KR102008093B1

KR102008093B1 - 압력 센서

Info

Publication number: KR102008093B1
Application number: KR1020180009852A
Authority: KR
Inventors: 다쿠야 이시하라; 마사루 소에다; 마사시 세키네; 히데노부 도치기
Original assignee: 아즈빌주식회사
Priority date: 2017-02-08
Filing date: 2018-01-26
Publication date: 2019-08-06
Also published as: US20180224347A1; CN108398204B; US10161821B2; CN108398204A; JP2018128334A; JP6748000B2

Abstract

본 발명은 장치로부터 제거하는 일없이 압력 센서의 온도 특성을 조정할 수 있도록 한다.
압력값 변화 측정부(125)가 온도 제어부(124)를 동작시켜 센서 칩(101)의 온도를 미리 정해진 온도 범위에서 변화시키고, 온도가 변화되어 있는 센서 칩(101)으로부터 출력되는 압력값의 변화를 측정한다. 온도 특성 산출부(126)가 온도 제어부(124)의 동작에 의한 센서 칩(101)의 온도의 변화와, 압력값 변화 측정부(125)가 측정한 압력값의 변화로부터, 센서 칩(101)의 온도 특성을 산출한다.

Description

압력 센서{PRESSURE SENSOR}

본 발명은 압력 센서에 관한 것으로, 특히 유체로부터의 압력을 받아 변위하는 다이어프램을 포함하는 검출 디바이스를 구비하는 압력 센서에 관한 것이다.

정전 용량식의 격막 진공계 등의 압력 센서는, 다이어프램(격막)을 포함하는 검출 디바이스를 측정 대상의 가스가 흐르는 배관 등에 부착하여, 압력을 받은 다이어프램의 휨량, 즉 변위를 정전 용량값으로 변환하고, 정전 용량값으로부터 압력값을 출력한다. 이 압력 센서는 가스종 의존성이 적기 때문에, 반도체 설비를 비롯하여, 공업 용도로 널리 사용되고 있다(특허문헌 1 참조).

전술한 격막 진공계 등의 압력 센서의 검출 디바이스는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 측정 대상으로부터의 압력을 받는 다이어프램(302)과, 평면에서 보아 중앙에 오목부를 가지고, 다이어프램(302)을 지지하는 지지부(301a)를 갖는 베이스(301)를 갖는다. 다이어프램(302)과 베이스(301)는 용량실(303)을 형성한다. 지지부(301a)에 의해 지지된 다이어프램(302) 중 베이스(301)와 이격된 가동 영역(302a)은, 베이스(301)의 방향으로 변위 가능해진다. 다이어프램(302)과 베이스(301)는 예컨대 사파이어 등의 절연체로 구성되어 있다.

또한, 압력 센서의 검출 디바이스는 다이어프램(302)의 가동 영역(302a)에 형성된 가동 전극(304)과, 베이스(301) 위에 형성되어 가동 전극(304)을 마주보는 고정 전극(305)을 구비한다. 또한, 압력 센서의 검출 디바이스는 다이어프램(302)의 가동 영역(302a)에 있어서 가동 전극(304)의 주위에 형성된 가동 참조 전극(306)과, 고정 전극(305)의 주위의 베이스(301) 위에 형성되어, 가동 참조 전극(306)을 마주보는 고정 참조 전극(307)을 구비한다.

전술한 압력 센서의 검출 디바이스는 압력 센서가 부착되어 있는 장치에 이용되고 있는 가스에 대한 내부식성과 함께, 성막 등의 프로세스 중에 발생하는 부생성물에 대해서도 내성이 요구된다. 또한, 성막 프로세스에서는, 성막실 내벽, 배관 내벽, 진공 펌프 내부 및 압력 센서의 수압부인 다이어프램 등, 원료 가스에 노출되는 개소(箇所)에는 프로세스 중에 생성된 부생성물이 퇴적한다. 예컨대, 도 4에 나타내는 바와 같이, 다이어프램(302) 위에 부생성물(321)이 퇴적한다.

