JP2011027740A - X-ray inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、X線検査装置に関するもので、より詳しくは、 電気電子製品製造工程でのPCBに部品を装着した上、ハンダ付け作業後に製品の信頼性を確保するために、被測定物をx、y、z軸への移動だけでなく、回転して多様な角度での検査が可能なX線検査装置に関するものである。 The present invention relates to an X-ray inspection apparatus. More specifically, the present invention relates to an object to be measured in order to ensure the reliability of a product after soldering work after mounting parts on a PCB in an electrical and electronic product manufacturing process. The present invention relates to an X-ray inspection apparatus capable of rotating and inspecting at various angles as well as moving in the y, z axes.
一般的に、電気および電子製品には多様な種類のPCB(printed circuit board)が内蔵されている。電気製品の製造工程ではPCBに部品を装着した上、ハンダ付け作業後に製品の信頼性を確保するためにハンダ付けの状態を検査している。従来は、このような検査手段として、目視検査、または外観検査装置があり、照明装置を用いたり、カメラで映像を撮影し、その形態によって良/不良を判定していた。しかしながら、このような検査手段による外観の検査だけでは限界があることからX線を利用したX線検査装置が開発された。 Generally, various types of PCBs (printed circuit boards) are built in electrical and electronic products. In the manufacturing process of electrical products, components are mounted on a PCB, and the soldering state is inspected to ensure the reliability of the product after the soldering operation. Conventionally, as such an inspection means, there is a visual inspection or an appearance inspection device, and an illuminating device is used or an image is taken with a camera, and the quality is determined according to the form. However, X-ray inspection apparatuses using X-rays have been developed because there is a limit to the appearance inspection using such inspection means.
この従来のX線検査装置は、X線の物質透過性、つまり、被透過物質の厚さと密度に反比例する特性を有する透過X線強度による映像形成を利用したもので、結合状態の良/不良を容易に把握することができるという利点がある。 This conventional X-ray inspection apparatus uses image formation based on transmitted X-ray intensity having characteristics that are inversely proportional to the material permeability of X-rays, that is, the thickness and density of the transmitted material. There is an advantage that can be easily grasped.
一般的に、このような従来公知のX線検査装置は、ケース内部に設けたステージ、X線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記X線チューブからX線を照射して前記ディテクターで撮像し、被測定物を検査するように構成されている。 In general, such a conventionally known X-ray inspection apparatus is composed of a stage, an X-ray tube, and a detector provided inside a case, and an object to be measured is placed on the stage. , The image is picked up by the detector, and the object to be measured is inspected.
この従来公知のX線検査装置は、ステージに被測定物を載置し、X線チューブからX線を照射し、X線の照射範囲内でディテクターを固定させ、被測定物を測定していたので、検査部位に対し立体的で多様な形態の入射角を得るのが難しく、検査精密度が低いという問題点があったし、特に多層構造を有するPCBの内部に形成されたハンダ付け部は、表面に形成されたハンダ付け部によって精密な検測が邪魔されるという問題点があった。 This conventionally known X-ray inspection apparatus places an object to be measured on a stage, emits X-rays from an X-ray tube, fixes a detector within the X-ray irradiation range, and measures the object to be measured. Therefore, there are problems that it is difficult to obtain three-dimensional and various forms of incident angles with respect to the inspection site, and the inspection precision is low. In particular, the soldering portion formed inside the PCB having a multilayer structure is However, there is a problem that precise inspection is obstructed by the soldered portion formed on the surface.
このような問題点を解決すべく、ディテクターを移動可能に構成し、直線の入射角だけでなく斜めの入射角を持つように設置したX線検査装置も開発されたが、このような場合にも多様な角度の映像を取得するには限界があったし、検査の精密度も充分とは言えないという問題点があった。 In order to solve such problems, an X-ray inspection apparatus was constructed that was configured so that the detector could be moved and had an oblique incident angle as well as a linear incident angle. However, there was a limit in obtaining images from various angles, and there was a problem that the precision of inspection was not sufficient.
