JP2011007556A - 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 - Google Patents
三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011007556A JP2011007556A JP2009149862A JP2009149862A JP2011007556A JP 2011007556 A JP2011007556 A JP 2011007556A JP 2009149862 A JP2009149862 A JP 2009149862A JP 2009149862 A JP2009149862 A JP 2009149862A JP 2011007556 A JP2011007556 A JP 2011007556A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dimensional shape
- coating film
- pattern
- wavelength
- virtual step
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】可視光に対して透明な被覆膜付きの基板上に設けられた不透明なパターンの物理的三次元形状を測定する三次元形状測定装置であって、第1波長の照明光と、前記第1波長と異なる第2波長の照明光とを切り替えて照射する光源部と、前記第1波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第1仮想段差と、前記第2波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第2仮想段差とを測定する光検出器と、前記第1仮想段差と前記第2仮想段差とに基づいて、前記パターンの物理的三次元形状を決定する処理部とを備える。
【選択図】図1
Description
α={1−(n0/n1)β}
従って、被覆膜32の厚さd1が未知の場合は、屈折により生じる段差の過剰量を見積もることができない
h(λ)=d0+d1β*(λ)
ここで、d1は前記被覆膜の膜厚、d0は前記パターンと前記被覆膜の物理的段差、NAは前記対物レンズの開口数(有効開口数)、n0は測定雰囲気の屈折率、n1は被覆膜の屈折率である。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。以下の説明は、本発明の好適な実施の形態を示すものであって、本発明の範囲が以下の実施の形態に限定されるものではない。以下の説明において、同一の符号が付されたものを実質的に同様の内容を示している。
NA=n0×sinθ0・・・(1)
n0sinθ0=n1sinθ1・・・(2)
とすると、仮想段差hは以下の式(3)となる。
h=d0+d2・・・(3)
h=d0+β*d1・・・(7)
さらに、hとβ*を波長λの関数として式(8)のように書ける。
h(λi)=d0+β*(λi)d1・・・(8)
h(λ1)=d0+d1β*(λ1)
となる。
h(λ2)=d0+d1β*(λ2)
h(λ3)=d0+d1β*(λ3)
h(λ4)=d0+d1β*(λ4)
h(λ5)=d0+d1β*(λ5)
12 干渉フィルター
13a、13b、13c レンズ
14 スリット
15 ビームスプリッタ
16 振動ミラー
17 対物レンズ
18 ステージ
19 光検出器
20 処理装置
30 試料
31 基板
32 被覆膜
33 パターン
100 三次元形状測定装置
Claims (13)
- 可視光に対して透明な被覆膜付きの基板上に設けられた不透明なパターンの物理的三次元形状を測定する三次元形状測定装置であって、
第1波長の照明光と、前記第1波長と異なる第2波長の照明光とを切り替えて照射する光源部と、
前記第1波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第1仮想段差と、前記第2波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第2仮想段差とを測定する光検出器と、
前記第1仮想段差と前記第2仮想段差とに基づいて、前記パターンの物理的三次元形状を決定する処理部と、
を備える三次元形状測定装置。 - 前記パターンの三次元形状の決定と同時に、前記被覆膜の膜厚を決定することを特徴とする請求項1に記載の三次元形状測定装置。
- 前記光源部からの照明光を前記試料に導くとともに、前記試料からの前記反射光を光検出器まで共焦点光学系を備え、
前記共焦点光学系を用いて、前記第1仮想段差と前記第2仮想段差を測定する請求項1又は2に記載の三次元形状測定装置。 - 前記処理部は、前記第1仮想段差と前記第2仮想段差とに基づいて、前記被覆膜の屈折率を用い、連立方程式を解くことにより、前記パターンの物理的三次元形状を決定することを特徴とする請求項1、2又は3に記載の三次元形状測定装置。
- 前記光検出器により、前記第1波長及び前記第2波長と異なる第3波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第3仮想段差を測定し、
前記処理部は、少なくとも前記第1仮想段差、前記第2仮想段差及び前記第3仮想段差に基づいて、前記被覆膜の屈折率を用い、最小二乗法により前記パターンの物理的三次元形状を決定することを特徴とする請求項1、2又は3に記載の三次元形状測定装置。 - 前記第1波長及び前記第2波長は、可視光域の波長である請求項1〜5のいずれか1項に記載の三次元形状測定装置。
- 前記照明光を照射したときの前記試料からの測定光と参照光との干渉により、前記第1仮想段差と前記第2仮想段差を測定する請求項1又は2に記載の三次元形状測定装置。
- 可視光に対して透明な被覆膜付きの基板上に設けられた不透明なパターンの物理的三次元形状を測定する三次元形状測定方法であって、
第1波長の照明光を照射して、前記パターンと前記被覆膜との第1仮想段差を測定し、
前記第1波長と異なる第2波長の照明光を照射して、前記パターンと前記被覆膜との第2仮想段差を測定し、
前記第1仮想段差と前記第2仮想段差とに基づいて、前記パターンの物理的三次元形状を決定する三次元形状測定方法。 - 前記パターンの三次元形状の決定と同時に、前記被覆膜の膜厚を決定することを特徴とする請求項9に記載の三次元形状測定方法。
- 前記第1仮想段差と前記第2仮想段差とに基づいて、前記被覆膜の屈折率を用い、連立方程式を解くことにより、前記パターンの物理的三次元形状を決定することを特徴とする請求項9又は10に記載の三次元形状測定方法。
- 前記第1波長及び前記第2波長と異なる第3波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第3仮想段差を測定し、
少なくとも前記第1仮想段差、前記第2仮想段差及び前記第3仮想段差に基づいて、前記被覆膜の屈折率を用い、最小二乗法により前記パターンの物理的三次元形状を決定することを特徴とする請求項9又は10に記載の三次元形状測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009149862A JP5387962B2 (ja) | 2009-06-24 | 2009-06-24 | 測定装置、及び測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009149862A JP5387962B2 (ja) | 2009-06-24 | 2009-06-24 | 測定装置、及び測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011007556A true JP2011007556A (ja) | 2011-01-13 |
JP5387962B2 JP5387962B2 (ja) | 2014-01-15 |
Family
ID=43564413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009149862A Expired - Fee Related JP5387962B2 (ja) | 2009-06-24 | 2009-06-24 | 測定装置、及び測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5387962B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019113492A (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-11 | レーザーテック株式会社 | 段差測定方法及び段差測定装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04236307A (ja) * | 1991-01-21 | 1992-08-25 | Nec Corp | パターン立体形状検知装置 |
JP2009092573A (ja) * | 2007-10-10 | 2009-04-30 | Olympus Corp | 厚さ測定法 |
JP2009115536A (ja) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Anritsu Corp | 印刷はんだ検査装置、及び印刷はんだ検査方法 |
-
2009
- 2009-06-24 JP JP2009149862A patent/JP5387962B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04236307A (ja) * | 1991-01-21 | 1992-08-25 | Nec Corp | パターン立体形状検知装置 |
JP2009092573A (ja) * | 2007-10-10 | 2009-04-30 | Olympus Corp | 厚さ測定法 |
JP2009115536A (ja) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Anritsu Corp | 印刷はんだ検査装置、及び印刷はんだ検査方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019113492A (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-11 | レーザーテック株式会社 | 段差測定方法及び段差測定装置 |
JP7023703B2 (ja) | 2017-12-26 | 2022-02-22 | レーザーテック株式会社 | 段差測定方法及び段差測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5387962B2 (ja) | 2014-01-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8199332B2 (en) | Apparatus for measuring thickness | |
JP5489392B2 (ja) | 光学系評価装置、光学系評価方法および光学系評価プログラム | |
TWI688760B (zh) | 使用表面增強電場之缺陷偵測 | |
US8705043B2 (en) | Height measurement by correlating intensity with position of scanning object along optical axis of a structured illumination microscope | |
JP5172204B2 (ja) | 光学特性測定装置およびフォーカス調整方法 | |
JP6750793B2 (ja) | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 | |
JP5871242B2 (ja) | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 | |
US20100277745A1 (en) | Method for Measuring Thickness | |
JP2012164801A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP5725501B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2002221668A (ja) | 干渉顕微鏡及びその作動方法 | |
JP2019523865A (ja) | シンギュラー・ビームを用いたダーク・フィールド・ウェファ・ナノ欠陥検査システム | |
US6734978B2 (en) | Profile measuring method and measurement apparatus using interference of light | |
JP2006017648A (ja) | 測定装置 | |
JP5273644B2 (ja) | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 | |
JP2009115503A (ja) | 粗さ測定方法及び粗さ測定装置 | |
JP5554164B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
TW201704719A (zh) | 從一樣本堆疊中判斷層的厚度的方法與組件 | |
JP5387962B2 (ja) | 測定装置、及び測定方法 | |
JPH09133517A (ja) | 分布測定装置 | |
JP3847422B2 (ja) | 高さ測定方法及びその装置 | |
JP5114808B2 (ja) | 検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP2009115474A (ja) | 多層膜構造観察方法及び多層膜構造観察装置 | |
JP5239049B2 (ja) | 粗さ測定方法及び粗さ測定装置 | |
JP2006003168A (ja) | 表面形状の測定方法およびその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130624 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130702 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130826 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130910 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130926 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5387962 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |