JP2011044554A - 露光制御装置および半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
露光制御装置および半導体デバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011044554A JP2011044554A JP2009191259A JP2009191259A JP2011044554A JP 2011044554 A JP2011044554 A JP 2011044554A JP 2009191259 A JP2009191259 A JP 2009191259A JP 2009191259 A JP2009191259 A JP 2009191259A JP 2011044554 A JP2011044554 A JP 2011044554A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure
- shot
- dummy
- wafer
- exposed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70425—Imaging strategies, e.g. for increasing throughput or resolution, printing product fields larger than the image field or compensating lithography- or non-lithography errors, e.g. proximity correction, mix-and-match, stitching or double patterning
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70491—Information management, e.g. software; Active and passive control, e.g. details of controlling exposure processes or exposure tool monitoring processes
- G03F7/70525—Controlling normal operating mode, e.g. matching different apparatus, remote control or prediction of failure
Abstract
【課題】ウエハ外周部のショットを高歩留まりかつ高効率で露光する露光制御装置を提供すること。
【解決手段】ウエハ外周部に配置される露光ショット内でのウエハの高さに関する高さ情報に基づいて、露光ショットを、露光するショットまたは露光しないショットの何れかに設定する露光有無設定部12と、露光有無設定部12が設定した露光するショットへの露光指示と、露光有無設定部12が設定した露光しないショットに露光を行わないようスキップさせる指示と、を出力する露光指示部14と、を有する。
【選択図】図5
【解決手段】ウエハ外周部に配置される露光ショット内でのウエハの高さに関する高さ情報に基づいて、露光ショットを、露光するショットまたは露光しないショットの何れかに設定する露光有無設定部12と、露光有無設定部12が設定した露光するショットへの露光指示と、露光有無設定部12が設定した露光しないショットに露光を行わないようスキップさせる指示と、を出力する露光指示部14と、を有する。
【選択図】図5
Description
本発明は、露光制御装置および半導体デバイスの製造方法に関する。
近年、デバイスパターンサイズが微細化されているので、リソグラフィ工程によって基板上に形成されるパターンの線幅を精度良く制御する必要性が高まっている。特にメモリなどのリソグラフィ工程では、露光装置の解像限界に近い光学条件で密ピッチのライン&スペースパターンを形成する必要があり、フォーカスマージンが小さくなっている。
例えば、ステップ&スキャン型の投影露光装置は、フォーカスレベリング補正を行いながらウエハへの露光処理を行っている。ステップ&スキャン型の投影露光装置が、ウエハ外周部の特に欠けショット(ショット内の一部が製品パターンとならない不完全なショット)を露光する場合、ウエハ外周部からの所定距離までを有効フォーカス境界に設定している。そして、有効フォーカス境界よりも内側のエリアでウエハの高さ情報が取得され、この高さ情報を用いてフォーカスレベリング制御が行われている。
実際のプロセスを経たウエハは多数の膜が積層された構造となっているので、ウエハの中心部と外周部とでは、プロセス要因によって膜厚値が異なる。したがって、有効フォーカス境界は、露光処理の工程毎に決定する必要がある。
ところが、ウエハの外周部にある欠けショットにおいては、欠けショットからデバイスチップを全く取得できないショット(以下、ダミーショットという)となる場合がある。ダミーショットは、露光装置のスループット向上のためには、露光しない方が望ましいが、ダミーショットがないとドライエッチング工程やCMP工程等のリソグラフィ以外の工程でダミーショットに隣接する有効チップの特性を劣化させてしまう。
そこで、特許文献1に記載の走査露光方法は、露光フィールド内の計測領域及び計測領域よりも手前側の先読み領域で計測した各フォーカス位置に基づいて、ウエハのオートフォーカスを行なっている。そして、先読みされたフォーカス位置と計測領域のフォーカス位置との差の絶対値が許容値を超えるときには、先読みされたデータを無視して、計測領域の中央部で予め計測しておいたフォーカス位置に基づいてフォーカスを制御している。
しかしながら、特許文献1に記載の走査露光方法では、ウエハの外周部がデフォーカスする段差を有している場合、デフォーカスによってパターン倒壊などの欠陥不良が生じる場合がある。このため、ダミーショットの露光が外周チップの歩留りを低下させてしまうという問題があった。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、基板外周部のショットを高歩留まりかつ高効率で露光する露光制御装置および半導体デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
本願発明の一態様によれば、基板外周部に配置される露光ショット内での前記基板の高さに関する情報に基づいて、前記露光ショットを、露光するショットまたは露光しないショットの何れかに設定する露光設定部と、前記露光するショットへの露光指示と、前記露光しないショットに露光を行なうことなくスキップさせる指示と、を出力する露光指示部と、を有する露光制御装置が提供される。
本発明によれば、基板外周部のショットを高歩留まりかつ高効率で露光することが可能になるという効果を奏する。
以下に添付図面を参照して、実施の形態に係る露光制御装置および半導体デバイスの製造方法を詳細に説明する。なお、これらの実施の形態により本発明が限定されるものではない。
(第1の実施の形態)
図1は、第1の実施の形態に係る露光装置の構成を示す図である。露光装置100は、ウエハ周辺の欠けショットの中からデバイスチップを取得できないダミーショット(後述のダミーショットRx)を露光するか否かを判定して、ウエハの露光処理を行なう装置である。本実施の形態の露光装置100は、ダミーショットRx内の領域でWEE(Wafer Edge Exposure)などの位置よりも内側にある面積に基づいて、ダミーショットRxを露光するか否かを判定する。
図1は、第1の実施の形態に係る露光装置の構成を示す図である。露光装置100は、ウエハ周辺の欠けショットの中からデバイスチップを取得できないダミーショット(後述のダミーショットRx)を露光するか否かを判定して、ウエハの露光処理を行なう装置である。本実施の形態の露光装置100は、ダミーショットRx内の領域でWEE(Wafer Edge Exposure)などの位置よりも内側にある面積に基づいて、ダミーショットRxを露光するか否かを判定する。
