JP2010537109A - 潤滑流体封止装置及びそのような装置を装備する遠心分離要素を含むドライ真空ポンプ - Google Patents

Abstract

本発明は、少なくとも１つの潤滑軸受（５）上に装着された少なくとも１つの回転シャフト（１１）及び潤滑軸受（５）とドライポンピング段（７）の間に取り付けられた、前記軸受（５）からシャフト通路に入ることができる潤滑流体を封止するための少なくとも１つの封止装置（９）を備えるドライ真空ポンプであって、前記封止装置（９）が前記シャフト（１１）上で一緒に回転するように設計され、前記軸受（５）からドライポンピング段（７）まで進み得る流体から潤滑流体を分離することができる少なくとも１つの貫通路（１９）を備える遠心分離要素（１７）を備えることを特徴とするドライ真空ポンプに関する。

Description

本発明は、回転ローブ式真空ポンプ等のドライ真空ポンプに関し、特にルーツ若しくはクロー真空ポンプ等、スクロール真空ポンプ等又はスクリュー真空ポンプ等の多段タイプのポンプに関する。

一般に、これらのポンプは、圧送されるガスがその中で吸気口と排気口の間を進む直列に置かれた１つ又は複数の段を含む。

知られている真空ポンプの中では、２つ又は３つのローブ（バイローブ、トリローブ）を有する「ルーツ」ポンプとしても知られている回転ローブを有するもの、或いは「クロー」ポンプとしても知られている２枚の舌部（ｔｏｎｇｕｅ）を有するものに区別される。

これらのポンプは、例えば文書米国特許第６，５７２，３５１号、同第５，２３４，３２３号、欧州特許第０，３６５ ６９５号、米国特許第４，７８９，３１４号及び欧州特許第１，２２７，２４６号に記載されている。

一般的に言えば、ルーツ回転ローブ式ポンプは同一の断面を有し、ステータ（ポンプの本体）内で反対方向に回転する２つのロータを備える。これらのロータが回転すると、引き込まれたガスは、ロータとステータの間に見られる開放空間内部に閉じ込められ、次いで排出口を通って抜ける。ポンプはロータとポンプの本体の間に機械接触をまったく生じさせることなく作動し、これが油を圧縮チャンバから完全になくすことを可能にする。

２枚の舌部を有する「クロー」ポンプもまた、シリンダー内で反対方向に回転し、ガスを引き込みそれを圧縮する２つのローブ付きロータを備える。但し、このローブはドライ圧縮を保証するように特別に成形されている。

ロータは、例えば油又はグリースによって潤滑化されてよい少なくとも１つの潤滑軸受によって支持された回転シャフトによって担持される。

回転時、軸受内のシャフトの回転によってグリースの粒子又は油塊等の汚染物質が発生し、この汚染物質は圧力の変動に晒されるとポンピング段に向かって移動することがある。

従って、半導体基板を製造するためのプロセス等のいわゆる「ドライ」用途では、ポンピング段内に油又はグリースの痕跡が残らないことが必須である。

従って、シャフトがそこを通って依然として回転することができる封止装置を用いて、潤滑軸受をドライポンピング段から隔てることが適切である。

これに対処するために、いわゆる「リップ」封止リングがすでに知られている。

しかし、その結合部は、回転シャフトで擦れることによって摩耗が進み、急速に封止特性の損失に至り、真空ポンプの頻繁な保守点検が必要となり、その各々の保守点検の要求時には、半導体製造設備及び真空ポンプを作動停止させることが必要となり、これは極めてコストがかかる。

さらに、ポンピング段内の圧力が高圧と低圧の間で頻繁に変化すると、軸受とポンピング段の間に大きな圧力差が生じる。

結合部の両端でこうした圧力の相違が繰り返されることも、結合部が早期摩耗を被る原因となる。

他の技術もまた知られており、これは、軸受とドライポンピング段の間の封止領域の両側で圧力の均衡を保つことを可能にする動的な非接触結合部を使用する。

これらの非接触の動的結合部は封止手段としてガス乱流を使用する。但し、これらの装置は、油又はグリースのミスト及び蒸気がポンピング領域に向かって移動することを可能にしない。

