JP2010517321A - ウェハボンディングによる電子回路及び光学回路集積 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る装置は、光学回路ウェハ(102)と、集積回路ウェハ(104)とを備え、前記光学回路ウェハおよび前記集積回路ウェハは、ウェハボンディング工程によって共に接合される。また、前記ウェハボンディング工程は、共晶接合、圧着、融着、陽極接合、プラズマ接合および接着から成る群から選択される。また、前記集積回路ウェハの側面(126)は、前記光学回路ウェハを越えて突出し、電気的結合を収容するように構成されるボンドパッド(116)を備える。
【選択図】図1B
Description
本特許出願は、2007年1月31日に出願された、Peter G. Hartwell他による「Chip Cooling Channels Formed In Wafer Bonding Gap」と題する同時係属の米国特許出願第11/701,317号(代理人整理番号200602753)に関連し、その米国特許出願は参照により本明細書に援用される。
たとえば、電子回路に追加される光学回路を、多くの相互接続層の代わりに用いて帯域幅を改善することができ、多重化及び反復によって複雑になるのを緩和することができると共に、チップ上の消費電力を大幅に低減することができる。
しかしながら、電子回路に光学回路を追加することには、いくつか不都合な点がある。
標準的なシリコン処理及び化合物半導体処理は一般的に、共に統合するのが難しいことを指摘しておく。
したがって、光学回路を電子回路に集積するためには、通常、電子回路において標準的でない処理が用いられる。
しかしながら、標準的でない処理は、電子回路のコストを著しく高める可能性がある。
さらに、今後の業界における全般的な処理技法の進歩を反映するように光学回路処理又は電子回路処理のいずれかが変更される場合には、その統合された工程は、部品の再認定のための時間及びコストを伴う可能性がある。
本発明を種々の実施形態との関連で説明するが、これらの種々の実施形態が本発明を限定することを意図していないことは理解されよう。
逆に、本発明は、特許請求の範囲に従って解釈されるような本発明の範囲内に含まれる場合がある代替形態、変更形態及び等価形態を包含することを意図している。
さらに、本発明による種々の実施形態の以下の詳細な説明において、本発明の完全な理解を提供するために、数多くの具体的な細部が説明される。
しかしながら、本発明をこれらの具体的な細部を用いることなく実施してもよいことは当業者には明らかであろう。
他の事例では、本発明の態様を不必要に不明瞭にしないように、既知の方法、手順、部品及び回路は詳細には説明されていない。
具体的には、図1Aは、ウェハボンディング工程前の1つの例示的なキャップウェハ102と、1つの例示的な集積回路(IC)ウェハ104とを示す。ウェハボンディング工程に備えて、キャップウェハ102及び集積回路ウェハ104の各ウェハ上に、1つ又は複数のボンディング材料114を堆積又は実装することができることを指摘しておく。
さらに、ウェハボンディング工程に備えて、集積回路ウェハ104上に1つ又は複数の誘電体間隙設定材料112を堆積又は実装することができる。
具体的には、ウェハボンディング工程中において、1つ又は複数の誘電体間隙設定材料112の目的のうちの1つは、キャップウェハ102と集積回路ウェハ104との間の特定の距離(又は間隙)を維持及び形成することであり得る。
チップ100は、光学回路ウェハ102と集積回路ウェハ104とを備えることができ、光学回路ウェハ102及び集積回路ウェハ104はウェハボンディング工程によって共に接合される。
そのウェハボンディング工程は、限定はしないが、共晶接合、圧着、融着、陽極接合、プラズマ接合及び/又は接着を含むことができることに留意されたい。
集積回路ウェハ104は、電子回路ウェハ104又は電気回路ウェハ104と呼ばれる場合もあるが、それには限定されない。
一実施形態では、ウェハボンディング工程は、光学回路ウェハ102と集積回路ウェハ104との間に電気的相互接続を設けると同時に、光学回路ウェハ102及び集積回路ウェハ104を結合することができる1つ又は複数のボンド114を含むことができる。
一実施形態において、光学回路ウェハ102は、1つ又は複数の光検出器、電子光学変調器(EOM)、光導波路、レーザ、及び/又は電気回路を含むことができるが、それには限定されないことを指摘しておく。
一実施形態では、集積回路ウェハ104は、キャップウェハ102を越えて突出する1つ又は複数の突出部又は「棚部」(たとえば、124及び126)を備えることができ、1つ又は複数の突出部は1つ又は複数の電気的なボンドパッド116を備えることができる(たとえば、オフチップ接続用)。