露光装置100は、ステップ&スキャン型の投影露光装置であり、露光機構2と、露光制御装置1Aと、高さ情報算出部31と、を有している。露光機構2は、露光制御装置1Aからの指示に基づいて、ウエハWAの露光処理を行なう。
露光機構2は、スリット方向x1(X軸方向)にスリットが設けられてレチクル41を載置するレチクルステージ42と、ウエハWAを載置するウエハステージ46とを備えている。露光機構2がウエハWAを露光する際には、レチクルステージ42上に載置されたレチクル41をスキャン方向y1(Y軸方向)に移動させながら、レチクル41の移動に追従してウエハステージ46上のウエハWAをウエハステージ46ごと移動させる。
また、露光機構2は、露光面44の高さを測定する高さ測定部43a,43bを備えている。高さ測定部43aは、露光面44に光を照射し、高さ測定部43bは、露光面44からの反射光を検出する。高さ測定部43bで検出された反射光は、露光面44の高さに対応する反射光として高さ情報算出部31に送られる。高さ情報算出部31は、高さ測定部43bから送られてくる反射光に基づいて、ウエハの高さに関するウエハ高さ情報を算出する。
露光制御装置1Aは、ユーザなどによって入力される情報(露光パラメータ、チップに関する情報、WEEの位置に関する情報など)を用いて、ダミーショットRxを露光するか否かを判定するコンピュータなどの装置である。
露光制御装置1Aは、ダミーショットRxを露光するか否かの判定結果に基づいて、露光機構2を制御する。また、露光制御装置1Aはウエハ高さ情報や露光プログラムなどに基づいて、ウエハステージ46を制御する。
ウエハステージ46は、図示しないZ軸駆動部に接続されており、Z軸駆動部が露光制御装置1Aからの制御指示に基づいて、ウエハステージ46の高さ方向(Z軸方向)の位置を所定の位置に駆動させる。露光装置100は、フォーカスマージンを満たしたうえでウエハWAへのデバイスパターンの転写を実現するよう、フォーカスレベリング機能によってフォーカス補正やレベリング補正を行いながら露光処理を行なう。
つぎに、ダミーショットRxを露光するか否かの判定に用いるWEEの位置について説明する。図2は、WEEの位置を説明するための図である。ウエハWAの外周部には、ウエハエッジEから中心方向に向かって、エッジビード除去(Edge Bead Range)の位置(エッジビード除去位置B)、WEEの位置(WEE位置A)、有効フォーカス境界(Disable Range)の位置(dr位置C)の順番で、エッジビード除去位置B、WEE位置A、dr位置Cが配置されている。エッジビード除去位置B、WEE位置A、dr位置Cは、それぞれウエハWAの中心位置から所定の半径を有した円を示している。
エッジビード除去位置(エッジカット位置)Bは、シンナーを用いたバックリンスなどによってレジストが除去される領域とレジストが除去されない領域との境界位置である。WEE位置Aは、UV(ultraviolet)光などによって、レジストを除去する領域とレジストを除去しない領域(レジスト最外周領域)との境界位置である。WEE位置Aは、例えばレジスト塗布・現像装置内で設定されている。dr位置Cは、フォーカスレベリング補正を行なう領域(フォーカスレベリング補正領域)とフォーカスレベリング補正を行なわない領域との境界位置である。
エッジビード除去位置B、WEE位置A、dr位置Cは、それぞれユーザによって露光制御装置1Aに入力される位置である。エッジビード除去位置B、WEE位置Aは、実際にウエハWAに対して行なうウエハ高さ変化を伴う処理(バックリンス、ウエハエッジへのシンナー塗布、UV照射)によって決まる位置であり、このためウエハの高さに関する情報を潜在的に含む。dr位置Cは、歩留まり、スループットなどに基づいて、ユーザが任意に設定する位置である。なお、図2ではエッジビード除去位置BがWEE位置AよりもウエハWAの外側に位置する場合について説明したが、必ずしもこのような位置関係には限られない。
本実施の形態の露光制御装置1Aは、ダミーショットRxの領域内でWEE位置Aよりも内側の面積に基づいて、ダミーショットRxを露光するか否かを判定する。なお、ダミーショットRxを露光するか否かの判定は、ダミーショットRx内でエッジビード除去位置Bよりも内側にある面積に基づいて行ってもよいし、ダミーショットRx内でdr位置Cよりも内側にある面積に基づいて行ってもよい。以下では、ダミーショットRx内でWEE位置Aよりも内側にある面積に基づいて、ダミーショットRxを露光するか否かを判定する場合について説明する。
ここで、ダミーショットRxについて説明する。図3は、ダミーショットを説明するための図である。ウエハWAを露光する際には、ウエハWA面上の略全面に露光ショットが設定される。また、露光ショットには、1〜複数のチップが配置されている。この露光ショットのうち、ウエハWAの外周部に配置される露光ショット(dr位置C近傍の露光ショット)は、その一部がウエハWAの外側にはみ出してしまう場合がある。このため、ウエハWAの外周部に配置される露光ショットは、露光ショット内の全てのチップパターンをウエハWA上に転写することができない。
ウエハWAの外周部に配置される露光ショットのうち、ウエハWAからはみ出す領域を含んだ露光ショットが欠けショットである。そして、欠けショットの中には、有効チップ(製品として少なくとも1チップ分のパターンを形成できるチップ)を含む露光ショットと、1チップも形成できない露光ショットがある。図3では、有効チップを1チップ以上形成できる露光ショットを、有効欠けショットQ1,Q2で示し、有効チップを1チップも形成できない露光ショットをダミーショットR1,R2で示している。
また、図3では、有効欠けショットQ1,Q2、ダミーショットR1,R2よりも内側の露光ショットでショット内のチップが全て有効チップとなる露光ショットを完全ショットP1として図示している。
図4は、ダミーショットの一例と有効欠けショットの一例を示す図である。図4では、1ショット内に4チップ分の製品チップが配置されている場合を示している。図4の(a)は、ダミーショットRxの一例としてダミーショットR2を示し、図4の(b)は、有効欠けショットQxの一例として有効欠けショットQ2を示している。
ダミーショットR2には、製品チップとして製品チップch1〜ch4が配置されている。dr位置Cより内側に1チップ分の製品チップを形成することができれば、この製品チップは有効チップとなる。ダミーショットR2でウエハWAを露光した場合、dr位置Cより内側に1チップ分の製品チップを形成することができないので、製品チップch1〜ch4の何れも有効チップとはならない。
有効欠けショットQ2には、製品チップとして製品チップch11〜ch14が配置されている。有効欠けショットQ2でウエハWAを露光した場合、dr位置Cより内側に製品チップch13を形成することができるので、製品チップch13は有効チップとなる。
なお、以下の説明では有効欠けショットQ1,Q2などの有効チップを1チップ以上形成できる露光ショットを有効欠けショットQxという。また、ダミーショットR1,R2などの有効チップを1チップも形成できない露光ショットをダミーショットRxという。また、完全ショットP1などの露光ショット内の製品チップが全て有効チップとなる露光ショットを完全ショットPxという。
完全ショットPxや有効欠けショットQxは、有効チップをウエハWA上に形成するため、全てのショットが露光対象となる。ダミーショットRxは、有効チップを形成することができないので、露光装置100のスループット向上のためには、露光しないことが望ましい。また、ダミーショットRxは、ウエハWA外周部の膜厚の傾斜(段差)によってデフォーカスの影響を受ける。このため、ダミーショットRxをウエハWA上に露光すると、フォーカス不良が発生し、パターンの剥がれや倒壊を引き起こす場合がある。
一方、ダミーショットRxを露光しないと、ドライエッチング工程やCMP(Chemical Mechanical Polishing)工程等のリソグラフィ以外の工程でダミーショットRxに隣接する有効チップの特性を劣化させてしまう。このように、ダミーショットRxを露光しなければ、有効チップに対する欠陥を発生させるので、歩留まりを低下させてしまう。
