JP2011043399A - 多軸角速度センサユニットの製造方法 - Google Patents
多軸角速度センサユニットの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】本発明は、互いに直交する3軸に対応する角速度をそれぞれ検出する多軸角速度センサユニットの製造方法に関し、多軸角速度センサユニットにおける検出レベルの測定工程を簡略化し生産性を高めることを目的とする。
【解決手段】本発明は、互いに直交する検出軸7,8,9として角速度を検出する多軸角速度センサユニットにおいて、パッケージ5の内部にセンサ素子1,2,3およびIC4を配置した後に、X軸、Y軸、Z軸で構成する座標系(X,Y,Z)における(1,1,1)で示される軸を回転軸24とし多軸角速度センサユニットを回転させて各センサ素子1,2,3の角速度を検出し、この検出結果を予めIC4に格納しておいた基準値データと比較させ各センサ素子1,2,3の検出レベルの補正値を設定する。
【選択図】図1
【解決手段】本発明は、互いに直交する検出軸7,8,9として角速度を検出する多軸角速度センサユニットにおいて、パッケージ5の内部にセンサ素子1,2,3およびIC4を配置した後に、X軸、Y軸、Z軸で構成する座標系(X,Y,Z)における(1,1,1)で示される軸を回転軸24とし多軸角速度センサユニットを回転させて各センサ素子1,2,3の角速度を検出し、この検出結果を予めIC4に格納しておいた基準値データと比較させ各センサ素子1,2,3の検出レベルの補正値を設定する。
【選択図】図1
Description
本発明は、互いに直交する3軸に対応する角速度をそれぞれ検出する多軸角速度センサユニットの製造方法に関する。
近年、電子機器における角速度の検出においては、互いに直交する3方向を検出軸とした検出が行われることから、各検出軸に対応する角速度を検出するセンサ素子を一つのパッケージの内部に収容する多軸角速度センサユニットが検討されている。
また、このような多軸角速度センサユニットの製造工程においては、パッケージにセンサ素子を実装するにあたり、実装したセンサ素子の検出軸と実際の多軸角速度センサユニットにおける検出軸とのズレにより検出レベルが変化するため、パッケージに実装した後にこの検出ズレを確認し、得られた角速度情報を予め設定された基準値と比較し検出レベルの補正値を設定していた。
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
しかしながら、センサ素子の検出レベルを測定する場合、それぞれの検出軸に対して多軸角速度センサユニットを回転させ角速度を付与しなければならず、互いに直交する3つの検出軸を有する多軸角速度センサユニットにおいては3つの検出軸に対して別々に角速度を付与しなければならず、生産性が悪くなってしまうという問題があった。
そこで、本発明はこのような問題を解決し、多軸角速度センサユニットの製造工程に含まれる検出レベルの測定工程を簡略化し生産性を高めることを目的とする。
この目的を達成するために本発明は、互いに直交する3つの検出軸の角速度を検出する多軸角速度センサユニットにおける各センサ素子の検出レベルの補正値を設定する方法において、パッケージの内部にセンサ素子およびICを配置した後に、X軸、Y軸、Z軸で構成する座標系(X,Y,Z)における(1,1,1)で示される軸を回転軸とし多軸角速度センサユニットを回転させて各センサ素子の角速度を検出し、この検出結果を予めICに格納しておいた基準値データと比較させ各センサ素子の検出レベルの補正値を設定するとしたのである。
この構成により本発明は多軸角速度センサユニットに対する生産性を向上できるのである。
以下、本発明の一実施形態について図を用いて説明する。
図1および図2は3つの振動型のセンサ素子1,2,3とこれらセンサ素子1,2,3を制御するIC4をパッケージ5の内部に収納しリッド6で封口した多軸角速度センサユニットの構造を示した図であり、3つのセンサ素子1,2,3は互いに直交する3軸(X軸、Y軸、Z軸)を検出軸7,8,9とした角速度情報を電気信号として出力するものである。
また、センサ素子1,2とセンサ素子3は検出方式が異なり、センサ素子1,2は図3に示すように、支持部10から検出軸7(8)を中心として対称配置された駆動アーム11上に駆動電極12および検知電極13を設けた音叉型素子であり、センサ素子3は図4に示すように、破線で囲んだ支持部14を中心として錘部15を対称に配置しこれらを破線で囲んだ蛇行状の駆動アーム16で接続し、この駆動アーム16上に駆動電極17および検知電極18を設けたジャバラ型素子を用いている。
