JP2011023112A - 紫外線源および照明装置 - Google Patents
紫外線源および照明装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011023112A JP2011023112A JP2008217557A JP2008217557A JP2011023112A JP 2011023112 A JP2011023112 A JP 2011023112A JP 2008217557 A JP2008217557 A JP 2008217557A JP 2008217557 A JP2008217557 A JP 2008217557A JP 2011023112 A JP2011023112 A JP 2011023112A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- discharge
- nitrogen
- ultraviolet
- magnetic field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
【課題】多極磁場中の多相交流放電プラズマを紫外発生光源へ応用し、水銀や希ガス以外の一般的な分子性ガスを用いて、高輝度で高効率な紫外線を発生させる。
【解決手段】平面容器3内を真空排気し、放電発光に用いる窒素希釈一酸化窒素ガス1Torr以下を封入あるいは流入する。次に、12枚の分割電極1に1kw以下の位相制御12出力交流電源を接続して放電電気エネルギーを供給する。これにより、バリア層2に覆われた分割電極1の表面に沿って安定な交流グロー放電によるプラズマPが生じる。放電の結果、紫外線を含む窒素希釈一酸化窒素ガス特有の波長を持つ光が放射され、光取り出し窓32より外へ取り出される。
【選択図】図1
【解決手段】平面容器3内を真空排気し、放電発光に用いる窒素希釈一酸化窒素ガス1Torr以下を封入あるいは流入する。次に、12枚の分割電極1に1kw以下の位相制御12出力交流電源を接続して放電電気エネルギーを供給する。これにより、バリア層2に覆われた分割電極1の表面に沿って安定な交流グロー放電によるプラズマPが生じる。放電の結果、紫外線を含む窒素希釈一酸化窒素ガス特有の波長を持つ光が放射され、光取り出し窓32より外へ取り出される。
【選択図】図1
Description
本発明は、高密度の弱電離低温プラズマを効率的に安定して発生する新しい放電技術を利用して一般的な分子性ガスを用いた紫外線源および照明装置に関する。
水銀、キセノンやクリプトンの放電ガスから得られる紫外・真空紫外線は、光化学工学、半導体製造プロセス、食品・医薬殺菌、および蛍光体の励起により可視光に変換されて照明装置などの様々な分野に広く使用されている。しかし、水銀は地球環境に有害な物質であり、その使用が抑制されつつある。一方、キセノンやクリプトンガスは希少物質であり、その利用には限界がある。そのため水銀や希ガス以外の一般的な分子性ガスを放電気体に使用した紫外・真空紫外線源および可視照明装置の開発が必要とされている。
一般に単原子からなる水銀やキセノンガス中の低圧のグロー放電では放射される光のスペクトルは不連続で、放電気体特有の波長を持つ線スペクトルとなる。これは電子で励起された原子が緩和する場合に特定のエネルギー状態の準位間を遷移し、これに伴って光を放射するためである。
一方、2個以上の原子から成る分子性ガスにおける低圧グロー放電では放射される光のスペクトルは連続になる。これは電子励起エネルギー状態に分子間の振動および回転励起状態が加わり、エネルギー準位間の遷移が連続となるためである。従って、分子性ガスから効率よく紫外線放射を得るためには適当なエネルギー遷移状態をもつ分子性ガスを種々選択する必要がある。
また、グロー放電プラズマにおいて分子性ガスを十分な強さで効果的に励起するためには、高出力・高効率のプラズマ発生装置が必要となる。
一方、2個以上の原子から成る分子性ガスにおける低圧グロー放電では放射される光のスペクトルは連続になる。これは電子励起エネルギー状態に分子間の振動および回転励起状態が加わり、エネルギー準位間の遷移が連続となるためである。従って、分子性ガスから効率よく紫外線放射を得るためには適当なエネルギー遷移状態をもつ分子性ガスを種々選択する必要がある。
また、グロー放電プラズマにおいて分子性ガスを十分な強さで効果的に励起するためには、高出力・高効率のプラズマ発生装置が必要となる。
