JP2011021962A - 測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定装置11の傾斜回転テーブル14は、被検物が載置され、回転軸L1を中心に回転駆動する回転テーブル21と、回転テーブル21が回転可能に装着され、水平方向に延びる傾斜軸L2を中心に傾斜駆動する傾斜テーブル22を備える。また、傾斜回転テーブル14は、傾斜テーブル22に対する回転テーブル21の変位を測定する変位センサ31乃至33と、傾斜テーブルの鉛直方向の変位を測定する変位センサ34を備える。本発明は、例えば、傾斜回転テーブルを有する測定装置に適用できる。
【選択図】図2
Description
Claims (5)
- 被検物の三次元的な形状を測定する測定装置において、
前記被検物が載置され、所定の回転軸を中心に回転駆動する回転テーブルと、
前記回転テーブルが回転可能に装着され、水平方向に延びる傾斜軸を中心に傾斜駆動する傾斜テーブルと、
前記傾斜テーブルに対する前記回転テーブルの変位を測定する第1の変位測定手段と、
前記傾斜テーブルの鉛直方向の変位を測定する第2の変位測定手段と
を備えることを特徴とする測定装置。 - 前記第2の変位測定手段は、前記回転テーブルの回転軸と前記傾斜テーブルの傾斜軸との交点の鉛直方向の略直下に配設されている
ことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 前記回転テーブルの回転軸は、前記傾斜テーブルの両端を支持する支持部どうしの略中間に配置されている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の測定装置。 - 前記第1の変位測定手段は、前記回転テーブルの回転軸を中心とした円周に沿って略等間隔となる少なくとも3箇所に配設される
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の測定装置。 - 前記第1の変位測定手段および前記第2の変位測定手段により測定された変位に基づいて、前記被検物の測定値を補正する補正手段
をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の測定装置。
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US9989347B2 (en) | 2013-05-10 | 2018-06-05 | Renishaw Plc | Method and apparatus for inspecting workpieces |
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2009
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