JP2010532574A - 分散型コアックス光起電装置 - Google Patents

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Abstract

光起電装置は複数の光電池を含む。複数の光電池の各光電池は、第1の電極と、少なくとも1つの隣接した光電池と共有された第2の電極と、第1の電極と第2の電極との間で、第1の電極および第2の電極に電気的に接触して位置する光起電材料と、を含む。1つの光電池から隣接した光電池への方向における第2の電極の厚さは、第2の電極材料の光表皮厚さ未満であり、隣接した光電池の第1の電極間の距離間隔は、入射放射線のピーク波長未満である。

Description

本発明は、概して光電池または太陽電池の分野に関し、より具体的には、多重バンドギャップを含む光電池または多重励起子効果を示す光起電材料を含む光電池に関する。
関連特許出願の相互参照
本願は、その全体が本願明細書において参照により援用されている、2007年7月3日に出願された米国仮特許出願第60/929,578号(特許文献1)の利益を主張する。
米国公開特許出願第2004/0118451号(特許文献2)には、効率が高められたバルク多接合PV装置について記載されている。PV装置は、半導体材料において2つ以上のp−n接合セルを含む。多接合セルは、それぞれ1.85/1.43/0.7eVのバンドギャップを有するGaInP/GaAs/Ge材料から形成されていてもよい。あるいは、各セルは、各セルに異なるバンドギャップをもたらす、各セルにおけるGaに対するInの比が異なるInGaN材料においてp−n接合を含んでもよい。
米国仮特許出願第60/929,578号 米国公開特許出願第2004/0118451号
Appl.Phys.Lett.78,3541(2001) N.Malikova et al.,Langmuir18(9)(2002)3694
本発明の実施形態は、複数の光電池を含む光起電装置を提供する。複数の光電池の各光電池は、第1の電極と、少なくとも1つの隣接した光電池と共有された第2の電極と、第1の電極と第2の電極との間で、第1の電極および第2の電極に電気的に接触して位置する光起電材料と、を含む。1つの光電池から隣接した光電池への方向における第2の電極の厚さは、第2の電極材料の光表皮厚さ未満であり、隣接した光電池の第1の電極間の距離間隔は、入射放射線のピーク波長未満である。
本発明の実施形態によるPV電池の概略立体図である。 本発明の実施形態によるPV装置の概略側面断面図である。 透光性基材上に形成された複数のナノロッドの走査顕微鏡画像である。 複数のナノロッドで覆われた基材が、透光性、例えば光学的に透明であり、下にあるコンピュータ端末上のウェブページが基材を通して見えることを示す写真である。 本発明の実施形態によるPV装置の概略側面断面図である。 本発明の実施形態によるPV装置の概略側面断面図である。 本発明の実施形態によるPV装置の概略側面断面図である。 本発明の実施形態によるPV装置の概略側面断面図である。 図3Aは、本発明の実施形態によるPV装置を形成するためのマルチチャンバ装置の概略平面図であり、図3B〜図3Fは、図3Aの装置においてPV装置を形成する方法におけるステップの側面断面図である。
図1は、本発明の実施形態による光電池1を示す。光電池1は、第1の電極すなわち内部電極3と、第2の電極すなわち外部電極5と、第1の電極と第2の電極との間で、第1の電極および第2の電極に電気的に接触して位置する光起電(PV)材料7を含む。第1の電極3から第2の電極5(つまり、図1の左右)への方向における光起電材料の幅9は、約200nm未満、例えば100nm以下、好ましくは10〜20nmである。光起電材料の幅に実質的に垂直な方向(つまり、図1の縦方向)における光起電材料の高さ11は、少なくとも1ミクロン、例えば2〜30ミクロン、例えば10ミクロンである。用語「実質的に垂直」は、中空シリンダ形状のPV材料7について正確に垂直方向、および上端より広いまたは狭い基部を有する中空円錐形状のPV材料について1〜45度だけ垂直から外れる方向を含む。他の適切なPV材料の寸法が使用されてもよい。
