JP2010519579A - 共焦点レーザ顕微鏡 - Google Patents

共焦点レーザ顕微鏡 Download PDF

Info

Publication number
JP2010519579A
JP2010519579A JP2009550230A JP2009550230A JP2010519579A JP 2010519579 A JP2010519579 A JP 2010519579A JP 2009550230 A JP2009550230 A JP 2009550230A JP 2009550230 A JP2009550230 A JP 2009550230A JP 2010519579 A JP2010519579 A JP 2010519579A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical system
microscope
fiber
lens
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009550230A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5302220B2 (ja
Inventor
ヴィルヘルム、ステファン
フーゼ、ディーター
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss MicroImaging GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss MicroImaging GmbH filed Critical Carl Zeiss MicroImaging GmbH
Publication of JP2010519579A publication Critical patent/JP2010519579A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5302220B2 publication Critical patent/JP5302220B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0032Optical details of illumination, e.g. light-sources, pinholes, beam splitters, slits, fibers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/262Optical details of coupling light into, or out of, or between fibre ends, e.g. special fibre end shapes or associated optical elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

少なくとも1つのレーザを備えた共焦点レーザ顕微鏡であって、このレーザの照明光が、少なくとも1つの光ファイバを介して顕微鏡対物レンズの方向に伝送され、その際、この光ファイバが、好ましくは顕微鏡の走査ヘッドを含むハウジングに差込み可能であり、かつこのハウジングに差込み可能な保持具が設けられており、この保持具内に光ファイバが突出しており、かつこの保持具には、そのファイバに面していない端部で、ハウジング内にある少なくとも部分的に変位可能なコリメーション光学系の方向にファイバから拡散性を有して出射するレーザ光を伝送するための第1の光学系が設けられており、その際、有利には、第1の光学系とコリメーション光学系の間に少なくとも1つの第2の光学系が配置される。

