JP2010284904A - 液滴吐出装置、フラッシング制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】フラッシング処理時における液滴吐出部の乾燥を低減することができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズルから機能液を吐出する液滴吐出部と、前記液滴吐出部から吐出された前記液滴を受けるフラッシング部と、前記フラッシング部で受けた前記機能液を吸引する吸引部と、前記吸引部の吸引圧力を制御する制御部と、を備えた。
【選択図】図４

Description

本発明は、液滴吐出装置、フラッシング制御方法に関する。

従来、液滴吐出部から機能液を液滴として吐出して、所望のパターンを形成する液滴吐出装置が知られている。当該液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドに、パターン形成とは別の駆動信号を印加して液滴を吐出させる機能を備えている。これは通常、フラッシング処理と呼ばれており、例えば、液滴吐出部における機能液のメニスカス形状を整えたり、ワイピングにより混色した機能液を液滴吐出により排出させたり、機能液の増粘による目詰まりを防止する目的で一定周期ごとに実行させる処理である。当該フラッシング処理を可能とするため、液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドから吐出される機能液を受けるフラッシング部と、フラッシング部に負圧を与えて、フラッシング部で受けた機能液を吸引する吸引ポンプ等を備えた液滴吐出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開平１０−１８１０４４号公報

しかしながら、近年、液滴吐出装置に用いる機能液の種類が多様化し、例えば、使用される機能液の粘度が比較的高い場合には、フラッシング処理において、フラッシング部に負圧を与えた状態で液滴吐出を行うと、負圧によって液滴吐出部周辺に空気の流れが発生し、これにより液滴吐出部におけるノズル面の乾燥が進み、機能液が増粘しやすくなり、液滴吐出時の液滴の飛行曲がりや不吐出等の不具合が発生してしまう、という課題があった。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出装置は、ノズルから機能液を吐出する液滴吐出部と、前記液滴吐出部から吐出された前記機能液を受けるフラッシング部と、前記フラッシング部で受けた前記機能液を吸引する吸引部と、前記吸引部の吸引圧力を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、吸引部の吸引圧力を制御することにより、フラッシング部にかかる負圧量を制御することができる。すなわち、液滴吐出部周辺における空気の流れ込み量を調整することが可能となり、液滴吐出部のノズルの乾燥速度を抑制することができる。

［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記液滴吐出部から前記フラッシング部に向けて吐出される前記機能液の量に応じて、前記吸引圧力を制御することを特徴とする。

この構成によれば、吐出される機能液の量に応じて、吸引部の吸引圧力を制御することにより、フラッシング部で受けた廃液の回収効率と液滴吐出ヘッドのノズルの乾燥抑制を効率良く行うことができる。

［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記液滴吐出部から前記フラッシング部に向けて吐出される前記機能液の量が少ないほど、前記フラッシング部に対する前記吸引圧力を弱めることを特徴とする。

この構成によれば、液滴吐出部から吐出される機能液の量が少ない場合には、ノズル面の乾燥がより速く進行しやすいため、吸引圧力を弱めることにより、ノズル面の乾燥進行速度を遅くすることができる。

［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記液滴吐出部が前記フラッシング部に対向している場合には、前記フラッシング部に対する前記吸引圧力の付与を停止させ、前記液滴吐出部が前記フラッシング部に対向していない場合には、前記フラッシング部に対する前記吸引圧力の付与を実行させることを特徴とする。

この構成によれば、液滴吐出部がフラッシング部に対向している場合に、吸引圧力の付与を停止することにより、ノズルの乾燥を防止することができる。また、液滴吐出部がフラッシング部に対向していない場合に、吸引圧力の付与を実行させることにより、フラッシング部で受けた廃液を回収することができる。

［適用例５］本適用例にかかる液滴吐出装置のフラッシング制御方法は、ノズルから機能液を吐出する液滴吐出部と、前記液滴吐出部から吐出された前記機能液を受けるフラッシング部と、前記フラッシング部で受けた前記機能液を吸引する吸引部と、前記吸引部の吸引圧力を制御する制御部と、を有する液滴吐出装置のフラッシング制御方法であって、前記液滴吐出部から前記フラッシング部に向けて吐出される前記機能液の量に応じて、前記吸引圧力を制御することを特徴とする。