PV材料7の幅9は、PV電池1に入射する入射太陽放射線に実質的に垂直な方向に延在することが好ましい。図1では、入射太陽放射線(つまり、太陽光)は、水平幅9の方向に対して約70〜110度、例えば85〜95度の角度でPV材料7に当たるように意図される。幅9は、電極に対する、光起電材料中の光生成された電荷キャリア飛行時間の間のフォノン生成を実質的に防ぐのに十分に薄いことが好ましい。言い換えれば、PV材料7の幅9は、かなりの数のフォノンが生成される前に、電極3および/または電極5に十分な電荷キャリアを輸送することができるほど十分に薄くなければならない。したがって、入射太陽放射線の入射光子が、PV材料に吸収され、電荷キャリア(電子/ホールまたは励起子)に変換される場合、かなりの量のフォノン(光生成された電流をもたらす電荷キャリアの代わりに、入射放射線を熱に変換する)が生成される前に、電荷キャリアは、それぞれの電極3,5に達するはずである。例えば、入射光子の少なくとも40%、例えば40〜100%が、それぞれの電極に達し、フォノン(つまり、熱)を生成する代わりに光生成された電流を引き起こす、光生成された電荷キャリアに変換されることが好ましい。図1に示す実施例についての約10nm〜約20nmの幅9は、かなりの数のフォノンの発生を防ぐのに十分に小さいと推定される。
光起電材料7の高さ11は、入射太陽放射線中の入射光子の少なくとも90%、例えば90〜100%を電荷キャリアに変換するのに十分に厚いことが好ましい。したがって、PV材料7の高さ11は、太陽放射線をすべて収集するのに十分に厚くなければならない。必ずではないが、高さ11は、幅9の少なくとも10倍の大きさ、例えば少なくとも100倍の大きさ、例えば1,000〜10,000倍の大きさであることが好ましい。
第1の電極3は、導電性ナノロッド、例えばナノファイバ、ナノチューブまたはナノワイヤを含むことが好ましい。例えば、第1の電極3は、導電性カーボンナノチューブ、例えば金属多層カーボンナノチューブ、または、元素金属または合金金属ナノワイヤ、例えばモリブデン、銅、ニッケル、金またはパラジウムナノワイヤ、または、黒鉛部分を有するカーボン繊維材料のナノスケールロープを含むナノファイバを含んでもよい。ナノロッドは、2〜200nm、例えば30〜150nm、例えば、50nmの直径、および1〜100ミクロン、例えば10〜30ミクロンの高さの円筒形状を有していてもよい。必要に応じて、第1の電極3も、導電性高分子材料から形成されていてもよい。あるいは、ナノロッドは電気絶縁材料を含んでもよく、電気絶縁材料は、導電性シェルによって覆われて電極3を形成する。例えば、図2Aについてより詳細に以下に説明するように、ナノロッドの周囲に導電性シェルを形成して電極3を形成するように導電層が基材を覆って形成されてもよい。
光起電材料7は、図1に示すように、ナノロッド電極3の少なくとも下部を囲む。光起電材料7は、半導体ナノ結晶、バルク無機半導体材料、例えばアモルファスシリコンまたはナノ結晶シリコン、または化合物半導体材料、例えばIII−V材料、高分子光活性材料、有機分子光活性材料または生体光活性材料のうちのいずれか1つまたは複数を含んでもよい。
例えば、光起電材料7は、半導体ナノ結晶(量子ドットとしても知られている)、例えばシリコンナノ結晶を含んでもよい。あるいは、ナノ結晶は、ピーク太陽放射線エネルギーより著しく小さいバンドギャップを有して、太陽放射線による照射に応じて多重励起子効果(キャリア増倍効果としても知られている)を示してもよい。そのようなナノ結晶は、0.8eV以下、例えば0.1〜0.8eV(つまり、太陽放射線の2.34eVのピークエネルギーの少なくとも2.9分の1の大きさしかない)のバンドギャップを有していてもよい。そのようなナノ結晶材料の例として、無機半導体、例えばGe,SiGe,PbSe,PbTe,SnTe,SnSe,Bi2 Te3 ,Sb2 Te3 ,PbS,Bi2 Se3 ,InAsまたはInSb,およびそれらのうちの3つおよび4つの組み合わせが挙げられる。
ナノ結晶は、10〜100nm、例えば20〜30nmの平均直径を有していることが好ましい。ナノ結晶は、ナノ結晶のサイズよりはむしろそれらの材料組成によってナノ結晶のバンドギャップが決まるように十分に大きくてもよい(つまり、バンドギャップとは、サイズよりはむしろ材料の特性である)。ナノ結晶は、2組の異なるナノ結晶材料の組成を含んでもよい。
