JP2010256087A - 検査システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】撮像素子が面状に敷設されたエリアセンサを有する撮像装置と、前記撮像装置が撮像する領域に光を照射する発光装置と、前記撮像装置が前記検査対象の流れ方向に直交する水平方向に往復移動可能であるように、前記撮像装置を支持するカメラ移動機構と、前記発光装置が前記検査対象の流れ方向に直交する水平方向に往復移動可能であるように、前記発光装置を支持する照明移動機構と、前記撮像装置と前記発光装置とが同期して移動可能であるように、前記カメラ移動機構と前記照明移動機構とを制御する移動制御部と、前記撮像装置の撮像タイミングと前記発光装置の発光タイミングとが同期するように、前記撮像装置と前記発光装置とを制御する撮像制御部と、を備えているようにした。
【選択図】図1
Description
エリアセンサカメラ2は、CMOSイメージセンサが平面状に敷設されたエリアセンサを有しており、所定の広さを有する領域を一度に撮像することが可能なものである。エリアセンサカメラ2には、図示しない画像情報処理装置が接続されており、各CMOSイメージセンサが取り込んだ画像情報に係る信号は、当該画像情報処理装置に出力される。
2・・・エリアセンサカメラ(撮像装置)
3・・・発光装置
41・・・移動制御部
42・・・撮像制御部
Claims (6)
- 一定方向に流れていく検査対象に光を照射してその表面検査又はマーク検出を行うためのものであって、
撮像素子が面状に敷設されたエリアセンサを有する撮像装置と、
前記撮像装置が撮像する領域に光を照射する発光装置と、
前記撮像装置が前記検査対象の流れ方向に直交する水平方向に往復移動可能であるように、前記撮像装置を支持するカメラ移動機構と、
前記発光装置が前記検査対象の流れ方向に直交する水平方向に往復移動可能であるように、前記発光装置を支持する照明移動機構と、
前記撮像装置と前記発光装置とが同期して移動可能であるように、前記カメラ移動機構と前記照明移動機構とを制御する移動制御部と、
前記撮像装置の撮像タイミングと前記発光装置の発光タイミングとが同期するように、前記撮像装置と前記発光装置とを制御する撮像制御部と、を備えていることを特徴とする検査システム。 - 前記検査対象が流れる速度に従って、前記撮像装置が前記検査対象を撮像した画像が前記検査対象の全表面を網羅するように、前記移動制御部が、前記カメラ移動機構と前記照明移動機構とを制御し、前記撮像制御部が、前記撮像装置と前記発光装置とを制御する請求項1記載の検査システム。
- 前記移動制御部が、前記撮像装置と前記発光装置とが前記検査対象の両端部を超えてその外側まで移動するよう前記カメラ移動機構と前記照明移動機構とを制御するものである請求項1又は2記載の検査システム。
- 前記発光装置が、照射光の光質を変更可能なものである請求項1、2又は3記載の検査システム。
- 前記撮像装置が、取得した画像情報のうち、複数の画像が重なる部分については、重複した転送を避けている請求項1、2、3又は4記載の検査システム。
- 前記撮像素子が、CMOSイメージセンサである請求項1、2、3、4又は5記載の検査システム。
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