この構成によれば、吐出される機能液の量に応じて、吸引部の吸引圧力を制御することにより、フラッシング部で受けた廃液の回収効率と液滴吐出ヘッドのノズルの乾燥抑制を効率良く行うことができる。

液滴吐出装置の構成を示す斜視図。 吐出ヘッドの構成を示す断面図。 液滴吐出装置の電気制御ブロック図。 フラッシングユニットの構成を示す概略図。 フラッシング制御方法を示すフローチャート。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。

（液滴吐出装置の構成）
まず、液滴吐出装置の構成について説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。図１に示すように、液滴吐出装置１には、直方体形状に形成される基台２が備えられている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。

基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するテーブル及びワーク移動テーブルとしてのステージ４が取り付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モーター（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モーターに入力されると、Ｙ軸モーターが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。

さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。

そのステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には、図示しない吸引式の基材チャック機構が設けられている。そして、載置面６に基材７を載置すると、基材チャック機構によって、その基材７が載置面６の所定位置に位置決め固定されるようになっている。

基台２のＸ方向両側には、一対の支持台８ａ，８ｂが立設され、その一対の支持台８ａ，８ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材９が架設されている。案内部材９は、その長手方向の幅がステージ４のＸ方向よりも長く形成され、その一端が支持台８ａ側に張り出すように配置されている。案内部材９の上側には、吐出する液体を供給可能に収容する収容タンク１０が配設されている。一方、その案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１１がＸ方向全幅にわたり凸設されている。

案内レール１１に沿って移動可能に配置されるキャリッジ１２は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１２の直動機構は、例えば案内レール１１に沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モーター（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モーターに入力すると、Ｘ軸モーターが正転又は逆転して、キャリッジ１２が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。案内部材９とキャリッジ１２との間には、副走査位置検出装置１３が配置され、キャリッジ１２の位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ１２の下面（ステージ４側の面）には、液滴吐出部としての吐出ヘッド１４が凸設されている。

基台２の片側の一方（図中Ｘ方向の逆方向）には、保守用基台１５が配置されている。保守用基台１５の上面１５ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１６ａ，１６ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その保守用基台１５の上側には、一対の案内レール１６ａ，１６ｂに対応する図示しない直動機構を備えた移動手段を構成する保守ステージ１７が取り付けられている。その保守ステージ１７の直動機構は、例えばステージ４と同様の直動機構であり、Ｙ方向に沿って往動又は、復動するようになっている。

保守ステージ１７の上には、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０が配置されている。フラッシングユニット１８は、吐出ヘッド１４内の流路を洗浄するとき、吐出ヘッド１４から吐出する液滴を受ける装置である。吐出ヘッド１４内に固形物が混入した場合に、固形物を吐出ヘッド１４から排除するため、吐出ヘッド１４から液滴を吐出して洗浄する。この液滴を受ける機能をフラッシングユニット１８が行う。なお、フラッシングユニット１８の詳細な構成については後述する。

キャッピングユニット１９は、吐出ヘッド１４に蓋をする装置である。吐出ヘッド１４から吐出する液滴は、揮発性を有する場合があり、吐出ヘッド１４に内在する機能液の溶媒がノズルから揮発すると、機能液の粘度が変わり、ノズルが目詰まりすることがある。キャッピングユニット１９は、吐出ヘッド１４に蓋をすることで、ノズルが目詰まりすることを防止するようになっている。

ワイピングユニット２０は、吐出ヘッド１４のノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。ノズルプレートは、吐出ヘッド１４において、基材７と対向する側の面に配置されている部材である。ノズルプレートに液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と基材７とが接触して、基材７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。ワイピングユニット２０は、ノズルプレートを拭くことにより、基材７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。

保守用基台１５と基台２との間には、重量測定装置２２が配置されている。重量測定装置２２には、電子天秤が２台設置され、各電子天秤には、受け皿が配置されている。液滴が、吐出ヘッド１４から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の重量を測定するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。電子天秤は、吐出ヘッド１４が液滴を吐出する前後で、受け皿の重量を測定し、吐出前後の受け皿の重量の差分を測定している。

キャリッジ１２が、案内レール１１に沿って、Ｘ方向に移動することにより、吐出ヘッド１４は、ヘッドクリーニング部２１、重量測定装置２２、基材７と対向する場所に移動し、液滴を吐出することができるようになっている。ヘッドクリーニング部２１は、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０を含み、保守ステージ１７が、案内レール１６ａ，１６ｂに沿って移動することにより、吐出ヘッド１４と対向する場所に、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０のいずれか一つの装置が配置されるようになっている。