米国特許第６，５７２，３５１号 米国特許第５，２３４，３２３号 欧州特許第０，３６５ ６９５号 米国特許第４，７８９，３１４号 欧州特許第１，２２７，２４６号

従って、本発明の目的は、ポンプに対する保守点検作業をほとんど又はまったく必要とせず、ポンピング段が油又はグリースを有さない、より具体的にはこれらの潤滑剤のミスト又は蒸気を有さないことを確実にする封止装置を有するドライ真空ポンプを提案することである。

そのためには、本発明は、少なくとも１つの潤滑軸受上に装着された少なくとも１つの回転シャフト、及び潤滑軸受と１つのドライポンピング段の間に取り付けられた、前記軸受からシャフト通路に入ることができる潤滑流体を封止するための少なくとも１つの封止装置を備えるドライ真空ポンプであって、前記封止装置が、前記シャフトを一緒に回転させるように取り付けられ、前記軸受からドライポンピング段まで進み得る流体から潤滑流体を分離することができる少なくとも１つの貫通路を含む遠心分離要素を含むことを特徴とするドライ真空ポンプを開示する。

選択的に、遠心分離要素は、貫通路内に置かれた繊維性材料等のろ過体をさらに備える。

選択的に、貫通路は遠心分離要素の円周表面よりもシャフトに近くなるように配置される。

貫通路のオリフィスの直径は、ドライポンピング段の端部上よりも軸受端部上の方が大きくなるように設計される。

例えば、貫通路は、ドライポンピング段の端部のそばに配置された先端部を有する円錐形の筒体のように成形されるように設計される。

代替的には、貫通路の１つの部分は狭窄部を有するように設計されてよく、或いは貫通路は、遠心分離要素の回転軸と同じである回転軸を有し、ポンピング段の端部上の所定数のオリフィスに注ぐ先端部を有する円錐形の筒体のように成形された遠心分離要素内の凹部によって形成されてよい。

さらに、貫通路のコンダクタンスは、遠心分離要素の円周表面とステータの内壁の間に形成された周囲流体通路のコンダクタンスを上回るように設計される。

選択的に、封止装置は、ポンピング段の端部上に配置された貫通路オリフィスに面するように置かれた逆止弁を含む。

逆止弁は選択的に、回転シャフトに沿って摺動するように取り付けられたディスクで構成される。

例えば、周囲通路はラビリンスシールを含むように設計されてよい。

ラビリンスシールはステータ内に取り付けられた複数のリングを含むことができ、遠心分離要素の円周表面は複数の対応するピットを有することができる。

有利なことに、各々のリングは、ステータ内に取り付けることができるように開放状態の弾性のものである。

選択的に、静止時の各々のリングの外径はステータの内壁の直径を上回り、その結果、リングは、ステータ内に挿入された後リングの弾性力によってステータの内壁に押し付けられて保持される。

封止装置はまた、軸受と遠心分離要素の間のシャフト上に取り付けられたそらせ板を含むように設計されてもよい。

本発明はまた、潤滑軸受とドライポンピング段の間のドライ真空ポンプの回転シャフト上で一緒に回転するように取り付けられることが意図された潤滑流体封止装置の遠心分離要素であって、潤滑流体を流体から分離するために軸受からドライポンピング段へとその流体が通って進み得る少なくとも１つの貫通路を備えることを特徴とする、潤滑流体封止装置の遠心分離要素も開示する。

他の利点及び特徴は、本発明の説明並びに添付された図を読み取ることで明白になるものとする。

本発明の真空ポンプの一部の長手方向の断面図である。 本発明の遠心分離要素の例示的な実施形態の概略正面図である。 図１の真空ポンプの一部の長手方向の断面図である。 図１の真空ポンプの一実施形態の長手方向の断面図である。 図１の真空ポンプの別の実施形態の長手方向の断面図である。 図１の真空ポンプの別の実施形態の長手方向の断面図である。