ナノ結晶は、互いに物理的接触またはトンネル接触して、内部電極3から外部電極5に電荷キャリアのための経路をもたらす。PV材料7は、光学的に透明なマトリックス材料、例えば光学的に透明な高分子マトリックス(例えば、太陽電池で使用されるEVAまたは他の高分子封入材料)、または光学的に透明な無機酸化物マトリックス材料、例えばガラス、シリコン酸化物などに封入されたナノ結晶を含んでもよい。マトリックス中のナノ結晶間の短い距離は、隣接したナノ結晶間の直接キャリア輸送がない場合、キャリアトンネル現象を保証する。あるいは、マトリックスは省略されてもよく、ナノ結晶は高密度充填されたナノ結晶体を含んでもよい。
あるいは、PV材料は、他のPV活物質、例えばバルク無機半導体層、例えばアモルファスシリコン半導体材料またはナノ結晶シリコン半導体材料または化合物半導体材料、光活性高分子(例えば、半導体高分子)、有機光活性分子材料、例えば染料、または生体光活性材料、例えば生体半導体材料を含んでもよい。光活性は、太陽放射線による照射に応じて電荷キャリア(つまり、電流)を生成する能力を意味する。有機材料および高分子材料として、ポリフェニレンビニレン、銅フタロシアニン(青または緑の有機顔料)、または炭素フラーレンが挙げられる。生体材料として、タンパク質、ばら輝石、またはDNA(例えば、本願明細書において参照により援用されている、Appl.Phys.Lett.78,3541(2001)(非特許文献1)に開示されたデオキシグアノシン)が挙げられる。PV材料7は、また、ナノ結晶半導体層とバルク半導体層との組み合わせを含んでもよい。例えば、PV材料は3層膜を含んでもよく、3層膜は、(i)バルク半導体層(例えば、高濃度p型アモルファスシリコン層または多結晶シリコン層)、(ii)半導体ナノ結晶層(例えば、真性シリコンナノ結晶膜または他のナノ結晶膜)、および(iii)バルクp型層とバルクn型層との間にナノ結晶真性層が位置するp−i−n型PV電池を形成するバルク半導体層(例えば、高濃度n型アモルファスシリコン層または多結晶シリコン層)を含む。これらの層は、内部電極3から外部電極5に順番に配置されている。ナノ結晶層は、多層方法または他の方法によって作製されたシリコンナノ結晶を含んでもよい(例えば、多層方法の一般的な記載については、本願明細書において参照により援用されている、N.Malikova et al.,Langmuir18(9)(2002)3694(非特許文献2)を参照されたい)。この構成は、約1V(Siギャップ)の最大内部電場をもたらし、短絡を低減または除去する。バルクシリコン層は約5〜10nmの厚さであってもよく、ナノ結晶層は約20〜30nmの厚さであってもよい。バルク/ナノ結晶/バルクp−i−nPV電池は、図1および2に示すコアックス構成以外の構成を有していてもよく、垂直の代わりに水平に位置していてもよいことに留意するべきである。さらに、シリコン以外のバルク半導体材料が使用されてもよい。
PV材料7は、1つの導電型の半導体材料から完全になっていてもよい。これはショトキー結合型PV電池1を形成する。別の構成では、p−n型またはp−i−n型PV電池1が形成される。p−n型またはp−i−n型PV電池では、PV材料は、p−n結合またはp−i−n結合を含む。例えば、PV材料7は、逆導電型の半導体薄膜間に位置してp−i−n型PV電池を形成する真性半導体材料を含んでもよい。p−i−n型PV電池では、第1のp型またはn型半導体薄膜が内部電極3の周囲に形成される。次いで、真性領域を含むナノ結晶半導体またはバルク半導体が、第1の半導体薄膜の周囲に形成される。次いで、第1の半導体薄膜に対して逆導電型の第2のn型またはp型半導体薄膜が、ナノ結晶真性領域の周囲に形成される。各半導体薄膜は約5〜約20nmの厚さを有していてもよい。
第2の電極5は、光起電材料7を囲んで、図1に示すいわゆるナノコアックスを形成する。電極5は、任意の適切な導電性材料、例えば導電性高分子、または元素金属または金属合金、例えば銅、ニッケル、アルミニウムまたはそれらの合金を含んでもよい。あるいは、電極5は、透光導電性材料、例えば透明導電性酸化物(TCO)、例えばインジウムスズ酸化物やアルミニウム亜鉛酸化物を含んでもよい。
