JP2011035547A - 圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 振動部と保持部とからなり、振動部に一対の励振電極を有しつつ保持部に一対の搭載用端子を有した圧電振動素子と、平板状に形成され、圧電振動素子が搭載される一対の圧電振動素子搭載パッドとこの圧電振動素子搭載パッドに電気的に接続している圧電振動素子接続外部端子と少なくとも2つ一対の引回し用外部端子とが一方の主面に設けられ、前記圧電振動素子搭載パッドに電気的に接続する一対の調整用端子と前記一対の引回し用外部端子をつなぐ導通パターンとが他方の主面に設けられた素子搭載部材と、凹部を有し、この凹部内に圧電振動素子を収容する蓋部材と、素子搭載部材の他方の主面に設けられた少なくとも調整用端子を覆う保護膜と、を備えて構成されることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
また、電子部品は、チップ部品の他に、平板状の素子搭載部材に各種素子を搭載して凹部を有する蓋部材で凹部を封止した構造の圧電振動子やこのような圧電振動子に少なくとも発振回路を備えた集積回路が接続された圧電発振器といった電子部品が含まれる。
例えば、素子搭載部材は、平板状に形成されており、後述する蓋部材と接合する面に金属膜が設けられている。また、この金属膜よりも内側に圧電振動素子を搭載するための圧電振動素子搭載パッドが設けられている。また、この金属膜が設けられる主面とは反対側の主面にマザーボードなどの配線基板に実装するための外部端子が設けられている。この外部端子は、内部配線パターンを介して圧電振動素子搭載パッドと接続している。このような素子搭載部材は、複数連なった状態でウェハとなっている。このようなウェハは、それぞれの素子搭載部材となる部分に、金属膜、搭載パッド、外部端子が設けられている。
また、蓋部材は、内部に圧電振動素子を封止することができる程度の大きさを有する凹部が設けられており、素子搭載部材と接合する面に封止材からなる金属膜が設けられている。このような蓋部材は、複数連なった状態でウェハとなっている。このようなウェハは、それぞれ蓋部材となる部分に、金属膜が設けられている。
まず、素子搭載部材に設けられた圧電振動素子搭載パッドに圧電振動素子を導電性接着剤を介して搭載し、この状態で蓋部材の凹部内に圧電振動素子が入るように蓋部材を素子搭載部材に重ねる。
素子搭載部材と蓋部材とが重なった状態で、例えば、300℃〜350℃で加熱して、素子搭載部材と蓋部材とを接合して1つのウェハに複数の圧電振動子が設けられた状態にする。
その後、各圧電振動子の境目で切断して個片化された圧電振動子とする(例えば、特許文献1参照)。
素子搭載部材と蓋部材との接合は、直接接合により行われている。この接合を行うときの温度は、200℃〜500℃とされている。
このように、ウェハの状態で接合を行い、各圧電振動子となっている部分で切断して、個片化された圧電振動子としている。
例えば、圧電振動子の場合、特許文献3に示すような圧電振動子が提案されている。
この圧電振動子は、圧電振動素子を搭載する素子搭載部材が蓋部材よりも平面積が大きく形成されている。この素子搭載部材は、一方の主面に蓋部材が接合され、その一方の主面の残された部分に外部端子が設けられている。この外部端子は、例えば、マザーボードなどに導電性接着剤や半田などを用いて接合されて電気的に接続した状態となる。
このような構造の圧電振動子は、マザーボードに搭載される場合、蓋部材を囲える大きさの開口部がマザーボードに形成されており、圧電振動子に設けられた外部端子に対応させた接続端子がその開口部の周りに設けられている。
これにより、圧電振動子は、マザーボードの開口部内に圧電振動子の蓋部材を挿入した状態で外部端子をマザーボードの接続端子に接合されて用いられる。
これにより、蓋部材が突起した状態の圧電振動子の構造となってもマザーボードに搭載することができる。
また、特許文献3で提案されているような構造の圧電振動子は、外部端子の面積が小さいためにコンタクトピンが当てにくく、温度特性などの測定が行いにくくなる恐れがある。また、コンタクトピンが当てられたとしても作業性が悪く、生産コストを増大させる恐れもある。
また、蓋部材で気密封止した後、圧電振動素子搭載パッドと接続している外部端子の判別が困難となり、測定が完了するまでに多くの時間を費やす恐れもある。
また、素子搭載部材の調整用端子が設けられる主面に保護膜が設けられるので、調整用端子が短絡するのを防ぐことができる。
図1〜図3に示すように、本発明の実施形態に係る圧電デバイス100は、素子搭載部材10Aと圧電振動素子20と蓋部材30と保護膜40とから主に構成されている。
この素子搭載部材10Aは、平面視で四角形状に形成された板状部材であって、例えば、セラミックやガラスセラミックなどの材料を用いて形成されている。また、素子搭載部材10Aには、圧電振動素子搭載パッド12Aが設けられる主面に後述する蓋部材30が接合される(図1参照)。図2に示すように、この蓋部材30を接合するために、素子搭載部材10Aの一方の主面には、蓋部材30で囲まれる範囲内に2つ一対の圧電振動素子搭載パッド12Aが並んで設けられ、蓋部材30と接触しない位置であって素子搭載部材10Aの縁側に圧電振動素子接続外部端子12Bと引回し用外部端子13Aとが設けられている。