これらの図において、同一要素には同じ参照番号が与えられている。

本発明は、少なくとも１つの潤滑軸受によって支持された少なくとも１つの回転シャフト及び潤滑軸受とドライポンピング段の間に取り付けられた、軸受からシャフト通路に入ることができる潤滑流体を封止するための少なくとも１つの封止装置を含むドライ真空ポンプに適用する。

有利なことに、１つの封止装置は、各々のポンピング段ごとに真空ポンプ内の軸受に隣接して配設される。

従って、２つの回転ローブ付きシャフトを含むそのような真空ポンプ、特にルーツ又はクローポンプ、或いは類似の原理に基づいたポンプ等の多段タイプの真空ポンプでは、４つの封止装置がポンプの４つの軸受に配設される。

当然ながら、本発明はまた、スクロール真空ポンプ又はスクリュー真空ポンプ等のどのようなタイプのドライ真空ポンプにも適用する。

図１は、本発明の第１の実施形態による真空ポンプ１の一部分を表している。

真空ポンプ１のステータ３の内部は、軸受５、ポンピング段７、及び軸受５とポンピング段７の間に取り付けられた、回転シャフト１１を通過させる潤滑流体封止装置９を含む。

軸受５はグリース又は油等の流体によって潤滑化されたローラ軸受１３を備える。そのために、軸受５は油をシャフトの歯車に均一に分布させる油受け（図示せず）と結合することが有利である。

ポンプ１のさらに下流では、回転軸１４の周りで回転することができるシャフト１１がポンピング段７内に延びており、ここで回転ローブを有するもの等のロータ１５を支承している。

ポンピング段７は「ドライ」であると言われており、その理由は、ポンピング段７が作動しているとき、ロータ１５は、ロータ１５とポンプ１の本体３の間に機械接触をまったく生じさせることなく反対方向にステータ３内で回転し、これが油を完全になくすことを可能にするからである。

封止装置９は、グリース又は油等の潤滑流体が軸受５からドライポンピング段７まで通過するのを厳しく抑えることを可能にしながら、真空ポンプ１が作動しているときにシャフト１１が回転するのを可能にする。

本発明では、封止装置９は、シャフト１１上で一緒に回転するように取り付けられ、軸受からドライポンピング段７まで進み得る流体から潤滑流体を分離することができる少なくとも１つの貫通路１９を備える遠心分離要素１７を備える。

軸受からドライポンピング段まで進み得る流体は潤滑流体及びガスの混合物を備える。

このように、真空ポンプ１が作動しているとき、遠心分離要素１７は、シャフト１１と同じ回転速度、例えば一次ルーツ真空ポンプに関しては１分間あたり６０００回転で回転することになる。

その結果、遠心分離要素１７によって支承された貫通路１９もまた、ポンプ１のシャフト１１の回転軸１４の周りで回転し、同じ回転速度で回転することになる。

ミスト、液体又は残留粒子の形態の潤滑流体はガスを上回る質量又は密度を有するので、貫通路１９内の循環は遠心分離要素１７の中心１４から離される。

実際、遠心分離要素１７のすばやい回転によって生じた遠心力が、潤滑流体を貫通路１９の内側の側面２１上に投げ出し、それによって潤滑流体を遠心によって流体から分離する。

より詳細には、封止装置は潤滑剤のミスト及び／又は蒸気を流体から分離する。

有利なことに、貫通路１９のオリフィス３９の直径はドライポンピング段７の端部上よりも軸受５の端部上の方が大きい。

例えば図１では、貫通路１９の１つの部分は遠心分離要素１７の回転軸１４と同じ回転軸を有し、ポンピング段７の端部上の所定数のオリフィス３９と連通する先端部を有する円錐形の筒体のように成形された遠心分離要素１７内の凹部によって形成された狭窄部５３を有している。