任意に、ナノロッド3の上部は、光起電材料7の上端を超えて延在し、光電池1用の光アンテナ3Aを形成する。しかし、図2Aに関してより詳細に以下に説明するように、アンテナは省略されることが好ましい。用語「上端」は、PV電池が形成された基材から遠位のPV材料7側を意味する。したがって、ナノロッド電極3の高さは、PV材料7の高さ11以上であってもよい。アンテナ3Aが存在する場合、アンテナ3Aの高さは、ナノロッド3の直径の3倍大きくてもよい。アンテナ3Aの高さは、入射太陽放射線に適合されてもよく、入射太陽放射線のピーク波長の1/2の整数倍を含んでもよい(つまり、アンテナ高さ=(n/2)×530nm(nは整数)である)。
別の実施形態では、アンテナ3Aは、ナノホーン光コレクタで補完または置換される。この実施形態では、外部電極5は、PV材料7の高さ11を超えて延在し、太陽放射線を収集するための上下逆の円錐として概略的に形成されている。
さらに他の実施形態では、PV電池1は、ナノコアックス以外の形状を有する。例えば、PV材料7および/または外部電極5は、内部電極3の周囲の空間の一部のみに延在してもよい。さらに、電極3および5は、板状電極を含んでもよく、PV材料7は、電極3、5間に薄く長い板状材料を含んでもよい。
図2Aは、複数のPV電池1、例えばPV電池1のアレイを含むPV装置21を示す。明確にするために4つの電池1のみが示されているが、装置21は、4つよりはるかに多い電池を含んでもよいことを理解するべきである。装置21では、1つの光電池1から隣接した光電池1への方向(つまり、図2Aの左右)の第2の電極5の厚さは、第2の電極材料の光表皮厚さ未満である一方で、隣接した光電池1の第1の電極3間の距離間隔は、入射放射線のピーク波長未満、例えば入射太陽放射線のピーク波長(つまり、約550nm)未満である。
図2Aに示すように、各光電池1は、軸が光起電装置21の基材15に対して垂直に配向されたナノコアックスを含む。各光電池の第2の電極5は、光電池1間の空間を満たすとともに、各光電池の光起電材料7と電気的に接触する、共通電極を含む。
図2Aに示す本発明の1つの実施形態では、PV装置21は、各光電池内に光起電材料を形成するとともに、隣接した光電池間の空間内に基材を覆って位置する、連続光起電材料層7を含む。共通電極5は、隣接した光電池1間の光起電材料層7上の空間を満たす。電極5は、光起電材料層7と電気的に接触する。したがって、図2Aに示すように、ナノコアックス電池1間の共通電極5(各電池1の外部電極として機能を果たす)の厚さは、電極材料中の光表皮厚さ、デルタ未満であり、近隣するコアックス電池間の中心間の距離間隔は、入射太陽放射線(または他の放射線型)波長、ラムダ未満である。この装置21を、TEMモードでも伝達するマルチコアコアックスおよび/またはインターコアックス導体が表皮厚さより細い超高密度ナノコアキシャル媒体と考えることができる。
本発明の1つの実施形態では、第2の電極材料の光表皮厚さ、デルタは、入射放射線のピーク波長、ラムダ未満である。図2Dに示すこの実施形態では、第2の電極5は、太陽放射線を透過しない不透明金属または金属合金、例えばアルミニウム、銅またはそれらの合金を含んでもよい。例えば、そのような第2の電極材料の光表皮厚さは約10nm〜約20nmである。共通電極5が光学的に透過せず、PV材料7が共通電極5から露出されない場合、装置21は、透光性基材15、例えばガラス、石英、プラスチックなどの上に形成される。装置21の基材15側は、放射線源、例えば太陽のほうに位置し、放射線13は、基材15を通ってPV材料7に入射する。望ましくない反射を低減するために、PV材料7と共通電極5との間に透光性導電層6が任意に形成されていてもよい。導電層6は、金属酸化物層、例えば、ITOまたはAZO、または非常に薄い金属または金属合金層、例えば、5〜15nmの厚みのCr層またはTi層を含んでもよい。しかし、層6は必要に応じて省略されてもよい。同様に、層6は透光性共通電極5を含む図2Aに示す装置21に加えられてもよい。
基材15が導電性でない場合、図2Aに示すように、任意の導電層17が、隣接した光電池1間の空間内で基材15と光起電材料層7との間に位置する。導電層17は各ナノロッド電極3に接触し、各ナノロッド電極3用の電気接点および出力の機能を果たす。導電層17は透光性であってもよく、銅の薄層または銅合金層、または導電性透明酸化物、例えばITOまたはAZOを含んでもよい。それ以外に、導電層17は、厚さが100〜500nm、例えば200〜300nmの、光が透過しない金属層または金属合金層、例えばクロム層またはチタン層を含んでもよい。