一実施形態では、集積回路ウェハ104は、1つ又は複数の回路120を備えることができ、それらの回路は、電気回路及び/又は光学回路とすることができるが、それには限定されない。
集積回路ウェハ104の1つ又は複数の回路120は、1つ又は複数の能動回路素子、受動回路素子、メモリ素子、プログラム可能回路素子、中央演算ユニット(CPU)、マルチコアCPU、フィールドプログラマブルゲートアレイ(FPGA)及び/又はダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)を含むことができるが、それには限定されない。
このように、チップ100は電子回路及び光学回路から成る集積システムである。
たとえば、一実施形態では、集積回路ウェハ104は、ウェハ製造設備において標準的な工程で製造することができ、ウェハボンディング工程に備えるために、いくつかの作業を加えて変更することができる。
たとえば、その作業は、上側不動態化層内に付加的なバイア(vias)を開けることができ、その後、一実施形態では、ウェハボンドの半分を形成することができるシード層を追加することができる。
ボンド材料は、誘電体材料112及び/又はウェハボンディング相互接続材料114を含むことができるが、それには限定されない。
一実施形態では、光学回路ウェハ102は、これらのデバイスのための薄膜、又はポリマーのような他の基板材料が堆積されているウェハ108(たとえば、シリコンウェハ)を含むことができる。
光学回路ウェハ102は、集積回路ウェハ104へのボンドを形成することができるパターニングされた層を含むことができる。
一実施形態では、ボンド材料をパターニングして、限定はしないが、光学回路ウェハ102と集積回路ウェハ104との間に間隙128を設定すること、ウェハ102及び104の良好な接着を確保するためのエリアを形成すること、及び/又は光学回路ウェハ102が1つ又は複数の付加的なデバイス又は機能を含む場合には、光学回路ウェハ102に信号をルーティングするために電気的な相互接続を形成すること等の1つ又は複数の機能を果たすことができることに留意されたい。
光学回路ウェハ102及び集積回路ウェハ104を結合するために利用することができるウェハボンディング方法は、多種多様な方法で実施することができる。
たとえば、種々の実施形態において、ウェハボンディング方法は、限定はしないが、シリコン/酸化物融着、シリコン/酸化物又は酸化物/酸化物プラズマ接合、金属/酸化物陽極接合、金属/金属はんだ接合、及び金属/金属圧着を含むことができる。
一実施形態では、プラズマ接合、はんだ接合、共晶接合又は圧着を用いて、融着の高い温度又は陽極接合の高い電圧によって集積回路ウェハ104の集積回路が損傷を受けるのを防ぐことができる。
はんだ接合部、共晶接合部又は圧着部は、光学回路ウェハ102及び集積回路ウェハ104間の間隙128を機械的に設定するのを助ける付加的な構造物(たとえば、112)を含むことができることに留意されたい。
ボンディング後に、一実施形態では、光学ウェハ102をパターニングして、集積回路ウェハ104上の電気的なボンディングパッド116に接続することができるようにし、そのボンディングパッドを用いて、ICパッケージ(図示せず)のピンに電気信号をルーティングすることができる。
このための方式が、米国特許第7,042,105号明細書及び同第6,955,976号明細書において提示されており、それらの特許は参照により本明細書に援用されることに留意されたい。
一実施形態では、トラブルシューティングを容易にするために、組み立てる前に光学回路ウェハ102及び集積回路ウェハ104のそれぞれを個別に試験することができることを指摘しておく。
一実施形態では、光学回路ウェハ102及び集積回路ウェハ104に対する双方のタイプの信号の場合に、オフチップ相互接続を簡単にハンドリングすることができる。
一実施形態では、光学回路ウェハ102及び集積回路ウェハ104の組立及び一体化は、標準的なウェハボンディング技術を用いて簡単にすることができるが、それには限定されない。
一実施形態では、化合物半導体工程を用いて光学回路ウェハ102を作成又は加工して、1つ又は複数の電気光学部品を形成することができるが、それには限定されない。
一実施形態では、集積回路ウェハ104を、CMOS(相補形金属酸化膜半導体)エレクトロニクス工程において作成又は加工することができるが、それには限定されない。