Description

本発明は、共焦点レーザ顕微鏡に関する。
レーザ走査システムでは、様々な出力レベルのレーザが使用される。さらにレーザ走査システムは、検出器としてまたは照明のために用いられる数多くの変更可能なモジュールを特徴としている。共焦点の走査型顕微鏡はレーザ・モジュールを含んでおり、このレーザ・モジュールは、様々な波長の照明光を生成する複数のレーザ放射線源から成ることが好ましい。その中で照明用放射線としての照明光が結合される走査機構は、照明用放射線を放射線偏向により、顕微鏡ユニットの顕微鏡ステージ上にある試料の上へと案内するため、主カラー・スプリッタ、x−yスキャナおよび走査対物レンズを備えている。こうして生成された、試料から来る測定光放射線は、主カラー・スプリッタおよび結像光学系を介して、検出路の少なくとも1つの共焦点検出絞り(検出ピンホール)に方向付けられる。
図1には、走査型レーザ顕微鏡(LSM)のこのような放射線経路が概略的に示されている。ここではモジュール、すなわち、光源、走査モジュール/検出ユニットおよび顕微鏡が示されている。これらのモジュールを以下に詳しく説明する。これに加えて独国特許出願公開第19702753号明細書(A1)を援用する。プレパラート中の様々な色素を特異的に励起させるために、LSMでは様々な波長のレーザが用いられる。励起波長の選択は、検査する色素の吸収特性に基づいて行われる。励起放射線は光源モジュールで発生させる。その際に、様々なレーザ(アルゴン、アルゴン・クリプトン、TiSaレーザ)が用いられる。さらに光源モジュールでは、波長の選択および必要な励起波長の強度調整が、例えば音響光学結晶を用いて行われる。続いて、レーザ光線は、ファイバまたは適切なミラー構成を介して走査モジュールに達する。光源で発生したレーザ光線は、回折を制限されて、スキャナ、走査光学系、および鏡筒レンズを経由し、対物レンズによってプレパラートに集束される。焦点は点状で、試料をx−y方向にラスタ走査する。試料を走査する際の1ピクセル滞在時間は、大抵の場合、1マイクロ秒未満から数百マイクロ秒までの範囲にある。蛍光の共焦点検出(デスキャン検出(descanned Detection))の場合、焦点面(試料(Specimen))から、ならびにその上および下にある平面から放出される光は、スキャナを経由して2色性ビーム・スプリッタ(MD)に達する。ビーム・スプリッタは、蛍光を励起光から分離する。続いて蛍光は、焦点面に対する共役面に正確に存在する絞り(共焦点絞り/ピンホール)上に集束される。これにより焦点の外にある蛍光部分が抑制される。絞りのサイズを変えることで、顕微鏡の光学解像度を調整することができる。絞りの後ろには、更なる2色性のブロック・フィルタ(EF)があり、このフィルタがもう一度、励起放射線を抑制する。ブロック・フィルタを通過した後に、蛍光は、点検出器(PMT)によって測定される。多光子吸収を用いる場合、色素の蛍光発光の励起は、励起強度が特に高い小さな体積で行われる。この領域は、共焦点構成を用いる場合に検出される領域よりほんの少しだけ大きい。したがって、共焦点絞りの使用を省略し、検出を対物レンズの直後に行ってもよい(非デスキャン検出)。
多光子吸収によって励起された色素の蛍光を検出するための更なる構成では、さらにデスキャン検出が行われるが、但し今回は対物レンズの瞳が検出ユニットに結像される(非共焦点のデスキャン検出)。
3次元で照明された画像から、対応する1光子吸収または多光子吸収と関連する両方の検出構成によって、対物レンズの焦点面にある平面(光切断面)のみが再現される。x−y面における試料の様々な深さzでの複数の光切断面を記憶することによって、続いて計算機を用いて試料の3次元画像を生じさせることができる。したがってLSMは、肉厚のプレパラートの検査に適している。励起波長は、使用された色素の固有の吸収特性によって決まる。色素の放出特性に合わせられた2色性フィルタは、それぞれの色素から出た蛍光だけが点検出器によって測定されることを保証する。