このため、これらのドライエッチング工程やCMP工程などの工程能力と露光装置100のスループットロス等を勘案しながら、ダミーショットRxを露光するか否かを判定する必要がある。
そこで、本実施の形態の露光制御装置1Aは、ダミーショットRxのデフォーカスに起因するウエハWAの外周部分の歩留り低下を抑えるために、各ダミーショットRxを露光するか否かを判断する。このため、露光制御装置1Aへは、入力パラメータとして、フォーカスレベリング補正領域を示すdr位置Cとともに、現像後にレジストパターンが残るレジスト最外周領域を示すWEE位置Aを入力する。
図5は、第1の実施の形態に係る露光制御装置の構成を示すブロック図である。露光制御装置1Aは、入力部11、露光有無設定部(露光設定部)12、ショットマップ作成部13、露光指示部14を有している。
入力部11は、露光パラメータ、チップ情報、WEE幅(レジスト除去領域幅)を示す情報であるWEE位置A、ダミーショットRxの露光基準などを入力する。チップ情報は、露光ショットに配置されている製品チップのチップサイズ、チップ配列、チップレイアウトなどの製品チップに関する情報である。ダミーショットRxの露光基準は、ダミーショットRxに露光を行なわせるか、露光をスキップさせるかの判定基準である。ダミーショットRxの露光基準は、例えばダミーショットRx内でWEE位置Aより内側に位置する部分の面積に関する情報(閾値)である。入力部11は、チップ情報、WEE位置A、ダミーショットRxの露光基準などを露光有無設定部12に送る。
露光有無設定部12は、チップ情報、WEE位置A、ダミーショットRxの露光基準などの入力部11に入力された入力情報を用いて、ダミーショットRxを露光するか否かを判定し、判定結果に基づいて、ダミーショットRxへの露光の有無(露光有りまたは露光無し)を設定する。露光有無設定部12は、ダミーショットRxに設定した露光の有無をショットマップ作成部13に送る。
ショットマップ作成部13は、ダミーショットRxに設定された露光の有無を用いて、ウエハWA面上のショットマップ(露光マップ)を作成する。ショットマップは、露光ショットをウエハWA上に設定したマップであり、露光を行う露光ショットの位置(座標)、露光ショットのサイズ、露光順序などが設定された情報である。本実施の形態では、ダミーショットRxのうち露光有無設定部12が露光を行うよう設定した露光ショットのみがショットマップ上に設定される。ショットマップ作成部13は、作成したショットマップを露光指示部14に送る。
露光指示部14は、ショットマップ作成部13が作成したショットマップに基づいて、露光機構2にウエハWAの露光指示を送る。露光指示部14は、ダミーショットRxのうち露光有無設定部12が露光を行うよう設定した露光ショット(ショットマップ上のダミーショットRx)と、完全ショットPx、有効欠けショットQxのみを露光するよう露光機構2に露光指示を送る。
つぎに、第1の実施の形態に係る露光制御装置1Aの動作手順について説明する。図6は、第1の実施の形態に係る露光制御装置の動作手順を示すフローチャートである。入力部11へは、露光パラメータ、チップ情報、WEE位置A、ダミーショットRxの露光基準などが入力される(ステップS10,S20)。入力部11は、チップ情報、WEE位置A、ダミーショットRxの露光基準などを露光有無設定部12に送る。
露光有無設定部12は、チップ情報、WEE位置A、ダミーショットRxの露光基準などを用いて、ダミーショットRxを露光するか否かを判定し、判定結果に基づいて、ダミーショットRxへの露光の有無を設定する(ステップS30)。具体的には、露光有無設定部12は、チップサイズとショット内のチップ配列に基づいて、露光ショットの中から欠けショットを抽出する。そして、露光有無設定部12は、各欠けショットが有効チップを有しているか否かを判断する。露光有無設定部12は、欠けショットの中から、有効チップを有していない欠けショットをダミーショットRxに設定する。また、露光有無設定部12は、欠けショットの中から、有効チップを有している欠けショットを有効欠けショットQxに設定する。
ここで、ダミーショットRxへの露光の有無の設定方法について説明する。ダミーショットRxを露光しない場合、ダミーショットRx内でWEE位置Aより内側に位置する部分の面積が大きいほど、ダミーショットRxの近傍に配置されている製品チップに与える影響が大きくなる。そこで、露光有無設定部12は、例えばダミーショットRxの面積が所定値よりも大きい場合にダミーショットRxを露光するよう設定し、ダミーショットRx内でWEE位置Aより内側に位置する部分の面積が所定値以下の場合にダミーショットRxを露光しないよう設定する。図7は、ダミーショット内でWEE位置より内側に位置する部分の一例を示す図である。図7では、ダミーショットR3内でWEE位置Aより内側に位置する部分を斜線で示している。
ところで、露光装置100のスループットの観点からは、ダミーショットRxであれば露光しない方が望ましい。しかしながら、ウエハWAの外周部分近傍で良品となる製品チップを形成するためには、ドライエッチング工程やCMP工程などのプロセスの完成度の低い時や工程能力が低い期間は、ダミーショットRxを打たないと周辺チップの歩留りが向上しない。一方、プロセスの完成度が高まり工程能力が改善されてくると、ダミーショットRxを露光しなくても、ウエハWAの外周部分近傍に配置された製品チップの歩留りが高くなる。
このため、本実施の形態の露光有無設定部12は、ダミーショットRxに隣接する製品チップ(以下、ダミーショット隣接チップという)の不良率に基づいて、ダミーショットRxへの露光の有無を設定してもよい。また、露光有無設定部12は、ダミーショットRx内でWEE位置Aよりも内側に位置する部分の面積と製品チップの面積との面積比(以下、WEE内面積比という)に基づいてダミーショットRxへの露光の有無を設定してもよい。WEE内面積比は、ダミーショットRx内でWEE位置Aよりも内側に位置する部分の面積を製品チップの面積で割った値である。WEE内面積比は、ドライエッチング工程やCMP工程でダミーショット隣接チップに影響を与える領域に関する情報であり、製品チップの面積に対して例えば現像後にパターンが残る部分の面積の比である。
図8は、ダミーショット隣接チップの不良率とWEE内面積比との関係を説明するための図である。図8では、横軸がWEE内面積比を示し、縦軸がダミーショット隣接チップの不良率を示している。不良率曲線st1,st2は、露光しなかった場合の不良率を示す曲線である。
不良率曲線st1は、初期生産段階でのWEE内面積比とダミーショット隣接チップの不良率との関係を示し、不良率曲線st2は、プロセス完成段階でのWEE内面積比とダミーショット隣接チップの不良率との関係を示している。不良率曲線st1,st2に示すように、WEE内面積比が大きくなるに従って、ダミーショット隣接チップの不良率は大きくなる。
ウエハWAの初期生産段階では、プロセスの完成度が低いので、ダミーショット隣接チップの不良率が高い。このため、初期生産段階では、プロセス完成段階よりもWEE位置AをウエハWAの内側に設定しておく。そして、WEE位置AをウエハWAの内側に設定すると、WEE内面積比が小さくなる。ところが、WEE内面積比が小さい場合であっても、初期生産段階では、ダミーショットRxを露光しなかった場合にダミーショット隣接チップの不良率が高い。このため、初期生産段階では、WEE内面積比が小さい場合であっても、ダミーショットRxを露光ショットに設定しておく必要がある。例えば、ダミーショット隣接チップの不良率A1を満たすためには、初期生産段階の時には、WEE内面積比がa以下のダミーショットRxしか露光対象から外すことができない。