本出願人は、特開平8−330079号公報に開示された低コストで大容量の放電(弱電離低温プラズマ)を安定して発生できる低周波交流電源として、位相が配列(制御・調整)された複数個の交流出力からなる位相制御多出力型交流電源装置を先に出願し、さらに、この電源を用いて、特開平10−130836号公報に開示された放電を効率的に発生させるための電極と、特開平10−134994号公報に開示された磁場の構成方法を出願している。電極の構成方法は、電極を熱伝導性のよい絶縁シートを介して冷却された装置内壁に密着固定する方法であり、磁場の構成方法は、装置外壁に複数の磁石を取り付けて電極表面付近にプラズマの流出を抑える多極磁場を形成する方法である。
本出願人は、さらに特許第3472229号公報に開示された位相制御多相交流電源を用いて放電を効率的に発生させる壁密着電極と多極磁場を使用することにより、省エネルギー効果の高い、高出力・高効率の放電型照明装置を出願している。
特開平8−330079号公報
特開平10−130836号公報
特開平10−134994号公報
特許第3472229号公報
本出願人は、さらに特許第3472229号公報に開示された位相制御多相交流電源を用いて放電を効率的に発生させる壁密着電極と多極磁場を使用することにより、省エネルギー効果の高い、高出力・高効率の放電型照明装置を出願している。
本発明は、多極磁場中の多相交流放電プラズマを紫外発生光源へ応用し、水銀や希ガス以外の一般的な分子性ガスを用いて、高輝度で高効率な紫外線を発生させることを目的になされたものである。
そのため本発明は、弱電離低温プラズマで放電気体を励起して紫外・真空紫外線を放射するものにおいて、前記放電気体に窒素希釈一酸化窒素ガスを用いることを最も主要な特徴とする。
本発明は、弱電離低温プラズマで励起する放電気体に紫外線領域において最大の放射束密度が得られた窒素希釈一酸化窒素ガスを用いるので、高輝度で高効率な水銀レス・希ガスレスの紫外線源を実現できる。
以下、本発明の実施の形態について説明する。
図1に、本発明を実施した紫外線発生装置の断面図を示す。
紫外線発生装置は、12枚のシート状の分割電極1を僅かな間隙aを空けてバリア層2の中に埋め込み、平面容器3の底面の基板31に密着固定する。
基板31の対向面は光取り出し窓32で覆い、平面容器3を密閉して低圧放電室を形成する。
分割電極1は、できるだけ面積を大きくして基板31全体を覆うように配置する。
バリア層2は、例えば石英ガラスや窒化ホウ素のような電気絶縁性と熱伝導性の良好な材質のものを使用して絶縁体層を形成する。
紫外線発生装置は、12枚のシート状の分割電極1を僅かな間隙aを空けてバリア層2の中に埋め込み、平面容器3の底面の基板31に密着固定する。
基板31の対向面は光取り出し窓32で覆い、平面容器3を密閉して低圧放電室を形成する。
分割電極1は、できるだけ面積を大きくして基板31全体を覆うように配置する。
バリア層2は、例えば石英ガラスや窒化ホウ素のような電気絶縁性と熱伝導性の良好な材質のものを使用して絶縁体層を形成する。
基板31の外側は、隣り合う極性を逆にして配列した12+1本の棒状の磁石4を間隙aに沿って密着して固定する。磁石4の矢印は磁極の方向を示す。これにより、磁力線が分割電極1の表面を覆うように多極磁場を形成する。
磁石4を取り付けた基板31の外側は磁気シールド板5で覆い、磁力線を外部に発散させないで内部に集中させる。
磁石4を取り付けた基板31の外側は磁気シールド板5で覆い、磁力線を外部に発散させないで内部に集中させる。
多極磁場の磁石4は、永久磁石の代わりに電磁コイルを用いてもよい。
あるいは、ラバー・マグネットなどのシート状の磁石4をバリア層2と基板31の間に挟み込んだり、基板31の外側に張り付けて多極磁場を形成してもよい。これにより、磁石4の厚みが薄くなる分、紫外線発生装置の形状を薄くコンパクトに形成できる。
あるいは、ラバー・マグネットなどのシート状の磁石4をバリア層2と基板31の間に挟み込んだり、基板31の外側に張り付けて多極磁場を形成してもよい。これにより、磁石4の厚みが薄くなる分、紫外線発生装置の形状を薄くコンパクトに形成できる。
ここで、磁石4と分割電極1との位置関係は任意であるが、図1では磁石4を分割電極1と分割電極1との間隙aの真後ろに置く場合を示す。このとき、多極磁場は分割電極1の表面が磁力線で覆われるように形成されるので、プラズマPが分割電極1の表面近傍に効果的に閉じ込められる。