ナノロッドは、必要に応じて導電層17上に直接形成されてもよく、または、ナノロッドは基材15の表面上に形成されてもよく、導電層17はナノロッドを囲む。ナノロッド自体が導電性でないなら、導電層17は、各光電池内で各ナノロッドと光起電材料層との間にも位置して、図2Aに示すような各絶縁ナノロッドコアの周囲に電極3の導電性シェル部を形成する。
他の実施形態では、第2の電極5の材料の光表皮厚さ、デルタは、入射放射線のピーク波長、ラムダより大きい。この場合、第2の電極は、透光導電性金属酸化物、例えばITOまたはAZOを含む。第2の電極材料の光表皮厚さは、700nmより大きくてもよい。この実施形態では、装置21は、光が透過しない基材15(つまり、不透明基材)上に形成されてもよい。必ずではないが、基材15の材料は導電性であることが好ましい。例えば、基材15は、金属、例えばアルミニウムまたはステンレス鋼、または他の金属基材を含む。導電性基材15は、電極3と電気的に接触し、電極3用の共通の電気接点の機能を果たす。この場合、導電層17は、図2Eに示すように省略されて、いわゆる「対称分散型コアックス」を形成してもよい。しかし、この実施形態の装置21に導電層17が必要に応じて加えられてもよい。この構成では、装置21は、第2の電極5側が放射線源、例えば太陽に対する位置であり、放射線13は、基材15側の反対側からPV材料7に入射する。必要に応じて、PV材料7は、ナノロッド電極3間の全空間を満たしてもよく、図2Fに示すように、透明電極5が、PV材料7および電極3上に位置して、いわゆる「非対称分散型コアックス」を形成してもよい。図2Gに示す別の構成では、共通電極5、例えば透光性共通電極5は、PV電池1間の全空間を満たさない。この構成では、共通電極は、隣接した電池1間に溝23を含む。溝23の幅(図2Gの左右方向)は、0.001〜1ミクロンに及んでもよい。溝23は、透光性絶縁フィラー材料25、例えばガラス、高分子などで満たされてもよい。もちろん、必要に応じて、図2Aに示すように、溝は省略されてもよい。
必要に応じて、1つまたは複数の絶縁性で光学的に透明な封入層および/または反射防止層が、電池1を覆って形成されてもよい。封入層は、透明高分子層、例えばPV装置において封入層として一般に使用されるEVAまたは他の高分子、および/または無機層、例えばシリコン酸化物または他のガラス層を含んでもよい。
特有の理論によって拘束されることを望むことなく前に留意したように、装置21は、TEMモード伝達ラインの機能を果たすマルチコアコアックスとして考えられる場合、外部放射線に合わせることは、シングルコアコアックスを通してよりも著しく容易であるはずである。特有の理論によって拘束されることを望むことなく、マルチコアコアックスは、寄生アンテナ効果に類似する効果をもたらすと考えられる。図2Bおよび図2Cは、この限定しない理論のための実験的なサポートをもたらす。図2Bに示す光学的に厚いナノロッド(カーボンナノチューブ)間のサブ波長距離間隔にもかかわらず、図2Cに示すように、これらのナノロッドを通る光の伝達は非常に高く、ここで、コンピュータ端末上のウェブページがナノロッドを通して目に見える。高い伝達は、光が媒体に入り、ここで光を、PV材料がナノチューブの周囲に蒸着される場合、PV材料に捕らえることができることを意味する。したがって、アンテナ3Aは装置21から省略されてもよく、太陽放射線が装置21の上端に入射してもよいので、不透明金属基材15が使用されてもよい。
図3Aは、PV電池を作製するためのマルチチャンバ装置100を示し、図3B〜図3Fは、本発明の1つの実施形態によるPV電池1を作製する方法におけるステップを示す。図3Aおよび図3Bに示すように、PV電池1は、移動する導電性基材15上に、例えば、1つのスプールまたはリールからスプールされ(つまり、広げられ)、巻き取りスプールまたはリールに巻き取られる連続アルミニウムまたは鋼ウェブまたはストリップ上に形成されてもよい。基材15は、マルチチャンバ蒸着装置中のいくつかの蒸着ステーションまたはチャンバを通る。あるいは、固定不連続基材(つまり、連続ウェブまたはストリップでない矩形基材)が使用されてもよい。電気的絶縁基材が使用されてもよい。
