JP2010534323A - 測定セル構造を較正する方法、および作動させる方法 - Google Patents
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Abstract
Description
の内容を本件明細書の不可分の構成要素とする。
同時に較正レポートを作成しながら試験体を較正する。
所望の温度まで加熱され、真空圧力測定のための測定セル接続部が熱容器を貫いて案内され、当該領域で熱容器は、熱源が中に配置された発熱体として構成されている。熱容器は絶縁外套で取り囲まれており、それにより、加熱された発熱体を周囲に対して断熱し、それによって熱容器で生じる可能性がある最小の温度勾配を少ない熱損失で保証する。それにより、測定セルにおける均一な温度分布が、コンパクトな設計形態で可能となる。
ート65の内部で進行する。較正進行制御部11は、較正データ記憶装置13と、たとえばプロセッサを含む較正制御部14と、測定セル構造1が信号回線20で接続された較正インターフェース15とを含んでいる。
a)測定セル構造1を好ましくは加熱室63に配置することによって較正装置10と接続し、測定接続部5を真空容積部58に接続するとともに信号回線20を介して測定セルインターフェース8を較正進行制御部11に接続して、測定セル構造1のスイッチを入れる。
b)測定セル構造部で設定可能な一定の値に合わせて第1の加熱温度を調整する。
c)少なくとも1つ、好ましくは少なくとも2つの異なる所定の圧力を真空容積部58で生成し、それと同時に測定セル構造1および少なくとも1つの参照測定セル6の真空信号を検出することによって測定セル構造1の第1の較正ステップを実行し、検出された圧力値を較正データ記憶装置13に保存する。
d)測定セル構造1と参照測定セル6の判定された相違値から較正プロセッサ14で補正値を算定し、これらの相違値を較正進行制御部11の較正データ記憶装置13に中間保存する。
e)さまざまな所定の作業点で判定された参照測定セル60に対する圧力と温度の相違する値について、算定された補正値を測定セルデータ記憶装置6へ伝送することによって測定セル構造1を調節する。
テップc)の少なくとも2つの異なる所定の真空圧力が、測定セル構造1のスケール最終値およびスケール開始値に設定されると好都合である。2つを超える圧力点で測定値を検出することは、較正されるべき測定セル構造1,61の精度を調節後に高めるが、それに伴って較正コストも増える。ステップc)を実行するときに少なくとも2つから5つ、好ましくは5つから10の所定の圧力値が検出され、これらが所望の検出されるべき測定セル構造1の測定範囲内で設定されると、好都合な条件が得られる。
−測定セル構造を真空プロセス設備の真空容積部30と接続し、
−真空測定セル2の温度を加熱部3により所定の一定の値に合わせて調整し、
−真空測定セル2から出される圧力信号を測定セル電子装置4で処理し、それにより、以前に較正プロセスで算定されて測定セルデータ記憶装置6に保存されている参照測定セル60に対する補正値が、測定セル制御部7による圧力信号の修正のために利用されるようにし、
−こうして修正された圧力信号を、測定セルインターフェース8を介して周辺機器21,22へ以後の利用のために転送する。
Claims (12)
- 測定セル構造(1)を較正する方法において、前記測定構造は、測定セルデータ記憶装置(6)と、測定セル制御部(7)と、周辺機器とデータを交換するための測定セルインターフェース(8)とを有する測定電子装置(4)と接続された、測定接続部(5)を備える真空隔膜測定セル(2)を含んでおり、および前記真空隔膜測定セル(2)を設定可能な温度まで加熱するためのプログラミング可能な加熱部(3)を含んでおり、前記較正方法は、
a)前記測定セル構造(1)を較正装置(10)と接続し、前記測定接続部(5)を真空容積部(58)に接続するとともに信号回線(20)を介して前記測定セルインターフェース(8)を較正進行制御部(11)に接続して、前記測定セル構造(1)のスイッチを入れるステップと、
b)前記測定セル構造部で設定可能な一定の値に合わせて第1の加熱温度を調整するステップと、
c)少なくとも1つの所定の圧力を前記真空容積部(58)で生成し、それと同時に前記測定セル構造(1)および少なくとも1つの参照測定セル(6)の真空信号を検出することによって前記測定セル構造(1)の第1の較正ステップを実行し、検出された圧力値を前記較正データ記憶装置(13)に保存するステップと、
d)前記測定セル構造(1)と前記参照測定セル(6)の判定された相違値から較正プロセッサ(14)で補正値を算定し、これらの相違値を前記較正進行制御部(11)の前記較正データ記憶装置(13)に中間保存するステップと、
