方に渡って一続きに形成されている。更に、絶縁部3の上方に形成され、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間を結ぶ直線上に位置する中立パターン6は、固定電極5と可動電極4との対向面に水平な方向に沿って延伸した延伸部6bを有する。そして、中立パターン6の延伸部6bは、固定電極5の固定電極用接続部5bの下方に形成された絶縁部3を対向面に垂直な方向に分割させている。つまり、中立パターン6の延伸部6bは、固定電極用接続部5bと基板2との間に位置する絶縁部3を、基板2と延伸部6bとの間に位置する絶縁部3aと、延伸部6bと固定電極用接続部5bとの間に位置する絶縁部3bとに分割している。
以上のように構成されることで、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7とは、中立パターン6によって、対向面に平行な方向に沿って隔てられ、且つ、対向面に垂直な方向に沿って隔てられる。図6は、別実施形態の静電容量型センサの等価回路図である。また、増幅部14はボルテージフォロア回路としている。よって、図4に示したのと同様に、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間、及び、夫々に接続される固定電極用ワイヤ11と可動電極用ワイヤ10との間には、電気的に中立な中立パターン6が存在することになり、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間、及び、夫々に接続される固定電極用ワイヤ11と可動電極用ワイヤ10との間に発生し得る浮遊容量を低減できる。
この増幅部14の入力は高インピーダンスであるので、例えば、固定電極用パッド部8と可動電極用パッド部7との間の絶縁部3において発生し得るリーク電流によって、増幅部14の入力安定性が阻害されることがある。また、固定電極用パッド部8と基板2との間の絶縁部3に由来する寄生容量が発生することがある。
ところが、本別実施形態では、中立パターン用ワイヤ12を増幅部14のボルテージフォロア回路の出力に接続しているため、中立パターン6の延伸部6bをドリブンシールド(ガード電極)として作用させることができる。その結果、上述のようなリーク電流及び寄生容量による影響を排除して、増幅部14の入力安定性を高めることができる。
ところが、本別実施形態では、中立パターン用ワイヤ12を増幅部14のボルテージフォロア回路の出力に接続しているため、中立パターン6の延伸部6bをドリブンシールド(ガード電極)として作用させることができる。その結果、上述のようなリーク電流及び寄生容量による影響を排除して、増幅部14の入力安定性を高めることができる。
<2>
上記実施形態では、支持部材上に、可動電極となる基板を設け、その上方に絶縁部を挟んで固定電極を形成した構成の静電容量型センサについて説明したが、他の構成の静電容量型センサであってもよい。例えば、支持部材上に固定電極を設け、その上方に絶縁部を挟んで可動電極を形成した構成の静電容量型センサでもよい。
また、支持部材、基板(可動電極)、絶縁部、固定電極などの積層構造を変更してもよい。例えば、支持部材と基板との間に他の絶縁層を設けてもよい。
上記実施形態では、支持部材上に、可動電極となる基板を設け、その上方に絶縁部を挟んで固定電極を形成した構成の静電容量型センサについて説明したが、他の構成の静電容量型センサであってもよい。例えば、支持部材上に固定電極を設け、その上方に絶縁部を挟んで可動電極を形成した構成の静電容量型センサでもよい。
また、支持部材、基板(可動電極)、絶縁部、固定電極などの積層構造を変更してもよい。例えば、支持部材と基板との間に他の絶縁層を設けてもよい。
本発明の静電容量型センサは、可動電極の振動状態によって空気の振動を検出して、音響や圧力などを検出可能なセンサに適用可能である。
4 可動電極
5 固定電極
6 中立パターン(中立部)
7 可動電極用パッド部
8 固定電極用パッド部
5 固定電極
6 中立パターン(中立部)
7 可動電極用パッド部
8 固定電極用パッド部
Claims (3)
- 板状の固定電極と板状の可動電極とを対向して配置した静電容量型センサであって、
前記固定電極は、外部との電気的な接続に用いる固定電極用パッド部を有し、
前記可動電極は、外部との電気的な接続に用いる可動電極用パッド部を有し、
前記固定電極用パッド部と前記可動電極用パッド部との間を結ぶ直線上に、電気的に中立な中立部を備える静電容量型センサ。 - 前記中立部が、前記固定電極と前記可動電極との対向面に平行な方向において、前記固定電極用パッド部と前記可動電極用パッド部との間に位置する請求項1記載の静電容量型センサ。
- 前記中立部は、前記対向面に平行な方向において、前記可動電極及び前記固定電極の外側を部分的に取り囲むように構成されている請求項1又は2記載の静電容量型センサ。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2005
- 2005-08-22 JP JP2005239724A patent/JP2007057247A/ja active Pending
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