JP2007263744A - 静電容量式センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】対向配置された検出固定電極6a1、又は検出可動電極5a2のいずれか一方を鉤型形状とし、鉤型形状とされた検出固定電極6a1は、可動電極5の動作によって面積変化することがないよう検出固定電極6a1と検出可動電極5a1との対向面積を規定する近接対向面6s1を有し、又は鉤型形状とされた検出可動電極5a2は、可動電極5の動作によって面積変化することがないよう検出固定電極6a2と検出可動電極5a2との対向面積を規定する近接対向面5s2を有することで実現する。
【選択図】図4
Description
図1、図2を用いて、本発明の実施の形態として示す静電容量式センサの構成について説明する。
続いて、図3に示す静電容量式センサ1の検出部8を中心に可動電極5、固定電極6を拡大した平面図を用いて、検出部8の詳細な構成について説明をする。
また、検出部8は、図5、図6に示すように、図1、図2において、可動電極5に櫛歯状に形成された帯状の検出可動電極5a1を鉤型形状(検出可動電極5a2)とし、固定電極6に櫛歯状に形成された鉤型形状の検出固定電極6a1を帯状(検出固定電極6a2)とするようにしてもよい。このような検出可動電極5a2、検出固定電極6a2とした場合であっても、X軸方向、Y軸方向の加速度の検出原理は同じである。
このように、静電容量式センサ1は、検出部8を構成する検出固定電極6a1を、検出可動電極5a1の対向面5s1と、近接対向面6s1とが、対向面積を変えることなく常に対向関係を保つように鉤型形状とする。また、静電容量式センサ1は、検出部8を構成する検出可動電極5a2を、検出固定電極6a2の対向面6s2と、近接対向面5s2とが、対向面積を変えることなく常に対向関係を保つように鉤型形状とする。
2 半導体層
3 フレーム部
4 ビーム部
5 可動電極
5a1 検出可動電極
5a2 検出可動電極
5s1 対向面
5s2 近接対向面
6 固定電極
6a1 検出固定電極
6a2 検出固定電極
6s1 近接対向面
6s2 対向面
8 検出部
10 間隙
10a 間隙
10b 間隙
10c 間隙
10d 間隙
Claims (2)
- 物理量の変位に応じて動作する可動電極と、固定電極とを相互に間隙を介して対向配置し、前記固定電極と前記可動電極との間隙の大きさに応じて検出される静電容量に基づき前記物理量を検出する静電容量式センサにおいて、
対向配置された前記固定電極、又は前記可動電極のいずれか一方を鉤型形状とし、
鉤型形状とされた前記固定電極、又は前記可動電極は、可動電極の動作によって面積変化することがないよう前記固定電極と前記可動電極との対向面積を規定する近接対向面を有すること
を特徴とする静電容量式センサ。 - 前記近接対向面の面積は、前記可動電極の最大変位量に基づき決定されること
を特徴とする請求項1記載の静電容量式センサ。
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JP2006089199A JP4793050B2 (ja) | 2006-03-28 | 2006-03-28 | 静電容量式センサ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011047668A (ja) * | 2009-08-25 | 2011-03-10 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 静電容量式センサ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH102911A (ja) * | 1996-06-14 | 1998-01-06 | Hitachi Ltd | 容量式センサ及びそれを用いたシステム |
JP2000028634A (ja) * | 1998-07-07 | 2000-01-28 | Denso Corp | 容量式物理量検出装置 |
JP2003075466A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体加速度センサ |
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