e)さまざまな所定の作業点で判定された前記参照測定セル(60)に対する圧力と温度の相違する値について、算定された補正値を前記測定セルデータ記憶装置(6)へ伝送することによって前記測定セル構造(1)を調節するステップとを含んでいる方法。 - 前記測定セル構造(1)は少なくとも2桁から4桁の真空圧力測定範囲を検出することを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記ステップc)の少なくとも2つの異なる所定の真空圧力が検出され、前記測定セル構造(1)のスケール最終値とスケール開始値に設定されることを特徴とする、請求項1または2に記載の方法。
- 前記ステップc)で少なくとも2つ、好ましくは少なくとも2つから5つの設定された圧力値が検出され、好ましくは5つから10の圧力値が検出され、該圧力値は前記測定セル構造(1)の検出されるべき所望の測定範囲内で設定されることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 少なくとも1つの別の圧力について、前記第1のステップc)に準じて、少なくとも1つの別の較正ステップf)が繰り返して実行され、該ステップは確認ステップとしての役目を果たし、前回の測定に対して前記測定セル構造(1)の値と前記参照測定セル(60)の値のあいだで算定される可能性がある値の差異が以後の評価のために記憶装置に記録されることを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- 前記ステップa)からe)が、好ましくはa)からf)が、加熱温度の少なくとも1つの別の値について実行され、好ましくは3つから6つの異なる加熱温度値について実行されることを特徴とする、請求項1から5のいずれかに記載の方法。
- 前記較正装置(10)で少なくとも2つの測定セル構造(1)が同時に較正され、好ましくは少なくとも2つの参照測定セル(60)が使用されることを特徴とする、先行請求項のうちいずれか1項に記載の方法。
- 較正された測定セル構造(1)を作動させる方法において、前記測定構造は、測定セルデータ記憶装置(6)と、測定セル制御部(7)と、周辺機器とデータを交換するための測定セルインターフェース(8)とを有する測定電子装置(4)と接続された、測定接続部(5)を備える真空隔膜測定セル(2)を含んでおり、および前記真空隔膜測定セル(2)を設定可能な温度まで加熱するためのプログラミング可能な加熱部(3)を含んでおり、真空圧力を検出するために前記測定接続部を真空プロセス設備の真空容積部(30)と接続する、そのような方法であって、
前記真空測定セル(2)の温度を前記加熱部(3)により所定の一定の値に合わせて調整し、前記真空測定セル(2)から出される圧力信号を前記測定セル電子装置(4)で処理し、それにより、以前に較正プロセスで算定されて測定セルデータ記憶装置(6)に保存されている参照測定セル(60)に対する補正値が、前記測定セル制御部(7)による前記圧力信号の修正のために利用されるようにし、こうして修正された圧力信号を前記測定セルインターフェース(8)を介して周辺機器へ転送することを特徴とする方法。 - 1つを超える作業点について、好ましくはさまざまに選択されて調整された前記真空隔膜測定セル(2)の温度について、補正値を前記測定セルデータ記憶装置(6)から呼び出して前記測定セル制御部(7)により処理して修正することができ、それによって前記測定セル構造(1)のさまざまな所望の作業点についての較正値を当該測定セル構造そのもので直接呼び出すことができることを特徴とする、請求項8に記載の方法。
- 前記測定セル構造の選択された作業点についての補正値の呼出しは当該測定セル構造に配置された制御スイッチによって当該測定セル構造そのもので直接行われることを特徴とする、請求項8または9に記載の方法。
- 前記測定セル構造(1)の選択された作業点についての補正値の呼出しは外部から前記測定セルインターフェース(8)を介して行われ、好ましくは真空制御ユニット(21,22)から行われ、好ましくは真空プロセス設備(30)のプロセス制御部(21,22)から行われることを特徴とする、請求項8または9に記載の方法。
- 前記真空隔膜測定セル(2)は容量型の隔膜測定セル(2)として構成され、またはファブリ・ペロ方式に基づく光学式に読取可能な隔膜測定セル(2)として構成されることを特徴とする、請求項1から11のいずれかに記載の方法。
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