예컨대, 게이트 절연막 등의 형성에 이용되고 있는 원자층 퇴적법(ALD)은, 특성상, 원료 가스에 노출되는 여러 개소에 부생성물이 퇴적한다. 이러한 부생성물의 퇴적을 방지하기 위해, 예컨대 성막 동작 시 등에 있어서, 부생성물이 퇴적하기 쉬운 성막 장치의 각 부분을 예컨대 200℃ 정도로 가열하고 있다.

예컨대, 압력 센서측에서는 검출 디바이스를 가열하여 부생성물의 퇴적을 억제하고 있다. 또한, 성막 장치측에서는, 압력 센서의 다이어프램에 압력을 도입하기 위한 배관부에 히터를 마련하여 마찬가지로 가열하고 있다.

그런데, 압력 센서는 온도 변화에 대해서도 감도(온도 특성)를 가지고 있다(비특허문헌 1 참조). 이 때문에 통상은 압력 센서를 조립한 후에 온도 특성을 평가하여, 온도 변화의 영향이 작아지도록, 검출 디바이스를 가열하는 온도에 기초하여 압력 센서의 출력을 보정하는 계측 회로를 조정하여 출하하고 있다.

특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2014-109484호 공보

비특허문헌 1: 이치다 ?지 외, 「SPS300 인텔리젠트 압력 센서의 개발」, Savemation Review, vol.9, no.1, pp.8-14, 1991년.

그러나, 전술하는 가열에 의한 회피책을 행하여도 부생성물의 퇴적은 미량씩 진행된다. 이와 같이 퇴적이 발생한 경우, 다이어프램의 기계적이나 열적인 성질이 변화된다. 부생성물은 다이어프램을 구성하는 재료와는 상이하기 때문에, 검출 디바이스에 있어서의 온도 감도 그 자체가 변화되어 버린다.

전술한 검출 디바이스에 있어서의 온도 특성의 변화는, 부생성물의 형성 이외에도 에칭의 부식성 가스에 의한 다이어프램 표면의 변질에 의해 발생한다. 구체적으로는, 프로세스 대상의 기판과 동일하게 에칭되는 경우에 온도 특성은 변화된다. 또한, 표면이 화학적으로 반응하여 재질이 변화되어 버리는 것 같은 경우에도, 온도 특성은 변화된다. 전술한 다이어프램에 있어서의 기계적인 특성이 변화되는 원인으로서는, 다이어프램을 고정하는 접합부 혹은 용접부, 검출 디바이스의 패키지로부터 전해지는 영향 등도 있다.

압력을 받는 부분이 되는 다이어프램의 기계적인 밸런스가, 전술한 바와 같은 응력 완화, 열 변형 등으로 변화되면, 온도 특성이 변화되어 조정 시와는 상이한 상태가 된다. 이 결과, 압력 센서의 측정 결과는 실제와는 상이한 것이 되어, 프로세스의 품질에 큰 영향을 부여하여 버린다.

전술한 바와 같이 검출 디바이스의 온도 특성이 변화되어, 압력 센서가 정상적인 측정을 할 수 없는 상태가 되면, 검출 디바이스가 고장난 것으로 인식된다. 검출 디바이스가 고장난 경우, 일반적으로는, 장치로부터 검출 디바이스를 제거하여 교환하게 된다. 이와 같이 검출 디바이스를 교환하는 경우, 장치의 가동을 긴 시간 정지하게 되어, 생산성의 대폭적인 저하를 초래한다.

그런데, 고장이라고 인식된 경우라도, 온도 특성의 변화가 원인인 경우, 전술한 온도 특성의 조정을 재차 실시하면, 교환하는 일없이 계속해서 사용하는 것이 가능하다. 그러나 종래에는, 온도 특성의 조정은 검출 디바이스를 장치로부터 제거하여 실시하게 되어, 전술한 바와 같이, 생산성의 대폭적인 저하를 초래하고 있었다.

