JP2010517280A - 電子的構成部材 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、請求項1の上位概念に記載されている電子的構成部材に関する。
発明の利点
本発明により構成された、半導体材料からなる基板上に金属層を有する電子的構成部材には、金属層と基板との間、または金属層と絶縁層との間に拡散遮断層が形成され、この拡散遮断層は、金属層の金属に対して小さな拡散係数を有する材料から完成されている。この拡散遮断層によって、半導体材料中または絶縁層中への金属の拡散は、減少される。この電子的構成部材は、半導体材料中に拡散する金属によって使用不可能になることはなく、或いは電気絶縁層は、その絶縁特性の点で拡散侵入される金属によって損なわれることはない。
D<1.5・10-30cm2/秒
金属が電気絶縁層中または基板の半導体材料中に拡散しないようにするために、それによって電子的構成部材は使用不可能になるかもしれないが、拡散遮断層は、特に細孔不含であるか、または層が貫通する通路によって貫通していないという意味において閉鎖された細孔を単に示す。
本発明により構成された電子的構成部材1は、基板3を含み、この基板は、半導体材料から完成されている。好ましい半導体材料は、窒化ガリウムである。しかし、半導体材料としては、窒化ガリウムと共に、窒化アルミニウム、ガリウム窒化アルミニウムおよび炭化ケイ素も適している。前記に既に記載したように、窒化ガリウムは、III−V−化合物半導体であり、このIII−V−化合物半導体は、例えば高性能の電界効果トランジスターおよび高周波の電界効果トランジスターに使用される。更に、オプトエレクトロニクスにおいては、殊に青、白および緑のLEDsのために窒化ガリウムが使用される。窒化ガリウムからなる基板を有する電子的構成部材は、原理的に約700℃までの動作温度に適している。それによって、この種の構成要素は、高温での使用の場合にも、例えば自動車の排出ガス流中でのガスセンサー技術に使用されることができる。
Claims (13)
- 半導体材料からなる基板(3)上に金属層(9)を有する電子的構成部材において、金属層(9)と基板(3)との間に拡散遮断層(7)が形成され、この拡散遮断層は、金属層(9)の金属に対して小さな拡散係数を有する材料から完成されていることを特徴とする、半導体材料からなる基板(3)上に金属層(9)を有する電子的構成部材。
- 拡散遮断層(7)が本質的に細孔不含である、請求項1記載の電子的構成部材。
- 拡散遮断層(7)が導電性である材料から完成されている、請求項1または2記載の電子的構成部材。
- 拡散遮断層(7)の材料がケイ化物、チタン窒化ケイ素またはタングステン窒化ケイ素である、請求項1から3までのいずれか1項記載の電子的構成部材。
- ケイ化物がケイ化タンタルまたはケイ化タングステンである、請求項4記載の電子的構成部材。
- 基板(3)の半導体材料が窒化ガリウムである、請求項1から5までのいずれか1項記載の電子的構成部材。
- 金属層(9)の金属が、元素の周期律表の第9族、第10族または第11族の金属、またはこれらの金属の少なくとも2つからなる混合物である、請求項1から6までのいずれか1項記載の電子的構成部材。
- 金属層(9)の材料が、白金、パラジウム、イリジウム、金、銀、ロジウムまたはこれらの金属の少なくとも2つからなる混合物である、請求項1から7までのいずれか1項記載の電子的構成部材。
- さらに、基板(3)と金属層(9)との間には、電気絶縁層(5)が収容されている、請求項1から8までのいずれか1項記載の電子的構成部材
- 電気絶縁層(5)がSi3N4から完成されている、請求項9記載の電子的構成部材。
- 金属層(9)が電極、殊にゲート電極である、請求項1から10までのいずれか1項記載の電子的構成部材。
- 拡散遮断層(7)上に付加的に保護層が塗布されている、請求項1から11までのいずれか1項記載の電子的構成部材。
- 付加的な保護層のための材料がSi3N4である、請求項1から12までのいずれか1項記載の電子的構成部材。
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