JP2010266176A - 多室型熱処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】多室型熱処理装置において、熱処理室間における受渡しの際に熱処理対象物が冷却されることおよび受渡し環境が汚染されることを抑制する。
【解決手段】複数の熱処理室間にて熱処理対象物Ｘを受渡しを行う受渡し装置５を備え、該受渡し装置５は、前記熱処理室において加熱された前記熱処理対象物Ｘを保温する保温手段を備え、該保温手段は、前記受渡し装置５に収容された前記熱処理対象物Ｘを囲う断熱室５ｈと、該断熱室５ｈの内部に配置されるヒータ５ｉを備える。
【選択図】図３

Description

本発明は、予熱室を含む複数の熱処理室間にて熱処理対象物の受渡しを行う受渡し装置を備える多室型熱処理装置に関するものである。

周知のように、焼入れやロウ付けを目的として、様々な部材に対して熱処理が施されている。このような部材に対して熱処理を行う熱処理装置としては、複数の部材を連続して流しながら熱処理を行う連続炉等が知られている。

ところが、熱処理装置においては、形状や材質の異なる部材を熱処理する場合がある。このような場合には、各部材に対する熱処理時間が異なることとなるが、いずれかの部材に対する熱処理が長時間に及ぶ場合には、その間、他の部材の熱処理を停止させる必要が生じる。また、連続炉においては、熱処理を行うライン途中で何らかの不足事態により熱処理を停止した場合には、ライン全体を停止させる必要が生じる。
このように、連続炉においては、大量の部材を熱処理する場合には、熱処理を停止せざるを得ない状態が生じやすい。

これに対して、特許文献１及び２には、主搬送室周りに複数の熱処理室を配置し、主搬送室を介して部材を各熱処理室に搬送する多室型燃焼装置が提案されている。
このような多室型燃焼装置によれば、各燃焼室において並行して部材を熱処理することができると共に、いずれかの熱処理室において長時間の熱処理を行う場合や何らかの不足事態によって熱処理を停止する場合であっても、他の熱処理室における熱処理を停止する必要がない。
したがって、特許文献１及び２において提案された多室型燃焼装置によれば、大量の部材を効率的に熱処理することができる。

特開平８−１７８５３５号公報 特開２００４−３７０７７号公報

ところで、熱処理装置においては、加熱室における熱処理を短時間で効率的に行うために、予め部材を予熱する場合がある。
しかしながら、上述の多室型燃焼装置において、熱処理の予熱を行う場合には、予熱された部材が一旦主搬送室に渡され、主搬送室から各熱処理室に搬送される。このため、予熱された部材が主搬送室において冷却されてしまう。
また、通常、加熱室において加熱された部材は、冷却室において冷却されることとなる。そして、この場合においても、加熱された部材が一旦主搬送室に渡され、主搬送室から冷却室に搬送される。このため、加熱された部材が主搬送室において冷却されてしまう。
つまり、多室型燃焼装置においては、熱処理室間における部材の受渡しの際に部材が冷却される。このような受渡しの際の部材の冷却は、部材の熱処理サイクルに含まれるものではないため、熱処理によって求められる部材の特性が変化する虞がある。

また、受渡しの際に部材が冷却されるということは、受渡しの際の環境が部材温度よりも低いことを示す。このため、部材の受渡し環境は、部材の受渡しの際に部材からの熱により高温化し、部材の受渡し後に低温化する。このため、高温化された際に気化ガスが流入すると、低温化された場合に気化ガスが固化して付着物となり、受渡し環境が汚染される虞がある。このような付着物は、次の部材の受渡しにおいて気化して当該部材に付着する虞がある。

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、以下の点を目的とするものである。
（１）多室型熱処理装置において、熱処理室間における受渡しの際に熱処理対象物が冷却されることを抑制し、熱処理によって所望の特性の熱処理対象物を得る。
（２）多室型熱処理装置において、熱処理対象物の受渡し環境が汚染されることを抑制する。

本発明は、上記課題を解決するための手段として、以下の構成を採用する。

第１の発明は、複数の熱処理室間にて熱処理対象物の受渡しを行う受渡し装置を備える多室型熱処理装置であって、上記受渡し装置が、上記熱処理室において加熱された上記熱処理対象物を保温する保温手段を備えるという構成を採用する。

第２の発明は、上記第１の発明において、上記保温手段が、上記受渡し装置に収容された上記熱処理対象物を囲う断熱室と、該断熱室の内部に配置されるヒータとを備えるという構成を採用する。