一方、プロセスの完成度が進むに従って、初期生産段階よりもWEE位置AをウエハWAの外周部側に設定しても、良品チップを形成できるように推移する。そして、WEE位置AをウエハWAの外周部側に設定すると、WEE内面積比が大きくなる。ところが、WEE内面積比が大きい場合であっても、プロセス完成段階では、ダミーショットRxを露光しなかった場合のダミーショット隣接チップの不良率が低い。このため、プロセス完成段階では、WEE内面積比が大きい場合であっても、ダミーショットRxを露光ショットに設定する必要がなくなる。例えば、不良率曲線st2が示すように、プロセス完成段階では、WEE内面積比が初期生産段階のaよりも大きなbで、ダミーショット隣接チップの不良率A1を満たすことが可能となる。
このことは、ダミーショットRxへの露光の有無の判定基準を大きなWEE内面積比に設定しても(ダミーショットRxの数を減らしても)、良品チップが取れるように推移することを示している。このため、WEE内面積比がaを超える欠けショットを露光ショットに設定することは、露光を行なわせるダミーショットRx数が多くなるので、露光装置100のスループットロスにつながり、生産効率を著しく低下させてしまう。一方、WEE内面積比がbを越える欠けショットを露光ショットに設定することによって、露光を行なわせるダミーショットRx数が少なくなるので、露光装置100のスループットは向上する。
ダミーショット隣接チップの不良率に基づいてダミーショットRxへの露光の有無を設定する場合には、入力部11にWEE内面積比や不良率曲線st1,st2などを入力する。これにより、露光装置100は、ダミーショット隣接チップの不良率に応じて、ダミーショットRxへの露光設定を行うことが可能となる。
ウエハWAは、例えば同世代のデバイスであれば同じプロセスによって作製される。デバイスには多くの派生品が存在しており、同世代のデバイスであっても派生品毎にショットレイアウトは異なる。本実施の形態では、プロセスの完成度とダミーショット隣接チップの不良率に応じて、フレキシブルに露光対象とするダミーショットRxの数を削減している。
露光有無設定部12は、ダミーショットRxに露光の有無を設定した後、ダミーショットRxに設定した露光の有無に関する情報、チップ情報などをショットマップ作成部13に送る。ショットマップ作成部13は、ダミーショットRxに設定された露光の有無やチップ情報などを用いて、ウエハWA面上のショットマップを作成する(ステップS40)。ショットマップ作成部13は、ショットマップ上で、完全ショットPxと有効欠けショットQxを露光対象のショットに設定するとともに、露光設定有りに設定されたダミーショットRxを露光対象のショットに設定する。ショットマップ作成部13は、作成したショットマップを露光指示部14に送る。
露光指示部14は、ショットマップ作成部13が作成したショットマップに基づいて、露光機構2にウエハWAへの露光指示を送る。露光指示部14は、全ての完全ショットPxと全ての有効欠けショットQxを露光するよう露光機構2に露光指示を送る
また、露光指示部14は、ダミーショットRxのうち露光有無設定部12が露光を行うよう設定した露光ショットのみを露光し、ダミーショットRxのうち露光有無設定部12が露光を行なわないよう設定した露光ショットをスキップするよう露光機構2に露光指示を送る。これにより、露光機構2は、露光指示部14からの指示に従ってウエハWAへの露光を行う(ステップS50)。露光機構2は、全ての完全ショットPxと全ての欠けショットQxを露光する。また、露光機構2は、ダミーショットRxのうち露光有無設定部12が露光を行うよう設定した露光ショットのみを露光する。
また、露光指示部14は、ダミーショットRxのうち露光有無設定部12が露光を行うよう設定した露光ショットのみを露光し、ダミーショットRxのうち露光有無設定部12が露光を行なわないよう設定した露光ショットをスキップするよう露光機構2に露光指示を送る。これにより、露光機構2は、露光指示部14からの指示に従ってウエハWAへの露光を行う(ステップS50)。露光機構2は、全ての完全ショットPxと全ての欠けショットQxを露光する。また、露光機構2は、ダミーショットRxのうち露光有無設定部12が露光を行うよう設定した露光ショットのみを露光する。
プロセスは日進月歩で改善がなされるので、プロセスは日々刻々と完成度が高くなっている。そこで、露光装置100とAPCシステムとを連動させ、変化するプロセスの実力を加味しながら、上述したダミーショットRxへの露光の有無の判定基準(ダミーショットRxの露光基準)の値を決定してもよい。これにより、常に効率良く露光対象とするダミーショットRxを設定してウエハWAを露光することが可能になる。
ダミーショットRxへの露光の有無の設定は、例えばウエハプロセスのレイヤ毎に行われる。露光装置100で露光されたウエハWAは、その後、ウエハの現像処理、エッチング処理などが行われる。具体的には、リソグラフィ工程で転写により形成したレジストパターンでマスク材が加工され、さらにパターニングされたマスク材を使用して被加工膜がエッチングによってパターニングされる。半導体装置(半導体素子や液晶表示装置等の半導体デバイス)を製造する際には、上述したダミーショットRxへの露光の有無の設定、露光処理、現像処理、エッチング処理がレイヤ毎に繰り返される。
このように、レジスト塗布・現像装置内で設定されるウエハWAのWEE位置Aと露光ショット内のチップレイアウトなどに基づいて、ダミーショットRxへの露光の有無を設定しているので、ダミーショットRxへの露光の有無をフレキシブルに設定することが可能となる。
また、露光装置100のスループット向上のためには露光しないことが望ましいダミーショットRxへの露光の有無を、ダミーショット隣接チップの不良率、リソグラフィ工程以降のドライエッチング工程やCMP工程の工程能力、露光装置100のスループットロス等に基づいて設定しているので、ダミーショットRxへの露光の有無をフレキシブルに設定することが可能となる。
したがって、ウエハWA面上のショットマップをフレキシブルに作成でき、この結果、ダミーショット隣接チップの不良率を下げつつ高スループットでウエハWAを露光することが可能となる。
なお、本実施の形態では、WEE内面積比を、製品チップとの面積比を用いて算出したが、WEE内面積比を、露光ショットとの面積比を用いて算出してもよい。この場合、WEE内面積比は、ダミーショットRx内でWEE位置Aよりも内側に位置する部分の面積と露光ショットの面積との面積比となる。
また、ネガレジストを用いてウエハWAを露光する場合などでは、WEE位置Aを用いてダミーショットRxへの露光の有無を設定できない。したがって、このような場合には、例えばエッジビード除去位置Bを用いてダミーショットRxへの露光の有無を設定してもよい。
また、本実施の形態では、ダミーショット隣接チップの不良率に基づいてダミーショットRxへの露光の有無を設定したが、複数の露光装置100がある場合は、ダミーショットRxへの露光の有無を露光装置100毎に設定してもよい。この場合、ダミーショットRxを露光した場合に不良率が高くなる露光装置100には、ダミーショットRxへの露光を行わないようダミーショットRxへの露光の有無が設定される。
また、本実施の形態では、ダミーショットRxへの露光の有無を、WEE内面積比を用いて判断したが、ダミーショットRxへの露光の有無は、ダミーショットRx内のdr位置CとWEE位置Aとの間の領域の面積と相関がある指標であれば何れの指標を用いて判断してもよい。
このように第1の実施の形態によれば、WEE位置Aを用いてダミーショットRxへの露光の有無を設定しているので、ウエハWAの外周部に配置されているダミーショット隣接チップを高歩留まりで形成することが可能になるとともに、ウエハWAの全体を高スループットで露光することが可能となる。
(第2の実施の形態)
つぎに、図9〜図16を用いてこの発明の第2の実施の形態について説明する。第2の実施の形態では、ダミーショットRx内のフォーカスレベリング値のうちWEE位置Aよりも内側で測定されたフォーカスレベリング値を用いてダミーショットRxへの露光の有無を判断する。