12枚の分割電極1には、図2に示すように、分割電極1の一端に取り付けた給電端子11を介して位相が1/12周期ずつずれていて振幅が同じ大きさの12相交流電源6を接続する。
12相交流電源6は、周波数や振幅および位相(波形を含む)が制御された低周波交流電源を星形結線して構成し、電源全体は絶縁トランスなどにより浮遊電位のままにしておき、放電を分割電極1間のみに発生させる。
電源の相数は、4相以上であれば相数が増えるにつれて電位分布の一様領域、すなわち電界の一様領域は増加するが、12相以上になるとその増加傾向が飽和するため、12相が実用的な範疇である。
12相交流電源6は、周波数や振幅および位相(波形を含む)が制御された低周波交流電源を星形結線して構成し、電源全体は絶縁トランスなどにより浮遊電位のままにしておき、放電を分割電極1間のみに発生させる。
電源の相数は、4相以上であれば相数が増えるにつれて電位分布の一様領域、すなわち電界の一様領域は増加するが、12相以上になるとその増加傾向が飽和するため、12相が実用的な範疇である。
本発明を実施した紫外線発生装置は以上のような構成で、平面容器3内を排気装置(不図示)によって真空排気し、放電発光に用いる分子性ガス1Torr以下を封入あるいは流入する。
次に、12枚の分割電極1に1kw以下の位相制御12出力交流電源を接続して放電電気エネルギーを供給する。
これにより、図1に示すように、バリア層2に覆われた分割電極1の表面に沿って安定な交流グロー放電によるプラズマPが生じる。
12枚の分割電極1に12相の交流電圧を印加すると、放電は1周期の間に分割電極1間を1回りするので、1秒間に放電が印加周波数だけ回転する。このため、どの時刻においても何れかの分割電極1間で放電が起こり、低周波の交流放電にも拘わらず高周波点灯のような連続放電が発生する。放電の結果生じたプラズマPは、多極磁場によって狭くて薄い領域に閉じ込められ、電気的に中性な分子性ガス(中性ガス)のプラズマによる衝突励起が盛んになり、励起中性ガスからの発光密度と発光効率が高まる。
次に、12枚の分割電極1に1kw以下の位相制御12出力交流電源を接続して放電電気エネルギーを供給する。
これにより、図1に示すように、バリア層2に覆われた分割電極1の表面に沿って安定な交流グロー放電によるプラズマPが生じる。
12枚の分割電極1に12相の交流電圧を印加すると、放電は1周期の間に分割電極1間を1回りするので、1秒間に放電が印加周波数だけ回転する。このため、どの時刻においても何れかの分割電極1間で放電が起こり、低周波の交流放電にも拘わらず高周波点灯のような連続放電が発生する。放電の結果生じたプラズマPは、多極磁場によって狭くて薄い領域に閉じ込められ、電気的に中性な分子性ガス(中性ガス)のプラズマによる衝突励起が盛んになり、励起中性ガスからの発光密度と発光効率が高まる。
以下、本発明の実施例(実験結果)について説明する。
実験を、本発明の紫外線発生装置に30W以下、40kHzのインバータ式12相交流電源6を接続し、真空排気した同装置に分子性ガスを注入しながら1.0〜0.17Torrの圧力を保ち、行った。
放電発光スペクトルは、光ファイバ式多チャンネル分光器で計測した。
実験を、本発明の紫外線発生装置に30W以下、40kHzのインバータ式12相交流電源6を接続し、真空排気した同装置に分子性ガスを注入しながら1.0〜0.17Torrの圧力を保ち、行った。
放電発光スペクトルは、光ファイバ式多チャンネル分光器で計測した。
図3に、3種類の分子性ガスにおける多極磁場中の放電発光スペクトルを示す。
図3(a)、(b)および(c)は、分子性ガスとしてそれぞれ窒素、一酸化窒素および窒素希釈(90%)一酸化窒素(10%)ガスを用いた場合のスペクトルである。ここで、ガス圧力は0.3Torrであり、縦軸は標準光源で校正された分光放射束密度[μW/cm2/nm]である。
図3(a)の窒素ガスの場合、従来報告されているように300nm〜380nmの波長域からの紫外線放射が観測された。
図3(b)、(c)の一酸化窒素ガスの場合、この実験は本出願人によって初めて試みられたが、200nm〜380nmの波長域からの紫外線放射が観測された。
さらに、図3における分光放射束密度を紫外領域(200nm〜380nm)で積分して求めた放射束密度は、図4に示すように、一酸化窒素を窒素で希釈し一酸化窒素濃度が10%程度のとき、最も大きくなることが分かった。
