JP2010531999A - 異なる体積を提供可能な質量流量検証装置及び関連する方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図3
Description
〔関連出願の参照〕
この出願は2006年6月30日出願の米国特許出願整理番号11/479,092に関連し、その出願は2005年3月25日出願一部継続出願の米国特許出願整理番号11/090,120であり、双方の内容とも参照することによりその全体が本明細書に組み込まれる。
図1に示されるように、典型的なMFV100は圧力センサー112及び温度センサー114の出力信号を受け取り、上流弁108及び下流弁110の作動を制御するコントローラー120を含むことができる。
Claims (18)
- 作動流量範囲に亘り作動する質量流量装置からの流体の流量を検証するための質量流量検証装置であって、
前記作動流量範囲内の分担領域を表すように異なる所定の体積を定義するように構成及び配置されたシステムであって、出口弁が閉じられた時、前記質量流量装置から体積への流体流から起きる圧力変化を測定することができるように各体積が前記質量流量装置から流体流を受け入れるための入り口及び前記出口弁を含むシステムと、
前記圧力変化が体積内で測定される時、前記体積内の前記流体の温度を表す信号を発生するように構成及び配置された温度センサーと、
前記圧力変化が前記体積内で測定される時、前記体積内の前記圧力変化を表す信号を発生するように構成及び配置された圧力センサーと、
前記圧力計圧力信号、前記温度信号、及び前記選ばれた体積のサイズの関数として質量流量コントローラから選ばれたいずれかの前記体積への流量を測定するように構成及び配置されたコントローラと、
を含む質量流量検証装置。 - 前記システムは、前記異なる体積を決めるための複数のチャンバーを含む、請求項1の質量流量検証装置。
- 前記システムは、前記異なる所定の体積を定義するように調整可能である体積を有するチャンバーを含む、請求項1の質量流量検証装置。
- 前記チャンバーが、前記調整可能な体積を提供するように可動である壁を含む、請求項3の質量流量検証装置。
- 前記壁は可動ピストンの一部分である、請求項4の質量流量検証装置。
- 前記複数の体積は3つの分離したチャンバーにより定義される、請求項1の質量流量検証装置。
- 前記3つのチャンバーは約10.0リットルの容量を持つ第1チャンバーと、約1.0リットルの容量を持つ第2チャンバーと、約0.1リットルの容量を持つ第3チャンバーとを含む、請求項6の質量流量検証装置。
- 前記約10.0リットルの容量を持つ第1チャンバーは、約10,000から1,000sccmまでの流速範囲内で測定するように作動するように構成及び配置された、請求項7の質量流量検証装置。
- 前記約1.0リットルの容量を持つ第2チャンバーは、約1,000から100sccmまでの流速範囲内で測定するように作動するように構成及び配置された、請求項7の質量流量検証装置。
- 前記約0.1リットルの容量を持つ第3チャンバーは、約100から1sccmまでの流速範囲内で測定するように作動するように構成及び配置された、請求項7の質量流量検証装置。
- 前記複数のチャンバーは、約10,000から1sccmまでの流速範囲内で圧力を測定するように作動するように構成及び配置された、請求項7の質量流量検証装置。
- 前記圧力センサーは容量性圧力計である、請求項1の質量流量検証装置。
- 前記検証装置は各体積に使用するための単一の圧力センサーを含む、請求項12の質量流量検証装置。
- 前記検証装置は、選ばれた体積から前記単一の圧力センサーへの流れを制御するように各体積の出口と前記単一の圧力センサーとの間に複数の弁を含む、請求項13の質量流量検証装置。
- 作動流量範囲に亘り作動する質量流量装置からの流体の流量を検証するための方法であって、
前記作動流量範囲内の分担領域を表すように異なる所定の体積を定めるステップと、
前記質量流量装置から各体積の入り口を通る流体流を選択的に制御し、出口弁が閉じられた時、前記質量流量装置から体積への流体流から起きる圧力変化を測定することができるように各体積から出口弁を通る流体流を選択的に制御するステップと、
前記圧力変化が体積内で測定される時、前記体積内の前記流体の温度を表す信号を温度センサーを用いて発生するステップと、
前記圧力変化が前記体積内で測定される時、前記体積内の前記圧力変化を表す信号を圧力センサーを用いて発生するステップと、
前記圧力計圧力信号、前記温度信号、及び前記複数の体積のうちの1つの既知体積の関数として前記質量流量コントローラからの流量を測定するステップと、
を含む方法。 - 前記体積に対応する前記流量分担領域内に存在する流体流に基づき前記質量流量装置からの流体流を受け取るために体積を選ぶステップを更に含む、請求項15の方法。
- 前記質量流量装置の前記流量範囲は約10,000から約1sccmまでである、請求項15の方法。
- 前記作動流量範囲内の分担領域を表すように異なる所定の体積を定めるステップは、チャンバーの前記体積を前記所定体積のうちの選ばれた一つの体積に調整するステップを含む、請求項15の方法。
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