まず、図3Cに示すように、ナノロッド触媒粒子21、例えば、鉄、コバルト、金、または他の金属ナノ粒子が、チャンバまたはステーション101内で基材15上に蒸着される。触媒粒子は、湿式電気化学法、または任意の他の公知の金属触媒粒子蒸着法によって蒸着されてもよい。触媒金属および粒子サイズは、形成されるナノロッド電極3(つまり、カーボンナノチューブ、ナノワイヤなど)の種類に基づいて選択される。
図3Dに示す第2のステップでは、ナノロッド電極3は、触媒粒子およびナノロッドの種類に依存して、先端成長または基部成長によって、ナノ粒子触媒サイトでチャンバまたはステーション103内で選択的に成長される。例えば、カーボンナノチューブナノロッドは、低真空中でPECVDによって成長されてもよい一方で、金属ナノワイヤは、MOCVDによって成長されてもよい。ナノロッド電極3は、基材15の表面に対して垂直に形成される。
図3Eに示す第3のステップでは、PV材料7が、チャンバまたはステーション107内でナノロッド電極3を覆って、および周囲に形成される。PV材料7を蒸着するためにいくつかの異なる方法が使用されてもよい。
PV材料を形成する1つの方法は、ナノロッド形状の内部電極3の周囲に任意の適切な蒸着技術を使用して、20nm未満の幅9を有する、Si,GeまたはPbSe膜などの連続半導体膜を蒸着することを含む。ナノロッド3のナノスケールの表面曲率により、膜は、ナノ結晶または量子ドットを含んでもよい。
PV材料を形成する他の方法は、市販の半導体ナノ結晶を単独に形成または得ることによって、既製の半導体ナノ結晶を準備することを含む。半導体ナノ結晶は、次いで、ナノロッド状の内部電極3の少なくとも下部に取り付けられて、ナノ結晶からなる光起電材料を形成する。例えば、ナノ結晶は、基材15を覆うとともに電極3を覆うナノ結晶溶液または懸濁液から準備されてもよい。必要に応じて、ナノロッド電極3、例えばカーボンナノチューブは、ファンデルワールス力または共有結合を使用してナノ結晶に結合する部分、例えば反応基と化学的に官能化されてもよい。
PV材料を形成する他の方法は、既製のナノ結晶を準備し、光学的に透明な高分子マトリックス、例えばEVAまたは他のマトリックス中に半導体ナノ結晶を入れることを含む。半導体ナノ結晶を含む高分子マトリックスは、次いで、基材15を覆ってナノロッド形状の内部電極3の周囲に蒸着されて、高分子マトリックス中のナノ結晶からなる複合光起電材料を形成する。
PV材料を形成する他の方法は、基材15を覆ってナノロッド形状の内部電極3の下部の周囲で第1の透明酸化物層、例えばガラス層を蒸着することを含む。ガラス層は、スパッタリング、CVDまたはスピン・オン・コーティングによって蒸着されてもよい。この後、透明酸化物を覆って半導体ナノ結晶を蒸着する。ナノ結晶は、透明酸化物上にCVDによってその場で形成されてもよく、または、溶液または懸濁液から酸化物上に既製のナノ結晶が蒸着されてもよい。次いで、透明酸化物マトリックス中のナノ結晶を含む複合PV材料を形成するために、第2の透明酸化物層が、蒸着された半導体ナノ結晶を覆って蒸着される。この蒸着ステップは、所望の厚さが達成されるまで数回繰り返されてもよい。
図3Fに示す第4のステップにおいて、外部電極5は、チャンバまたはステーション109内で、光起電材料7の周囲に形成される。外部電極5は、湿式化学法、例えばNiまたCu無電解めっき、または電気めっきおよびそれに続くアニールステップによって形成されてもよい。あるいは、電極5は、透明導電性酸化物を含む場合、PVD、例えばスパッタリングまたは蒸発によって形成されてもよい。外部電極5およびPV材料7は、化学機械研磨加工によって研磨されてもよく、および/または選択的にエッチバックされてPV電池1の上面を平坦化し、ナノロッド3および/またはPV材料7の上部を露出する。