なお、駆動電極12,17や検知電極13,18などの電極構造は、図5に示すようにAuからなる上部電極19とPtからなる下部電極20と、これらの間に配置されたPZTからなる圧電体層21により形成され、下部電極20をグランド接続した状態で上部電極19に正電圧を印加すると電極の積層方向に対して圧縮力が働き、この圧縮力により電極パターンが延びる方向に応力が発生し、これとは逆に負電圧を印加すると電極に引張力が働き、この引張力により電極パターンが縮む方向に応力が発生するものである。これとは逆に電極が撓み圧縮応力を受けることで負電圧を発生し、電極が延び引張応力を受けることで正電圧を発生させるものである。
また、図3に示す音叉型のセンサ素子1,2を用いた角速度の検出は、駆動電極にIC4から駆動電圧を印加することにより駆動アーム11が矢印22で示すよう並設方向に振動し、この振動状態において検出軸回りに角速度が加わることでコリオリ力により駆動アーム11がZ軸方向に撓み振動が生じ、この撓み振動を検知電極13により電気信号に変換しIC4に出力する。
そして、図4に示すジャバラ型のセンサ素子3を用いた角速度の検出は、駆動電極17にIC4から駆動電圧を印加することにより駆動アーム17が矢印23で示すようジャバラの伸縮方向(X軸方向)に振動させ、この振動状態において振動平面(XY平面)に直交する検出軸回り(Z軸回り)に角速度が加わることでコリオリ力により駆動アーム16が側方(Y軸方向)に撓み振動が生じ、この撓み振動を検知電極18により電気信号に変換しIC4に出力する。
なお、パッケージ5の内部におけるセンサ素子1,2,3及びIC4の実装レイアウトは、図1、図2に示されるように、パッケージ5の内部に段差5aが設けられ、この段差5aの内側の下段面5bにIC4を実装するとともに、このIC4の上面にセンサ素子3を実装し、段差5aの外側の上段面5cにセンサ素子1,2の支持部10を実装し駆動アーム11の振動空間を確保した構造としている。
また、センサ素子3はIC4の上面において支持部14から延出された接続部14aとIC4の間にスペーサ層(特に図示せず)を介在させ駆動アーム16を浮かせその振動空間を確保した構造としている。
なお、このように一つのパッケージ5の内部において駆動アーム11の検出軸7,8と振動平面(XY平面)が平行なセンサ素子1,2と、振動平面(XY平面)と検出軸9が直交するセンサ素子3を配置することで、3つのセンサ素子1,2,3の振動平面が一致もしくは平行な状態でパッケージ5の内部に配置できるので、結果として多軸角速度センサユニットを低背化した構造となっている。
そして、このような多軸角速度センサユニットにおいては、センサ素子1,2,3をパッケージ5の内部に実装する際の実装精度のバラツキに応じて各センサ素子1,2,3から出力される角速度信号の検出レベルにバラツキが生じるため、これらの組み付け後に各センサ素子1,2,3の検出レベルを確認し、検出レベルが適正な値となるようIC4に予め格納しておいた基準値データと比較させ補正値を設定するのであるが、この一実施形態においては、パッケージ5の内部にセンサ素子1,2,3およびIC4を配置した後に、多軸角速度センサユニットを図6に示すX軸、Y軸、Z軸で構成する座標系(X,Y,Z)における(1,1,1)で示される軸を回転軸24とし多軸角速度センサユニットを回転させることにより各センサ素子1,2,3の角速度を検出し補正値を設定している。
すなわち、X軸、Y軸、Z軸を検出軸とする多軸角速度センサユニットを、座標系(X,Y,Z)における(1,1,1)で示される軸を回転軸24とし多軸角速度センサユニットを回転させることで、各センサ素子1,2,3に対してcos2θ(但し、θ=45°)の回転成分が均等に加わるので、この1つの回転軸24に対する回転動作により、多軸角速度センサユニットにおける3つのセンサ素子1,2,3の検出レベルを一度に検出することができ、多軸角速度センサユニットに対する生産性を向上できるのである。
なお、回転軸24の軸方向を(1,1,1)以外の方向(ただし、X≠0、Y≠0、Z≠0)としても、3つのセンサ素子1,2,3の検出レベルを一度に検出することができるのであるが、それぞれのセンサ素子1,2,3に加わる角速度の条件が異なってしまい、補正値の設定にかかる処理が複雑になるため、回転軸24の軸方向は(1,1,1)の方向に設定することが望ましい。
