JP2011012303A - ワークのガス冷却装置およびガス冷却方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワークを入れる減圧密閉容器と、減圧密閉容器内を真空にする真空ポンプと、減圧密閉容器内に冷却ガスを供給する冷却ガス供給源と、を備え、減圧密閉容器は上蓋、底板、外筒および内筒から成り、外筒と内筒の間に設けられる冷却媒体が流れる冷却流体流路と、内筒の中心部に設けられるワークを保持する支持台と、内筒と支持台の間に配置される中間筒と、中間筒と内筒、上蓋および底板との間にそれぞれ形成される冷却ガス流路と、中間筒と支持台の間に設けられ、冷却ガスをワークの側面に向けて整流する整流機構と、中間筒の上部中央に配置される循環ファンと、循環ファンを駆動させるためのモーターと、を備えるガス冷却装置。
【選択図】図4
Description
5…ワーク
10…容器
11…排気バルブ
12…排気路
16…導入バルブ
17…導入路
20…貯留部
24…外筒
25…内筒
27…出入口
28…冷却水路
30…支持台
32…中間筒
34…上蓋
35…底板
37、38、39…流体通路
40…内部ダクト
40a…コア部
40b…ガイド片
42…空間
45…整流機構
45a…整流流路
45b…排出部
49…回転軸
50…循環ファン
53…伝熱フィン
60…上部整流板
61…下部整流板
Claims (11)
- ワークに冷却ガスを接触させて冷却するガス冷却装置であって、
ワークを入れる減圧密閉容器と、
前記減圧密閉容器内を真空にする真空ポンプと、
前記減圧密閉容器内に冷却ガスを供給する冷却ガス供給源と、を備え、
前記減圧密閉容器は上蓋、底板、外筒および内筒から成り、
前記外筒と前記内筒の間に設けられる冷却媒体が流れる冷却流体流路と、
前記内筒の中心部に設けられる前記ワークを保持する支持台と、
前記内筒と前記支持台の間に配置される中間筒と、
前記中間筒と前記内筒、前記上蓋および前記底板との間にそれぞれ形成される冷却ガス流路と、
前記中間筒と前記支持台の間に設けられ、冷却ガスを前記ワークの側面に向けて整流する整流機構と、
前記中間筒の上部中央に配置される循環ファンと、
前記循環ファンを駆動させるためのモーターと、を備えるガス冷却装置。 - 前記内筒の内周面に冷却フィンが形成されている、請求項1に記載のガス冷却装置。
- 前記循環ファンの回転数が可変である、請求項1または2に記載のガス冷却装置。
- 前記循環ファンの下面と前記支持台との間に前記中間筒内を流れる冷却ガスを整流するための内部ダクトを有する、請求項1〜3のいずれかに記載のガス冷却装置。
- 前記内部ダクトは、円錐台形状のコア部と、前記コア部の外周面に互いに相離れた上下方向および半径方向に延び、その上端が互いに同一円周方向に弧状に湾曲する複数のガイド片とから成る、請求項4に記載のガス冷却装置。
- 前記底板の上面に、その中央部が円錐台形状に上方に盛り上がり、周辺部が弧状に上方に湾曲する下部整流板を有する、請求項1〜5のいずれかに記載のガス冷却装置。
- 前記上蓋の下面に、その中央部が逆円錐台形状に下方に突出する上部整流板を有する、請求項1〜6のいずれかに記載のガス冷却装置。
- 前記冷却ガスは、1MPa以下の圧力の不活性ガス、水素ガスまたはこれら2種の混合ガスである、請求項1〜7のいずれかに記載のガス冷却装置。
- ワークに冷却ガスを接触させて冷却するガス冷却方法であって、
前記ワークを入れた減圧密閉容器に冷却ガスを封入し、前記減圧密閉容器の上部中央に設けた循環ファンにより冷却ガスを前記減圧密閉容器内で循環させ、
前記ワークの側面部に、均一に冷却ガスを接触させて前記ワークを冷却する、ガス冷却方法。 - 前記循環ファンの回転数は自在に変更可能である、請求項8または9に記載のガス冷却方法。
- 前記冷却ガスは、1MPa以下の圧力の不活性ガス、水素ガスまたはこれら2種の混合ガスである、請求項9または10に記載のガス冷却方法。
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