本発明の目的は、以上のような従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、ケース内部に設けられたステージ、X線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記X線チューブからX線を照射し、前記ディテクターで撮像し被測定物を検査するX線検査装置において、前記ステージは、回転自在に構成される回転ステージ、または一側に偏って通孔された部分に回転自在に構成される円形の回転ステージを有し、前記回転ステージの下部に連結棒が取り付けられ、この連結棒の下部に回転モーターが設けられ、この回転モーターが固定フレームによって前記ステージに固定されることにより、前記回転モーターの回転によって前記回転ステージが回転するように構成されると共に、前記ステージがx軸、y軸水平移動と、z軸垂直移動が可能に構成され、前記ディテクターは支持ブラケットによってガイドレールに沿って移動可能に構成され、電気電子製品の製造工程でPCBに部品を装着した後、ハンダ付け作業後に被測定物をx、y、z軸移動だけでなく回転させて多様な角度の検査が可能にし検査の精密度を高め製品の信頼性を確保できた上で、作業効率を上げることができるX線検査装置を提供することにある。 The object of the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, and is composed of a stage, an X-ray tube, and a detector provided inside the case, and an object to be measured is placed on the stage. In the X-ray inspection apparatus that mounts, irradiates X-rays from the X-ray tube, images with the detector, and inspects the object to be measured, the stage is biased to a rotatable stage configured to be rotatable or to one side. A circular rotary stage that is configured to be freely rotatable in the through-hole, a connecting rod is attached to the lower part of the rotating stage, a rotary motor is provided at the lower part of the connecting rod, and the rotary motor is fixed. The rotary stage is configured to rotate by rotation of the rotary motor by being fixed to the stage by a frame, and the stay The x-axis, y-axis horizontal movement, and z-axis vertical movement are configured to be movable, and the detector is configured to be movable along the guide rail by the support bracket, and the components are mounted on the PCB in the manufacturing process of the electric and electronic products. Later, after soldering work, not only the x, y, and z axes are moved, but also rotation is possible to inspect various angles, increasing the precision of inspection and ensuring product reliability, and work efficiency An object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus capable of improving
前記の目的を達成するために本発明のX線検査装置は、ケース1の内部に設けられたステージ、X線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記X線チューブからX線を照射し、前記ディテクターで撮像して被測定物を検査するX線検査装置において、前記ステージは回転自在に構成される回転ステージ、または一側に偏って通孔され通孔された部分に回転自在に設けられた円形の回転ステージを有し、前記回転ステージは下部に連結棒が設けられ、この連結棒の下部に回転モーターが取り付けられ、この回転モーターが固定フレームによって前記ステージに固定されて、前記回転モーターの回転によって前記回転ステージが回転するように構成されたことを特徴とする、X線検査装置を提供する。
In order to achieve the above object, an X-ray inspection apparatus according to the present invention includes a stage, an X-ray tube, and a detector provided inside a
また、前記ステージには、固定フレームに支持されたy軸方向に水平移動可能に構成されるy軸水平移動部材、固定フレームに支持されx軸方向に水平移動可能に構成されるx軸水平移動部材、固定フレームに支持され垂直移動可能に構成されるz軸水平移動部材が全部或いは選択的に取り付けられ、前記ディテクターは、支持ブラケットによって円弧形、直線形、または円弧形の端部に直線形が形成された形態となったもののいずれか一つのガイドレールに沿って移動可能に構成されることを特徴とするX線検査装置を提供する。 The stage includes a y-axis horizontal movement member configured to be horizontally movable in the y-axis direction supported by a fixed frame, and an x-axis horizontal movement supported by the fixed frame and configured to be horizontally movable in the x-axis direction. A z-axis horizontal movement member supported by a member and a fixed frame and configured to be vertically movable is attached to the whole or selectively, and the detector is attached to an end of an arc shape, a straight line, or an arc shape by a support bracket. An X-ray inspection apparatus is provided that is configured to be movable along any one of guide rails in a form in which a linear shape is formed.
また、前記X線チューブは、ガイドレールに固定されて移動する移動部材に沿って垂直移動できるように構成されることを特徴とする、X線検査装置を提供しようとする。 In addition, the X-ray tube is configured to be vertically movable along a moving member that moves while being fixed to a guide rail.
また、前記ディテクターは、ガイドレールに固定されて移動する移動部材に沿って垂直移動できるように構成されることを特徴とする、X線検査装置を提供しようとする。 Further, the detector is intended to provide an X-ray inspection apparatus configured to be vertically movable along a moving member fixed to the guide rail and moving.