光学回路ウェハ102及び集積回路ウェハ104は物理的及び電気的相互接続で共にウェハ接合することができ、その相互接続は、ウェハ102及び104を共に保持することができ、さらには、集積回路ウェハ104から光学回路ウェハ102に、又はその逆に電気信号が進むことができるようにすることに留意されたい。
これらのウェハボンディング法のそれぞれのボンド材料は、限定はしないが、金スズボンド、金ゲルマニウムボンド等を含むことができる。
たとえば、金及びスズボンドの場合には、金層を第1のウェハ(たとえば、102)上に堆積することができ、一方、スズ層を第2のウェハ(たとえば、104)上に堆積することができ、その後、ウェハ102及び104を共に貼り合わせることができる。
金及びスズは加熱することができ、その際、金及びスズは互いに拡散して、ウェハ102及び104を共に接合する。
一実施形態では、ボンディング材料は薄膜のように堆積することができ、それによって、ボンディング材料の量をより正確に制御することができるようになる。
はんだ接合及び共晶接合によるウェハボンディング法の場合、リードサイズ又はコンタクトサイズを約25ミクロン(すなわちマイクロメータ)の円にすることができるが、それには限定されない。
上記のように、別のウェハボンディング技法は、圧着を含むことができる。
たとえば、光学回路ウェハ102及び集積回路ウェハ104の双方の上に金を堆積することができ、その後、実質的に熱を加えることなく圧力をかけることができ、それによって金が混ざり合って、ウェハ102及び104に共に結合するボンドを設けることができる。
一実施形態では、圧着によるウェハボンディング工程中に、1つ又は複数の間隙設定材料112を用いることができる。
一実施形態では、光学回路ウェハ102と集積回路ウェハ104との間からボンディング材料が押し出されるのを防ぐために、はんだ接合又は共晶接合によるウェハボンディング工程中に、1つ又は複数の間隙設定材料112を用いることができる。
具体的には、陽極接合は、ウェハ102及び104を一体にすること、並びにウェハ102及び104の中に電流を流して、それらを融着させることを含むことができる。
一実施形態では、集積回路ウェハ104の電子回路の中に電流が流れないように、陽極接合を局所化することが望ましい場合がある。
本発明の一実施形態に従って用いることができる別のウェハボンディング技法は融着と呼ばれ、それは一方のウェハ(たとえば、102)上にシリコンを堆積すること、他方のウェハ(たとえば、104)上に二酸化シリコンを堆積すること、及びその後、それらのウェハを一体にして、ボンドを形成することを含むことができる。
本発明の一実施形態に従って用いることができる別のウェハボンディング技法は局部加熱と呼ばれる。たとえば、一実施形態において、1つ又は複数のレーザを用いて、ウェハ102と104の端部周辺等の加熱を局所化することができるが、それには限定されない。
一実施形態では、光学回路ウェハ102及び集積回路ウェハ104を結合したウェハボンディングは、ウェハボンディング相互接続114を含むことができる。
光学回路ウェハ102は、限定はしないが、誘電体材料、光学基板108(たとえば、シリコン)、1つ又は複数の光学回路110、及び1つ又は複数の金属相互接続を備えることができる。
さらに、光学回路ウェハ102は、間隙設定材料112(それは、スタンドオフと呼ばれる場合もある)を収容するように実装することができる。
集積回路ウェハ104は、限定はしないが、誘電体材料、シリコンウェハ122、1つ又は複数の回路120(たとえば、光学及び/又は電子)、金属相互接続、1つ又は複数の電気的なボンドパッド116、及びキャップウェハ102を越えて突出する1つ又は複数の突出部又は「棚部」124及び126を備えることができる。
さらに、キャップウェハ102及び/又は集積回路ウェハ104は、間隙設定材料112を備えるように実装することができる。
図2は、チップ100aの集積回路ウェハ104がキャップウェハ102を越えて突出する1つ又は複数の突出部又は「棚部」(たとえば、124及び125)を備えることができることを示すことを指摘しておく。
たとえば、集積回路ウェハ104の1つ又は複数の側面が、キャップウェハ102の1つ又は複数の側面を越えて突出することができる。
しかしながら、一実施形態では、キャップウェハ102を越えて突出する突出部又は「棚部」(たとえば、124及び125)を用いることなく、チップ100aの集積回路ウェハ104を実現することができることに留意されたい。
したがって、この実施形態では、集積回路ウェハ104及びキャップウェハ102は概ね同じようなサイズを有することができ、その対応する側面は概ね同一平面を成すことができる。