特に円錐形の筒体の形状は、壁に沿って閉じ込められた潤滑剤の蒸気及びミストを貫通路１９から排出させるために遠心力によってこれらを誘導することを可能にする。

従って、潤滑流体は遠心分離要素１７の基部に向かって誘導され、封止装置の自浄が可能になる。

貫通路１９の他の実施形態は後で説明される。

さらに、複数の貫通路１９が、ガスの流れを最適化するようにして提供される。

従って、図２は、貫通路１９の８つのオリフィス３９並びにシャフト１１を通過させるための遠心分離要素１７の中心にある開口部２５を有する遠心分離要素１７を表している。

装置９が潤滑流体を封止する能力をさらに向上させるために、遠心分離要素１７は、貫通路１９内に置かれた繊維性材料（図示せず）等のろ過体を含むように設計され得ることが有利である。

繊維性材料は、例えばスチールウールベース又はグラスウールベースのものでよい。

このようにして、流体が貫通路１９内を進むときはいつでも、潤滑剤の残留物はろ過体の繊維内に閉じ込められる。

次に、ろ過体内に閉じ込められた油の蒸気及び／又はミストもまた、遠心力によって遠心分離要素１７の壁に向かって投げ出され、次いで遠心分離要素１７の基部に向かって誘導される。

このようにして、貫通路１９と同様にろ過体もそれ自体を洗浄する。

さらに、封止装置は、軸受５と遠心分離要素１７の間のシャフト１１上に取り付けられたそらせ板２７を含むように設計され得ることが有利である。

そらせ板２７は、軸受５から到着した液状、グリース状、及び粒子状の潤滑剤の大まかな分離の第１の手段を形成するために、軸受５から到着した流体の流れを変更することを可能にする。

対応する溝２９がステータ３内に設けられ、そらせ板２７の周囲縁３１の向かいに配置される。

このようにして、流体が流体５からポンピング段７に進むときはいつでも、大きな粒子及び液体はそらせ板２７によって溝２９内へと偏向され、流体の第１の大まかなろ過が形成される。

選択的に、管路（図示せず）が溝２９からポンプ１のステータ３内に延びる。

この管路は潤滑軸受の油受けと結合することができる。溝２９内を進む潤滑剤は、次いで管路内に、その後油受け方向に導かれる。

有利なことに、貫通路１９は、図２に示すように遠心分離要素１７の円周表面３３よりもシャフト１１の近くになるように配置される。

シャフト１１の回転軸１４へのこうした直接配置は、装置９が遠心効果及び相補的なローリング効果からできるだけ多くの恩恵を受けることを可能にする。

相補的なローリング効果はそらせ板２７と遠心分離要素１７の間の局所的なより高い圧力によって生成される。これは、そらせ板２７と遠心分離要素１７の間の空間を小さくした結果である。

ローリング効果はまた、潤滑剤をそらせ板２７の周囲に分散させることも可能にする。

本発明の１つの非常に有利な態様では、貫通路１９のコンダクタンスは遠心分離要素１７の周囲表面３３とステータ３の内壁３５の間に形成された周囲流体通路のコンダクタンスを上回る。

この設計では、軸受５の端部の圧力の方が高くなるときはいつでも、流体は、遠心分離要素１７の周りではなく遠心分離要素１７の貫通路１９を通って流れることが好ましい。

このようにして、流体は遠心分離要素１７によって良好にろ過され、遠心分離要素１７の両側の差圧は抑えられるが、これは、周囲通路を通る流れが高いコンダクタンスによって大きく低減されるためである。

反対の状況では、即ちポンピング段上の圧力の方が高いときはいつでも、封止装置９は、ポンピング段７の端部に配置された、貫通路１９のオリフィス３９に面する逆止弁３７を含む。