つぎに、図9〜図16を用いてこの発明の第2の実施の形態について説明する。第2の実施の形態では、ダミーショットRx内のフォーカスレベリング値のうちWEE位置Aよりも内側で測定されたフォーカスレベリング値を用いてダミーショットRxへの露光の有無を判断する。
図9は、第2の実施の形態に係る露光制御装置の構成を示すブロック図である。図9の各構成要素のうち図5に示す第1の実施の形態の露光制御装置1Aと同一機能を達成する構成要素については同一番号を付しており、重複する説明は省略する。なお、本実施の形態の露光装置100は、図1に示した露光装置100と比べて、露光制御装置1Aの代わりに露光制御装置1Bが配置されている点が異なっている。
露光制御装置1Bは、入力部11、露光有無設定部12、ショットマップ作成部13、露光指示部14に加えて、露光有無判断部15を有している。露光有無判断部15は、露光有無設定部12とともに露光設定部としての機能を有するものであり、ショットマップ内に設定されたダミーショットRx(露光対象のダミーショットRx)の中から、実際に露光を行うダミーショットRxと実際には露光を行わないダミーショットRxとを設定する。露光有無判断部15は、ダミーショットRx内のフォーカスレベリング値のうちWEE位置Aよりも内側で測定されたフォーカスレベリング値と、ダミーショットRx内のdr位置Cよりも内側で測定されたフォーカスレベリング値と、を用いて実際に各ダミーショットRxへ露光を行うか否かを判断する。
つぎに、第2の実施の形態に係る露光制御装置1Bの動作手順について説明する。図10は、第2の実施の形態に係る露光制御装置の動作手順を示すフローチャートである。なお、図6に示した第1の実施の形態に係る露光制御装置1Aの動作手順と同様の動作を行う処理については、その説明を省略する。
露光制御装置1Bの入力部11へは、露光制御装置1Aと同様に、露光パラメータ、チップ情報、WEE位置A、ダミーショットRxの露光基準などが入力される。また、入力部11へは、ダミーショットRx内のフォーカスレベリング値が入力される。フォーカスレベリング値は、高さ情報算出部31によって算出されるウエハ高さ情報である。入力部11へは、高さ情報算出部31からフォーカスレベリング値が送られる(ステップS110、S120)。
入力部11は、チップ情報、WEE位置A、ダミーショットRxの露光基準などを露光有無設定部12に送る。また、入力部11は、フォーカスレベリング値を露光有無判断部15に送る。
露光有無設定部12は、チップ情報、WEE位置A、ダミーショットRxの露光基準などを用いて、ダミーショットRxを露光するか否かを判定し、判定結果に基づいて、ダミーショットRxへの露光の有無を設定する(ステップS130)。
ショットマップ作成部13は、ダミーショットRxに設定された露光の有無を用いて、ウエハWA面上のショットマップを作成する(ステップS140)。ショットマップ作成部13は、作成したショットマップを露光有無判断部15に送る。
露光有無判断部15は、ショットマップ内に設定されたダミーショットRxを抽出する。また、露光有無判断部15は、ダミーショットRx内のフォーカスレベリング値のうちWEE位置Aよりも内側のフォーカスレベリング値と、ダミーショットRx内のフォーカスレベリング値のうちdr位置Cよりも内側のフォーカスレベリング値と、をダミーショットRx毎に抽出する。
露光有無判断部15は、ダミーショットRx内のWEE位置Aよりも内側のフォーカスレベリング値とdr位置Cよりも内側のフォーカスレベリング値とに基づいて、抽出したダミーショットRxの中から、実際にダミーショットRxへ露光を行うか否かをダミーショットRx毎に判断する(ステップS150)。
具体的には、露光有無判断部15は、ダミーショットRx内のWEE位置Aより内側のフォーカスレベリング値として、ダミーショットRxをスキャンした際のX方向のレベリング(係数)の傾向と、ダミーショットRxをスキャンした際のY方向のレベリング(係数)の傾向を算出する。また、露光有無判断部15は、ダミーショットRx内のdr位置Cよりも内側のフォーカスレベリング値として、ダミーショットRxをスキャンした際のX方向のレベリング(係数)の傾向と、ダミーショットRxをスキャンした際のY方向のレベリング(係数)の傾向を算出する。そして、露光有無判断部15は、WEE位置Aよりも内側のフォーカスレベリング値の傾向と、dr位置Cよりも内側のフォーカスレベリング値の傾向と、を用いて、実際にダミーショットRxへ露光を行うか否かを判断する。
露光有無判断部15は、ウエハWAの面内上の位置毎にフォーカスレベリング値の傾向を算出しておき、ウエハWAの面内上の位置毎に実際にダミーショットRxへ露光を行うか否かを判断する。図11は、ウエハ面上に設定されるフォーカスレベリング値の傾向算出位置を説明するための図である。例えば、ウエハWAの外周部に、フォーカスレベリング値の傾向算出位置がエリアX1〜X8として設定される。露光有無判断部15は、エリアX1〜X8毎にフォーカスレベリング値の傾向を算出しておき、エリアX1〜X8毎に実際にダミーショットRxへ露光を行うか否かを判断する。
図12は、従来のフォーカスレベリング制御方法と本実施の形態のフォーカスレベリング制御方法との差異を説明するための図である。図12の(a)には、従来のフォーカスレベリング制御方法を示し、図12の(b)には、本実施の形態のフォーカスレベリング制御方法を示している。従来のフォーカスレベリング制御方法では、dr位置Cよりも内側の領域に対してフォーカスレベリング制御が行われている。そして、dr位置Cよりも外側の領域に対してはフォーカスレベリング制御が行われていない。
一方、本実施の形態のフォーカスレベリング制御方法では、WEE位置Aよりも内側の領域に対してフォーカスレベリング制御を行なっている。そして、WEE位置Aよりも外側の領域に対してはフォーカスレベリング制御を行なっていない。本実施の形態では、WEE位置Aよりも内側の領域に対してフォーカスレベリング制御を行なうことによって、dr位置Cよりも外側のウエハ高さ情報を含めたフォーカスレベリング制御を行うことが可能となる。
つぎに、露光有無判断部15によるダミーショットRxへの露光の有無の判断方法について説明する。本実施の形態の露光有無判断部15は、フォーカスレベリング値の傾向とダミーショット隣接チップの歩留まりに基づいて、ダミーショットRxへの露光の有無を判断する。
図13は、フォーカスレベリング値の傾向とダミーショット隣接チップの歩留まりに基づいたダミーショットへの露光の有無の判定方法を説明するための図である。図13の(a)は、ウエハWA上のダミーショットRxにおけるフォーカスレベリング値のスキャン位置とレベリング補正係数(図13ではスリット方向のレベリング補正係数)との対応関係を示している。図13の(a)に示すグラフは、横軸がスキャン位置であり、縦軸がレベリング補正係数である。横軸のスキャン位置は、横軸の左側がウエハWA面内の中心側であり、横軸の右側がウエハWAの外周部側である。
補正係数情報Tdrは、従来のdr位置C内だけのフォーカスレベリング値を用いた場合のレベリング補正係数を示している。また、補正係数情報Tweeは、WEE位置A内までのフォーカスレベリング値を用いた場合のレベリング補正係数を示している。補正係数情報Tdrは、dr位置Cよりも外側でのレベリング補正係数が一定となっている。これは、dr位置Cよりも外側ではフォーカスレベリング補正が行われないからである。
一方、補正係数情報Tweeは、dr位置Cより外側であっても、ウエハWAの位置に応じてレベリング補正係数が大きくなっている。図13の(a)では、WEE位置A(レジストを除去しない領域の最外周)での補正係数情報Tweeとdr位置C(フォーカスレベリング補正を行なう領域の最外周)での補正係数情報Tdrとの差分を、レベリング差分Dとして示している。