본 발명은 이상과 같은 문제점을 해소하기 위해 이루어진 것으로, 장치로부터 제거하는 일없이 압력 센서의 온도 특성을 조정할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따른 압력 센서는, 측정 대상으로부터의 압력을 받아 변위하는 다이어프램을 구비하고, 다이어프램의 변위를 다른 물리량의 변화로 변환하는 검출 디바이스와, 다이어프램의 변위에 의한 상기 다른 물리량의 변화를 압력값으로 변환하여 출력하도록 구성된 압력값 출력부와, 검출 디바이스의 미리 정해진 온도 범위에 있어서의 온도 변화에 대한 압력값의 변화를 나타내는 온도 특성을 기억하는 기억부와, 측정되어 있는 검출 디바이스의 온도를 기초로 기억부에 기억되어 있는 온도 특성으로 압력값 출력부가 출력하는 압력값을 보정하도록 구성된 보정부와, 검출 디바이스의 온도를 미리 정해진 온도 범위에서 변화시키도록 구성된 온도 제어부와, 온도 제어부를 동작시켜 검출 디바이스의 온도를 미리 정해진 온도 범위에서 변화시키고, 검출 디바이스의 온도가 변화되어 있는 상태에서 압력값 출력부로부터 출력되는 압력값의 변화를 측정하도록 구성된 압력값 변화 측정부와, 온도 제어부의 동작에 의한 검출 디바이스의 온도의 변화와, 압력값 변화 측정부가 측정한 압력값의 변화로부터 검출 디바이스의 온도 특성을 산출하도록 구성된 온도 특성 산출부와, 기억부에 기억되어 있는 온도 특성과, 온도 특성 산출부가 산출한 온도 특성의 특성차를 구하도록 구성된 특성차 산출부와, 특성차 산출부가 구한 특성차가 갱신 기준값을 넘은 경우, 온도 특성 산출부가 산출한 온도 특성으로 기억부에 기억되어 있는 온도 특성을 갱신하도록 구성된 갱신부를 구비한다.

상기 압력 센서에 있어서, 특성차 산출부가 구한 특성차가 이상(異常) 판정값을 넘은 경우에 경보를 발령하도록 구성된 경보 출력부를 구비한다.

상기 압력 센서에 있어서, 특성차 산출부는 기억부에 기억되어 있는 온도 특성과 온도 특성 산출부가 산출한 온도 특성의 차를 미리 정해진 온도 범위에서 적분한 값을 특성차로서 구한다. 또한, 특성차 산출부는 미리 정해진 온도 범위의 최대값 또는 최소값에 있어서, 기억부에 기억되어 있는 온도 특성과 온도 특성 산출부가 산출한 온도 특성의 차를 특성차로서 구한다.

상기 압력 센서에 있어서, 검출 디바이스는 다이어프램과 이격되어 다이어프램을 지지하는 베이스와, 다이어프램에 마련된 제1 전극과, 베이스에 마련되어 제1 전극과 마주보는 제2 전극을 가지며, 압력값 출력부는 다이어프램의 변위에 의한 제1 전극과 제2 전극 사이의 용량 변화를 압력값으로 변환하여 출력한다.

이상 설명한 것에 의해, 본 발명에 따르면, 장치로부터 제거하는 일없이 압력 센서의 온도 특성을 조정할 수 있다고 하는 우수한 효과를 얻을 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 있어서의 압력 센서의 구성을 나타내는 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 있어서의 압력 센서의 동작예를 설명하기 위한 흐름도이다.
도 3은 센서 칩(101)의 온도 특성의 1 예를 나타내는 특성도이다.
도 4는 격막 진공계의 검출 디바이스의 일부 구성을 일부 파단하여 나타내는 사시도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시형태에 있어서의 압력 센서의 구성을 나타내는 구성도이다. 이 압력 센서는 센서 칩(검출 디바이스)(101), 압력값 출력부(121), 기억부(122), 보정부(123), 온도 제어부(124), 압력값 변화 측정부(125), 온도 특성 산출부(126), 특성차 산출부(127), 갱신부(128)를 구비한다.