本発明は、多軸角速度センサユニットの製造工程に含まれる検出レベルの検査工程において角速度センサユニットに与える負荷を低減するという効果を有し、特に小型化が進み製品強度が必要となる産業・車両用途の多軸角速度センサユニットにおいて有用である。
1,2,3 センサ素子
4 IC
5 パッケージ
7 検出軸(X軸)
8 検出軸(Y軸)
9 検出軸(Z軸)
24 回転軸
4 IC
5 パッケージ
7 検出軸(X軸)
8 検出軸(Y軸)
9 検出軸(Z軸)
24 回転軸
Claims (1)
- 互いに直交するX軸、Y軸、Z軸を検出軸とする多軸角速度センサユニットの製造方法であって、前記多軸角速度センサユニットは、前記各検出軸回りの角速度を検出するセンサ素子と、前記センサ素子の駆動状態を制御するとともに前記センサ素子から出力される検出信号を処理するICと、これらセンサ素子およびICを内蔵するパッケージとを備え、
前記パッケージの内部に前記センサ素子および前記ICを配置した後に、前記X軸、Y軸、Z軸で構成する座標系(X,Y,Z)における(1,1,1)で示される軸を回転軸とし前記多軸角速度センサユニットを回転させることにより前記各センサ素子の角速度を検出し、この検出結果を前記ICに格納された基準値と比較させ前記各センサ素子の検出レベルの補正値を設定することを特徴とした多軸角速度センサユニットの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009191558A JP2011043399A (ja) | 2009-08-21 | 2009-08-21 | 多軸角速度センサユニットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009191558A JP2011043399A (ja) | 2009-08-21 | 2009-08-21 | 多軸角速度センサユニットの製造方法 |
Publications (1)
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---|---|
JP2011043399A true JP2011043399A (ja) | 2011-03-03 |
Family
ID=43830934
Family Applications (1)
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JP2009191558A Pending JP2011043399A (ja) | 2009-08-21 | 2009-08-21 | 多軸角速度センサユニットの製造方法 |
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JP (1) | JP2011043399A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2018021167A1 (ja) * | 2016-07-26 | 2019-01-31 | 京セラ株式会社 | 角速度センサ、センサ素子および多軸角速度センサ |
-
2009
- 2009-08-21 JP JP2009191558A patent/JP2011043399A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPWO2018021167A1 (ja) * | 2016-07-26 | 2019-01-31 | 京セラ株式会社 | 角速度センサ、センサ素子および多軸角速度センサ |
CN109477719A (zh) * | 2016-07-26 | 2019-03-15 | 京瓷株式会社 | 角速度传感器、传感器元件以及多轴角速度传感器 |
US11112247B2 (en) | 2016-07-26 | 2021-09-07 | Kyocera Corporation | Angular velocity sensor, sensor element, and multi-axis angular velocity sensor |
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