第３の発明は、上記第２の発明において、上記受渡し装置が上記熱処理対象物の搬送を行う搬送手段を備え、上記断熱室が、上記熱処理対処物の出入用に開口された開口領域を有すると共に上記搬送手段に固定される搬送手段固定部と、上記搬送手段の外部に配置されると共に上記搬送手段が待機位置とされた場合に上記搬送手段固定部の開口領域を塞ぐ蓋部とを備えるという構成を採用する。

第４の発明は、上記第３の発明において、上記搬送手段固定部が上記開口領域として、熱処理対象物の出入方向に開口された出入用開口領域を備え、上記蓋部として、上記搬送手段が待機位置とされた場合に上記出入用開口領域を塞ぐ出入方向蓋部を備えるという構成を採用する。

第５の発明は、上記第３または第４の発明において、上記蓋部として、上記熱処理対象物が上記断熱室内に収容されていない場合に移動されて上記開口領域を塞ぐ移動蓋部を備えるという構成を採用する。

第６の発明は、上記第３〜第５いずれかの発明において、上記搬送手段が待機位置である場合に上記ヒータと電気的に接続されると共に上記ヒータに給電する給電手段を備えるという構成を採用する。

第７の発明は、上記第１〜第６いずれかの発明において、上記熱処理室として、加熱環境における上記熱処理対象物の予熱が行なわれる予熱室と、加熱環境における上記熱処理対象物の加熱処理が行われる複数の加熱室と、冷却環境における上記熱処理対象物の冷却処理が行われる冷却室とを備えるという構成を採用する。

本発明によれば、受渡し装置による熱処理対象物の受渡しの際に、保温手段によって上記熱処理室において加熱された上記熱処理対象物が保温される。したがって、本発明によれば、熱処理室間における受渡しの際に熱処理対象物が冷却されることを抑制し、熱処理によって所望の特性の熱処理対象物を得ることができる。
また、保温手段によって熱処理対象物の受渡し環境の低温化が防がれるため、気化ガスが固化することを抑制し、熱処理対象物の受渡し環境が汚染されることを抑制することが可能となる。

本発明の一実施形態における多室型熱処理装置の概略構成を示す平面図である。 図１におけるＡ−Ａ線断面図である。 図１におけるＢ−Ｂ線断面図である。 本発明の一実施形態における多室型熱処理装置が備える予熱装置をワークの出し入れ方向から見た断面図である。 本発明の一実施形態における多室型熱処理装置が備える冷却装置の断面図である。 本発明の一実施形態における多室型熱処理装置が備える受渡し装置をワークの出し入れ方向から見た断面図である。 本発明の一実施形態における多室型熱処理装置が備えるターンテーブル装置固定断熱部の上部を拡大した図である。 本発明の一実施形態における多室型熱処理装置が備える支持部を下方から見た図である。 本発明の一実施形態における多室型熱処理装置の運転例を示す図である。 本発明の一実施形態における多室型熱処理装置の他の運転例を示す図である。

以下、図面を参照して、本発明に係る多室型熱処理装置の一実施形態について説明する。なお、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。

図１は、本実施形態の多室型熱処理装置１の概略構成を示す平面図である。また、図２は、図１におけるＡ−Ａ線断面図である。また、図３は、図１におけるＢ−Ｂ線断面図である。
これらの図に示すように、本実施形態の多室型熱処理装置１は、予熱装置２と、複数の加熱装置３（３１〜３３）と、冷却装置４と、受渡し装置５とを備えている。

予熱装置２は、本実施形態の多室型熱処理装置１に熱処理対象物であるワークＸを装入する箇所として構成され、ワークＸを加熱環境において予熱してから受渡し装置５に受け渡すものである。
図４は、予熱装置２をワークＸの出入方向から見た断面図である。そして、当該図４及び図２に示すように、予熱装置２は、チャンバ２ａ（予熱室）と、搬入扉２ｂと、昇降部２ｃと、搬出扉２ｄと、昇降部２ｅと、断熱室２ｆと、床部２ｇと、ヒータ２ｈと、ファン２ｉと、モータ２ｊと、レール２ｋとを備えている。

チャンバ２ａは、内部において加熱環境におけるワークＸの予熱が行われるものであり、略円筒形状を有している。そして、チャンバ２ａの両側には、昇降部２ｃによって開閉可能とされた搬入扉２ｂと、昇降部２ｅによって開閉可能とされた搬出扉２ｄとが設置されている。
なお、チャンバ２ａには不図示の真空ポンプと窒素ガス供給装置が接続されており、チャンバ２ａの内部が窒素ガスによってパージ可能に構成されている。