弁３７の位置は、差圧に応じて流体の好ましい進路を方向付けることを可能にする。

弁３７がオリフィス３９から離されているとき、貫通路１９はより高いコンダクタンスを有しているため、流体は貫通路１９を通って流れることが好ましい。

弁３７がオリフィス３９に接して保持されているとき、流体は遠心分離要素１７の周囲通路を通って流れることが好ましい。

弁３７による管１９の開閉は弁３７の両側の圧力差によって自然に制御される。

この弁３７は、軸受５の端部上の圧力がポンピング段７上の圧力を上回るときにオリフィス３９から離れた位置になるようにしてシャフト１１上に配置される。

この画期的な手段により封止装置９は最適化されるが、これは、貫通路１９内のガス及び潤滑剤の乱流運動が回避され、貫通路１９を通る流れが一方向のみに進むためである。

従って封止装置９の両側の圧力は、流体が潤滑剤で充填されているか否かに応じて、２つの別個の通路によって自動的にうまく均衡を保つことができる。

逆止弁３７は、シャフト１１に沿って軸方向に摺動するように取り付けられた、金属ディスク等の簡単なディスクの形態で設計されてよく、このとき逆止弁の通路は、遠心分離要素１７及びシャフト１１に取り付けられたストッパ４１によって画定される。

弁３７の半径は、ポンピング段７の端部上で空になる貫通路１９のオリフィス３９をブロックすることができるのに十分な大きさになるように設計される。

このようにして、軸受５における圧力がポンピング段７における圧力を上回るとき、弁３７は、流体の流れによってポンピング段７に向かって押し出され、ストッパ４１（図１を参照）によって保持され、それによって流体が遠心分離要素１７の貫通路１９を通り抜けることを可能にする。

逆に、軸受５における圧力がポンピング段７における圧力を下回るとき、弁３７は、流体の流れによって遠心分離要素１７に向かって引っ張られ、流体が貫通路１９を通り抜けるのを防止する。

このようにして、封止装置９の両側の圧力間の均衡がうまく保たれ、加えて周囲通路内で清浄なガスが循環することにより、そこに閉じ込められ得たであろう潤滑剤の残留物を誘導することが可能になる。

実際、ガスの周囲通路の低コンダクタンスが潤滑剤の残留物を加速させ、ステータ３の溝２９に向かってその残留物を導く。

選択的に、周囲流体通路はラビリンスシール４３によって形成される。

ラビリンスシールは、ステータ３と遠心分離要素１７の間の通路のコンダクタンスを限定する一続きの邪魔板を含む。

従来では、邪魔板は、ステータ及び回転要素によってそれぞれ支承された溝及び対応するピットによって形成され、回転要素の回転速度が高いときの大きな摩擦を回避するためにステータ及び回転要素に接触することなくそれらに面して中央揃えされる。

従って、本発明では、周囲通路が遠心分離要素１７の円周表面３３とポンプ１のステータ３の間に構築され、これが遠心分離要素１７の回転速度が高いときの摩擦を回避することを可能にする。

しかし、従来のラビリンスシールは、組立てが困難であるという欠点を有する。

実際、これらのシールを組み立てるには、対応するピットを担持するロータの周りに組み立てられ、ロータを中心として置かれた２個の部品で構成されるステータを設計することが必要である。

この欠点に対処するために、本発明は、貫通路１９から独立したラビリンスシール４３であって、ステータ３内に取り付けられた複数のリング４５を備え、遠心分離要素１７の円周表面３３が複数の対応するピット４７を有することを特徴とするラビリンスシール４３を提供することが有利である。

リング４５はステータ３とは別個の要素であり、ステータ３内に取り付けられ得るように開放状態の弾性のものであるように設計される。

この構成が組立てをより容易にする。

実際、静止時の各々のリング４５の外径はステータ３の内壁３５の直径を上回り、その結果、リング４５は、ステータ３内に挿入された後リング４５の弾性力によってステータ３の内壁３５に押し付けられて保持される。

組立て時、最初に開放リング４５が遠心分離要素１７のピット４７内に摺動される。

続いて、補助装置である装着チューブが、リング４５を支承する遠心分離要素１７の周りに配設され、その結果、リング４５は各々のリングの端部を互いに接触させて圧縮される。