生物医学の応用分野では、現在、細胞の複数の異なる領域が、異なる色素によって同時に標識される(マルチ蛍光)。現況技術では、それぞれの色素は、異なる吸収特性、または異なる放出特性(スペクトル)に基づいて別々に検出できる。そのために、副ビーム・スプリッタ(DBS)を用いて複数の色素の蛍光を追加的に分離し、それぞれの色素放出を別々の点検出器(PMTx)で別々に検出する。カールツァイスマイクロイメージング社(Carl Zeiss MicoImaging GmbH)のLSM LIVEは、毎秒約120の画像を生成する非常に速いライン・スキャナを実現している(http://www.zeiss.de/c12567be00459794/Contents−Frame/fd9fa0090eee01a641256a550036267b参照)。光源モジュールと走査モジュールとの接続は、通常は光ファイバを介して行われる。独国特許出願公開第19702753号明細書からは、光導波路の放出口から顕微鏡の放射線経路内にレーザ光を結合するために、変位可能なコリメーション光学系を設けることが知られている。例えば、UV照明(例えば405nm)の、差込み可能なグラス・ファイバ結合の後ろに、ちょうどその時に使用される対物レンズの縦色収差を補整する可動コリメータが配置されており、これによりUVおよび可視光の焦点は再び1つの平面内にある。その際、可動コリメータは、それぞれの対物レンズのために別の位置に動かされる。独国特許出願公開第10361176号明細書(A1)には、ファイバ・プラグ内の静的コリメータ・レンズが記載されている。輸送目的のため、欠陥のあるファイバの交換の際、および別のレーザの結合があり得る際にも、アライメントなしでの取外しおよび再度の差込みが可能なグラス・ファイバ結合の要求がある。独国特許発明第19829988号明細書からは、確かに複数の空間方向でのファイバ・アライメントが知られているが、但しこれは比較的費用がかかる。
しかしながら、アライメントをなくすという要求は、技術的な困難を生じさせる。例えば波長405nm用の通常の単一モードのグラス・ファイバは、典型的には3.5μmのモード・フィールド径および0.1の開口数を有している。これは、アライメントの不要な再現可能な差込みのためには、このファイバを走査ヘッドに繰り返し差し込む際に明らかに1μm未満の位置精度で位置決めしなければならないこと、その一方で角度精度はわずか10mradの範囲内でなければならないことを意味する。個別にファイバを介して直接的に走査ヘッド内に結合される異なる波長の横方向の重畳を保証するか、またはシステム瞳に対するレーザ放射線の位置決め精度を保証するためには、簡単な、つまり1μmより明らかに改善されたグラス・ファイバ差込みが再現可能でなければならず、これは現実的には、常識的な機械的アライメントの労力によってはほとんど実現不可能である。
走査型レーザ顕微鏡(LSM)を概略的に示す図。 本願発明の基本構造を示す図。 プラグがLSMの走査ヘッドのハウジング壁GWに差し込まれ、走査ヘッド内に可動コリメータ(レンズKO)が設けられた状態を示す図。 3段式のコリメーションを概略的に示す図。
本発明は、1つだけの変位可能なレンズを介したコリメーションの代わりに、2つまたは3つのレンズによるコリメーション(最後のレンズの移動による)を使用することにある。基本構造は図2に示されている。ファイバを直接的に走査ヘッドに差し込む代わりに、ファイバFおよびレンズL1から成るコンパクトな(差込み)ユニットを使用し、このファイバおよびレンズは、ハウジングG内で支持されて固定的に互いに接続されて一緒に差し込まれる。ファイバFはハウジング内で固定的に保持されており、このハウジングはレンズL1のためのフレームを有している。このプラグ内で、グラス・ファイバは例えば3.5μmのモード・フィールド径および0.1の開口数を有し得る。レンズは、f=15mmの焦点距離を有し、かつファイバ端から10mm離れ得、これにより放射線は、平行ではなく放射角でレンズから出射する。この場合には、放出放射線の開口数は約0.0333であろう。つまりレンズは僅かにデフォーカスされている。このプラグはこの状態で、LSMの走査ヘッドのハウジング壁GWに差し込むことが可能であり、この走査ヘッド内には、上述のように可動コリメータ(レンズKO)がある。これは図3に示されている。