（吐出ヘッドの構成）
図２は、吐出ヘッドの構成を示す断面図である。図２に示すように、吐出ヘッド１４は、ノズルプレート３０を備え、ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であってノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ３２が形成されている。そして、吐出ヘッド１４のキャビティ３２には、収容タンク１０に貯留されている機能液３３が供給される。

キャビティ３２の上側には、上下方向（Ｚ方向：縦振動）に振動して、キャビティ３２内の容積を拡大縮小する振動板３４と、上下方向に伸縮して振動板３４を振動させる加圧手段としての圧電素子３５が配設されている。圧電素子３５が上下方向に伸縮して振動板３４を振動し、振動板３４がキャビティ３２内の容積を拡大縮小してキャビティ３２を加圧する。それにより、キャビティ３２内の圧力が変動し、キャビティ３２内に供給された機能液３３は、ノズル３１を通って吐出されるようになっている。

そして、吐出ヘッド１４が圧電素子３５を制御駆動するための駆動信号を受けると、圧電素子３５が伸張して、振動板３４がキャビティ３２内の容積を縮小する。その結果、吐出ヘッド１４のノズル３１からは、縮小した容積分の機能液３３が液滴３６として吐出される。なお、本実施形態では、加圧手段として、縦振動型の圧電素子３５を用いたが、特に、これに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子を用いてもよい。また、圧力発生手段として、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用してもよい。さらには、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液を液滴として吐出させる構成を有する吐出ヘッドであってもよい。

（電気制御の構成）
図３は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図３において、液滴吐出装置１はプロセッサーとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）４０と、各種情報を記憶するメモリー４１とを有する。

主走査駆動装置４２、副走査駆動装置４３、主走査位置検出装置５、副走査位置検出装置１３、吐出ヘッド１４を駆動するヘッド駆動回路４４は、入出力インターフェース４５およびバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。さらに、入力装置４７、ディスプレイ４８、図１に示す重量測定装置２２を構成する電子天秤４９、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０も入出力インターフェース４５およびバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。同じく、ヘッドクリーニング部２１において、１つのユニットを選択するクリーニング選択装置５０も入出力インターフェース４５およびバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。

主走査駆動装置４２は、ステージ４の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置４３は、キャリッジ１２の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置５が、ステージ４の位置を認識し、主走査駆動装置４２が、ステージ４の移動を制御することにより、ステージ４を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１３が、キャリッジ１２の位置を認識し、副走査駆動装置４３が、キャリッジ１２の移動を制御することにより、キャリッジ１２を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。

入力装置４７は、液滴を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基材７に液滴を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ４８は、加工条件や、作業状況を表示する装置であり、操作者は、ディスプレイ４８に表示される情報を基に、入力装置４７を用いて操作を行う。

電子天秤４９は、吐出ヘッド１４が吐出する液滴を受ける、受け皿の重量を測定する装置である。液滴が吐出される前後の受け皿の重量を測定して、測定値をＣＰＵ４０に送信する。図１に示す重量測定装置２２は、受け皿と電子天秤４９などから構成される。

クリーニング選択装置５０は、ヘッドクリーニング部２１であるフラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０から１つの装置を選択して、吐出ヘッド１４と対向する場所に移動する装置である。

メモリー４１は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリーや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５１を記憶する記憶領域や、基材７内における吐出位置の座標データである吐出位置データ５２を記憶するための記憶領域が設定される。さらに、基材７を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１２を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ４０のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。

ＣＰＵ４０は、メモリー４１内に記憶されたプログラムソフト５１に従って、基材７における表面の所定位置に機能液を液滴吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、電子天秤４９を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部５３と、吐出ヘッド１４によって液滴を吐出するための演算を行う吐出演算部５４を有する。

吐出演算部５４を詳しく分割すれば、吐出ヘッド１４を液滴吐出のための初期位置へセットするための吐出開始位置演算部５５を有する。さらに、吐出演算部５４は、基材７を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部５６を有する。加えて、吐出演算部５４は、吐出ヘッド１４を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部５７を有する。さらに、吐出演算部５４は吐出ヘッド１４内の複数あるノズルのうちのいずれを作動させて機能液を吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部５８等といった各種の機能演算部を有する。