具体的には、一実施形態では、集積回路ウェハ104は、その4つの側面において、キャップウェハ102の4つの側面を越えて突出することができる突出部又は「棚部」123、124、125及び126を備えることができる。
しかしながら、種々の実施形態において、集積回路ウェハ104は、キャップウェハ102の側面を越えて突出することができる1つ又は複数の突出部123、124、125及び/又は126を備えることができる。
突出部123、124、125及び126のうちの1つ又は複数は、多種多様な方法で実現することができることに留意されたい。
たとえば、一実施形態では、突出部123、124、125及び126はそれぞれ、電子的なボンドパッド(たとえば、116)を備えるが、それには限定されない。
突出部123、124、125及び126はそれぞれ、本明細書に記載されるものと同様のあらゆる様式で実現することができるが、それには限定されないことを指摘しておく。
具体的には、一実施形態では、集積回路ウェハ104は、その2つの側面において、キャップウェハ102の4つの側面を越えて突出することができる突出部又は「棚部」124及び126を備えることができる。
突出部124及び126のうちの1つ又は複数は、多種多様な方法で実現することができることを指摘しておく。
突出部124及び126はそれぞれ、本明細書に記載されるものと同様のあらゆる様式で実現することができるが、それには限定されないことに留意されたい。
チップ100dは図1のチップ100の上面図とすることができることに留意されたい。
チップ100dの1つ又は複数の側面から、1つ又は複数の光ファイバ152を介して、光学信号をルーティングすることができることに留意されたい。
チップ100dはウェハスタックであり、光学回路ウェハ102及び集積回路ウェハ104を備えることができる。
一実施形態において電気的及び光学的なオフチップの接続を容易にするために、チップ100dのウェハ104の突出部側面124及び126のそれぞれの上に1つ又は複数の電子的なボンドパッド116を実装することができ、一方、図5に示されるように、チップ100dの他の2つの側面に光学的な接続を実装することができる。
一実施形態では、図5に示されるように、突出部126は、集積回路ウェハ104の一方の側に配置され、突出部124は、集積回路ウェハ104の反対側に配置することができる。
図5の突出部124及び126は、図1及び図4の突出部又は「棚部」124及び126に対応することを指摘しておく。
ワイヤ(たとえば、直径が約25ミクロン)によって、電気的なボンドパッド116をそれぞれ、チップ100dのためのパッケージ(図示せず)に電気的に結合することができることに留意されたい。
電気的なパッド116をチップ100dの2つの側面に制限することによって、チップ100dは、他の2つの側面において突出を有せず、すなわち同一平面を成すことができる。
このようにして、図5に示されるように、1つ又は複数の光ファイバ152も、チップ100dの同一平面を成す縁部又は側面のうちの1つ又は複数の直ぐ隣に配置することができるか、又はその縁部に当接することができ、それによって、光ファイバと光学回路ウェハ102の光学回路(たとえば、110)との間の光伝送を改善することができるようになる。
たとえば、一実施形態では、光ファイバ152はそれぞれ、直径約125ミクロンにすることができるが、それには限定されない。
各光ファイバ152のコアを光学回路ウェハ102の光学回路(たとえば、110)と位置合わせして、適当な光伝送を提供することができることを指摘しておく。
一実施形態では、光学回路は、層厚が約20ミクロンの層になるように実現することができるが、それには限定されない。
光ファイバ152の位置合わせは、チップ100dのパッケージングによって実施することができる。
たとえば、一実施形態では、各光ファイバ152を位置合わせするために、チップ100dのパッケージ(たとえば、図6に示される)の一部として、「V」溝を設けることができ、各光ファイバ152をそのV溝内に置くことができる。
一実施形態では、1つ又は複数のV溝を集積回路ウェハ104内に作成することができ、その中に光ファイバ152を置いて、光学回路110と位置合わせすることができることに留意されたい。
たとえば、一実施形態では、集積回路ウェハ104は、その側面のうちのいずれかに電気的相互接続(たとえば、116)のための単一の突出部又は「棚部」を備えることができ、一方、残りの3つの側面は、光学的相互接続(たとえば、152)のために用いることができる。
一実施形態では、集積回路ウェハ104は、その側面のうちのいずれかに電気的相互接続(たとえば、116)のための3つの突出部又は「棚部」を備えることができ、一方、残りの側面は、光学的相互接続(たとえば、152)のために用いることができる。