ここで、図4の縦軸は放射束密度[μW/cm2]、横軸は一酸化窒素濃度NO/N2+NO[%]である。
この図4から、放射束密度は、窒素希釈一酸化窒素ガスの一酸化窒素濃度が5〜15%の範囲内のとき大きく、この範囲外のとき小さいことがわかる。これは一酸化窒素濃度が5%未満だと、紫外線発光の主体である一酸化窒素分子の数が不足するためであり、逆に15%を超過すると、希釈ガスである窒素分子から一酸化窒素が効果的に励起されにくくなるためであると考えられる。
図3(a)、(b)および(c)は、分子性ガスとしてそれぞれ窒素、一酸化窒素および窒素希釈(90%)一酸化窒素(10%)ガスを用いた場合のスペクトルである。ここで、ガス圧力は0.3Torrであり、縦軸は標準光源で校正された分光放射束密度[μW/cm2/nm]である。
図3(a)の窒素ガスの場合、従来報告されているように300nm〜380nmの波長域からの紫外線放射が観測された。
図3(b)、(c)の一酸化窒素ガスの場合、この実験は本出願人によって初めて試みられたが、200nm〜380nmの波長域からの紫外線放射が観測された。
さらに、図3における分光放射束密度を紫外領域(200nm〜380nm)で積分して求めた放射束密度は、図4に示すように、一酸化窒素を窒素で希釈し一酸化窒素濃度が10%程度のとき、最も大きくなることが分かった。
ここで、図4の縦軸は放射束密度[μW/cm2]、横軸は一酸化窒素濃度NO/N2+NO[%]である。
この図4から、放射束密度は、窒素希釈一酸化窒素ガスの一酸化窒素濃度が5〜15%の範囲内のとき大きく、この範囲外のとき小さいことがわかる。これは一酸化窒素濃度が5%未満だと、紫外線発光の主体である一酸化窒素分子の数が不足するためであり、逆に15%を超過すると、希釈ガスである窒素分子から一酸化窒素が効果的に励起されにくくなるためであると考えられる。
図5に、3種類の分子性ガスにおける圧力に対する分光放射束密度を紫外領域(200nm〜380nm)で積分して求めた放射束密度を示す。ここで、●のデータは窒素分子、▲印のデータは一酸化窒素および■印のデータは窒素希釈一酸化窒素(10%)の場合の放射束密度である。また、破線で結ばれた□印のデータは磁場無しにおける窒素希釈一酸化窒素(10%)の場合のそれである。
磁場無しの場合、圧力が下がってもほとんど変化が無かった。
一方、多極磁場中の場合、圧力が下がるにつれ紫外線発光強度が増大した。
これは、圧力が下がるとプラズマ−中性ガス衝突が減少し、磁場によるプラズマ閉じ込め効果が強くなるからである。ここで、図3、図4および図5における多極磁場はマルチレース型の多極磁場である。
窒素希釈一酸化窒素混合ガスの圧力が0.3Torrにおける紫外線放射密度の大きさは、同装置において水銀を用いた場合に観測された値より1.5倍も大きくなった。
一酸化窒素の希釈ガスとしてアルゴンガスを試みたが、紫外線の放射は窒素希釈の場合より小さかった。
磁場無しの場合、圧力が下がってもほとんど変化が無かった。
一方、多極磁場中の場合、圧力が下がるにつれ紫外線発光強度が増大した。
これは、圧力が下がるとプラズマ−中性ガス衝突が減少し、磁場によるプラズマ閉じ込め効果が強くなるからである。ここで、図3、図4および図5における多極磁場はマルチレース型の多極磁場である。
窒素希釈一酸化窒素混合ガスの圧力が0.3Torrにおける紫外線放射密度の大きさは、同装置において水銀を用いた場合に観測された値より1.5倍も大きくなった。
一酸化窒素の希釈ガスとしてアルゴンガスを試みたが、紫外線の放射は窒素希釈の場合より小さかった。
図6に、2種類の分子性ガスにおける多極磁場中の放電発光スペクトルを示す。
図6(a)、(b)は、分子性ガスとしてそれぞれ水素、水素希釈(90%)一酸化炭素(10%)ガスを用いた場合のスペクトルである。ここで、ガス圧力は0.3Torrであり、縦軸は標準光源で校正された分光放射束密度[μW/cm2/nm]である。
図6(a)の水素ガス、図6(b)の水素希釈一酸化炭素ガスともに、〜300nm以下の短波長域からの紫外線放射が観測された。ここで、一酸化炭素ガスから200nm以下に強い真空紫外線が放射されることが一般的に知られているので、本実験でもこの領域の紫外線が放射されていると考えられる。実験において200nm以下のスペクトルを観測できない理由は、実験で使用した図1に示す光取り出し窓は真空紫外線を透過できない石英窓であり、また利用した分光器は真空紫外線を計測できないからである。