PV電池1を含む装置21を操作する方法は、図2Aに示すように、上端または底から1つの方向に伝搬する入射太陽放射線13に電池1をさらすステップと、さらすステップに応じてPV電池から電流を生成するステップと、を含む。例えば、ナノ結晶PV材料は、多重励起子効果を示すことができ、それはキャリア増倍効果の部分集合である。前に説明したように、放射線13の方向に実質的に垂直な方向における、内部電極3と外部電極5との間のPV材料7の幅9は、電極の少なくとも1つに対する、光起電材料中の光生成された電荷キャリア飛行時間の間のフォノン生成を実質的に防ぐのに十分に薄い。放射線13方向に実質的に平行な方向におけるPV材料7の高さ11は、入射太陽放射線中の入射光子の少なくとも90%、例えば、90〜100%を電荷キャリア、例えば励起子に変換するのに十分に厚い。
本発明の前述した説明は、例示および説明の目的のために示された。本発明は網羅的であることは意図されず、開示された正確な形態に限定することは意図されず、修正例および変化例は、前述した教示を考慮すると可能であり、または本発明の実行から得られうる。詳細な説明は、本発明の原理およびその実用化について説明するために選択された。本発明の範囲は、本願明細書に添付された特許請求の範囲とそれらの等価物によって定められることが意図される。

Claims (27)

  1. 複数の光電池を含む光起電装置であって、
    複数の光電池の各光電池は、
    第1の電極と、
    少なくとも1つの隣接した光電池と共有された第2の電極と、
    第1の電極と第2の電極との間で、第1の電極および第2の電極に電気的に接触して位置する光起電材料と、を含み、
    1つの光電池から隣接した光電池への方向における第2の電極の厚さは、第2の電極材料の光表皮厚さ未満であり、
    隣接した光電池の第1の電極間の距離間隔は、入射放射線のピーク波長未満である光起電装置。
  2. 請求項1記載の装置において、
    第1の電極から第2の電極への方向における光起電材料の幅は、約200nm未満であり、光起電材料の幅に実質的に垂直な方向における光起電材料の高さは、少なくとも1ミクロンである装置。
  3. 請求項2記載の装置において、
    入射太陽放射線の対象とする方向に実質的に垂直な方向における光起電材料の幅は、第1の電極および第2の電極のうちの少なくとも1つに対する、光起電材料中の光生成された電荷キャリア飛行時間の間のフォノン生成を実質的に防ぐのに十分に薄く、
    入射太陽放射線の対象とする方向に実質的に平行な方向における光起電材料の高さは、入射太陽放射線中の入射光子の少なくとも90%を電荷キャリアに変換するのに十分に厚い装置。
  4. 請求項3記載の装置において、
    光起電材料の幅は、10〜20nmであり、
    光起電材料の高さは、少なくとも2〜30ミクロンである装置。
  5. 請求項1記載の装置において、
    各光電池において、
    第1の電極は、ナノロッドを含み、
    光起電材料は、ナノロッドを囲み、
    第2の電極は、光起電材料を囲んでナノコアックスを形成する装置。
  6. 請求項5記載の装置において、
    ナノロッドは、ナノチューブ、ナノファイバまたはナノワイヤを含み、
    各光電池は、軸が光起電装置の基材に対して垂直に配向されたナノコアックスを含み、 各光電池の第2の電極は、光電池間の空間を満たすとともに、各光電池の光起電材料と電気的に接触する共通電極を含む装置。
  7. 請求項6記載の装置において、
    装置は、各光電池内に光起電材料を形成するとともに、隣接した光電池間の空間内に基材を覆って位置する連続光起電材料層を含む装置。
  8. 請求項7記載の装置において、
    各光電池内に各ナノロッドと光起電材料層との間に位置するとともに、隣接した光電池間の空間内に基材と光起電材料層との間に位置する導電層をさらに含む装置。
  9. 請求項7記載の装置において、
    光起電装置は、隣接した光電池間の光起電材料層上の空間を満たすとともに、光起電材料層と電気的に接触する共通の第2の電極を含む装置。
  10. 請求項1記載の装置において、
    光起電材料は、半導体ナノ結晶を含む装置。
  11. 請求項1記載の装置において、
    光起電材料は、バルク無機半導体材料を含む装置。
  12. 請求項1記載の装置において、
    光起電材料は、高分子光活性材料、有機分子光活性材料または生体光活性材料を含む装置。
  13. 請求項1記載の装置において、
    隣接した光電池の第1の電極間の距離間隔は、550nm未満である装置。