レベリング差分Dは、ダミーショットRx毎に種々の値を示す。そこで、露光有無判断部15は、dr位置C内だけスキャンした場合のレベリング補正係数の履歴と、WEE位置A内までスキャンした場合のレベリング補正係数の履歴と、を用いて、ウエハWAのエリアX1〜X8毎にダミーショットRxへの露光の有無を判断する。したがって、高さ情報算出部31は、ウエハWAのエリアX1〜X8毎にダミーショットRx内でのレベリング補正係数を算出しておく。そして、高さ情報算出部31は、算出したレベリング補正係数を、エリアX1〜X8毎に入力部11を介して露光有無判断部15に送る。
図13の(b)は、各ウエハWAのレベリング差分Dをレベリング差分情報Tdとして示している。図13の(b)に示すグラフは、横軸がウエハWAを示し、縦軸がレベリング差分Dを示している。
図13の(c)は、各ウエハWAのダミーショット隣接チップの歩留まりを歩留まり情報Tyrとして示している。図13の(c)に示すグラフは、横軸が図13の(b)に示した横軸に対応しており、縦軸がダミーショット隣接チップの歩留まりを示している。
図13の(b)のレベリング差分情報Tdと図13の(c)の歩留まり情報Tyrとを比較すると、レベリング差分Dと、ダミーショット隣接チップの歩留まりとの間には相関関係があり、レベリング差分Dが大きい場合に、ダミーショット隣接チップの歩留まりが低下していることが分かる。
そこで、本実施の形態では、露光有無判断部15がレベリング差分Dと、ダミーショット隣接チップの歩留まりとの相関関係を算出する。さらに、レベリング差分情報Tdに管理値(下限値m〜上限値n)を設定しておく。そして、露光有無判断部15は、レベリング差分情報Tdが管理値から外れた場合に、このレベリング差分情報Tdに対応するダミーショットRxを露光しないよう設定する。なお、ここでは管理値として下限値m〜上限値nを設定した場合について説明したが、管理値は、上限値nだけの設定であってもよい。
また、フォーカスレベリング制御を行う際の、ウエハWAのスキャン方向は図12の(b)に示した直線方向に限らない。例えば、フォーカスレベリング制御を行う際の、ウエハWAのスキャン方向を、ジグザグに蛇行させてもよい。
図14は、スキャン方向をジグザグに蛇行させた場合のスキャン位置を示す図である。同図に示すように、スキャン領域SA内のフォーカスレベリング測定位置のうち、所定の測定位置(図14では右から2番目の測定位置p1)をジグザグに蛇行させる。このとき、測定位置p1が、dr位置Cよりも内側の位置と、dr位置Cよりも外側の位置であって且つWEE位置Aよりも内側の位置となるようスキャン領域SAを移動させる。
具体的には、ウエハWAの露光前に行うフォーカスマッピングの際に、ウエハWAのスキャン方向がジグザグに蛇行するよう、ウエハステージ46の駆動方向を制御する。これにより、WEE位置Aからdr位置Cまでの間の領域が狭い場合であっても、WEE位置Aからdr位置Cまでの間に多くのフォーカスレベリング検出点を設定することが可能となる。したがって、フォーカスレベリング制御を精度良く行うことが可能となる。
なお、図15に示すように、ラインセンサ71上のフォーカスセンサを用いて露光前にウエハ高さ情報を取得し、取得したウエハ高さ情報を用いてダミーショットRxへの露光の有無を判断してもよい。
ショットマップ作成部13がショットマップを作成した後、露光指示部14は、露光機構2に露光指示を送る。具体的には、露光指示部14は、ショットマップ作成部13が作成したショットマップのうち、露光有無判断部15で露光しないと判断されたダミーショットRxを除外してウエハWAへの露光を行うよう、露光機構2に露光指示を送る。これにより、露光機構2は、露光指示部14からの指示に従ってウエハWAへの露光を行う(ステップS160)。
露光機構2は、全ての完全ショットPxと全ての欠けショットQxを露光する。また、露光機構2は、ダミーショットRxのうち露光有無設定部12が露光を行うよう設定した露光ショットであって、且つ露光有無判断部15で露光すると判断された露光ショットのみを露光する。
従来、有効チップを形成することのできないダミーショットは、dr位置Cよりも内側で測定されたフォーカスレベリング値を用いたフォーカスレベリング制御がなされていなかった。このため、従来のダミーショットは、デフォーカス状態になり易く、パターン倒壊等に起因する欠陥不良となっていた。このため、ダミーショットの露光がダミーショット隣接チップの歩留りを低下させてしまうという問題があった。
本実施の形態では、WEE位置Aよりも内側で測定されたフォーカスレベリング値を用いてフォーカスレベリング制御を行っているので、デフォーカス状態になりにくくなるとともに、フォーカスを追従できないダミーショットは露光しないように設定することができる。したがって、パターン倒壊等に起因する欠陥不良を防止することが可能となる。
つぎに、露光制御装置1Bのハードウェア構成について説明する。図16は、露光制御装置のハードウェア構成を示す図である。露光制御装置1Bは、CPU(Central Processing Unit)91、ROM(Read Only Memory)92、RAM(Random Access Memory)93、表示部94、入力部95を有している。露光制御装置1Bでは、これらのCPU91、ROM92、RAM93、表示部94、入力部95がバスラインを介して接続されている。
CPU91は、コンピュータプログラムである露光有無設定プログラム97A、露光有無判断プログラム97Bを用いてダミーショットRxへの露光の有無を設定するとともに、露光有りに設定されたダミーショットRxへ実際に露光するか否かを判断する。表示部94は、液晶モニタなどの表示装置であり、CPU91からの指示に基づいて、露光パラメータ、チップ情報、WEE位置A、dr位置C、エッジビード除去位置B、ダミーショットRxの露光基準などを表示する。入力部95は、マウスやキーボードを備えて構成され、使用者から外部入力される指示情報(露光の有無の設定や判断に必要なパラメータ等)を入力する。入力部95へ入力された指示情報は、CPU91へ送られる。
露光有無設定プログラム97A、露光有無判断プログラム97Bは、ROM92内に格納されており、バスラインを介してRAM93へロードされる。図16では、露光有無設定プログラム97A、露光有無判断プログラム97BがRAM93へロードされた状態を示している。
CPU91はRAM93内にロードされた露光有無設定プログラム97A、露光有無判断プログラム97Bを実行する。具体的には、露光制御装置1Bでは、使用者による入力部95からの指示入力に従って、CPU91がROM92内から露光有無設定プログラム97A、露光有無判断プログラム97Bを読み出してRAM93内のプログラム格納領域に展開して各種処理を実行する。CPU91は、この各種処理に際して生じる各種データをRAM93内に形成されるデータ格納領域に一時的に記憶させておく。
露光制御装置1Bで実行される露光有無設定プログラム97A、露光有無判断プログラム97Bは、それぞれ露光有無設定部12、露光有無判断部15を含むモジュール構成となっており、露光有無設定部12、露光有無判断部15が主記憶装置上にロードされ、露光有無設定部12、露光有無判断部15が主記憶装置上に生成される。また、露光制御装置1Bは、ショットマップを作成するショットマップ作成プログラム(図示せず)を有しており、ショットマップ作成プログラムがショットマップを作成する。
このように、本実施の形態では、補正係数情報Tweeと補正係数情報Tdrとを用いてレベリング差分Dを算出し、レベリング差分Dとダミーショット隣接チップの歩留まりとの相関関係に基づいて、ダミーショットRxへの露光の有無を判断している。したがって、デフォーカスの発生しやすいダミーショットRxを露光すべきか否かを、ダミーショット隣接チップの歩留まりに基づいて、適切かつ容易に判断することが可能となる。
なお、第1の実施の形態で説明した露光制御装置1Aも露光制御装置1Bと同様のハードウェア構成を有している。第1の実施の形態で説明した露光制御装置1Aは、コンピュータプログラムである露光有無設定プログラム97A、ショットマップ作成プログラムを有している。露光制御装置1Aは、露光有無設定プログラム97A、ショットマップ作成プログラムを用いて露光の有無を設定するとともに、ショットマップを作成する。