（フラッシングユニットの構成）
次に、フラッシングユニットの構成について説明する。図４は、フラッシングユニットの構成を示す模式図である。フラッシングユニット１８は、吐出ヘッド１４から吐出される液滴３６（機能液）を捕獲する液滴吸収材６０ａと、液滴吸収材６０ａを収納し、捕獲した液滴３６を機能液として保持する液滴受け皿６０ｂとを有するフラッシング部６０と、フラッシング部６０で受けた機能液を配管６３を介して吸引する吸引部としての吸引ポンプ６２と、配管６５を介して吸引ポンプ６２によって吸引された機能液を収容する廃液タンク６４等を備えている。

フラッシング部６０に対する吸引ポンプ６２の吸引圧力は、制御部としてのＣＰＵ（演算処理装置）４０によって制御されている。具体的には、吐出ヘッド１４からフラッシング部６０に向けて吐出される機能液の量に応じて、吸引圧力が制御される。例えば、液滴吐出装置１の載置面６に基材７を搭載し、位置合わせを行い、基材７を載置面６に吸着している間は、吐出ヘッド１４は、待機状態となる。このとき、ノズル３１の機能液が増粘しないように定期的に液滴を吐出（待機フラッシング）する必要がある。この場合、吐出ヘッド１４から吐出される液滴量は、比較的少量のため、吸引圧力を弱めるように吸引ポンプ６２の吸引圧力を制御する。これにより、ノズルプレート３０の面の乾燥を抑制し、機能液の増粘を防止することができる。また、フラッシング部６０で受けた機能液の量は比較的少ないので、吸引圧力が弱くても、確実に機能液を回収することができる。

一方、液滴吐出装置１において液滴吐出駆動が長時間行われなかった後に、基材７に向けて液滴３６を吐出するような場合には、ノズルプレート３０のノズル３１における機能液が増粘しているため、先述の待機フラッシングに比べ、より多くの機能液を吐出（描画前フラッシング）する必要がある。この場合、待機フラッシングにおける吸引圧力よりも、強い吸引圧力となるように吸引ポンプ６２の吸引圧力を制御する。これにより、フラッシング部６０に液滴吐出された機能液のオーバーフローを防止し、効率良く廃液を回収することができる。なお、描画前フラッシングでは、多量の液滴を吐出するため、吸引圧力によるノズルプレート３０の乾燥の進行が遅くなり、機能液の増粘も進行しない。このため、機能液の増粘よりもフラッシング部６０で受けた機能液の回収を優先的に行う。

（フラッシング制御方法）
次に、フラッシング制御方法について説明する。図５は、フラッシング制御方法を示すフローチャートである。

まず、ステップＳ１では、プログラムソフト５１に基づいて、ＣＰＵ４０から副走査駆動装置４３に制御信号を送信し、キャリッジ１２をヘッドクリーニング部２１側（Ｘ方向）に移動させるとともに、フラッシングユニット１８を移動させ、吐出ヘッド１４とフラッシング部６０とが対向する所定の位置で停止させる。

ステップＳ２では、フラッシングにおける吐出ヘッド１４から吐出される液滴量（機能液）が、少量か否かを判断する。本実施形態では、待機フラッシング（液滴量（機能液）：小量）か否かを判断する。待機フラッシングである場合（ＹＥＳ）には、ステップＳ３に移行し、待機フラッシングでない場合（ＮＯ）には、ステップＳ４に移行する。

ステップＳ３では、フラッシング部６０に対する吸引圧力が弱くなるように吸引ポンプ６２を駆動させ、フラッシング部６０に負圧を付与する。

ステップＳ４では、フラッシング部６０に対する吸引圧力が強くなるように吸引ポンプ６２を駆動させ、フラッシング部６０に負圧を付与する。

ステップＳ５では、ＣＰＵ４０からヘッド駆動回路４４を介して吐出ヘッド１４に駆動信号を送信し、当該駆動信号に基づいて、吐出ヘッド１４からフラッシング部６０に向けて液滴３６を吐出する。吐出された液滴３６は、液滴吸収材６０ａによって捕獲され、液滴受け皿６０ｂによって機能液として保持される。そして、吸引ポンプ６２の吸引圧力によってフラッシング部６０で受けた機能液を吸引し、吸引された機能液は、廃液タンク６４に廃液として収容される。