실시형태에 있어서, 센서 칩(101)은 잘 알려진 정전 용량식이고, 베이스(111), 다이어프램(112), 가동 전극(제1 전극)(114), 고정 전극(제2 전극)(115)을 구비한다. 센서 칩(101)은 다이어프램(112)의 변위를 다른 물리량(예컨대, 용량)의 변화로 변환한다.

베이스(111) 및 다이어프램(112)은 예컨대, 사파이어나 알루미나 세라믹 등의 내열 내식성을 갖는 절연체로 구성되어 있다. 또한, 수압부가 되는 다이어프램(112)은, 평면에서 보아 중앙에 오목부를 갖는 베이스(111)의 지지부(111a)에 의해 지지되어 있다. 다이어프램(112)은 지지부(111a)의 내측의 가동 영역(112a)에 있어서, 베이스(111)의 방향으로 변위 가능하게 되어 있다. 가동 영역(112a)은 예컨대, 평면에서 보아 원형으로 되어 있다.

가동 영역(112a)에 있어서의 다이어프램(112)과 베이스(111) 사이는, 용량실(113)로 되어 있다. 용량실(113)은 소위 진공으로 되어, 기준 진공실이 된다. 이 경우, 실시형태에 있어서의 압력 센서는, 대기압으로부터 감압되는 환경에 있어서의 압력(진공도)을 측정하는 진공계이다.

또한, 가동 전극(114)은 용량실(113)의 내부에서 다이어프램(112)의 가동 영역(112a)에 형성되어 있다. 또한, 고정 전극(115)은 용량실(113)의 내부에서 베이스(111) 위에 가동 전극(114)을 마주보고 형성되어 있다. 또한, 센서 칩(101)은 가동 참조 전극(116) 및 고정 참조 전극(117)을 구비한다. 가동 참조 전극(116)은 용량실(113)의 내부에서 다이어프램(112)의 가동 영역(112a)에 있어서 가동 전극(114)의 주위에 형성되어 있다. 고정 참조 전극(117)은 용량실(113)의 내부에서 고정 전극(115)의 주위의 베이스(111) 위에 형성되어 있다. 가동 참조 전극(116)과 고정 참조 전극(117)은 마주보고 있다.

압력값 출력부(121)는 다이어프램(112)의 변위에 의한 상기 다른 물리량의 변화를 압력값으로 변환하여 출력한다. 예컨대, 압력값 출력부(121)는 다이어프램(112)의 변위에 의한 용량 변화를, 설정되어 있는 센서 감도를 이용하여 압력값으로 변환하여 출력한다.

기억부(122)는 센서 칩(101)의 미리 정해진 온도 범위에 있어서의 온도 변화에 대한 압력값의 변화를 나타내는 온도 특성을 기억한다. 예컨대, 센서 칩(101)이 설정 온도 100℃에서 사용되는 경우, 실사용 온도 범위의 95℃∼105℃의 온도 변화에 대한 압력값의 변화가 온도 특성으로서 기억부(122)에 기억되어 있다. 예컨대, 초기(출하 시)에, 센서 칩(101)을 95℃∼105℃의 범위에서 온도 변화시키고, 이 온도 변화에 대하여 압력값 출력부(121)로부터 출력되는 압력값의 변화를 측정해 둔다. 이 측정 결과로부터 온도 특성을 구하여, 온도 특성의 초기값으로서 기억부(122)에 기억해 둔다.

보정부(123)는 온도 측정 기구(129)에 의해 측정되어 있는 센서 칩(101)의 온도에 기초하여, 기억부(122)에 기억되어 있는 온도 특성으로 압력값 출력부(121)가 출력하는 압력값을 보정한다.