次に、リング４５及び遠心分離要素１７を備えるチューブがステータ３内に摺動される。

最後に、チューブが取り除かれ、解放されたリング４５はステータ３内で元の形に戻る（ｄｅｃｏｍｐｒｅｓｓ）ことが可能になる。

リング４５の弾力性は、リングがステータ３に堅固に固定されるように選択される。

このようにして、ステータ３と遠心分離要素１７の間にラビリンスシール４３が得られ、このピット４７及び溝４５は、製造、中心揃え、及び組立てが容易である。

当然ながら、このタイプのラビリンスシール４３は、本発明の遠心分離要素１７はもちろんのことステータ内で回転するロータ又は回転シャフト等のどのような回転要素にも適合する。

上記で説明した真空ポンプの作動中、軸受５における圧力がポンピング段７における圧力を上回るとき、流体は図１の矢印４９によって示すような進路をとる。

最初、軸受４から到着した流体の流れはそらせ板２７によって偏向され、潤滑液体及び粒子が大まかに分離される。

それと同時に、弁３７がポンピング段７に向かって押し出され、それによって流体の大部分が遠心分離要素１７を通って進むように貫通路１９へのアクセスを解放する。

それにより、ガスは遠心によって潤滑流体から分離される。

次いで、これらの潤滑流体は遠心力によって貫通路１９から放出される。

次に、軸受における圧力がポンピング段７における圧力を下回るようになる場合、流体は、図３の矢印５１によって示された進路を有する周囲通路を通る。

弁３７は遠心分離要素１７に向かって引っ張られ、貫通路１９を通り抜けることを防止し、それによって流体の大部分は周囲通路を通り、潤滑の残留物を誘導するようになる。

上記で述べたように、貫通路１９の他の実施形態も予想され得る。

例えば、貫通路１９の狭窄部５３は管１９内の絞り（図示せず）によって形成されてよい。

図４及び５は、貫通路１９のオリフィス３９の直径が、ドライポンピング段７の端部上よりも軸受５上の方が大きい、本発明の他の有利な実施形態を示している。

図４では、貫通路１９は、ドライポンピング段７に至る口部を減じる直径部分を有する段を形成することによって狭くなった断面を有する。

この変形形態は構築が非常に簡単であるという利点を有する。

実際、そのような貫通路１９は、例えば段付きドリルを用いて穴をあけることによって得られ得る。

或いは、図５に示すように、貫通路１９は、ドライポンピング段７に配置された先端部を有する円錐形の筒体のように成形される。

貫通路１９の部分的又は連続的な狭窄部５３は、貫通路１９の内部の側面２１上に投げ出された潤滑剤の残留物を減速させることを可能にする。

次いで、この残留物は管１９の内面２１に沿って進み軸受５に戻る。

この残留物は、そらせ板２７に到達するとステータ３の溝２９内に導かれ、油受けに至る管路に誘導される。

別の変形形態では、貫通路１９は管状（図６）である。

このようにして、シャフト１１上で一緒に回転するように取り付けられ、少なくとも１つの貫通路１９を備える遠心分離要素１７を含む少なくとも１つの潤滑流体封止装置９を備える真空ポンプ１が、いかなる部品も擦れ合うことなく、従って摩耗を生じさせることなく潤滑剤が確実に封止されることを可能にし、保守点検をほとんど必要としないことが理解される。

Claims (17)