断熱室２ｆは、チャンバ２ａの内部に配置されており、搬入扉２ｂ及び搬出扉２ｄによって開閉される開口部を有している。
そして、当該断熱室２ｆの内部には、受け板と当該受け板を支えるパイプ形状の支持部材からなる床部２ｇが設置されており、ワークＸを収納可能に構成されている。なお、床部２ｇは、後述する受渡し装置５が備えるフォーク５ｆが上下に通過可能とするために、ワークＸの出入方向に延在する受け板部材が当該出入方向と直交する水平方向に間隔を空けて配列されて構成されている。
また、断熱室２ｆの内部には、ワークＸの収納領域を囲ってヒータ２ｈが配設されている。
さらに断熱室２ｆの内部には、当該断熱室２ｆの内部を攪拌するファン２ｉが設置されている。そして、このファン２ｉは、チャンバ２ａに固定されるモータ２ｊによって駆動される。

レール２ｋは、後述する受渡し装置５の台車５ｄが走行するためのものであり、チャンバ２ａの下方であって、搬出扉２ｄ側に突出するように延在して敷設されている。

加熱装置３は、受渡し装置５から渡されたワークＸを加熱環境において加熱処理してから再度受渡し装置５に受け渡すものである。なお、本実施形態の多室型熱処理装置１は、図１に示すように、３つの加熱装置３１〜３３を有している。これらの加熱装置３１〜３３の構成は同一であるため、ここでの加熱装置３の説明は、図２を参照して加熱装置３３の説明のみを行う。

加熱装置３は、チャンバ３ａ（加熱室）と、搬入出扉３ｂと、昇降部３ｃと、断熱室３ｄと、床部３ｅと、ヒータ３ｆと、レール３ｇと、メンテナンス用扉３ｈとを備えている。

チャンバ３ａは、内部において加熱環境におけるワークＸの加熱処理が行われるものであり、略円筒形状を有している。そして、チャンバ３ａの一方側（受渡し装置５側）には、昇降部３ｃによって開閉可能とされた搬入出扉３ｂが設置されている。
なお、チャンバ２ａにも不図示の真空ポンプと窒素ガス供給装置が接続されており、チャンバ３ａの内部が窒素ガスによってパージ可能に構成されている。

断熱室３ｄは、チャンバ３ａの内部に配置されており、搬入出扉３ｂによって開閉される開口部を有している。
そして、当該断熱室３ｄの内部には、受け板と当該受け板を支えるパイプ形状の支持部材からなる床部３ｅが設置されており、ワークＸを収納可能に構成されている。なお、床部３ｅは、後述する受渡し装置５が備えるフォーク５ｆが上下に通過可能とするために、ワークＸの出入方向に延在する受け板部材が当該出入方向と直交する水平方向に間隔を空けて配列されて構成されている。
また、断熱室３ｄの内部には、ワークＸの収納領域を囲ってヒータ３ｆが配設されている。

レール３ｇは、後述する受渡し装置５の台車５ｄが走行するためのものであり、チャンバ３ａの下方であって、搬入出扉３ｂ側に突出するように延在して敷設されている。
また、チャンバ３ａの他方側にはメンテナンス用扉３ｈが設置されており、当該メンテナンス用扉３ｈを開放することによって、チャンバ３ａの内部がメンテナンス可能に構成されている。

冷却装置４は、本実施形態の多室型熱処理装置１からワークＸを抽出する箇所として構成され、受渡し装置５から渡されたワークＸを冷却環境において冷却処理してから外部に抽出するものである。
図５は、冷却装置４の断面図である。この図に示すように、冷却装置４は、チャンバ４ａ（冷却室）と、搬出扉４ｂと、昇降部４ｃと、搬入扉４ｄと、昇降部４ｅと、整流室４ｆと、床部４ｇと、ファン４ｉと、モータ４ｊと、レール４ｋとを備えている。

チャンバ４ａは、内部において冷却環境におけるワークＸの冷却処理が行われるものであり、略円筒形状を有している。そして、チャンバ４ａの両側には、昇降部４ｃによって開閉可能とされた搬出扉４ｂと、昇降部４ｅによって開閉可能とされた搬入扉４ｄとが設置されている。
なお、チャンバ４ａには不図示の真空ポンプと窒素ガス供給装置が接続されており、チャンバ４ａの内部が窒素ガスによってパージ可能に構成されている。