図7に示すように、一酸化炭素を水素で希釈し一酸化炭素濃度が10%程度の時、この領域からの紫外線放射が最も大きくなることが分かった。
ここで、図7の縦軸は放射束密度[μW/cm2]、横軸は一酸化炭素濃度CO/H2+CO[%]である。ここで、図6および図7における多極磁場は二重櫛型の多極磁場である。
図7から、放射束密度は、水素希釈一酸化炭素ガスの一酸化炭素濃度が1〜15%の範囲内のとき大きく、この範囲外のとき小さいことがわかる。これは一酸化炭素濃度が1%未満だと、紫外・真空紫外線発光の主体である一酸化炭素分子の数が不足するためであり、逆に15%を超過すると、希釈ガスである水素分子から一酸化炭素が効果的に励起されにくくなるためであると考えられる。
一酸化炭素ガスの場合、茶色の炭素膜が光取り出し窓32に生じたが、分子性ガスに水素希釈一酸化炭素ガスを用いることにより、一酸化炭素が解離して生ずる炭素膜の形成が抑止された。
図6(a)、(b)は、分子性ガスとしてそれぞれ水素、水素希釈(90%)一酸化炭素(10%)ガスを用いた場合のスペクトルである。ここで、ガス圧力は0.3Torrであり、縦軸は標準光源で校正された分光放射束密度[μW/cm2/nm]である。
図6(a)の水素ガス、図6(b)の水素希釈一酸化炭素ガスともに、〜300nm以下の短波長域からの紫外線放射が観測された。ここで、一酸化炭素ガスから200nm以下に強い真空紫外線が放射されることが一般的に知られているので、本実験でもこの領域の紫外線が放射されていると考えられる。実験において200nm以下のスペクトルを観測できない理由は、実験で使用した図1に示す光取り出し窓は真空紫外線を透過できない石英窓であり、また利用した分光器は真空紫外線を計測できないからである。
図7に示すように、一酸化炭素を水素で希釈し一酸化炭素濃度が10%程度の時、この領域からの紫外線放射が最も大きくなることが分かった。
ここで、図7の縦軸は放射束密度[μW/cm2]、横軸は一酸化炭素濃度CO/H2+CO[%]である。ここで、図6および図7における多極磁場は二重櫛型の多極磁場である。
図7から、放射束密度は、水素希釈一酸化炭素ガスの一酸化炭素濃度が1〜15%の範囲内のとき大きく、この範囲外のとき小さいことがわかる。これは一酸化炭素濃度が1%未満だと、紫外・真空紫外線発光の主体である一酸化炭素分子の数が不足するためであり、逆に15%を超過すると、希釈ガスである水素分子から一酸化炭素が効果的に励起されにくくなるためであると考えられる。
一酸化炭素ガスの場合、茶色の炭素膜が光取り出し窓32に生じたが、分子性ガスに水素希釈一酸化炭素ガスを用いることにより、一酸化炭素が解離して生ずる炭素膜の形成が抑止された。
さらに、多極磁場の構成を変えて、図8(a)に示すように、棒状の磁石4のS極・N極をレース・トラック状に配置したマルチレース型磁場と、図8(b)に示すように、2組の櫛の歯を噛合せたような形に配置した二重櫛型磁場の比較実験を行った。ここでは、窒素ガスを用いた場合のデータのみ示す。
図9に示すように、圧力が下がるにつれ紫外・可視領域ともに発光強度が増し、図9(a)に示すマルチレース型磁場の方が、図9(b)に示す二重櫛型磁場より発光強度が数倍強くなった。ここで、図9における■および□印のデータは紫外領域の放射束密度であり、分光放射束密度を波長200nm〜380nmの範囲で積分して求めたものである。また、同図における●および○印のデータは可視領域のそれであり、分光放射束密度を波長380nm〜780nmの範囲で積分したものである。更に、図9における実線は多極磁場中の場合で、破線は磁場無しの場合である。
図9に示すように、圧力が下がるにつれ紫外・可視領域ともに発光強度が増し、図9(a)に示すマルチレース型磁場の方が、図9(b)に示す二重櫛型磁場より発光強度が数倍強くなった。ここで、図9における■および□印のデータは紫外領域の放射束密度であり、分光放射束密度を波長200nm〜380nmの範囲で積分して求めたものである。また、同図における●および○印のデータは可視領域のそれであり、分光放射束密度を波長380nm〜780nmの範囲で積分したものである。更に、図9における実線は多極磁場中の場合で、破線は磁場無しの場合である。
1 分割電極
2 バリア層
3 平面容器
31 基板
32 光取り出し窓
4 磁石
5 磁気シールド板