여기서, 온도 특성에 대해서 설명한다. 이 종류의 압력 센서에서는, 센서 칩(101)이 사용되는 온도에 의해, 동일한 압력(진공도)에 대하여 출력되는 압력값이 변화된다. 이 온도 특성을 발생시키는 원인으로서, 먼저, 센서 칩(101) 자체의 열에 대한 팽창 및 수축이 있다. 또한, 온도 특성을 발생시키는 원인으로서, 센서 칩(101)의 기재(基材)와, 전극 재료의 열 팽창 계수의 차이에 의한 바이메탈 효과가 있다. 또한, 온도 특성을 발생시키는 원인으로서, 센서 칩(101)이, 센서 칩이 실장되는 패키지로부터 받는 역학적인 영향이 있다. 또한, 온도 특성을 발생시키는 원인으로서, 전극 재료의 저항값의 온도 변화가 있다.

통상, 전술한 온도 특성을 발생시키는 요인을, 실사용상 문제가 없는 크기로 하는 것은 곤란하다. 이 때문에, 전술한 바와 같이 초기 상태의 온도 특성을 측정하고, 측정된 온도 특성이 캔슬되도록, 보정부(123)에서 보정하여 출력한다.

온도 제어부(124)는 센서 칩(101)의 온도를 미리 정해진 온도 범위에서 변화시킨다. 예컨대, 온도 제어부(124)는 잘 알려진 센서 칩(101)의 자기 가열용 히터(도시하지 않음)를 구동시켜 센서 칩(101)의 온도를 미리 정해진 온도 범위에서 변화시킨다. 압력값 변화 측정부(125)는 온도 제어부(124)를 동작시켜 센서 칩(101)의 온도를 미리 정해진 온도 범위에서 변화시키고, 센서 칩(101)의 온도가 변화되어 있는 상태에서 압력값 출력부(121)로부터 출력되는 압력값의 변화를 측정한다.

온도 특성 산출부(126)는 온도 제어부(124)의 동작에 의한 센서 칩(101)의 온도의 변화와, 압력값 변화 측정부(125)가 측정한 압력값의 변화로부터 센서 칩(101)의 온도 특성을 산출한다. 특성차 산출부(127)는 기억부(122)에 기억되어 있는 온도 특성과, 온도 특성 산출부(126)가 산출한 온도 특성과의 특성차를 구한다.

갱신부(128)는 특성차 산출부(127)가 구한 특성차가 갱신 기준값을 넘은 경우, 온도 특성 산출부(126)가 산출한 온도 특성으로 기억부(122)에 기억되어 있는 온도 특성을 갱신한다.

또한, 실시형태에 있어서의 압력 센서는 특성차 산출부(127)가 구한 특성차가 이상 판정값을 넘은 경우, 센서 칩(101)이 이상(異常)인 것을 나타내는 경보를 발령하는 경보 출력부(130)를 구비한다.

다음에, 본 발명의 실시형태에 있어서의 압력 센서의 동작예에 대해서, 도 2의 흐름도를 이용하여 설명한다.

먼저, 단계 S201에서, 온도 특성의 확인 개시가 지시되면(단계 S201의 yes), 단계 S202에서, 압력값 변화 측정부(125)가 온도 제어부(124)를 동작시켜 센서 칩(101)의 온도를 미리 정해진 온도 범위에서 변화시킨다. 예컨대, 온도 측정 기구(129)로 측정되어 있는 온도로 피드백 제어하여, 95℃에서 105℃까지 센서 칩(101)의 온도를 변화시킨다. 또한, 예컨대, 사용자로부터의 개시 지시의 입력을 접수하여, 온도 특성의 확인을 개시하면 좋다. 또한, 잘 알려진 압력 센서의 0점 조정이 실시된 직후의 타이밍에, 온도 특성의 확인을 개시하면 좋다. 이 상태라면, 압력값 출력부(121)로부터 출력되는 압력값은 이미 알려져 있다.