従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。

吐出ヘッド１４からフラッシング部６０に向けて吐出される機能液の量に応じて、フラッシング部６０に対する吸引圧力を制御した。吐出される機能液の量が少ない場合には、フラッシング部に対する前記吸引圧力を弱め、吐出される機能液の量が多い場合には、フラッシング部に対する前記吸引圧力を強めた。これにより、フラッシング部で受けた廃液の回収効率と吐出ヘッドのノズル３１における機能液の乾燥抑制を行うことができる。

なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。

（変形例１）上記実施形態では、吐出ヘッド１４からフラッシング部６０に向けて吐出される機能液の量の判断基準を、待機フラッシングと描画前フラッシングの２者択一で判断したが、これに限定されない。例えば、吐出される液滴量の判断基準を３つ以上設けてもよい。このようにすれば、さらに、正確にノズル３１における機能液の増粘を防止することができる。

（変形例２）上記実施形態では、吐出ヘッド１４とフラッシング部６０とが対向した状態において、吸引ポンプ６２を駆動させ、フラッシング部６０で受けた機能液を吸引したが、これに限定されない。例えば、吐出ヘッド１４がフラッシング部６０に対向している場合には、フラッシング部６０に対する吸引圧力の付与を停止させ、すなわち、吸引ポンプ６２を停止させ、吐出ヘッド１４がフラッシング部６０に対向していない場合に、フラッシング部６０に対する吸引圧力の付与を実行、すなわち、吸引ポンプ６２を駆動させてもよい。このようにすれば、吐出ヘッド１４からフラッシング部６０に向けて液滴を吐出しているときには、吸引圧力が付与されないため、吐出ヘッド１４のノズル３１の機能液の乾燥を防止することができる。

（変形例３）上記実施形態の液滴吐出装置１では、機能液としてのカラーフィルター用の液状材料、有機ＥＬ用の液状材料、ＵＶ硬化性の液状材料、基板配線用の液状材料等それぞれの液状材料毎に適用することができる。また、本実施形態では、平坦な表面を有する基材７を例に説明したが、これに限定されず、表面に凹凸を有する様々な部材にも適用することができる。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。

１…液滴吐出装置、１７…保守ステージ、１８…フラッシングユニット、２１…ヘッドクリーニング部、３０…ノズルプレート、３１…ノズル、３３…機能液、３６…液滴、４０…ＣＰＵ、４１…メモリー、４２…主走査駆動装置、４３…副走査駆動装置、４４…ヘッド駆動回路、５０…クリーニング選択装置、５１…プログラムソフト、６０…フラッシング部、６０ａ…液滴吸収材、６０ｂ…液滴受け皿、６２…吸引ポンプ、６４…廃液タンク。

Claims (5)

1. ノズルから機能液を吐出する液滴吐出部と、
   前記液滴吐出部から吐出された前記機能液を受けるフラッシング部と、
   前記フラッシング部で受けた前記機能液を吸引する吸引部と、
   前記吸引部の吸引圧力を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
2. 請求項１に記載の液滴吐出装置において、
   前記制御部では、
   前記液滴吐出部から前記フラッシング部に向けて吐出される前記機能液の量に応じて、前記吸引圧力を制御することを特徴とする液滴吐出装置。
3. 請求項２に記載の液滴吐出装置において、
   前記制御部では、
   前記液滴吐出部から前記フラッシング部に向けて吐出される前記機能液の量が少ないほど、前記フラッシング部に対する前記吸引圧力を弱めることを特徴とする液滴吐出装置。
4. 請求項１に記載の液滴吐出装置において、
   前記制御部では、
   前記液滴吐出部が前記フラッシング部に対向している場合には、前記フラッシング部に対する前記吸引圧力の付与を停止させ、
   前記液滴吐出部が前記フラッシング部に対向していない場合には、前記フラッシング部に対する前記吸引圧力の付与を実行させることを特徴とする液滴吐出装置。
5. ノズルから機能液を吐出する液滴吐出部と、
   前記液滴吐出部から吐出された前記機能液を受けるフラッシング部と、
   前記フラッシング部で受けた前記機能液を吸引する吸引部と、
   前記吸引部の吸引圧力を制御する制御部と、を有する液滴吐出装置のフラッシング制御方法であって、
   前記液滴吐出部から前記フラッシング部に向けて吐出される前記機能液の量に応じて、前記吸引圧力を制御することを特徴とする液滴吐出装置のフラッシング制御方法。

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