JP2010507232A - 石英ガードリング - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (19)
- 半導体基板処理において使用されるプラズマ反応チャンバのための電極組立体であって、
上部電極と、
前記上部電極の上面に取り付け可能な裏当て部材と、
前記裏当て部材の外側面を囲み、前記上部電極の上面の上に配置された外側リングと、
を備えることを特徴とする電極組立体。 - (a)前記外側リングは石英からなる、
(b)前記裏当て部材はアルミニウム又はアルミニウム合金からなる、
(c)前記上部電極は単結晶シリコンからなる、及び/又は、
(d)前記上部電極は内側電極及び外側電極を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の組立体。 - 前記外側電極は、外側電極リングを形成する複数のセグメントを含み、前記複数のセグメントの各々のインターフェースにおいて重なり合う表面を持つことを特徴とする請求項2に記載の組立体。
- (a)前記裏当て部材は内側裏当て部材及び外側裏当て部材を含む、
(b)結合材料が前記上部電極の前記上面を前記裏当て部材に取り付ける、及び/又は、
(c)前記上部電極は単結晶シリコンからなる、
ことを特徴とする請求項1に記載の組立体。 - 前記外側リングは長方形の断面を有することを特徴とする請求項1に記載の組立体。
- 前記外側リングは、上部垂直面及び下部傾斜面を含む内周面を有することを特徴とする請求項1に記載の組立体。
- 前記外側リングの下面は、前記上部電極の前記上面の外側に伸びていることを特徴とする請求項1に記載の組立体。
- (a)前記外側リングは長方形状の断面を有する、
(b)前記裏当て部材はアルミニウム又はアルミニウム合金からなる、
(c)前記上部電極は単結晶シリコンからなる、及び/又は、
(d)前記外側リングは石英からなる、
ことを特徴とする請求項7に記載の組立体。 - 半導体基板処理において使用されるプラズマ反応チャンバの電極組立体に使われるガードリングであって、前記電極組立体は、裏当て部材に結合されたシャワーヘッド電極を含み、閉じ込めリングが前記電極組立体を囲んでいて、前記ガードリングは、
前記裏当て部材の外周と前記閉じ込めリング組立体の内周との間に収められたガードリングを備え、前記ガードリングは前記上部電極の前記上面の上に横たわるように構成された下面を有することを特徴とするガードリング。 - 前記ガードリングは石英製であり、その内周にオプションでコーティングを含むことを特徴とする請求項9に記載のガードリング。
- 電極組立体の裏当て部材の周りにおいてガードリングをセンタリングする方法であって、前記裏当て部材は、半導体基板処理において使用されるプラズマ反応チャンバにおいてプラズマを生成するために使用される電極に結合されていて、前記方法は、
前記ガードリングの底面が上部電極の上面の上に横たわるように、前記ガードリングを前記裏当て部材の外側面の周りに配置する工程を含むことを特徴とする方法。 - 前記プラズマチャンバの中に前記電極組立体を設置する工程を含むことを特徴とする請求項11に記載の方法。
- 請求項1に記載の前記電極組立体を含むプラズマチャンバにおいて半導体基板を処理する方法であって、
前記プラズマチャンバの中であって上部電極からギャップをもって離れている下部電極の上に半導体基板を支持する工程と、
処理ガスを前記ギャップの中に供給し、前記処理ガスにエネルギーを与えてプラズマにする工程と、
前記プラズマで半導体基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記プラズマはプラズマ閉じ込めリング組立体によって前記ギャップの中に閉じ込められ、処理中に前記電極組立体と前記プラズマ閉じ込めリング組立体との距離が前記外側リングによって所定の距離に維持されることを特徴とする請求項13記載の方法。
- 前記外側リングは、前記裏当て部材と前記上部電極との間の結合を前記プラズマが攻撃することを防ぐことを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記処理はプラズマエッチングを含むことを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記処理中に、RFバイアスが前記半導体基板に印加されることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記処理中に、前記外側リングは、前記プラズマ閉じ込めリング組立体と同じ膨張率で熱膨張することを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記外側リング及び前記プラズマ閉じ込めリング組立体は石英製であることを特徴とする請求項14に記載の方法。
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