具体的には、図6は、種々の実施形態において、チップ100eの1つ又は複数の突出部又は「棚部」608及び610内に1つ又は複数の溝(又はトレンチ又はパターニングされた機構)606を設けることができることを示す。
溝606は、光ファイバ152とチップ100eの任意の光学回路(たとえば、110)との位置合わせを助けることができることを指摘しておく。
光ファイバ152はチップ100eのウェハ102及び/又は104に端面結合することができることに留意されたい。
具体的には、図7は、種々の実施形態においてチップ100fと共に実装することができる異なるオフチップ接続を示す。
たとえば、チップ100fは、その同一平面を成す側面601上に、光通信をハンドリングするための1つ又は複数の光ファイバ152を備えるように実現することができる。
さらに、表面実装されたパッケージのための1つ又は複数のソルダバンプ702と共に、1つ又は複数のボンドパッド116を備えるように、チップ100fの突出部又は「棚部」703を実現することができる。
ワイヤ706をボンドパッド116のそれぞれに接合することができることを指摘しておく。さらに、チップ100fの突出部又は「棚部」705を、1つ又は複数のボンドパッド116を備えるように実現することができるが、それには限定されない。
具体的には、図8は、種々の実施形態においてチップ100gと共に実装することができる異なるオフチップ接続を示す。
たとえば、チップ100gは、その同一平面を成す側面701上に、光通信をハンドリングするための1つ又は複数の光ファイバ152を備えるように実現することができる。
さらに、ウェハ102及び/又は104に端面結合される光ファイバ152の位置合わせを助けるための溝606と共に、1つ又は複数のボンドパッド116を備えるように、チップ100gの突出部又は「棚部」802を実現することができる。ワイヤ706をボンドパッド116のそれぞれに接合することができることを指摘しておく。
さらに、チップ100gの突出部又は「棚部」804を、1つ又は複数のボンドパッド116を備えるように実現することができるが、それには限定されない。
さらに、1つ又は複数の光ファイバ152を、チップ100gのウェハ102に対して実質的に垂直に表面実装することができる。
チップ100gの光ファイバ(又は光ファイバコネクタ)152を用いて、チップ100gとの間で光を伝送することができる。
たとえば、一実施形態では、チップ100gの光ファイバ(又は光ファイバコネクタ)152を用いて、ウェハ102との間で光を伝送することができる。
光ファイバ152のための光源として、表面実装されるレーザを用いることができることに留意されたい。
方法900は、コンピューティングデバイス読取り可能及び実行可能命令(又はコード)、たとえば、ソフトウエアの制御下でプロセッサ(複数可)及び電気部品によって実行することができる、本発明の種々の実施形態の例示的な工程を含む。
コンピューティングデバイス読取り可能及び実行可能命令(又はコード)は、たとえば、コンピューティングデバイスによって使用可能であり得る揮発性メモリ、不揮発性メモリ及び/又は大容量データ記憶装置のようなデータ記憶機構内に存在することができる。
しかしながら、コンピューティングデバイス読取り可能及び実行可能命令(又はコード)は、任意のタイプのコンピューティングデバイス読取り可能媒体内に存在することができる。
方法900は、コンピュータ使用可能媒体上にあるアプリケーション命令で実施することができ、それらの命令は、実行されるときに、方法900の1つ又は複数の動作を達成することに留意されたい。
方法900において、具体的な動作が開示されるが、そのような動作は例示である。方法900は、図9によって示される動作の全てを含まない場合がある。
また、方法900は、図9によって示される種々の他の動作及び/又は動作の変形を含む場合もある。同様に、方法900の動作のシーケンスを変更することができる。
方法900の動作は、手動で、ソフトウエアによって、ファームウエアによって、電子ハードウエアによって、又はそれらの任意の組み合わせによって実行することができることに留意されたい。
ウェハボンディング工程のために集積回路ウェハを準備することができる。
ウェハボンディング工程を用いて、光学回路ウェハ及び集積回路ウェハを結合することができる。
このようにして、本発明の種々の実施形態によれば、ウェハボンディングによって、電子回路及び光学回路集積を実現することができる。