なお、フォーカスレベリング値の傾向は、露光制御装置1B以外の他の装置によって算出してもよい。この場合、露光有無判断部15は、他の装置によって算出されたフォーカスレベリング値の傾向を用いて、実際にダミーショットRxへ露光を行うか否かを判断する。
また、本実施の形態では、レベリング差分Dとダミーショット隣接チップの歩留まりとの相関関係に基づいて、ダミーショットRxへの露光の有無を判断したが、他の情報に基づいてダミーショットRxへの露光の有無を判断してもよい。例えば、dr位置Cよりも内側で得られるウエハ高さ情報とWEE位置Aよりも内側で得られるウエハ高さ情報と、を用いた方法であれば、何れの方法によってダミーショットRxへの露光の有無を判断してもよい。
また、本実施の形態では、露光有無判断部15がダミーショットRxへの露光の有無を判断したが、露光有無設定部12がダミーショットRxへの露光の有無を判断してもよい。この場合、露光有無設定部12が露光有無判断部15の機能を有していればよい。
なお、露光有無判断部15は、ダミーショットRxへの露光有無の判断を有効欠けショットQxに適用してもよい。この場合、露光有無判断部15は、有効欠けショットQx内のWEE位置Aより内側のフォーカスレベリング値に基づいて、有効欠けショットQxへの露光の有無を判断する。
このように、第2の実施の形態によれば、デフォーカスの発生しやすいダミーショットRxを露光すべきか否かを、ダミーショット隣接チップの歩留まりに基づいて、適切かつ容易に判断することができる。これにより、ダミーショット隣接チップの歩留まりを低下させるダミーショットRxへの露光を回避することが可能となる。したがって、ダミーショット隣接チップを高歩留まりで形成することが可能になるとともに、ウエハWAの全体を高スループットで露光することが可能となる。
1A,1B 露光制御装置、12 露光有無設定部、14 露光指示部、15 露光有無判断部、31 高さ情報算出部、100 露光装置、A WEE位置、B エッジビード除去位置、C dr位置、D レベリング差分、R1〜R3,Rx ダミーショット、
WA ウエハ
WA ウエハ
Claims (5)
- 基板外周部に配置される露光ショット内での前記基板の高さに関する情報に基づいて、前記露光ショットを、露光するショットまたは露光しないショットの何れかに設定する露光設定部と、
前記露光するショットへの露光指示と、前記露光しないショットに露光を行なうことなくスキップさせる指示と、を出力する露光指示部と、
を有する露光制御装置。 - 前記露光設定部は、
前記基板のエッジ部でレジストが除去されるレジスト除去領域の前記エッジ部からの寸法であるレジスト除去領域幅、前記露光ショット内のチップサイズおよび前記露光ショット内のチップレイアウトに基づいて、前記露光ショットを露光するショットまたは露光しないショットの何れかに設定することを特徴とする請求項1に記載の露光制御装置。 - 前記露光設定部は、
前記露光ショット内で前記レジスト除去領域幅よりも内側の面積と、前記露光ショットの面積または前記露光ショット内のチップ面積と、の面積比に基づいて、前記露光ショットを露光するショットまたは露光しないショットの何れかに設定することを特徴とする請求項2に記載の露光制御装置。 - 前記露光設定部は、
前記基板外周部でフォーカスおよびレベリングの制御を行なう領域の最外周で測定された高さ情報と、前記レジストが除去されない領域の最外周で測定された高さ情報と、さらにを用いて、前記露光ショットを露光するショットまたは露光しないショットの何れかに設定することを特徴とする請求項2または3に記載の露光制御装置。 - 請求項1〜4の何れか1つに記載の露光制御装置を用いて半導体デバイスを作製することを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009191259A JP2011044554A (ja) | 2009-08-20 | 2009-08-20 | 露光制御装置および半導体デバイスの製造方法 |
US12/832,600 US8373845B2 (en) | 2009-08-20 | 2010-07-08 | Exposure control apparatus, manufacturing method of semiconductor device, and exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009191259A JP2011044554A (ja) | 2009-08-20 | 2009-08-20 | 露光制御装置および半導体デバイスの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011044554A true JP2011044554A (ja) | 2011-03-03 |
Family
ID=43605114
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009191259A Pending JP2011044554A (ja) | 2009-08-20 | 2009-08-20 | 露光制御装置および半導体デバイスの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8373845B2 (ja) |
JP (1) | JP2011044554A (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8203695B2 (en) * | 2008-11-03 | 2012-06-19 | Micron Technology, Inc. | Photolithography systems and associated methods of focus correction |
JP2011238876A (ja) * | 2010-05-13 | 2011-11-24 | Elpida Memory Inc | 半導体ウェハーの露光方法及び露光装置 |
JP2015041094A (ja) * | 2013-08-23 | 2015-03-02 | 株式会社東芝 | 露光装置、露光方法および露光プログラム |
JP2015054348A (ja) * | 2013-09-13 | 2015-03-23 | 旭硝子株式会社 | レーザ光を用いて絶縁基板に貫通孔を形成する方法 |
US11809087B2 (en) * | 2021-04-30 | 2023-11-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor processing tool and methods of operation |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3275368B2 (ja) * | 1992-07-09 | 2002-04-15 | 株式会社ニコン | 露光方法及び装置 |
JP3521543B2 (ja) | 1994-05-18 | 2004-04-19 | 株式会社ニコン | 走査露光方法及び装置 |
US6118515A (en) * | 1993-12-08 | 2000-09-12 | Nikon Corporation | Scanning exposure method |
JPH0950951A (ja) * | 1995-08-04 | 1997-02-18 | Nikon Corp | リソグラフィ方法およびリソグラフィ装置 |
US6559465B1 (en) * | 1996-08-02 | 2003-05-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Surface position detecting method having a detection timing determination |