6 12相交流電源
a 間隙
P プラズマ
2 バリア層
3 平面容器
31 基板
32 光取り出し窓
4 磁石
5 磁気シールド板
6 12相交流電源
a 間隙
P プラズマ
Claims (4)
- 弱電離低温プラズマで放電気体を励起して紫外・真空紫外線を放射するものにおいて、
前記放電気体に窒素希釈一酸化窒素ガスを用いることを特徴とする紫外線源。 - 前記窒素希釈一酸化窒素ガスの一酸化窒素濃度が5〜15%であることを特徴とする請求項1記載の紫外線源。
- 前記弱電離低温プラズマの発生装置に、
平面基板上に僅かな間隙を空けて敷き詰めたn枚のシート状の分割電極と、
前記分割電極の表面を磁力線で覆うように多極磁場を形成する磁石と、
前記分割電極に位相が1/n周期ずつずれて振幅が同じ大きさの放電電気エネルギーを供給する位相制御n相交流電源と、
を備えることを特徴とする請求項1記載の紫外線源。 - 請求項1〜3記載の紫外線源が放射した紫外・真空紫外線を蛍光物質に当てて可視光に変換することを特徴とする照明装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008217557A JP2011023112A (ja) | 2008-08-27 | 2008-08-27 | 紫外線源および照明装置 |
CN200980111407.9A CN101981652B (zh) | 2008-04-02 | 2009-04-01 | 紫外线发生装置以及使用该紫外线发生装置的照明装置 |
US12/936,053 US20110025221A1 (en) | 2008-04-02 | 2009-04-01 | Ultraviolet generating device and lighting device using the same |
EP09728158.8A EP2273534B1 (en) | 2008-04-02 | 2009-04-01 | Ultraviolet generation device and lighting device using same |
KR1020107020851A KR101345881B1 (ko) | 2008-04-02 | 2009-04-01 | 자외선 발생 장치 및 그것을 이용한 조명 장치 |
PCT/JP2009/056800 WO2009123258A1 (ja) | 2008-04-02 | 2009-04-01 | 紫外線発生装置及びそれを用いた照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008217557A JP2011023112A (ja) | 2008-08-27 | 2008-08-27 | 紫外線源および照明装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008096554 Division | 2008-04-02 | 2008-04-02 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011023112A true JP2011023112A (ja) | 2011-02-03 |
Family
ID=43633025
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008217557A Withdrawn JP2011023112A (ja) | 2008-04-02 | 2008-08-27 | 紫外線源および照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011023112A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013125677A (ja) * | 2011-12-15 | 2013-06-24 | Ushio Inc | 放電ランプ装置 |
US9390892B2 (en) | 2012-06-26 | 2016-07-12 | Kla-Tencor Corporation | Laser sustained plasma light source with electrically induced gas flow |
-
2008