整流室４ｆは、チャンバ４ａの内部に配置されており、搬出扉４ｂ及び搬入扉４ｄによって開閉される開口部を有している。
そして、当該整流室４ｆの内部には、受け板と当該受け板を支えるパイプ形状の支持部材からなる床部４ｇが設置されており、ワークＸを収納可能に構成されている。なお、床部４ｇは、後述する受渡し装置５が備えるフォーク５ｆが上下に通過可能とするために、ワークＸの出入方向に延在する受け板部材が当該出入方向と直交する水平方向に間隔を空けて配列されて構成されている。
さらに整流室４ｆの内部には、当該整流室４ｆの内部を攪拌するファン４ｉが設置されている。そして、このファン４ｉは、チャンバ４ａに固定されるモータ４ｊによって駆動される。

レール４ｋは、後述する受渡し装置５の台車５ｄが走行するためのものであり、チャンバ４ａの下方であって、搬入扉４ｄ側に突出するように延在して敷設されている。

受渡し装置５は、複数の熱処理室（予熱室、加熱室、冷却室）間においてワークＸの受渡しを行うものであり、本実施形態の多室型熱処理装置１においては、予熱室であるチャンバ２ａ内から加熱室であるチャンバ３ａ内へワークＸを受渡し、加熱室であるチャンバ３ａ内から冷却室であるチャンバ４ａへワークＸを受け渡す。

図６は、ワークＸの出入方向から見た受渡し装置５の断面図である。そして、図２、図３及び図６に示すように、受渡し装置５は、チャンバ５ａと、ターンテーブル装置５ｂと、レール５ｃと、台車５ｄと、昇降シリンダ５ｅと、フォーク５ｆと、支持脚５ｇと、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈ（搬送手段固定部）と、ヒータ５ｉと、出入方向用蓋部５ｊ（蓋部）、熱電対５ｋと、電極パッド５ｌと、ガイド穴５ｍと、支持部５ｎと、電極棒５ｏと、ガイド棒５ｐと、昇降シリンダ５ｑと、収納室５ｒと、断熱材付移動蓋部５ｓ（蓋部）と、移動部５ｔとを備えている。

チャンバ５ａは、ワークＸの移動領域を囲うものであり、予熱装置２のチャンバ２ａ、加熱装置３のチャンバ３ａ、及び冷却装置４のチャンバ４ａと接続されている。なお、チャンバ５ａには不図示の真空ポンプと窒素ガス供給装置が接続されており、チャンバ５ａの内部が窒素ガスによってパージ可能に構成されている。

ターンテーブル装置５ｂは、自らの上に載置されるレール５ｃや台車５ｄ等を水平面内において回転可能とするものであり、チャンバ５ａの内部に収容されている。
レール５ｃは、ターンテーブル装置５ｂ上に敷設されており、当該ターンテーブル装置５ｂによって回転されることによって、予熱装置２のレール２ｋ、加熱装置３のレール３ｇ、及び冷却装置４のレール４ｋと接続可能とされている。

台車５ｄは、レール５ｃ上を走行可能に構成されており、またレール４ｋと接続されたレール２ｋ、レール３ｇあるいはレール４ｋ上も走行可能に構成されている。
昇降シリンダ５ｅは、台車５ｄ上に設置されており、フォーク５ｆの昇降を行うものである。
フォーク５ｆは、レール５ｃと平行に延在されており、自らの上にワークＸを載置するものである。

そして、フォーク５ｆ上にワークＸが載置された状態で、ターンテーブル装置５ｂ、昇降シリンダ５ｅ及び台車５ｄが駆動されることによってワークＸが搬送される。つまり、本実施形態の多室型熱処理装置１においては、ターンテーブル装置５ｂ、昇降シリンダ５ｅ及び台車５ｄによって本発明の搬送手段が構成されている。

支持脚５ｇは、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈをフォーク５ｆの上方で支持するものであり、ターンテーブル装置５ｂ上に設置されている。

ターンテーブル装置固定断熱部５ｈは、自らの内部へのワークＸの出入用に開口された開口領域を有する箱型形状の断熱部材であり、支持脚５ｇを解してターンテーブル装置５ｂに固定されている。
そして、本実施形態において、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈは、ワークＸ自体を自らの内部へ出入可能とするために、上記開口領域として、ワークＸの出入方向に開口された出入用開口領域５ｈａを有する。また、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈは、フォーク５ｆ上に載置されたワークＸを出入可能とするために、底部に相当する領域に底部開口領域５ｈｂを有している。つまり、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈは、フォーク５ｆの先端側の側壁と床壁とが取り払われた箱型形状を有している。

ヒータ５ｉは、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈ内に設置されており、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈに収容されたワークＸを囲うように配設されている。