また、前記連結棒は中央に通孔が形成され、前記回転モーターは中央に中空が形成された中空モーターで構成され、前記ディテクターが前記通孔を通して前記回転ステージの被測定物を撮像することができることを特徴とする、X線検査装置を提供しようとする。 Further, the connecting rod is formed with a through-hole in the center, the rotary motor is constituted by a hollow motor with a hollow formed in the center, and the detector images the object to be measured on the rotary stage through the through-hole. An X-ray inspection apparatus characterized by being capable of being provided.
また、前記ステージの一側に被測定物を固定させるためにバイスグリップが設けられ、このバイスグリップが回転自在となるようにモーターに連結させるグリップ部が設けられることを特徴とする、X線検査装置を提供しようとする。 In addition, an X-ray inspection is provided, wherein a vise grip is provided on one side of the stage to fix the object to be measured, and a grip portion connected to a motor is provided so that the vise grip is rotatable. Try to provide a device.
また、前記ステージの上部に置かれた被測定物の位置を微調整するために、前記ステージの一側にy軸移動ユニットとx軸移動ユニットから構成された水平移動ユニットがアームの一端に設けられ、他端がシリンダーによって移動する把持部が取り付けられたジグが設けられることを特徴とする、X線検査装置を提供しようとする。 Further, in order to finely adjust the position of the object to be measured placed on the upper part of the stage, a horizontal moving unit composed of a y-axis moving unit and an x-axis moving unit is provided at one end of the arm on one side of the stage. An X-ray inspection apparatus is provided, which is provided with a jig to which a grip part whose other end is moved by a cylinder is attached.
また、前記ケースの側面の前記X線チューブの端部側の高さに側面に向かうように固定され、前記ステージの垂直移動時に前記X線チューブとの衝突を防止するために感知装置が設けられることを特徴とする、X線検査装置を提供しようとする。 A sensing device is provided to prevent the collision with the X-ray tube when the stage is vertically moved while being fixed to a height of the side surface of the case on the side of the end portion of the X-ray tube. The present invention intends to provide an X-ray inspection apparatus.
また、前記ケースの側面に下面に向かうように固定され、前記ステージの垂直移動時に前記ディテクター、またはガイドレールとの衝突を防止するために感知装置が設けられることを特徴とする、X線検査装置を提供しようとする。 An X-ray inspection apparatus, wherein the X-ray inspection apparatus is fixed to a side surface of the case so as to face a lower surface, and a sensing device is provided to prevent a collision with the detector or the guide rail when the stage is vertically moved. Try to provide.
また、前記感知装置は、監視カメラ、または光センサーであることを特徴とする、X線検査装置を提供しようとする。 In addition, an X-ray inspection apparatus is provided in which the sensing device is a surveillance camera or an optical sensor.
また、前記X線チューブは、タイマーが設けられ、このタイマーの作動によって一定時間おきに前記X線チューブが作動するようにし、ワームアップ時間を最小化にすることを特徴とする、X線検査装置を提供しようとする。 The X-ray tube is provided with a timer, and the X-ray tube is operated at regular intervals by the operation of the timer to minimize the worm-up time. Try to provide.
また、前記ステージを中心として上部にX線チューブが位置し、下部にディテクターが位置するように構成し、前記ステージを垂直上方に移動するとき前記X線チューブに被測定物に最大限に近距離に移動できることを特徴とする、X線検査装置を提供しようとする。 In addition, the X-ray tube is positioned at the upper part and the detector is positioned at the lower part with the stage as the center. When moving the stage vertically upward, the X-ray tube is close to the object to be measured at the maximum distance. It is intended to provide an X-ray inspection apparatus characterized by being movable to
本発明は、被測定物がセットされたステージが回転するように構成され、x軸、y軸に水平移動可能に構成され、z軸に垂直移動可能に構成され、前記ディテクターは支持ブラケットによってガイドレールに沿って移動可能に構成され、検査部位に対し多様なX線の入射角を得ることができるように構成することによって、立体的な映像情報の確保とともに多様な角度の検査を可能にし、検査の精密度および効率を高めることができる非常に有用な効果がある。 The present invention is configured such that a stage on which an object to be measured is set rotates, is configured to be horizontally movable on the x-axis and the y-axis, and is configured to be vertically movable on the z-axis, and the detector is guided by a support bracket. By being configured to be movable along the rail and being able to obtain various incident angles of X-rays with respect to the inspection site, it is possible to inspect various angles as well as securing stereoscopic image information, There are very useful effects that can increase the accuracy and efficiency of the examination.
