JP2011014586A - 半導体装置の樹脂封止方法及び半導体装置の樹脂封止装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体素子(5)及び接続ワイヤ(12)が配設されたリードフレームまたはサブストレート(4)からなる半導体装置を、対向する2つの金型のパーティング面に狭持し、圧縮成形法により樹脂封止する半導体装置の樹脂封止方法であって、樹脂量のばらつきを吸収する目的及び供給時に樹脂がキャビティ内よりはみ出さないようにする目的で、樹脂供給時には押圧機構(10,11)により可動キャビティ装置(9)を後退させてキャビティ(7)内の空間を広げ、前記樹脂が溶融してから前記リードフレームまたはサブストレート(4)を樹脂に浸漬させ、型締めが終わって前記樹脂が硬化する前に前記押圧機構を前進させて正規のキャビティ寸法及び成形圧力の位置に戻して前記半導体装置を樹脂成形する、ことを特徴とする半導体装置の樹脂封止方法。
【選択図】図2
Description
半導体素子(5)及び接続ワイヤ(12)が配設されたリードフレームまたはサブストレート(4)からなる半導体装置を、対向する2つの金型のパーティング面に狭持し、圧縮成形法により樹脂封止する半導体装置の樹脂封止方法であって、
樹脂量のばらつきを吸収する目的及び供給時に樹脂がキャビティ内よりはみ出さないようにする目的で、樹脂供給時には押圧機構(10,11)により可動キャビティ装置(9)を後退させてキャビティ(7)内の空間を広げ、
前記樹脂が溶融してから型締めが終わって前記樹脂が硬化する前に前記押圧機構を前進させて正規のキャビティ寸法及び成形圧力の位置に戻して前記半導体装置を樹脂成形する、ことを特徴とする。
半導体素子(5)及び接続ワイヤ(12)が配設されたリードフレームまたはサブストレート(4)からなる半導体装置を、対向する2つの金型のパーティング面に狭持し、圧縮成形法によりを樹脂封止する半導体装置の樹脂封止装置であって、
樹脂量のばらつきを吸収する目的、及び供給時に樹脂がキャビティ内よりはみ出さないようにする目的で、樹脂供給時には押圧機構(10,11)により可動キャビティ装置(9)を後退させてキャビティ(7)内の空間を広げ、前記樹脂が溶融してから型締めが終わって前記樹脂が硬化する前に前記押圧機構を前進させて正規のキャビティ寸法及び成形圧力の位置に戻して前記半導体装置を樹脂成形する、ことを特徴とする。
2 下金型
3 上金型
4 リードフレーム(またはサブストレート)
5 半導体素子
6 半導体パッケージ(半導体装置)
7 キャビティ凹部
7a 底面
8 側壁
9 可動キャビティ装置
10 押圧軸
11 押圧軸用ブロック
12 接続ワイヤ
13 シール部材
14 上型面
15 下型面
16 離型フィルム
17,18 真空用通路
19 封止樹脂
Claims (6)
- 半導体素子(5)及び接続ワイヤ(12)が配設されたリードフレームまたはサブストレート(4)からなる半導体装置を、対向する2つの金型のパーティング面に狭持し、圧縮成形法により樹脂封止する半導体装置の樹脂封止方法であって、
樹脂量のばらつきを吸収する目的及び供給時に樹脂がキャビティ内よりはみ出さないようにする目的で、樹脂供給時には押圧機構(10,11)により可動キャビティ装置(9)を後退させてキャビティ(7)内の空間を広げ、
前記樹脂が溶融してから前記リードフレームまたはサブストレート(4)を樹脂に浸漬させ、型締めが終わって前記樹脂が硬化する前に前記押圧機構を前進させて正規のキャビティ寸法及び成形圧力の位置に戻して前記半導体装置を樹脂成形する、
ことを特徴とする半導体装置の樹脂封止方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の樹脂封止方法において、
前記樹脂は、前記2つの金型のうち下金型に供給されることを特徴とする、半導体装置の樹脂封止方法。 - 請求項1又は2に記載の半導体装置の樹脂封止方法において、
前記2つの金型によって複数の半導体装置を同時に樹脂成形することを特徴とする、半導体装置の樹脂封止方法。 - 半導体素子(5)及び接続ワイヤ(12)が配設されたリードフレームまたはサブストレート(4)からなる半導体装置を、対向する2つの金型のパーティング面に狭持し、圧縮成形法によりを樹脂封止する半導体装置の樹脂封止装置であって、
樹脂量のばらつきを吸収する目的、及び供給時に樹脂がキャビティ内よりはみ出さないようにする目的で、樹脂供給時には押圧機構(10,11)により可動キャビティ装置(9)を後退させてキャビティ(7)内の空間を広げ、前記樹脂が溶融してから前記リードフレームまたはサブストレート(4)を樹脂に浸漬させ、型締めが終わって前記樹脂が硬化する前に前記押圧機構を前進させて正規のキャビティ寸法及び成形圧力の位置に戻して前記半導体装置を樹脂成形する、
ことを特徴とする半導体装置の樹脂封止装置。 - 請求項4に記載の半導体装置の樹脂封止装置において、
前記樹脂は、前記2つの金型のうち下金型に供給されることを特徴とする、半導体装置の樹脂封止装置。 - 請求項4又は5に記載の半導体装置の樹脂封止装置において、
前記2つの金型によって複数の半導体装置を同時に樹脂成形することを特徴とする、半導体装置の樹脂封止装置。
Priority Applications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI503901B (zh) * | 2011-06-29 | 2015-10-11 | Towa Corp | Method and device for resin sealing forming of electronic parts |
US10131077B2 (en) | 2016-02-03 | 2018-11-20 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Device for molding semiconductor package |
CN111403303A (zh) * | 2015-11-09 | 2020-07-10 | 东和株式会社 | 树脂封装装置以及树脂封装方法 |
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JP2004214229A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-29 | Nec Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
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-
2009
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