出入方向用蓋部５ｊは、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈの出入用開口領域５ｈａを塞ぐ断熱部材であり、ターンテーブル装置５ｂの回転位置が待機位置である場合に出入用開口領域５ｈａを閉じられるようにチャンバ５ａの内壁に固定されている。
なお、本実施形態においてターンテーブル装置５ｂの待機位置とは、図１に示すように、出入用開口領域５ｈａが収納室５ｒに向く位置である。
この出入方向用蓋部５ｊは、チャンバ５ａの内壁に固定されており、ターンテーブル装置５ｂ及び昇降シリンダ５ｅが移動した場合であっても、その空間位置が固定されている。そして、当該出入方向用蓋部５ｊに対して、熱電対５ｋが設置されている。この熱電対５ｋは、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈ内部の温度を測定するものである。

また、図７の拡大図に示すように、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈの上部には、ヒータ５ｉの電極パッド５ｌ及び、ガイド棒５ｐを案内するためのガイド穴５ｍが複数配置されている。
そして、図７及び図３に示すように、ターンテーブル装置５ｂが待機位置とされた場合におけるターンテーブル装置固定断熱部５ｈの上方には、昇降シリンダ５ｑによって昇降可能な支持部５ｎと、当該支持部５ｎに設置される電極棒５ｏ及びガイド棒５ｐとが設置されている。なお、図８に示すように、支持部５ｎには、正負の電極棒５ｏが設置され、当該電極棒５ｏを囲う三角形の頂点にガイド棒５ｐが設置されている。
なお、ガイド穴５ｍも、正負の電極パッド５ｌを囲う三角形の頂点に配置されている。また、電極棒５ｏは、電源Ａと電気的接続されている。そして、ターンテーブル装置５ｂが待機位置である状態で、昇降シリンダ５ｑによって支持部５ｎを下降させて電極棒５ｏを電極パッド５ｌと接触させることによって、ヒータ５ｉに対して給電が可能とされている。
つまり、本実施形態の多室型熱処理装置１においては、電極棒５ｏ、昇降シリンダ５ｑ及び電源Ａによって本発明の給電手段が構成されている。

図１及び図３に示すように、収納室５ｒは、チャンバ５ａから水平方向に突設されており、上述のようにターンテーブル装置５ｂが待機位置である場合に、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈの出入用開口領域５ｈａが向く方向に延在して設置されている。
断熱材付移動蓋部５ｓは、ターンテーブル装置５ｂが待機位置であり、かつ、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈ内にワークＸが収容されていない場合に、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈの底部開口領域５ｈｂを塞ぐ断熱部材である。そして、断熱材付移動蓋部５ｓは、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈの底部開口領域５ｈｂを塞がない場合には、収納室５ｒに収納される。
移動部５ｔは、断熱材付移動蓋部５ｓを、収納室５ｒと底部開口領域５ｈｂを塞ぐ位置との間で移動させるものである。

なお、本実施形態の多室型熱処理装置１においては、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈと、出入方向用蓋部５ｊと、断熱材付移動蓋部５ｓとによって、受渡し装置５に収容されたワークＸを囲う断熱室が形成される。
さらに、本実施形態の多室型熱処理装置１においては、上述のようにターンテーブル装置固定断熱部５ｈと、出入方向用蓋部５ｊと、断熱材付移動蓋部５ｓとによって形成される断熱室と、該断熱室の内部に配置されるヒータ５ｉとによって、予熱装置２によって予熱されたワークＸを保温する。つまり、本実施形態の多室型熱処理装置１においては、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈと、出入方向用蓋部５ｊと、断熱材付移動蓋部５ｓと、ヒータ５ｉとによって、本発明の保温手段が構成される。

次に、このように構成された本実施形態の多室型熱処理装置１の動作について説明する。なお、上述した本実施形態の多室型熱処理装置１の動作は、各構成要素に電気的接続された不図示の制御装置によって制御される。このため、以下の動作説明において、特に断りがない場合には、動作の主体者は制御装置である。また、制御装置は、操作盤等を介して入力される業者の指示の下、動作の制御を行う。

まず、ワークＸが装入されていない本実施形態の多室型熱処理装置１に対して、ロウ材の配置されたワークＸが装入される。
具体的には、予熱装置２の搬入扉２ｂが昇降部２ｃによって上昇されてチャンバ２ａ及び断熱室２ｆが開口された状態とされる。そして、作業者が、断熱室２ｆ内に設置された床部２ｇ上にワークＸを載置することによってワークＸの装入が行われる。

続いて、ワークＸが予熱装置２において脱気処理される。より詳細には、真空ポンプによってチャンバ２ａ内が真空雰囲気とされることによってワークＸの脱気処理が行われる。
そして、窒素ガス供給装置によってチャンバ２ａ内に窒素ガスが供給されることによってチャンバ２ａ内が不活性雰囲気とされた後、ヒータ２ｈに給電がなされることによって断熱室２ｆ内部の温度が、ロウ材の融点以下の温度である予熱温度とされ、これによって加熱雰囲気においてワークＸの予熱が行われる。

続いて、予熱が終了すると、ワークＸが受渡し装置５によって予熱装置２から搬出される。より詳細には、レール５ｃとレール２ｋとが接続されるようにターンテーブル装置５ｂが回転され、台車５ｄがレール５ｃ上及びレール２ｋ上を走行し、フォーク５ｆが床部２ｇに載置されたワークＸの下方に差し込まれる。次に昇降シリンダ５ｅがフォーク５ｆを上昇させることによってフォーク５ｆ上にワークＸが載置される。次に台車５ｄが元の位置まで走行することによって、フォーク５ｆ上に載置されたワークＸがターンテーブル装置固定断熱部５ｈ内に収容され、これによってワークＸが予熱装置２のチャンバ２ａ内から搬出される。

ここで、本実施形態の多室型熱処理装置１においては、予熱装置２からワークＸを搬出する前に、ターンテーブル装置５ｂが待機位置とされ、ヒータ５ｉに給電がなされる。また、出入方向用蓋部５ｊによってターンテーブル装置固定断熱部５ｈの出入用開口領域５ｈａが閉じられ、断熱材付移動蓋部５ｓによってターンテーブル装置固定断熱部５ｈの底部開口領域５ｈｂが閉じられる。これによって、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈの内部が上記予熱温度と同程度まで加熱されている。
したがって、チャンバ２ａ内から搬出されて、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈに収容されたワークＸは、受渡し装置５において冷却されることが抑制される。
なお、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈ内の温度は、熱電対５ｋからの出力に基づいて予熱温度に制御される。

続いて、受渡し装置５によって搬出されたワークＸは、加熱装置３に搬入される。より詳細には、ターンテーブル装置５ｂが、レール５ｃが加熱装置３のレール３ｇに接続されるように回転される。次に昇降部３ｃによって搬入出扉３ｂが上昇されると共に台車５ｄがレール５ｃ上及びレール３ｇ上を走行し、フォーク５ｆ上に載置されたワークＸがチャンバ３ａ内搬入される。次に昇降シリンダ５ｅによってフォーク５ｆが下降され、ワークＸがフォーク５ｆ上から床部３ｅ上に載置される。次に台車５ｄが元の位置に戻されると共に、搬入出扉３ｂが閉じられることによって、ワークＸが加熱装置３１に搬入される。

続いて、加熱装置３に搬入されたワークＸは、加熱装置３において加熱雰囲気で加熱処理される。
より詳細には、ヒータ３ｆによってワークＸがロウ材の融点以上に加熱されることによってロウ材が溶融され、再びロウ材の融点以下とされることによってロウ材が固着される。

なお、加熱装置３においてワークＸが加熱処理されている間に、次のワークＸが予熱装置２に装入されて予熱される。このため、受渡し装置５は、予熱装置２に予熱が終了したワークＸが存在する場合には、他の加熱装置３に予熱装置２内のワークＸを受け渡す。ただし、受渡し装置５は、加熱装置３に受け渡すワークＸが存在しない場合には、ターンテーブル装置５ｂを待機位置とし、ヒータ５ｉへの給電を行うと共に、出入用開口領域５ｈａを出入方向用蓋部５ｊで閉じ、底部開口領域５ｈｂを断熱材付移動蓋部５ｓで閉じることによって、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈの内部を予熱温度に維持する。

続いて、加熱装置３において加熱処理されたワークＸは、受渡し装置５によって搬出される。より詳細には、ターンテーブル装置５ｂが、レール５ｃが加熱装置３のレール３ｇに接続されるように回転される。次に昇降部３ｃによって搬入出扉３ｂが上昇されると共に台車５ｄがレール５ｃ上及びレール３ｇ上を走行し、フォーク５ｆがワークＸの下方に差し入れられる。そして、昇降シリンダ５ｅによってフォーク５ｆが上昇され、ワークＸが床部３ｅからフォーク５ｆ上に載置される。次に台車５ｄが元の位置に戻されると共に、搬入出扉３ｂが閉じられることによって、ワークＸが加熱装置３に搬出される。

ここで、本実施形態の多室型熱処理装置１においては、加熱装置３からワークＸを搬出する前に、ターンテーブル装置５ｂが待機位置とされ、ヒータ５ｉに給電がなされる。また、出入方向用蓋部５ｊによってターンテーブル装置固定断熱部５ｈの出入用開口領域５ｈａが閉じられ、断熱材付移動蓋部５ｓによってターンテーブル装置固定断熱部５ｈの底部開口領域５ｈｂが閉じられる。これによって、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈの内部が上記予熱温度と同程度まで加熱されている。
したがって、チャンバ３ａ内から搬出されて、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈに収容されたワークＸは、受渡し装置５において冷却されることが抑制される。

続いて、受渡し装置５に加熱装置３から搬出されたワークＸは、冷却装置４に搬入される。より詳細には、ターンテーブル装置５ｂが、レール５ｃが冷却装置４のレール４ｋに接続されるように回転される。次に昇降部４ｅによって搬入扉４ｄが上昇されると共に台車５ｄがレール５ｃ上及びレール４ｋ上を走行し、フォーク５ｆ上に載置されたワークＸがチャンバ４ａ内搬入される。次に昇降シリンダ５ｅによってフォーク５ｆが下降され、ワークＸがフォーク５ｆ上から床部４ｇ上に載置される。次に台車５ｄが元の位置に戻されると共に、搬入扉４ｄが閉じられることによって、ワークＸが冷却装置４に搬入される。

続いて、冷却装置４に搬入されたワークＸは、冷却装置４において冷却環境で冷却処理される。
より詳細には、冷却ガスがチャンバ４ａ内に供給され、このチャンバ４ａ内にワークＸが載置されることによってワークＸが冷却される。

そして、最後に冷却装置４において冷却されたワークＸが本実施形態の多室型熱処理装置１から抽出される。
より詳細には、昇降部４ｃによって搬出扉４ｂが上昇されて開けられ、これによって露出したワークＸが冷却装置４の外部に搬出されることによって、ワークＸの抽出が行われる。

なお、複数のワークＸ（Ｘ１〜Ｘ１０）を多室型熱処理装置１によって熱処理する場合の運転スケジュールの一例を図９及び図１０に示す。
図９及び図１０に示すように、本実施形態の多室型熱処理装置１においては、複数のワークＸに対する熱処理が並行して行われる。例えば、いずれかのワークＸが加熱装置３において加熱処理されている間に、他のワークＸを予熱あるいは冷却処理することができる。

本実施形態の多室型熱処理装置１によれば、受渡し装置５による熱処理対象物の受渡しの際に、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈと、出入方向用蓋部５ｊと、断熱材付移動蓋部５ｓと、ヒータ５ｉとによって、予熱装置２のチャンバ２ａ内あるいは加熱装置３のチャンバ３ａ内において加熱されたワークＸが保温される。したがって、本実施形態の多室型熱処理装置１によれば、予熱装置２のチャンバ２ａから加熱装置３のチャンバ３ａへの受渡し、加熱装置３のチャンバ３ａから冷却装置４のチャンバ４ａへの受渡しの際にワークＸが冷却されることを抑制し、熱処理によって所望の特性のワークＸを得ることができる。
また、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈと、出入方向用蓋部５ｊと、断熱材付移動蓋部５ｓと、ヒータ５ｉとによって、ワークＸの受渡し環境の低温化が防がれるため、気化ガスが固化することを抑制し、ワークＸの受渡し環境が汚染されることを抑制することが可能となる。

また、本実施形態の多室型熱処理装置１によれば、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈが、支持脚５ｇを解してターンテーブル装置５ｂに固定される構成を採用する。
このため、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈが常にフォーク５ｆと共に回転され、フォーク５ｆを出し入れすることによって容易にワークＸをターンテーブル装置固定断熱部５ｈに出し入れすることができる。
また、このような構成を採用することによって、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈにワークＸを出し入れする際の移動量を少なくすることができ、装置の小型化を図ることが可能となる。

また、本実施形態の多室型熱処理装置１によれば、ターンテーブル装置５ｂが待機位置とされた場合にターンテーブル装置固定断熱部５ｈを塞ぐ蓋部（出入方向用蓋部５ｊ、断熱材付移動蓋部５ｓ）を備える構成を採用した。
このような構成を採用することによって、待機状態においてターンテーブル装置固定断熱部５ｈから熱が逃げることを抑制し、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈにおける保温効率を高めることが可能となる。

また、本実施形態の多室型熱処理装置１によれば、ターンテーブル装置５ｂが待機位置である場合のみにヒータ５ｉに対して給電が行われる。
このため、常にヒータ５ｉに対して給電を行う必要がなく、配線の取り回しが容易となる。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

例えば、上記実施形態においては、熱処理室として、１つの予熱室と、１つの冷却室と、３つの加熱室を備える構成について説明した。
しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、予熱室、冷却室、加熱室の数を変更することも可能であり、また異なる種類の熱処理室を設けることも可能である。
例えば、受渡し装置５の上下に予熱室と冷却室とを設け、受渡し装置５の周囲に５つの加熱室を設置しても良い。また、熱処理室以外の処理室（例えば脱気室等）をさらに設置しても良い。
ただし、この場合には、受渡し装置５におけるワークＸの搬送機構も、上記変更に応じて変更されることとなる。つまり、上記実施形態における受渡し装置５の構成は、一例であり、他の構成を採用することもできる。

また、上記実施形態においては、保温手段として、ターンテーブル装置固定断熱部５ｈと、出入方向用蓋部５ｊと、断熱材付移動蓋部５ｓと、ヒータ５ｉを備える構成について説明した。
しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、チャンバ５ａの内部全体を予熱温度に加熱するような加熱手段を上記保温手段として備えることも可能である。

また、予熱装置２から加熱装置３にワークＸを移動する際に、先に待機位置でターンテーブル装置固定断熱部５ｈ内を予熱している場合には、ターンテーブル装置５ｂを再度、待機位置に止まらずにワークＸを受け渡しても良い。

１……多室型熱処理装置、２……予熱装置、２ａ……チャンバ（予熱室，熱処理室）、３（３１〜３３）……加熱装置、３ａ……チャンバ（加熱室，熱処理室）、４……冷却装置、４ａ……チャンバ（冷却室，熱処理室）、５……受渡し装置、５ａ……チャンバ、５ｂ……ターンテーブル装置、５ｃ……レール、５ｄ……台車、５ｅ……昇降シリンダ、５ｆ……フォーク、５ｇ……支持脚、５ｈ……ターンテーブル装置固定断熱部（搬送手段固定部）、５ｈａ……出入用開口領域（開口領域）、５ｈｂ……底部開口領域（開口領域）、５ｉ……ヒータ、５ｊ……出入方向用蓋部、５ｋ……熱電対、５ｌ……電極パッド、５ｍ……ガイド孔、５ｎ……支持部、５ｏ……電極棒、５ｐ……ガイド棒、５ｑ……昇降シリンダ、５ｒ……収納室、５ｓ……移動蓋部（蓋部）、５ｔ……移動部、Ａ……電源、Ｘ……ワーク（熱処理対象物）

Claims (7)

1. 複数の熱処理室間にて熱処理対象物の受渡しを行う受渡し装置を備える多室型熱処理装置であって、
   前記受渡し装置は、前記予熱室あるいは前記熱処理室において加熱された前記熱処理対象物を保温する保温手段を備えることを特徴とする多室型熱処理装置。
2. 前記保温手段は、前記受渡し装置に収容された前記熱処理対象物を囲う断熱室と、該断熱室の内部に配置されるヒータとを備えることを特徴とする請求項１記載の多室型熱処理装置。
3. 前記受渡し装置が前記熱処理対象物の搬送を行う搬送手段を備え、
   前記断熱室は、前記熱処理対処物の出入用に開口された開口領域を有すると共に前記搬送手段に固定される搬送手段固定部と、前記搬送手段の外部に配置されると共に前記搬送手段が待機位置とされた場合に前記搬送手段固定部の開口領域を塞ぐ蓋部とを備える
   ことを特徴とする請求項２記載の多室型熱処理装置。
4. 前記搬送手段固定部が前記開口領域として、熱処理対象物の出入方向に開口された出入用開口領域を備え、
   前記蓋部として、前記搬送手段が待機位置とされた場合に前記出入用開口領域を塞ぐ出入方向蓋部を備える
   ことを特徴とする請求項３記載の多室型熱処理装置。
5. 前記蓋部として、前記熱処理対象物が前記断熱室内に収容されていない場合に移動されて前記開口領域を塞ぐ移動蓋部を備えることを特徴とする請求項３または４記載の多室型熱処理装置。
6. 前記搬送手段が待機位置である場合に前記ヒータと電気的に接続されると共に前記ヒータに給電する給電手段を備えることを特徴とする請求項３〜５いずれかに記載の多室型熱処理装置。
7. 前記熱処理室として、加熱環境における前記熱処理対象物の予熱が行なわれる予熱室と、加熱環境における前記熱処理対象物の加熱処理が行われる複数の加熱室と、冷却環境における前記熱処理対象物の冷却処理が行われる冷却室とを備えることを特徴とする請求項１〜６いずれかに記載の多室型熱処理装置。

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