以下、添付された図面に依拠して本発明の技術的構成をより詳しく説明する。図1は本発明のX線検査装置を概略的に示した斜視図で、図2は本発明のX線検査装置の正断面図で、図3は本発明のX線検査装置の側断面図で、図4は本発明のX線検査装置の作動状態を示すために要部を抜粋して示した斜視図で、図5は前記図4の下部から見上げた状態の斜視図で、図6は水平移動の作動状態を示すための図4の正断面図で、図7は本発明のX線検査装置の回転ステージの構成を図示した斜視図で、図8は図7のE-E線矢視断面図で、図9は本発明のX線検査装置のジグの斜視図で、図10は本発明のX線検査装置のディテクターが上部に位置する時の実施例の正断面図で、図11は図10のディテクターが上部に位置する時、回転ステージの作動状態と構成を示した斜視図で、図12は図11のF−F線に沿う断面図で、図13は本発明のガイドレールの実施例を示した図面で、図13aは円弧形ガイドレールを示した図面で、図13bは直線形ガイドレールを示した図面で、図13cは円弧形と直線形の混合構成形ガイドレールを図示した図面である。 Hereinafter, the technical configuration of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. 1 is a perspective view schematically showing an X-ray inspection apparatus of the present invention, FIG. 2 is a front sectional view of the X-ray inspection apparatus of the present invention, and FIG. 3 is a side sectional view of the X-ray inspection apparatus of the present invention. FIG. 4 is a perspective view showing an essential part extracted to show the operating state of the X-ray inspection apparatus of the present invention, and FIG. 5 is a perspective view looking up from the lower part of FIG. 4 is a front cross-sectional view of FIG. 4 for showing an operating state of horizontal movement, FIG. 7 is a perspective view illustrating the configuration of the rotary stage of the X-ray inspection apparatus of the present invention, and FIG. 8 is a view taken along the line EE in FIG. FIG. 9 is a perspective view of a jig of the X-ray inspection apparatus according to the present invention, and FIG. 10 is a front sectional view of the embodiment when the detector of the X-ray inspection apparatus according to the present invention is located at the top. Is a perspective view showing the operating state and configuration of the rotary stage when the detector of FIG. 10 is located at the top, and FIG. 12 is a cross-sectional view taken along line FF of FIG. 13 is a drawing showing an embodiment of the guide rail of the present invention, FIG. 13a is a drawing showing an arc guide rail, FIG. 13b is a drawing showing a straight guide rail, and FIG. 2 is a diagram illustrating a straight mixed configuration type guide rail.
本発明のX線検査装置は、ケース1の内部に設けたステージ100、X線チューブ200、ディテクター300から構成され、被測定物10を前記ステージ100に位置させ、X線チューブ200からX線を照射し、ディテクター300で撮像し被測定物を検査するX線検査装置において、ステージ100は、回転自在に構成される回転ステージ110、または一側に偏って通孔された部分に回転自在に設けられた円形の回転ステージ110を有し、前記回転ステージ110は、下部に連結棒510が設けられ、この連結棒510の下部に回転モーター520が設けられ、固定フレーム530によって前記ステージ100に固定されて前記回転モーター520の回転によって前記回転ステージ110が回転するように構成されている。