また、引回し用外部端子13Aは、素子搭載部材10Aの残りの隅部側と、1辺の中間部分とにそれぞれ設けられている。
図4に示すように、圧電振動素子接続外部端子12Bは、圧電振動素子搭載パッド12Aと調整用端子12Cとに接続した状態で、電子機器に用いられる配線基板MBへの搭載に用いられる。
このように構成される調整用端子12Cは、素子搭載部材10Aの主面に広く形成でき、かつ、突起のない平面に設けられるので、圧電振動素子20の周波数の測定や周波数の調整を容易に行うことができる。
また、この導通パターン13Bは、途中で切断されて、切断した端部に他の導通パターン13Cを設けた状態とすることができる。
この場合、2つの導通パターン13Cにコンデンサなどの電子部品B(図4参照)を搭載して電気的に接続した状態にさせることができる。
なお、この圧電振動素子20において、励振電極22が設けられる部分を振動部とし、引回しパターン23が形成される圧電片21の端部を保持部とし、圧電片21の端部に位置する引回しパターン23を搭載端子とする。また、圧電片には、水晶などの圧電材料が用いられる。
この圧電振動素子20は、励振電極22と接続している引回しパターン23と素子搭載部材10Aに設けられた圧電振動素子搭載パッド12Aに導電性接着材Dにより接合される。
これにより、圧電振動素子20は素子搭載部材10Aに搭載される。
この蓋部材30は、凹部31内に2つ一対の圧電振動素子搭載パッド12Aが入りつつ、圧電振動素子接続外部端子12Bと引回し用外部端子13Aとに接触しない大きさで形成されている。
蓋部材30と素子搭載部材10Aとの接合は、例えば、樹脂を用いて接合することができる。これにより、容易に蓋部材30を素子搭載部材10Aに接合することができる。
この保護膜40は、樹脂が用いられ、圧電振動素子20と電気的に接続している調整用端子12Cの上に設けられることで、圧電振動素子20の周波数の変動を防ぐ役割を果たす。例えば、保護膜40が調整用端子12C上に設けられていることにより、導通材料が調整用端子12C間に、見かけ上、ショートするように付着しても、保護膜40が通電を遮るため、調整用端子12C間のショートを防ぐことができる。
なお、図3に示すように、保護膜40は、素子搭載部材10Aの他方の主面において、導通パターン13Cを残して、他の面の全面に設けても良い。
また、素子搭載部材10Aの他方の主面、つまり、調整用端子12Cが設けられる主面において、その調整用端子12Cの他に導通パターン13B,13Cを設けることにより、配線基板MBの回路の経路を部分的に形成することもできるので、配線基板の設計の自由度を向上させることもできる。
また、配線基板MBに蓋部材30が挿入できる程度の凹部又は貫通穴を設けておくことにより、本発明の圧電デバイス100は、蓋部材30を凹部又は貫通孔に挿入した状態で配線基板に実装することができるので、配線基板MBに実装した後に出っ張る部分を小さくすること、つまり、厚みの制約を少なくすることができる。
本発明の実施形態に係る圧電デバイスの変形例は、図5に示すように、素子搭載部材10Bの他方の主面に設けられるそれぞれの導通パターン13Bが途中で切断されて、各切断された端部に導通パターン13Cが設けられている点で前記実施形態と異なる。
また、圧電振動素子は、水晶のほか、圧電セラミックやタンタル酸リチウムなどの圧電材料を用いることができる。
また、圧電振動素子の形状は、平板形状のほか、圧電片に凹部が形成されて振動部となる構造や、圧電片に凸部が形成されて振動部となる構造や、円板型や、音叉型などの素子形状を用いることができる。
また、圧電振動素子に水晶が用いられる場合、ATカットや、STカットなどの種々のカットアングルの水晶片を圧電片として用いることもできる。
10A、10B 素子搭載部材
12A 圧電振動素子搭載パッド
12B 圧電振動素子接続外部端子
12C 調整用端子
13A 引回し用外部端子
13B,13C 導通パターン
20 圧電振動素子
21 圧電片
22 励振電極
23 引回しパターン
30 蓋部材
31 凹部
40 保護膜
Claims (1)
- 振動部と保持部とからなり、振動部に一対の励振電極を有しつつ保持部に一対の搭載用端子を有した圧電振動素子と、
平板状に形成され、前記圧電振動素子が搭載される一対の圧電振動素子搭載パッドとこの圧電振動素子搭載パッドに電気的に接続している圧電振動素子接続外部端子と少なくとも2つ一対の引回し用外部端子とが一方の主面に設けられ、前記圧電振動素子搭載パッドに電気的に接続する一対の調整用端子と前記一対の引回し用外部端子をつなぐ導通パターンとが他方の主面に設けられた素子搭載部材と、
凹部を有し、この凹部内に前記圧電振動素子を収容する蓋部材と、
前記素子搭載部材の他方の主面に設けられた少なくとも調整用端子を覆う保護膜と、
を備えて構成されることを特徴とする圧電デバイス。
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