US6090510A (en) * | 1997-03-25 | 2000-07-18 | Nikon Corporation | Method for scanning exposure |
US5990540A (en) * | 1997-12-15 | 1999-11-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
AU2746799A (en) * | 1998-03-09 | 1999-09-27 | Nikon Corporation | Scanning exposure method, scanning exposure apparatus and its manufacturing method, and device and its manufacturing method |
JP2001015420A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Toshiba Corp | 半導体ウエハのパターン露光方法およびパターン露光装置 |
JP4307664B2 (ja) * | 1999-12-03 | 2009-08-05 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置 |
JP2002184687A (ja) * | 2000-10-02 | 2002-06-28 | Canon Inc | 露光装置 |
US6599665B1 (en) * | 2000-10-10 | 2003-07-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method of making a semiconductor wafer imaging mask having uniform pattern features |
KR100533528B1 (ko) * | 2000-11-16 | 2005-12-05 | 신에츠 한도타이 가부시키가이샤 | 웨이퍼의 형상 평가방법 및 장치 및 디바이스의 제조방법,웨이퍼 및 웨이퍼의 선별방법 |
JP3769262B2 (ja) | 2002-12-20 | 2006-04-19 | 株式会社東芝 | ウェーハ平坦度評価方法、その評価方法を実行するウェーハ平坦度評価装置、その評価方法を用いたウェーハの製造方法、その評価方法を用いたウェーハ品質保証方法、その評価方法を用いた半導体デバイスの製造方法、およびその評価方法によって評価されたウェーハを用いた半導体デバイスの製造方法 |
SG125108A1 (en) * | 2003-03-11 | 2006-09-29 | Asml Netherlands Bv | Assembly comprising a sensor for determining at least one of tilt and height of a substrate, a method therefor and a lithographic projection apparatus |
US7074710B2 (en) * | 2004-11-03 | 2006-07-11 | Lsi Logic Corporation | Method of wafer patterning for reducing edge exclusion zone |
JP2009302173A (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
-
2009
- 2009-08-20 JP JP2009191259A patent/JP2011044554A/ja active Pending
-
2010
- 2010-07-08 US US12/832,600 patent/US8373845B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8373845B2 (en) | 2013-02-12 |
US20110043776A1 (en) | 2011-02-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11493851B2 (en) | Lithographic method and lithographic apparatus | |
JP5289343B2 (ja) | 露光量決定方法、半導体装置の製造方法、露光量決定プログラムおよび露光量決定装置 | |
TWI572993B (zh) | 用於判定一微影製程之製程窗之方法、相關設備及一電腦程式 | |
KR102124896B1 (ko) | 처리 파라미터의 간접 결정 | |
US7563561B2 (en) | Pattern forming method and a semiconductor device manufacturing method | |
JP2005094015A (ja) | 適応リソグラフィ短寸法エンハンスメント | |
JP2008053687A (ja) | 基板の処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板の処理システム | |
US8373845B2 (en) | Exposure control apparatus, manufacturing method of semiconductor device, and exposure apparatus | |
TW201721307A (zh) | 控制微影設備之方法、微影設備及器件製造方法 | |
JP7198912B2 (ja) | 基板全体の面内ディストーション(ipd)を決定する方法、及びコンピュータプログラム | |
CN114207527A (zh) | 用于控制半导体制造过程的方法 | |
TW201714023A (zh) | 用於控制微影裝置之方法、微影裝置及元件製造方法 | |
JP2008112889A (ja) | フォーカス測定方法、半導体装置の製造方法、および露光システム | |
US20100082144A1 (en) | Method of calculating pattern-failure-occurrence-region, computer program product, pattern-layout evaluating method, and semiconductor-device manufacturing method | |
KR102094019B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 처리 분석 방법 및 장치 | |
KR102481770B1 (ko) | 리소그래피 프로세스에서의 정렬 마크 위치설정 기술 | |
KR20220034902A (ko) | 리소그래피 장치 제어 방법 | |
US10012896B2 (en) | Lithography mask production method and lithography mask production system | |
US20200310254A1 (en) | Method for controlling a manufacturing apparatus and associated apparatuses | |
JP2006330270A (ja) | マスクデータ作成方法、マスク製造方法および半導体装置の製造方法 | |
JPWO2006059377A1 (ja) | 半導体装置及びその製造方法並びにフォトマスク | |
JP2007173435A (ja) | 最適フォーカス位置検出方法及び半導体装置の製造方法 | |
KR100568876B1 (ko) | 반도체 소자 제조용 노광장치 | |
WO2023198381A1 (en) | Methods of metrology and associated devices | |
JP2009088554A (ja) | 半導体装置の製造方法 |