다음에, 단계 S203에서, 압력값 변화 측정부(125)가 온도가 변화되어 있는 센서 칩(101)으로부터 출력되는 압력값의 변화를 측정한다. 다음에, 단계 S204에서, 온도 특성 산출부(126)가 온도 제어부(124)의 동작에 의한 센서 칩(101)의 온도의 변화와, 압력값 변화 측정부(125)가 측정한 압력값의 변화로부터, 센서 칩(101)의 온도 특성을 산출한다.

온도 특성 산출부(126)는 예컨대, 도 3의 검은 환형으로 나타내는 온도에 대한 압력값의 11점의 측정 결과를 기초로, 다항식에 의한 근사 처리를 하여, 일점 쇄선으로 나타내는 바와 같은 온도 특성을 산출한다.

다음에, 단계 S205에서, 특성차 산출부(127)가 기억부(122)에 기억되어 있는 온도 특성과, 온도 특성 산출부(126)가 산출한 온도 특성의 특성차를 구한다. 예컨대, 기억부(122)에는 도 3의 흰 사각형으로 나타내는 온도에 대한 압력값의 11점의 측정 결과를 기초로 얻어진 초기의 온도 특성이 기억되어 있다. 특성차 산출부(127)는 도 3에 실선으로 예시하는 초기의 온도 특성과, 전술한 일점 쇄선으로 나타내는 온도 특성의 차를 구한다.

예컨대, 특성차 산출부(127)는 기억부(122)에 기억되어 있는 온도 특성과 온도 특성 산출부(126)가 산출한 온도 특성의 차를 미리 정해진 온도 범위에서 적분한 값을 특성차로서 구한다. 또한, 특성차 산출부(127)는 미리 정해진 온도 범위의 최대값 또는 최소값에 있어서, 기억부(122)에 기억되어 있는 온도 특성과 온도 특성 산출부(126)가 산출한 온도 특성의 차를 특성차로서 구한다. 또한, 미리 정해진 온도 범위에서 온도가 상이한 수 점에 있어서, 기억부(122)에 기억되어 있는 온도 특성과 온도 특성 산출부(126)가 산출한 온도 특성의 차를 특성차로서 구하며, 이들의 평균값이나 합계값을 특성차로서 구하여도 좋다.

다음에, 단계 S206에서, 갱신부(128)가 특성차 산출부(127)가 구한 특성차가 갱신 기준값을 넘어 있는지의 여부를 판정한다. 갱신부(128)가 특성차 산출부(127)가 구한 특성차가 갱신 기준값을 넘어 있다고 판단하면(단계 S206의 yes), 단계 S207에서, 경보 출력부(130)가 특성차 산출부(127)가 구한 특성차가 이상 판정값을 넘어 있는지의 여부를 판정한다.

경보 출력부(130)가 특성차 산출부(127)가 구한 특성차가 이상 판정값을 넘지 않았다고 판단한 경우(단계 S207의 no), 단계 S208에서 갱신부(128)는 온도 특성 산출부(126)가 산출한 온도 특성으로 기억부(122)에 기억되어 있는 온도 특성을 갱신한다. 한편, 경보 출력부(130)가 특성차 산출부(127)가 구한 특성차가 이상 판정값을 넘어 있다고 판단한 경우(단계 S207의 yes), 단계 S209에서 경보 출력부(130)가 센서 칩(101)이 이상인 것을 나타내는 경보를 발령한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 실사용 중에 검출 디바이스(센서 칩)의 온도 특성을 측정하여 갱신하도록 하였기 때문에, 장치로부터 제거하는 일없이 압력 센서의 온도 특성을 조정할 수 있게 된다.