  14. 請求項13記載の装置において、
    第2の電極材料の光表皮厚さは、入射放射線のピーク波長未満である装置。
  15. 請求項14記載の装置において、
    第2の電極は、太陽放射線を透過しない金属または金属合金を含む装置。
  16. 請求項15記載の装置において、
    第2の電極材料の光表皮厚さは、約10nm〜約20nmである装置。
  17. 請求項15記載の装置において、
    装置は、透光性基材上に形成されている装置。
  18. 請求項1記載の装置において、
    第2の電極材料の光表皮厚さは、入射放射線のピーク波長より大きい装置。
  19. 請求項18記載の装置において、
    第2の電極は、透光導電性金属酸化物を含む装置。
  20. 請求項19記載の装置において、
    第2の電極材料の光表皮厚さは、700nmより大きい装置。
  21. 請求項19記載の装置において、
    装置は、非透光性基材上に形成されている装置。
  22. 光起電装置を作製する方法であって、
    基材に垂直な各光電池の複数の第1の電極を形成するステップと、
    第1の電極の周囲に光起電材料を形成するステップと、
    共通の第2の電極が各光電池内で光起電材料を囲むとともに電気的に接触するように、光起電材料との間の空間を共通の第2の電極で満たすステップと、を含み、
    各第1の電極から第2の電極への方向における光起電材料の幅は、約200nm未満であり、
    光起電材料の幅に実質的に垂直な方向における光起電材料の高さは、少なくとも1ミクロンであり、
    各光電池の共通の第2の電極の厚さは、共通の第2の電極材料の光表皮厚さ未満であり、
    隣接した第1の電極間の距離間隔は、入射放射線のピーク波長未満である方法。
  23. 請求項22記載の方法において、
    第1の電極の周囲に光起電材料を形成するステップは、第1の電極の周囲に、基材を覆って連続光起電材料層を形成することを含み、
    光起電材料との間の空間を共通の第2の電極で満たすステップは、基材を覆い、第1の電極を囲む光起電材料層の第2の部分間に位置する、光起電材料層の第1の部分を覆って第2の電極を形成することを含む方法。
  24. 複数の光電池を含む光起電装置を操作する方法であって、
    各光電池は、
    第1の電極と、
    少なくとも1つの隣接した光電池と共有された第2の電極と、
    第1の電極と第2の電極との間で、第1の電極および第2の電極に電気的に接触して位置する光起電材料と、を含み、
    各光電池の第2の電極の厚さは、第2の電極材料の光表皮厚さ未満であり、
    隣接した光電池の第1の電極間の距離間隔は、入射放射線のピーク波長未満であり、
    前記方法は、
    光起電装置を、第1の方向に伝搬する入射太陽放射線にさらすステップと、
    さらすステップに応じて各光電池から電流を生成するステップと、を含み、
    第1の方向に実質的に垂直な第2の方向における、各光電池内の第1の電極と第2の電極との間の光起電材料の幅は、第1の電極および第2の電極のうちの少なくとも1つに対する、光起電材料中の光生成された電荷キャリア飛行時間の間のフォノン生成を実質的に防ぐのに実質的に十分に薄く、
    第1の方向に実質的に平行な方向における光起電材料の高さは、入射太陽放射線中の入射光子の少なくとも90%を電荷キャリアに変換するのに十分に厚い方法。
  25. 請求項24記載の方法において、
    装置は、寄生光アンテナ効果を示す方法。
  26. 光電池であって、
    第1の電極と、
    第2の電極と、
    第1の電極と第2の電極との間に位置する光起電材料であって、p型バルク半導体層とn型バルク半導体層との間に位置する半導体ナノ結晶層を含む光起電材料と、
    を含む光電池。
  27. 請求項26記載の電池において、
    ナノ結晶層は、約20〜約30nmの幅を有する真性シリコンナノ結晶層を含み、p型バルク半導体層およびn型バルク半導体層は、約5〜約10nmの幅をそれぞれが有する高濃度アモルファスシリコン層を含む電池。
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