JP2010245535A - 波長同調可能な照明システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リソグラフィ装置は、狭帯域放射を連続する平らな広帯域放射に変換するように構成された放射源を含んだアライメントシステムを有している。音響学的波長可変狭通過帯域フィルタが広帯域放射を狭帯域直線偏光放射にフィルタリングしている。この狭帯域放射は、ウェーハのアライメントを可能にするために、ウェーハのアライメントターゲット上に集束させることができる。一実施形態では、フィルタは、放射源によって生成される放射の強度および波長を変調し、かつ、複数の同時通過帯域を有するように構成されている。放射源は、高い空間的コヒーレンスおよび低い時間的コヒーレンスを有する放射を生成する。
【選択図】図4
Description
結論
Claims (15)
- 放射を回折させる複数のアライメントターゲットを有するウェーハを位置合わせするためのウェーハアライメントシステムであって、
狭帯域放射を連続する平らな広帯域放射に変換する放射源と、
前記広帯域放射を、前記ウェーハのアライメントターゲット上に集束して前記ウェーハのアライメントを可能にする狭帯域直線偏光放射にフィルタリングする音響学的波長可変狭通過帯域フィルタと
を備えたウェーハアライメントシステム。 - 前記フィルタが前記放射源によって生成される放射の強度および波長を変調する、請求項1に記載のシステム。
- 前記フィルタが複数の同時通過帯域を有する、請求項1に記載のシステム。
- 前記放射源が、繰返し率が高い高強度短パルス放射を生成するファイバ増幅器を備えた、請求項1に記載のシステム。
- 前記フィルタが音響光学波長可変フィルタ(AOTF)である、請求項1に記載のシステム。
- 前記フィルタが、ブラッグ回折させる体積媒体を備えた、請求項1に記載のシステム。
- リソグラフィ装置内でウェーハを位置合わせする方法であって、
第1の高強度短パルス放射を生成する工程と、
第2の連続する広い平らなスペクトル放射を生成するために前記第1の放射を非線形デバイスを通して伝搬させる工程と、
狭帯域直線偏光放射を生成するために前記第2の放射を音響学的にフィルタリングする工程と、
ウェーハのアライメントを可能にするためにアライメントターゲットを前記狭帯域放射で照明する工程と
を含む方法。 - 前記フィルタリングする工程が、第2の放射の強度および波長を変調する工程を含む、請求項7に記載の方法。
- 前記フィルタリングする工程が、複数の同時通過帯域フィルタを生成する工程を含む、請求項7に記載の方法。
- 狭帯域放射を連続する平らな広帯域放射に変換する放射源と、
前記広帯域放射を、ウェーハのアライメントターゲット上に集束して前記ウェーハのアライメントを可能にする狭帯域直線偏光放射にフィルタリングする音響学的波長可変狭通過帯域フィルタと
を備えた照明システム。 - 前記フィルタが前記放射源によって生成される放射の強度および波長を変調する、請求項10に記載のシステム。
- 前記フィルタが複数の同時通過帯域を有する、請求項10に記載のシステム。
- 前記放射源が、繰返し率が高い高強度短パルス放射を生成するファイバ増幅器を備えた、請求項10に記載のシステム。
- 連続する広いスペクトルレンジにわたって所望の狭帯域波長に同調させることができる照明源を備えたアライメントシステムであって、前記照明源が、
利用可能なスペクトル同調レンジ内における最大2〜3ナノメートルまたは数ナノメートルの広さの所望の波長設定点のみを選択する波長可変フィルタであって、ウェーハ上のアライメントマークの位置を検出し、前記アライメントマークを使用して前記ウェーハを位置合わせするためのアライメントに悪影響を及ぼさないレベルまで帯域外波長を阻止することによって前記所望の波長設定点のみを選択する波長可変フィルタと、
前記照明源の前記連続する広いスペクトルレンジをカバーする光学システムであって、前記アライメントマークが、アライメントマーク信号が所定の許容可能閾値より大きくなる比較的狭いスペクトル帯域を有し、前記所望の波長設定点が前記比較的狭いスペクトル帯域に実質的に整合する光学システムと
を含むアライメントシステム。 - 前記波長可変フィルタが、約450nm〜2500nmの利用可能なスペクトル同調レンジの間に存在しているスペクトルギャップ中か、あるいは所与の状態の利用可能離散波長設定点外のいずれかに存在している波長の選択を可能にしている、請求項14に記載のアライメントシステム。
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