この場合、コリメータ・レンズは、例えばf=50mmの焦点距離を有し、かつ「ゼロ・ポジション」においてプラグ・レンズL1の20mm後ろにあり得る。ゼロ・ポジションとは中央の位置に相当し(例えば計算によって確定される)、この位置の周りでレンズKOが変位され得る。この位置において、コリメータの後ろに平行な放射線が生じるであろう。つまり、固定的にファイバと接続された第1の集光レンズと、機器内に配置された変位可能な第2の集光レンズとから成る2段式のシステムによってようやく、コリメートされた放射線が得られる。この構成での利点は、とりわけ、無限遠放射線内での差込みおよび取外しが可能なように、巧みなやり方で2つのレンズを配置することであり、なぜなら、集光レンズの焦点内にあるシングル・モード・ファイバの差込みおよび取外しの場合よりもかなり緩い公差が生じるからである。使用するレンズ焦点距離は別の焦点距離であってもよい。第1のレンズの焦点距離は、とりわけ差込み工程の感度を決定する。長すぎる焦点距離は、システムの安定性に不利に影響を及ぼす。とりわけ、ここで考察した、355nm〜675nmの波長領域でのシングル・モード伝送のためのコア径に関しては、コア径は2μm〜4μmである。その際、第1のレンズの焦点距離は、理想的には10mm〜15mmである。その際、第2のレンズの焦点距離は、第2のレンズの後ろで、コリメートされた場合の放射線がどのくらいの径を達成すべきかに応じて明らかとなる。この2段式システムは、全体的に、放射線をコリメートするために走査ヘッド内のシステムへの最良の接続が保証され得るように選択可能である。
こうしてコリメータの変位によって、対物レンズの縦色収差を補整することができ、これにより対象内での様々な色の焦点は再び1つの平面内にある。固定的にファイバ端と接続された第1のレンズにより、このプラグは今や、このプラグ内に比較的大きなモード・フィールド径および比較的小さな開口度のグラス・ファイバがあるかのように作用する。それによって、このプラグの位置決め精度への要求は、ファイバだけを保持しているプラグにより緩和されている。上に挙げた例では、位置精度への要求が3倍緩和された。このために、確かに角度への要求が同じ倍率で厳しくなったが(L1による放射角の縮小)、しかし、この場合、製造技術的に見ると、有利にも、より多くの遊隙がある。それぞれのレンズの焦点距離および位置に関する最良値は、適用、コリメータの必要な移動経路、プラグおよびジャックの可能な製造公差、ならびに全般的なデザイン要求に応じて、計算によってそれぞれ新たに決定しなければならず、上に挙げた値は1つの例だけを示している。2段式のシステムは確かに改善を可能にするが、しかしながら、位置アライメントへの要求は相変わらず高い。1段式の構造における0.5μmの代わりに、例示的に提示した値ではなお1.5μmを実現しなければならない。
位置精度に関する公差の本当に明らかな緩和(例えば100倍)を得るためには、個々の焦点距離または間隔に関して相対的に実用的ではない値が必要である。第1のレンズは、例えば15mmの焦点距離を有し、かつファイバから14.85mm離れている可能性がある。その際、第2のレンズは、例えば2000mmの焦点距離を有するであろうし、かつゼロ・ポジションにおいて第1のレンズから515mm離れているであろう。
但し、これは、図4に概略的に描いた3段式のコリメーションによって、有利に改善し得る。
この場合はプラグが、プラグ自体から平行な放射線が出射するように構成されている(つまり、例えばf=5mmおよび焦点距離でのファイバ−レンズL1の間隔=5mm)。ハウジング自体の中に、好ましくは固定的な第2のレンズL2がある(例えばプラグ内のレンズと正確に同じレンズ)。この2つのレンズL1、L2によって、ハウジング内の或る位置にファイバ端が結像され、この例では第2のレンズL2の5mm後ろである。ここで第3のレンズは再び可動コリメータKLであり、このコリメータは、残りの光学系の要求に応じて形成することができ、例えばf=10mmの焦点距離で形成し得る。この構成の利点は、プラグから平行な光放射線が出射するので、差込みの位置精度への要求が非常に大幅に緩和されることである。
まとめると本発明は、
・ファイバ・プラグと、可動コリメータとから成る組合せに関しており、このファイバ・プラグ内ではグラス・ファイバがレンズと固定的に接続されている。
・可動コリメータを備えた2段式のコリメーション光学系と、(放出口での平行な放射線経路を備えた)ファイバ・コリメータとからなる組合せに関する。焦点距離および間隔の具体的な値は、本発明の枠内で変化させ得る。レンズとして、必要な結像品質に応じて非常に様々なレンズ(球面、非球面、平凸、両凸など)が使用され得る。レンズとして、必要な結像品質に応じて単一レンズまたは接合光学素子が使用され得る。プラグの実施形態は、ほぼ任意に変化させ得る(差込み継手、キャップナット、FC形プラグなど)。