- 2008-08-27 JP JP2008217557A patent/JP2011023112A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013125677A (ja) * | 2011-12-15 | 2013-06-24 | Ushio Inc | 放電ランプ装置 |
US9390892B2 (en) | 2012-06-26 | 2016-07-12 | Kla-Tencor Corporation | Laser sustained plasma light source with electrically induced gas flow |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Lomaev et al. | Excilamps: efficient sources of spontaneous UV and VUV radiation | |
KR101345881B1 (ko) | 자외선 발생 장치 및 그것을 이용한 조명 장치 | |
JP5122284B2 (ja) | コロナ放電ランプ | |
CN101567297A (zh) | 高通量无极真空紫外光源 | |
JPH081671U (ja) | 高出力ビーム発生装置 | |
Salvermoser et al. | Efficient, stable, corona discharge 172 nm xenon excimer light source | |
Salvermoser et al. | High-efficiency, high-power, stable 172 nm xenon excimer light source | |
JP2011023112A (ja) | 紫外線源および照明装置 | |
US6703771B2 (en) | Monochromatic vacuum ultraviolet light source for photolithography applications based on a high-pressure microhollow cathode discharge | |
WO2001069649A1 (fr) | Source de lumiere a decharge ca de type a electrodes multiples a commande de phase | |
JP5030121B2 (ja) | 紫外線発生装置及びそれを用いた照明装置 | |
JP2005216647A (ja) | 高放射輝度閃光放電ランプ | |
JP5805273B1 (ja) | 紫外線発生装置 | |
JP2014175227A (ja) | 紫外線発生装置 | |
WO2015190503A1 (ja) | 紫外線発生装置 | |
US9485848B2 (en) | Glow discharge lamp | |
JP2006054129A (ja) | プラズマイグナイタ及びこれを搭載した装置 | |
JP3589453B2 (ja) | 位相制御多電極型交流放電光源 | |
JP4440557B2 (ja) | 位相制御多電極型交流放電照明装置 | |
Avtaeva | Modeling of the sulfur emission in the asymmetric pulse dielectric barrier discharge | |
JP3472229B2 (ja) | 位相制御多電極型交流放電照明装置 | |
Holtrup et al. | Radio Frequency (RF) Discharge Lamps | |
Takubo et al. | Emission characteristics of molecular-rare gas discharge fluorescent lamps | |
Zhang et al. | A bulky jetlike glow plasma generated at approximate atmospheric pressure assisted by an isolated ring electrode | |
JP2006073389A (ja) | 二次元アレー型誘電体バリア放電ランプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20110607 |