動作902は、多種多様な方法で実施することができることに留意されたい。たとえば、一実施形態では、動作902において光学回路ウェハを準備することは、光学回路ウェハ上に材料(たとえば、金属、二酸化シリコン等)の薄膜の1つ又は複数のパッチを堆積することを含むことができる。
一実施形態では、動作902において光学回路ウェハを準備することは、光学回路ウェハを作成することを含むことができる(たとえば、本明細書に記載されるのと同様に作成されるが、それには限定されない)。
一実施形態では、光学回路ウェハは、ウェハボンディング工程中に、光学回路ウェハと電気回路ウェハとの間の距離又は間隙(たとえば、128)を維持するための間隙設定材料(たとえば、112)を備えることができる。
動作902は、本明細書に記載されるものと同様のあらゆる様式で実施することができるが、それには限定されない。
動作904は、多種多様な方法で実施することができることに留意されたい。たとえば、一実施形態では、動作904において集積回路ウェハを準備することは、集積回路ウェハ上に材料(たとえば、金属、二酸化シリコン等)の薄膜の1つ又は複数のパッチを堆積することを含むことができる。
一実施形態では、動作904において集積回路ウェハを準備することは、集積回路ウェハを作成することを含むことができる(たとえば、本明細書に記載されるのと同様に作成されるが、それには限定されない)。
一実施形態では、集積回路ウェハは、ウェハボンディング工程中に、光学回路ウェハと集積回路ウェハとの間の距離又は間隙(たとえば128)を保持するための間隙設定材料(たとえば、112)を備えることができる。
動作904は、本明細書に記載されるものと同様のあらゆる様式で実施することができるが、それには限定されない。
動作906は多種多様な方法で実施することができることに留意されたい。
たとえば、一実施形態では、ウェハボンディング工程は、光学回路ウェハ及び集積回路ウェハを結合する1つ又は複数のボンドを含むことができ、1つ又は複数のボンドは、光学回路ウェハと集積回路ウェハとの間の電気的相互接続でもある。
動作906は、本明細書に記載されるものと同様のあらゆる様式で実施することができるが、それには限定されない。
それらの記載は、網羅的であること、又は本発明を開示された形態と全く同じ形態に限定することを意図するものではなく、明らかに、上記の教示を考慮すれば、数多くの変更及び変形が可能である。
本発明は、特許請求の範囲及びその均等物に従って解釈することができる。
104・・・集積回路ウェハ,
108・・・ウェハ,
110・・・光学回路,
112・・・間隙設定材料,
114・・・電気的相互接続,
116・・・ボンドパッド,
120・・・回路,
122・・・シリコンウェハ,
123〜126,608,610,703,705,802,804・・・棚部,
152・・・光ファイバ,
606・・・溝,
701・・・側面,
702・・・ソルダバンプ,
706・・・ワイヤ
Claims (10)
- 装置(100)であって、
光学回路ウェハ(102)と、
集積回路ウェハ(104)と、
を備え、
前記光学回路ウェハおよび前記集積回路ウェハは、ウェハボンディング工程によって共に接合される
装置。 - 前記ウェハボンディング工程は、共晶接合、圧着、融着、陽極接合、プラズマ接合および接着から成る群から選択される
請求項1に記載の装置。 - 前記集積回路ウェハの側面(126)は、前記光学回路ウェハを越えて突出し、電気的結合を収容するように構成されるボンドパッド(116)を備える
請求項1に記載の装置。 - 前記ウェハボンディング工程は、前記光学回路ウェハと前記集積回路ウェハとの間の電気的相互接続(114)を含む
請求項1に記載の装置。 - 前記光学回路ウェハは、光検出器、電子光学変調器、光導波路、レーザおよび電気回路から成る群から選択される1つ又は複数の素子を含む
請求項1に記載の装置。 - 前記集積回路ウェハは、前記ウェハボンディング工程中に、前記光学回路ウェハと前記集積回路ウェハとの間の距離を維持するための間隙設定材料(112)を備える
請求項1に記載の装置。 - 前記装置の側面(701)は、光学信号を前記光学回路ウェハに結合するための外部光学結合(152)を収容するように構成される
請求項1に記載の装置。 - 前記外部光学結合は光ファイバコネクタを含む
請求項7に記載の装置。 - 前記光学ウェハの表面は、光学信号を前記光学回路ウェハに結合するための外部光学結合(152)を収容するように構成される
請求項1に記載の装置。 - 前記集積回路ウェハは、能動回路素子、受動回路素子、メモリ素子およびプログラム可能回路素子から成る群から選択される素子を含む
請求項1に記載の装置。
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