1. 少なくとも１つの潤滑軸受（５）上に装着された少なくとも１つの回転シャフト（１１）及び前記潤滑軸受（５）とドライポンピング段（７）の間に取り付けられた、前記軸受（５）から前記シャフト通路に入ることができる潤滑流体を封止するための少なくとも１つの封止装置（９）を備えるドライ真空ポンプであって、前記封止装置（９）が、前記シャフト（１１）上で一緒に回転するように取り付けられ、前記軸受（５）から前記ドライポンピング段（７）まで進み得る流体から前記潤滑流体を分離することができる少なくとも１つの貫通路（１９）を備える遠心分離要素（１７）を備えたことを特徴とするドライ真空ポンプ。
2. 請求項１記載の真空ポンプであって、前記遠心分離要素（１７）が、前記貫通路（１９）内に置かれたろ過体をさらに備えたことを特徴とする真空ポンプ。
3. 請求項２記載の真空ポンプであって、前記ろ過体が繊維性材料であることを特徴とする真空ポンプ。
4. 請求項１乃至３のいずれか１項記載の真空ポンプであって、前記貫通路（１９）が、前記遠心分離要素（１７）の円周表面（３３）よりも前記回転シャフト（１１）に近くなるように配置されたことを特徴とする真空ポンプ。
5. 請求項１乃至４のいずれか１項記載の真空ポンプであって、前記貫通路（１９）の１つの部分が狭窄部（５３）を有することを特徴とする真空ポンプ。
6. 請求項５記載の真空ポンプであって、前記貫通路（１９）のオリフィス（３９）の直径が、前記ドライポンピング段（７）の端部上よりも前記軸受（５）の端部上の方が大きいことを特徴とする真空ポンプ。
7. 請求項６記載の真空ポンプであって、前記貫通路（１９）が、前記ドライポンピング段（７）の端部に配置された先端部を有する円錐形の筒体のように成形されたことを特徴とする真空ポンプ。
8. 請求項６記載の真空ポンプであって、前記貫通路（１９）が、前記遠心分離要素（１７）の回転軸（１４）と同じである回転軸を有し、前記ポンピング段（７）の端部における所定数のオリフィス（３９）に注ぐ先端部を有する円錐形の筒体のように成形された前記遠心分離要素（１７）内の凹部によって形成されることを特徴とする真空ポンプ。
9. 請求項１乃至８のいずれか１項記載の真空ポンプであって、前記貫通路（１９）のコンダクタンスが、前記遠心分離要素（１７）の前記円周表面（３３）と前記ステータ（３）の内壁（３５）の間に形成された周囲流体通路のコンダクタンスを上回ることを特徴とする真空ポンプ。
10. 請求項９記載の真空ポンプであって、前記封止装置（９）が、前記ポンピング段（７）の端部に配置された前記貫通路（１９）の前記オリフィス（３９）に面して置かれた逆止弁（３７）を含むことを特徴とする真空ポンプ。
11. 請求項１０記載の真空ポンプであって、前記逆止弁（３７）が、前記回転シャフト（１１）に沿って摺動するように取り付けられたディスクによって形成されたことを特徴とする真空ポンプ。
12. 請求項９乃至１１のいずれか１項記載の真空ポンプであって、前記周囲通路がラビリンスシール（４３）を含むことを特徴とする真空ポンプ。
13. 請求項１２記載の真空ポンプであって、前記ラビリンスシール（４３）が、前記ステータ（３）内に取り付けられた複数のリング（４５）を備え、前記遠心分離要素（１７）の前記円周表面（３３）が複数の対応するピット（４７）を有することを特徴とする真空ポンプ。
14. 請求項１３記載の真空ポンプであって、各々のリング（４５）が、前記ステータ（３）内に取り付けられ得るように開放状態の弾性のものであることを特徴とする真空ポンプ。
15. 請求項１４記載の真空ポンプであって、静止時の各々のリング（４５）の外径が前記ステータ（３）の前記内壁（３５）の直径を上回り、その結果、前記リング（４５）は、前記ステータ（３）内に挿入された後に前記リング（４５）の弾性力によって前記ステータ（３）の前記内壁（３５）に押し付けられて保持されることを特徴とする真空ポンプ。
16. 請求項１乃至１５のいずれか１項記載の真空ポンプであって、前記封止装置（９）が、前記軸受（５）と前記遠心分離要素（１７）の間の前記回転シャフト（１１）上に取り付けられたそらせ板（２７）をさらに備えたことを特徴とする真空ポンプ。
17. 潤滑軸受（５）とドライポンピング段（７）の間のドライ真空ポンプ（１）の回転シャフト（１１）上で一緒に回転するように取り付けられることが意図された潤滑流体封止装置のための遠心分離要素であって、前記潤滑流体を流体から分離するために、前記流体が前記軸受（５）から前記ドライポンピング段（７）までそこを通って進むことができる少なくとも１つの貫通路（１９）を備えたことを特徴とする遠心分離要素。

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