Claims (12)

  1. 少なくとも1つのレーザを備えた共焦点レーザ顕微鏡であって、該レーザの照明光が、少なくとも1つの光ファイバを介して顕微鏡対物レンズの方向に伝送され、
    その際、該光ファイバが、好ましくは該顕微鏡の走査ヘッドを含むハウジングに差込み可能である共焦点レーザ顕微鏡において、
    該ハウジングに差込み可能な保持具が設けられており、該保持具内に該光ファイバが突出しており、かつ該保持具には、その該ファイバに面していない端部で、該ハウジング内にある少なくとも部分的に変位可能なコリメーション光学系の方向に該ファイバから拡散性を有して出射するレーザ光を伝送するための第1の光学系が設けられていることを特徴とする共焦点レーザ顕微鏡。
  2. 前記光学系が1つのレンズから成る、請求項1に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
  3. 拡散性の放射線束を生成するための前記光学系が、その焦点距離より少ない間隔をあけて、ファイバ端から離れて配置される、請求項1または2に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
  4. 前記第1の光学系と前記コリメーション光学系との間に少なくとも1つの第2の光学系が配置される、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
  5. 前記コリメーション光学系が、第1の不動のレンズおよび第2の変位可能なレンズから成る、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
  6. 平行な放射線束を生成するための前記第1の光学系が、その焦点距離の間隔をあけて、ファイバ端から離れて配置される、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
  7. 前記第2の光学系または前記コリメーション光学系の前記不動のレンズが、前記第1の光学系の平行な放射線束内に配置される、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
  8. 前記第2の光学系の焦点と、前記顕微鏡の方向に平行束を生成するための前記コリメーション光学系の焦点とが重なり合う、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
  9. 少なくとも1つのレーザを備えた共焦点レーザ顕微鏡であって、該レーザの照明光が、少なくとも1つの光ファイバを介して顕微鏡対物レンズの方向に伝送され、
    その際、該光ファイバが、好ましくは該顕微鏡の走査ヘッドを含むハウジングに差込み可能である共焦点レーザ顕微鏡において、
    該ハウジングに差込み可能な保持具が設けられており、該保持具内に該光ファイバが突出しており、かつ該保持具には、その該ファイバに面していない端部で、該ハウジング内にあるコリメーション光学系の方向に該ファイバから拡散性を有して出射するレーザ光を伝送するための第1の光学系が設けられており、
    その際、該第1の光学系と該コリメーション光学系との間に少なくとも1つの第2の光学系が配置されるか、または該コリメーション光学系が、第1の不動のレンズおよび第2の変位可能なレンズから成ることを特徴とする共焦点レーザ顕微鏡。
  10. 平行な放射線束を生成するための前記第1の光学系が、該第1の光学系の焦点距離の間隔をあけて、ファイバ端から離れて配置される、請求項9に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
  11. 前記第2の光学系または前記コリメーション光学系の前記不動のレンズが、前記第1の光学系の平行な放射線束内に配置される、請求項10または11に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
  12. 前記第2の光学系の焦点と、前記顕微鏡の方向に平行束を生成するための変位可能な前記コリメーション光学系の焦点とが重なり合う、請求項9乃至11のいずれか1項に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
JP2009550230A 2007-02-21 2008-02-09 共焦点レーザ顕微鏡 Expired - Fee Related JP5302220B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007009660A DE102007009660A1 (de) 2007-02-21 2007-02-21 Konfokales Lasermikroskop
DE102007009660.9 2007-02-21
PCT/EP2008/001003 WO2008101605A1 (de) 2007-02-21 2008-02-09 Konfokales lasermikroskop

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010519579A true JP2010519579A (ja) 2010-06-03
JP5302220B2 JP5302220B2 (ja) 2013-10-02

Family

ID=39410295

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009550230A Expired - Fee Related JP5302220B2 (ja) 2007-02-21 2008-02-09 共焦点レーザ顕微鏡

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8477418B2 (ja)
EP (1) EP2122404B1 (ja)
JP (1) JP5302220B2 (ja)
DE (1) DE102007009660A1 (ja)
WO (1) WO2008101605A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015215537A (ja) * 2014-05-13 2015-12-03 住友電気工業株式会社 光モジュールの製造方法
WO2020070859A1 (ja) * 2018-10-04 2020-04-09 カンタム・ウシカタ株式会社 光学系装置、両凸レンズ

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH699575A1 (de) * 2008-10-06 2010-04-15 Nectar Imaging S R L Optisches System für ein Konfokalmikroskop.
WO2011140357A1 (en) * 2010-05-05 2011-11-10 Afl Telecommunications, Llc Interferometer adapter cap for an optical fiber inspection microscope
DE102021134384A1 (de) * 2021-12-22 2023-06-22 Abberior Instruments Gmbh Verfahren und Vorrichtungen zur Überprüfung der lateralen und axialen Konfokalität einer scannenden und entscannenden Mikroskopbaugruppe

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11231222A (ja) * 1998-01-27 1999-08-27 Carl Zeiss Jena Gmbh 走査ユニット付顕微鏡、そのための配置および操作方法
JP2006208681A (ja) * 2005-01-27 2006-08-10 Olympus Corp 接続ユニットおよび光走査型蛍光観察装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59211014A (ja) * 1983-05-16 1984-11-29 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 変倍観察装置
JP3052150B2 (ja) * 1990-04-06 2000-06-12 オプティスキャン・ピーティワイ・リミテッド 共焦点顕微鏡
US5659642A (en) * 1992-10-23 1997-08-19 Optiscan Pty. Ltd. Confocal microscope and endoscope
US6749346B1 (en) * 1995-11-07 2004-06-15 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Miniature scanning confocal microscope
DE19758744C2 (de) 1997-01-27 2003-08-07 Zeiss Carl Jena Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop
US6167173A (en) * 1997-01-27 2000-12-26 Carl Zeiss Jena Gmbh Laser scanning microscope
DE19829988B4 (de) 1998-07-04 2006-08-10 Carl Zeiss Jena Gmbh Einrichtung zur Ausrichtung mindestens einer Lichtleitfaser in einem Mikroskop
US6423956B1 (en) * 2000-07-28 2002-07-23 Optical Biopsy Technologies Fiber-coupled, high-speed, integrated, angled-dual-axis confocal scanning microscopes employing vertical cross-section scanning
WO2003090613A1 (en) * 2002-04-26 2003-11-06 Optiscan Pty Ltd Laser scanning confocal microscope with fibre bundle return
US7170676B2 (en) * 2003-03-13 2007-01-30 Olympus Corporation Illumination switching apparatus and method
US7280570B2 (en) * 2003-12-15 2007-10-09 Leica Microsystems Device for generating a light beam including multiple wavelengths
DE10361176A1 (de) 2003-12-15 2005-07-14 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Vorrichtung zur Erzeugung eines mehrere Wellenlängen umfassenden Lichtstrahls
US20050201441A1 (en) * 2003-12-15 2005-09-15 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Device for generating a laser light beam
EP1722669A4 (en) * 2004-02-27 2009-05-27 Optiscan Pty Ltd OPTICAL ELEMENT
JP2007121590A (ja) * 2005-10-27 2007-05-17 Yokogawa Electric Corp 共焦点スキャナ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11231222A (ja) * 1998-01-27 1999-08-27 Carl Zeiss Jena Gmbh 走査ユニット付顕微鏡、そのための配置および操作方法
JP2006208681A (ja) * 2005-01-27 2006-08-10 Olympus Corp 接続ユニットおよび光走査型蛍光観察装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015215537A (ja) * 2014-05-13 2015-12-03 住友電気工業株式会社 光モジュールの製造方法
WO2020070859A1 (ja) * 2018-10-04 2020-04-09 カンタム・ウシカタ株式会社 光学系装置、両凸レンズ

Also Published As

Publication number Publication date
WO2008101605A1 (de) 2008-08-28
EP2122404B1 (de) 2019-01-02
DE102007009660A1 (de) 2008-08-28
JP5302220B2 (ja) 2013-10-02
US8477418B2 (en) 2013-07-02
US20100027108A1 (en) 2010-02-04
EP2122404A1 (de) 2009-11-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5253761B2 (ja) 走査型レーザ顕微鏡
US7362500B2 (en) Double-clad fiber scanning microscope
US7953308B2 (en) System and method for fiber optic bundle-based illumination for imaging system
US5847400A (en) Fluorescence imaging system having reduced background fluorescence
US20060187499A1 (en) Connection unit and optical-scanning fluoroscopy apparatus
US10194788B2 (en) Optical scanner and scanned lens optical probe
US20140104681A1 (en) Spatial Filter to Combine Excitation Light and Emission Light in an Episcopic Multiplexed Confocal Scanning Microscope
JP2007504499A (ja) 複数の微細構造光学要素を有する光源
CN113474708A (zh) 用于在显微镜中对样本进行点状照明的方法和装置
US7746553B2 (en) Laser scanning microscope for fluorescence testing
JP5302220B2 (ja) 共焦点レーザ顕微鏡
Bruns et al. Miniaturized modules for light sheet microscopy with low chromatic aberration
JP5461527B2 (ja) 試料をエバネッセント照明する装置および方法
Stelzer The intermediate optical system of laser-scanning confocal microscopes
US11448551B2 (en) Optical arrangement for a spectroscopic imaging method and spectroscopic imaging method
EP4075181A1 (en) Microscope system with oblique illumination
JP5544548B2 (ja) サーキュレータを有する走査型顕微鏡および共焦点走査型顕微鏡
US20060165359A1 (en) Light source with a microstructured optica element and miroscope with a light source
CN113260895A (zh) 单位放大倍率的显微镜
CN112858249B (zh) 超分辨成像系统
US20090303584A1 (en) Method for laser scanning microscopy and beam combiner
Swoger et al. A confocal fiber-coupled single-lens theta microscope
Babin et al. Multichannel-GaAsP-photomultiplier-based fiber bundle ISM-STED microscope
US20210116693A1 (en) Non-linear optical scanning microscope

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101222

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20120127

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120712

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120724

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20121024

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20121031

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20121128

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130611

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130620

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5302220

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees