JP2011002317A - 画像プローブの校正方法および形状測定機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画像プローブ3の撮像方向を垂直にした状態で画像プローブ3および各測定子611A,611Bによりそれぞれ校正ゲージ62を測定し、画像プローブ3の光軸中心および各測定子611A,611Bの相対位置関係を求める。次に、一方の測定子611A,611Bにより基準球63を測定し、基準球63の位置を登録する。続いて、画像プローブ3の撮像方向を傾斜させた後、各測定子611A,611Bで基準球63を測定し、該測定結果と登録した基準球63の位置とから測定機1上の各測定子611A,611Bの位置を求める。画像プローブ3の光軸中心および各測定子611A,611Bの相対位置関係は既に取得しているので、求めた測定機1上の各測定子611A,611Bの位置から画像プローブ3の光軸周りの回転角度および画像プローブ3の位置を校正できる。
【選択図】図5
Description
次に、画像プローブの撮像方向をテーブルに垂直な方向に対して所望の角度に傾斜させた状態で(傾斜工程)、各測定子により基準球を測定し、該測定結果と登録した基準球の位置とから形状測定機上の各測定子の位置を求める。画像プローブの光軸中心および各測定子の相対位置関係は既に取得しているので、求めた各測定子の位置から画像プローブの光軸周りの回転角度および画像プローブの位置を校正できる(プローブ校正工程)。
以上のように、本発明では、画像プローブの撮像方向をテーブルに垂直な方向に対して傾斜させた状態でも、画像プローブの光軸周りの回転角度および位置を校正できるので、精度良く被測定物を測定することができる。
また、画像プローブの回転角度および位置の校正を簡単な構成の校正装置(校正ゲージ、基準球、およびタッチプローブ)を用いて行うことができ、校正コストを抑えることができる。
加えて、画像プローブの回転角度および位置の校正を簡単な方法で行うことができ、画像プローブの回転角度および位置を容易に校正できる。
図1は、本実施形態に係る形状測定機1(以下、測定機と記載)を示す斜視図である。
測定機1は、被測定物が載置されるテーブル2と、図示しない対物レンズを介して被測定物を撮像する画像プローブ3と、画像プローブ3を被測定物に対して移動させる移動機構4と、画像プローブ3と移動機構4との間に設けられ、画像プローブ3の撮像方向を変更する変更手段5と、画像プローブ3の位置校正を行うための校正装置6とを備える。以下、Z軸方向を、テーブル2に垂直な方向として定めるとともに、X軸方向およびY軸方向を、Z軸方向に直交しかつ互いに直交する方向として定める。
画像プローブ3にはリングライト31が取り付けられている。リングライト31は、図示しない対物レンズを囲むようにリング状に設けられた複数の発光ダイオードを備え、被測定物を照明する。
校正装置6は、タッチプローブ61A,61Bと、校正ゲージ62と、基準球63とを備えている。
タッチプローブ61A,61Bは、リングライト31における対物レンズの光軸周りにそれぞれ取り付けられ、第1,第2測定子611A,611Bをそれぞれ有している。各タッチプローブ61A,61Bは、画像プローブ3による測定時に被測定物と干渉することがないよう、画像プローブ3の焦点深度よりも十分短く形成されている。また、各タッチプローブ61A,61Bは、該タッチプローブ61A,61Bにより基準球63を測定できるよう、互いに十分離間して設けられている。
基準球63は、所定の直径を有し、テーブル2上の所定位置に設けられる。
まず、作業者がテーブル2上に校正ゲージ62と基準球63とを設けるとともに、測定子611A,611Bを有するタッチプローブ61A,61Bを画像プローブ3に取り付ける(工程S1)。該工程S1が取付工程となる。
工程S1の後、測定機1は、画像プローブ3の撮像方向をテーブル2に対して垂直な方向にする(工程S2)。
工程S2の後、測定機1は、画像プローブ3により校正ゲージ62を撮像し、円弧状部621から校正ゲージ62の中心位置を求めるとともに、クロスラインLを基準として直線部622の傾きを求め該直線部622の傾きから画像プローブ3の光軸周りの回転角度を求める(工程S3)。
工程S5の後、測定機1は、画像プローブ3を少なくともB軸周りに回転させ、画像プローブ3の撮像方向をテーブル2に垂直な方向に対して傾斜させ、画像プローブ3の撮像方向を所望の方向に変更する(工程S6)。該工程S6が傾斜工程となる。
工程S7の後、測定機1は、工程S7の測定結果と、登録した基準球63の位置とから測定機1上の各測定子611A,611Bの位置を求める。画像プローブ3の光軸中心および各測定子611A,611Bの相対位置関係を表す測定結果は、前記工程S2〜S4により既に取得しているので、求めた測定機1上の各測定子611A,611Bの位置から画像プローブ3の光軸周りの回転角度および画像プローブ3の位置を校正できる(工程S8)。これらの工程S7,S8がプローブ校正工程となる。画像プローブ3の撮像方向を再び変更する場合には、前記工程S6〜S8を繰り返す。
画像プローブ3の撮像方向をテーブル2に垂直な方向に対して傾斜させる場合でも、画像プローブ3の位置および光軸周りの回転角度を校正できるので、精度良く被測定物を測定することが可能となる。また、画像プローブ3の回転角度および位置の校正を簡単な構成の校正装置6(タッチプローブ61A,61B、校正ゲージ62、および基準球63)を用いて行うことができ、校正コストを抑えることができる。加えて、画像プローブ3の回転角度および位置の校正を簡単な方法で行うことができ、画像プローブ3の回転角度および位置を容易に校正できる。
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
図6は、変形例のタッチプローブ61Cを示す斜視図である。
前記実施形態では、タッチプローブ61A,61Bは2つ設けられ、それぞれ第1,第2測定子611A,611Bを備えていたが、図6に示すように、タッチプローブ61Cは、リングライト31における対物レンズの光軸周りに1つのみ設けられ、該タッチプローブ61Cが第1、第2測定子612,613を備えていてもよい。このようなタッチプローブ61Cを備える測定機1Aであっても、前記実施形態と同様の方法で画像プローブ3を校正することができる。
1A 測定機
2 テーブル
3 画像プローブ
4 移動機構
5 変更手段
61A,61B,61C タッチプローブ
62 校正ゲージ
63 基準球
612,613,611A,611B 第1,第2測定子
621 平面視円弧状部
622 平面視直線部
C 校正ゲージの中心軸
Claims (2)
- 対物レンズを介して被測定物を撮像する画像プローブと、前記画像プローブおよび被測定物が載置されるテーブルを相対移動させる移動機構と、前記画像プローブの撮像方向を変更する変更機構とを備えた形状測定機において、前記画像プローブを、その撮像方向を前記テーブルに垂直な方向に対して傾斜させて用いる場合の画像プローブの校正方法であって、
前記テーブル上において、中心軸を有し平面視直線部および前記中心軸を中心とした平面視円弧状部が形成された校正ゲージと、基準球とを設けるとともに、前記画像プローブにおいて前記対物レンズの光軸周りに第1,第2測定子を有するタッチプローブを取り付ける取付工程と、
前記画像プローブの撮像方向を前記テーブルに垂直な方向に保持した状態で前記画像プローブおよび前記各測定子により前記校正ゲージを測定し、前記画像プローブの光軸中心および前記各測定子の相対位置関係を取得する相対位置関係取得工程と、
いずれか一方の測定子により前記基準球を測定し、前記基準球の位置を登録する基準球測定工程と、
前記画像プローブの撮像方向を前記テーブルに垂直な方向に対して所望の角度に傾斜させる傾斜工程と、
前記画像プローブの撮像方向を前記所望の角度に傾斜させた状態で前記各測定子により前記基準球を測定し、この測定結果と登録した前記基準球の位置とから前記各測定子の位置を求め、求めた前記各測定子の位置と前記相対位置関係とに基づいて、前記画像プローブの光軸周りの回転角度および前記画像プローブの位置を校正するプローブ校正工程とを備える
ことを特徴とする画像プローブの校正方法。 - 対物レンズを介して被測定物を撮像する画像プローブと、前記画像プローブおよび被測定物が載置されるテーブルを相対移動させる移動機構と、前記画像プローブの撮像方向を変更する変更機構と、前記画像プローブにおいて前記対物レンズの光軸周りに設けられ、第1,第2測定子を有するタッチプローブと、前記テーブル上に設けられた基準球と、中心軸を有し平面視直線部および前記中心軸を中心とした平面視円弧状部が形成され、前記テーブル上に設けられた校正ゲージとを備え、
前記画像プローブの撮像方向を前記テーブルに垂直な方向に保持した状態で前記画像プローブおよび前記各測定子により前記校正ゲージを測定し、前記画像プローブの光軸中心および前記各測定子の相対位置関係を取得した後、
いずれか一方の測定子により前記基準球を測定して前記基準球の位置を登録し、
前記画像プローブの撮像方向を前記テーブルに垂直な方向に対して所望の角度に傾斜させた状態で前記各測定子により前記基準球を測定し、この測定結果と登録した前記基準球の位置とから前記各測定子の位置を求め、求めた前記各測定子の位置と前記相対位置関係とに基づいて、前記画像プローブの光軸周りの回転角度および前記画像プローブの位置を校正する
ことを特徴とする形状測定機。
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