JP2010263011A - 化合物半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上方に、表面が(0001)面の第1の化合物半導体層13b、及び表面が(000−1)面の第2の化合物半導体層13aを互いに接するように形成し、第1の化合物半導体層13b上に第1の化合物半導体層13bよりも格子定数が小さい第3の化合物半導体層14bを形成し、第2の化合物半導体層13a上に第2の化合物半導体層13aよりも格子定数が小さい第4の化合物半導体層14aを形成する。また、前記第1の化合物半導体層に電位を付与する第1の電極、及び前記第2の化合物半導体層に電位を付与する第2の電極を形成する。
【選択図】図2
Description
先ず、第1の実施形態に係るダイオード(化合物半導体装置)の製造方法について説明する。図1A乃至図1Bは、第1の実施形態に係る化合物半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
次に、第2の実施形態に係る電界効果トランジスタ(化合物半導体装置)の製造方法について説明する。図2A乃至図2Cは、第2の実施形態に係る化合物半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
12、22:AlN層
12b、22b:開口部
13a、13b、23a、23b:i−GaN層
14a、14b、24a、24b:i−AlGaN層
15a:アノード電極
15c:カソード電極
16、27、28:パッシベーション膜
25a、25b:n−AlGaN層
26a、26b:n−GaN層
31d:ドレイン電極
31g:ゲート電極
31s:ソース電極
Claims (7)
- 基板上方に、表面が(0001)面の第1の化合物半導体層、及び表面が(000−1)面の第2の化合物半導体層を互いに接するように形成する工程と、
前記第1の化合物半導体層上に前記第1の化合物半導体層よりも格子定数が小さい第3の化合物半導体層を形成し、前記第2の化合物半導体層上に前記第2の化合物半導体層よりも格子定数が小さい第4の化合物半導体層を形成する工程と、
前記第1の化合物半導体層に電位を付与する第1の電極、及び前記第2の化合物半導体層に電位を付与する第2の電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする化合物半導体装置の製造方法。 - 前記第1の化合物半導体層及び前記第2の化合物半導体層を形成する工程の前に、
前記基板上方の前記第1の化合物半導体層を形成する予定の領域にAlN層を形成する工程を有することを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体装置の製造方法。 - 前記第1の化合物半導体層、前記第2の化合物半導体層、前記第3の化合物半導体層、及び前記第4の化合物半導体層を窒化物半導体から形成することを特徴とする請求項1又は2に記載の化合物半導体装置の製造方法。
- 前記第1の化合物半導体層及び前記第2の化合物半導体層を形成する工程は、前記基板上方に、表面が(0001)面の第5の化合物半導体層を、前記第1の化合物半導体層との間で前記第2の化合物半導体層を挟む位置に、前記第2の化合物半導体層に接するように形成する工程を有し、
前記第3の化合物半導体層及び前記第4の化合物半導体層を形成する工程は、前記第5の化合物半導体層上に前記第5の化合物半導体層よりも格子定数が小さい第6の化合物半導体層を形成する工程を有し、
前記第1の電極及び前記第2の電極を形成する工程は、前記第5の化合物半導体層に電位を付与する第3の電極を形成する工程を有することを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体装置の製造方法。 - 前記第5の化合物半導体層を形成する工程の前に、
前記基板上方の前記第5の化合物半導体層を形成する予定の領域にAlN層を形成する工程を有することを特徴とする請求項4に記載の化合物半導体装置の製造方法。 - 基板上方に互いに接するように形成され、表面が(0001)面の第1の化合物半導体層、及び表面が(000−1)面の第2の化合物半導体層と、
前記第1の化合物半導体層上に形成され、前記第1の化合物半導体層よりも格子定数が小さい第3の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層上に形成され、前記第2の化合物半導体層よりも格子定数が小さい第4の化合物半導体層と、
前記第1の化合物半導体層に電位を付与する第1の電極、及び前記第2の化合物半導体層に電位を付与する第2の電極と、
を有することを特徴とする化合物半導体装置。 - 基板上方に形成され、表面が(0001)面の第1の化合物半導体層及び第5の化合物半導体層と、
前記第1の化合物半導体層及び前記第5の化合物半導体層の間に形成され、前記基板の表面に平行な方向において前記第1の化合物半導体層及び前記第5の化合物半導体層に接し、表面が(000−1)面の第2の化合物半導体層と、
前記第1の化合物半導体層上に形成され、前記第1の化合物半導体層よりも格子定数が小さい第3の化合物半導体層と、
前記第2の化合物半導体層上に形成され、前記第2の化合物半導体層よりも格子定数が小さい第4の化合物半導体層と、
前記第5の化合物半導体層上に形成され、前記第5の化合物半導体層よりも格子定数が小さい第6の化合物半導体層と、
前記第1の化合物半導体層に電位を付与するソース電極と、
前記第2の化合物半導体層に電位を付与するゲート電極と、
前記第5の化合物半導体層に電位を付与するドレイン電極と、
を有することを特徴とする化合物半導体装置。
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