The X-ray inspection apparatus according to the present invention includes a
また、前記ステージ100は、固定フレーム411に支持されy軸に水平移動可能に構成されるy軸水平移動部材410と、固定フレーム421に支持されてx軸に水平移動可能に構成されるx軸水平移動部材420と、固定フレーム431に支持されて垂直移動可能に構成されるz軸水平移動部材430とが、全部或いは選択的に取り付けられ、前記ディテクター300は支持ブラケット311によって円弧形、直線形または、円弧形の端部に直線形が構成された形態となったもののいずれ一つのガイドレール310に沿って移動可能に構成することを特徴とする。本発明のX線検査装置は、ケース1の内部に設けられたステージ100、X線チューブ200、ディテクター300から構成され、被測定物10を前記ステージ100に位置させX線チューブ200からX線を照射しディテクター300で撮像し被測定物10を検査するように構成される。
The
前記ステージ100は、回転自在に設けられた回転ステージ110、または一側に偏って通孔され、通孔された部分に回転自在に設けられた円形の回転ステージ110を有し、前記回転ステージ110は下部に連結棒510が設けられ、この連結棒510の下部に回転モーター520が設けられ、この回転モーター520は固定フレーム530によって前記ステージ100に固定されている。そして、回転モーター520の回転によって前記回転ステージ110が回転するように構成される。
The
ステージ100は多角形、円形などの多様な形態として構成することができ、好ましくは、長方形が空間活用度面では一番好ましい。
The
ステージ100は、回転ステージ110だけで構成したり、またはステージ100を多角形、円形などの多様な形態で構成し、ステージ100の一側に偏って設けた回転ステージ110で構成される。前記の通り、ステージ100の一側に偏って回転ステージ110を構成することは、被測定物10が多様な撮像角度を必要とする場合、回転ステージ110に被測定物をセットしたり、回転が必要でない場合には回転ステージ110が構成されていない部分に被測定物10をセットしたりして、ディテクター300で感知するためであり、回転ステージ110と回転ステージ110が構成されていないステージ100部分全部を利用することができるという長所がある。
The
図2と図4に示すように、固定フレーム530の一端がステージ100の一側に固定され、この固定フレーム530の他端に回転モーター520が取り付けられ、連結棒510が前記回転ステージ110の中央軸部に連結され、前記回転モーター520の回転によって前記回転ステージ110が回転するようになっている。
As shown in FIGS. 2 and 4, one end of the fixed
図4、図5、図6a、図6bに示すように、ステージ100は、さらに固定フレーム411に支持されるy軸水平移動部材410によってy軸に水平移動できるように構成され、固定フレーム421に支持されるx軸水平移動部材420によってx軸水平移動が可能に構成され、固定フレーム431に支持されるz軸水平移動部材430によって垂直移動が可能に構成されている。
As shown in FIGS. 4, 5, 6 a, and 6 b, the
固定フレーム411は、側部にステージ100に固定された固定具412がy軸に水平移動可能にy軸水平移動部材410に結合され、前記固定フレーム421は前記固定フレーム411が上部に安着されてx軸水平移動ができるように固定された固定具422がx軸に水平移動できるようx軸水平移動部材420に結合され、前記固定フレーム431は前記固定フレーム421の両側面に構成されてz軸に水平移動できるように固定された固定具432がz軸に水平移動できるようにz軸水平移動部材430に結合されている。このように、水平移動と垂直移動両方とも可能で作業者が希望する正確な位置に被測定物を位置させることができる。
The fixed
前記y軸水平移動部材410、x軸水平移動部材420、及びz軸水平移動部材430を全部或いは選択的に採用することができる。つまり、y軸水平移動部材410とx軸水平移動部材420だけを採用したり、x軸水平移動部材420とz軸水平移動部材430だけを採用したり、y軸水平移動部材410とx軸水平移動部材420とz軸水平移動部材430全部を採用するなど、選択的に構成することができる。例えば、倍率調節が必要ない場合にはz軸水平移動部材430を除いて構成することができる。
The y-axis
前記支持ブラケット311は、前記ディテクター300が前記ガイドレール310に沿って移動するように前記ディテクター300を前記支持ブラケット311に結合する。
The
前記ガイドレール310は円弧形、直線形または、円弧形の端部に直線形が構成された形態となったもののいずれか一つで構成する。
The
ガイドレール310は、従来はステージ100自体を回転させずらく、半円弧形のガイドレールがたびたび使われる場合もあったが、本発明のX線検査装置は、回転ステージ110が構成され、本発明の円弧形ガイドレール310は任意の角度で構成できるし、4分の1の円弧形だけで構成しても充分に多様な撮像角を得ることができるので、設置スペースを大幅に減らすこともできる。
As the
また、ステージ100が回転するので、直線形のガイドレール310で構成しても多様な撮像角を得ることができることはもちろんであり、被測定物10の正確な比率の測定が可能である。図13aに示すように、ディテクター300が円弧形ガイドレール310aに沿って動くようにすると、L1:L2=L1′:L2′になるが、L1:L2=l1:l2にならなくて被測定物10の検測対象の正確な比率が出てこなくなる場合が有り得るので、目的により円弧形または、直線形を構成したり、円弧形の端部に直線形が形成された混合型を使うことがある。
In addition, since the
したがって、図13bに示すように、ガイドレール310を直線形で構成し、ディテクター300が直線に動くようにすると、L1:L2 =L1′:L2′になって被測定物10の比率と同一にディテクター300でも測定することができる。
Therefore, as shown in FIG. 13b, when the
また、図13cに示すように、ガイドレール310を円弧形と直線形を混合構成すると円弧形の長所と直線形の長所を全部持つようにすることができる。
Further, as shown in FIG. 13c, when the
また、X線チューブ200は、ガイドレール290に固定されて移動する移動部材291に沿って垂直移動可能に構成されても良い。
Further, the
X線チューブ200が移動して被測定物10、またはステージ100に近く近接したり遠ざかれるようにし、より正確な撮像が可能にされる。
The
また、ディテクター300は、ガイドレール390に固定されて移動する移動部材391に沿って垂直移動可能に構成されることもできる。
The
ディテクター300が移動して被測定物10、またはステージ100に近接したり遠ざかれるようにし、倍率調整と映像の強度(明るさ)に変化を与えられるようにし、より正確な撮像が可能にすることができる。
The
また、連結棒510は、中央に通孔511が形成され、前記回転モーター520は中央に中空が形成された中空モーターから構成され、ディテクター300が通孔511を通して回転ステージ110の被測定物10を撮像することができるように構成することができる。
The connecting
連結棒510は、中央に通孔511が形成されるが、中央に中空が形成された中空モーターで前記回転モーター520を構成し、前記連結棒510の下部の外周面に取り付け、前記連結棒510が回転するように構成することができる。
The connecting
中空モーターから構成された前記回転モーター520は、中央に中空が形成されているので、回転モーター520の中空に連結棒510を差し込む形態として構成される。
ここにおいて、中空モーターを使う理由は、連結棒510の下段の外周面にギアを構成し側部にモーターを形成してベルトやギアをかみ合わし連結棒510を回転させることができるように構成すると、モーターが側面に偏って、ベルトやギアのかみ合わせが少しずつずれれば連結棒510の回転中心軸が歪む場合が発生して正確な検査作業がやりずらくなるからであり、連結棒510に直接中空が形成された回転モーター520を結合させ連結棒510を直接回転させることによって、この不都合を解消できるからである。
The
Here, the reason for using the hollow motor is that a gear is formed on the lower outer peripheral surface of the connecting
また、ステージ100の一側に被測定物10を固定させるためにバイスグリップ121が設けられ、このバイスグリップ121を回転自在にモーター122と連結するグリップ部120が設けられている。
In addition, a
グリップ部120は、バイスグリップ121に被測定物10を固定させ、モーター122によって被測定物10が固定されたバイスグリップ121を回転させ、前記回転ステージ110の上部に被測定物10をのせて回転ステージ110を回転させて出る角度以外の他の角度で回転することによって、多様な角度で被測定物10を検査できるようになる。
The
また、ステージ100の上部に置かれた被測定物10の位置を微調整するために、ステージ100の一側にy軸移動ユニット131とx軸移動ユニット132から構成された水平移動ユニットがアーム133の一端に構成され、他端にシリンダー134によって移動する把持部135が設けられたジグ130が設けられることが好ましい。
Further, in order to finely adjust the position of the
ジグ130は、y軸移動ユニット131とx軸移動ユニット132によって水平移動が可能であり、アーム133の端部にシリンダー134に垂直移動、または対角線移動が可能に把持部135が設けられている。
The
図6a、6bと図9に示すように、シリンダー134が垂直方向に移動するように構成しても良いし、アーム133を対角線に構成してシリンダー134も対角線に作動するように構成し対角線に前記把持部135が移動するようにすることもできる。
6a, 6b and FIG. 9, the
ジグ130は、従来のものはステージ100の上部にセットされた被測定物10の微調整時にケース1の外部ドアを開いて作業者が直接に手で被測定物10を移動させなければならなかったために、微調整自体が難しくて検査作業がわずらわしいという問題点があったが、本発明はこの点を解決している。