또한, 본 발명은 이상에 설명한 실시형태에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 기술적 사상 내에서, 당분야에 있어서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 많은 변형 및 조합을 실시 가능한 것은 명백하다. 예컨대, 전술에서는, 정전 용량식의 격막 진공계를 예로 설명하였지만, 이것으로 한정되지는 않으며, 다이어프램의 변위를 피에조 저항의 변화로서 검출하는 피에조 저항식의 압력 센서여도 동일하다.

101…센서 칩(검출 디바이스), 111…베이스, 111a…지지부, 112…다이어프램, 112a…가동 영역, 113…용량실, 114…가동 전극, 115…고정 전극, 116…가동 참조 전극, 117…고정 참조 전극, 121…압력값 출력부, 122…기억부, 123…보정부, 124…온도 제어부, 125…압력값 변화 측정부, 126…온도 특성 산출부, 127…특성차 산출부, 128…갱신부, 129…온도 측정 기구, 130…경보 출력부.

Claims

측정 대상으로부터의 압력을 받아 변위하는 다이어프램을 구비하고, 상기 다이어프램의 변위를 다른 물리량의 변화로 변환하는 검출 디바이스와,
상기 다이어프램의 변위에 의한 상기 다른 물리량의 변화를 압력값으로 변환하여 출력하도록 구성된 압력값 출력부와,
상기 검출 디바이스의 미리 정해진 온도 범위에 있어서의 온도 변화에 대한 상기 압력값의 변화를 나타내는 온도 특성을 기억하는 기억부와,
측정되어 있는 상기 검출 디바이스의 온도를 기초로 상기 기억부에 기억되어 있는 상기 온도 특성으로 상기 압력값 출력부가 출력하는 압력값을 보정하도록 구성된 보정부와,
상기 검출 디바이스의 온도를 상기 미리 정해진 온도 범위에서 변화시키도록 구성된 온도 제어부와,
상기 온도 제어부를 동작시켜 상기 검출 디바이스의 온도를 상기 미리 정해진 온도 범위에서 변화시키고, 상기 검출 디바이스의 온도가 변화되어 있는 상태에서 상기 압력값 출력부로부터 출력되는 압력값의 변화를 측정하도록 구성된 압력값 변화 측정부와,
상기 온도 제어부의 동작에 의한 상기 검출 디바이스의 온도의 변화와, 상기 압력값 변화 측정부가 측정한 압력값의 변화로부터 상기 검출 디바이스의 온도 특성을 산출하도록 구성된 온도 특성 산출부와,
상기 기억부에 기억되어 있는 온도 특성과, 상기 온도 특성 산출부가 산출한 온도 특성의 특성차를 구하도록 구성된 특성차 산출부와,
상기 특성차 산출부가 구한 특성차가 갱신 기준값을 넘은 경우, 상기 온도 특성 산출부가 산출한 온도 특성으로 상기 기억부에 기억되어 있는 온도 특성을 갱신하도록 구성된 갱신부를 구비하는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항에 있어서,
상기 특성차 산출부가 구한 특성차가 이상(異常) 판정값을 넘은 경우에 경보를 발령하도록 구성된 경보 출력부를 구비하는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 특성차 산출부는 상기 기억부에 기억되어 있는 온도 특성과 상기 온도 특성 산출부가 산출한 온도 특성의 차를 상기 미리 정해진 온도 범위에서 적분한 값을 상기 특성차로서 구하는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 특성차 산출부는 상기 미리 정해진 온도 범위의 최대값 또는 최소값에 있어서, 상기 기억부에 기억되어 있는 온도 특성과 상기 온도 특성 산출부가 산출한 온도 특성의 차를 상기 특성차로서 구하는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 검출 디바이스는 상기 다이어프램과 이격되어 상기 다이어프램을 지지하는 베이스와, 상기 다이어프램에 마련된 제1 전극과, 상기 베이스에 마련되어 상기 제1 전극과 마주보는 제2 전극을 가지며,
상기 압력값 출력부는 상기 다이어프램의 변위에 의한 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 용량 변화를 상기 압력값으로 변환하여 출력하는 것을 특징으로 하는 압력 센서.