In the
また、ケース1の側面のX線チューブ200の端部側の高さに側面に向かうように固定され、ステージ100の垂直移動時にX線チューブ200との衝突を防止するために、感知装置600が設けられることが好ましい。
In addition, in order to prevent the collision with the
感知装置600は、外部に設置されたモニター(図示せず)によって作業者が前記ステージ100の垂直移動時にディテクター300、またはガイドレール310との間隔が狭まる時、モニターで確認をし安全距離を確保して衝突を防止する機能を持つ。
The
また、ケース1の側面に下面に向かうように固定され、ステージ100の垂直移動時にディテクター300、またはガイドレール310との衝突を防止するために感知装置700が構成されることが好ましい。
Further, it is preferable that the
この感知装置700は、外部に設置されたモニター(図示せず)によって作業者が前記ステージ100の垂直移動時にディテクター300、またはガイドレール310との間隔が狭まる時、モニターで確認をし安全距離を確保して衝突を防止する役割をする。
This
また、感知装置600、700は監視カメラまたは、光センサーとすることができる。図3のごとく、この感知装置600、700は、外部に設置されたモニターによって作業者が監視して衝突を防止する機能を持つが、この時、監視カメラまたは、光センサー(レーザーセンサー、赤外線センサー)は、光センサーが一定距離以上間隔が狭まれば移動(水平、垂直、回転移動など)が止まるようにする。
In addition, the
また、X線チューブ200には、タイマー800(図示せず)が設けられ、前記タイマー800の作動によって一定時間おきにX線チューブ200が作動するようにし、ワームアップ時間を最小化するようにすることが可能にされる。
In addition, the
X線チューブ200は、稼動時にワームアップする時間がかかるが、このワームアップ時間が多少長く連続的な検査作業がある場合、作業時間が長くなるという短所があった。例えば、8時間以上使わない場合、X線チューブが止まれれば、また再稼働させるために再度ワームアップする時間を経て稼動するようになる。そのため、タイマー800を附設し一定時間間隔例えば7時間59分間隔でX線チューブ200が稼動するようにすれば作業者が作業を始める時ワームアップする時間を減らすことができ、作業時間が短縮されるという効果がある。
The
また、ステージ100を中心として上部にX線チューブ200が位置し、下部にディテクター300が位置するように構成し、前記ステージ100を垂直上方に移動するとき、前記X線チューブ300に被測定物10に最大限近距離に移動できるように構成することができる。
In addition, the
図1乃至図3に示したように、前記ステージ100を中心として上部にX線チューブ200が位置し、下部にディテクター300が位置するように構成すると、常にステージ100の上部にセットされる被測定物10がX線チューブ200に最大限に近く近接できるようになる効果がある。
As shown in FIGS. 1 to 3, when the
しかし、図10に示すように、ステージ100を中心として下部にX線チューブ200が位置し、上部にディテクター300が位置するように構成しても良いし、図示してはいないが、ステージ100を中心として両側部に各々X線チューブ200とディテクター300が位置するように構成しても良い。もし、下部にX線チューブが構成されるならば、ステージ100の厚さと固定フレームなどによって近接には限界がある。
However, as shown in FIG. 10, the
図10に示すように、ステージ100を中心として下部にX線チューブ200が位置し、上部にディテクター300が位置するように構成した場合は、固定フレーム530が上部に位置し、連結棒510、回転モーター520が上部に位置するようになるので、被測定物10がセットされる空間を確保するために、内部に空間部が形成され、回転ステージ110に固定されて回転モーター510によって回転するように支持フレーム540を構成する。支持フレームは図11と図12に示すように、複数の支持骨を連結して支持骨を通してディテクター300が撮像できるようにする。
As shown in FIG. 10, when the
1 ケース
10 被測定物
100 ステージ
110 回転ステージ
120 グリップ部
121 バイスグリップ
122 モーター
130 ジグ
131 y軸移動ユニット
132 x軸移動ユニット
133 アーム
134 シリンダー
135 把持部
200 X線チューブ
290 ガイドレール
291 移動部材
300 ディテクター
310 ガイドレール
390 ガイドレール
391 移動部材
311 支持ブラケット
410 y軸水平移動部材
411 固定フレーム
420 x軸水平移動部材
421 固定フレーム
430 z軸水平移動部材
431 固定フレーム
510 連結棒
511 通孔
520 回転モーター
530 固定フレーム
540 支持フレーム
600 感知装置
700 感知装置
800 タイマー(図示せず)
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