JP2010245087A - ステージ装置及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】大型の被駆動体を搭載可能で安定した動作が可能なステージ装置を提供する。
【解決手段】被駆動体を駆動するステージ装置は、スライダー3と、Z軸方向に平行な表面2aを有するガイド2と、ガイド2の表面2aに対するZ軸方向の移動を容易にする静圧軸受としての軸受12と、ガイド2とは反対側の外面11bから突出して球面又は円筒面の一部を構成する表面14aを有する突起14と、を有する軸受部10と、突起14の表面14aに対するXYZのいずれかの軸周りの回転方向の移動を容易にする軸受22を有してスライダー3に固定される軸受部20と、を有する。
【選択図】図1
【解決手段】被駆動体を駆動するステージ装置は、スライダー3と、Z軸方向に平行な表面2aを有するガイド2と、ガイド2の表面2aに対するZ軸方向の移動を容易にする静圧軸受としての軸受12と、ガイド2とは反対側の外面11bから突出して球面又は円筒面の一部を構成する表面14aを有する突起14と、を有する軸受部10と、突起14の表面14aに対するXYZのいずれかの軸周りの回転方向の移動を容易にする軸受22を有してスライダー3に固定される軸受部20と、を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、ステージ装置及び露光装置に関する。
特許文献1は、投影露光装置に適用可能で被駆動体を駆動するステージ装置を開示している。このステージ装置は、中空円筒形状の固定部材と、それと同心円状に配置された中空円筒形状を有し、被駆動体を保持する保持板に接続された案内部材と、両部材間に配置された多孔質パッド(静圧軸受手段)を有する。案内部材は、固定部材の中心軸(Z軸)の移動、中心軸周りに回転(θ移動又はヨーイング)、X軸周りの回転(ローリング)、Y軸周りの回転(ピッチング)が可能に構成されている。
液晶基板などの被駆動体が大型になるとステージ装置も大型になるが、流体静圧軸受が機能するための固定部材と案内部材の間隔の最大値には限界がある。一方、特許文献1の案内部材はピッチングやローリングする時に上記間隔が変化するため、ステージ装置が大型になると案内部材がピッチングやローリング時に固定部材に接触し易くなる。
そこで、本発明は、大型の被駆動体を搭載可能で安定した動作が可能なステージ装置を提供することを例示的な目的とする。
本発明の一側面としてのステージ装置は、被駆動体を駆動するステージ装置であって、前記被駆動体を保持する保持部と、当該保持部に接続されたスライダーと、前記保持部が前記被駆動体を保持する面に垂直なZ軸方向に平行な第1面を有するガイドと、前記ガイドの前記第1面に対する前記Z軸方向の移動を容易にする静圧軸受としての第1軸受と、前記ガイドとは反対側の面から突出して球面又は円筒面の一部を構成する第2面を有する突起と、を有する第1軸受部と、前記突起の前記第2面に対するZ軸又はZ軸に垂直な軸、の周りの回転方向の移動を容易にする第2軸受を有して前記スライダーに固定される第2軸受部と、を有することを特徴とする。
本発明は、大型の被駆動体を搭載可能で安定した動作が可能なステージ装置を提供することができる。
図1は、本実施例のステージ装置のXZ断面図であり、図2は、ステージ装置の透過平面図である。また、図1及び図2に示すように、XYZ軸を設定している。各軸は互いに垂直である。
図1に示すステージ装置は、被駆動体を駆動し、駆動は、Z軸方向への移動、X軸周りの回転(ローリング)、Y軸周りの回転(ピッチング)、Z軸周りのθ回転(ヨーイング)を含む。図1においては、ローリングの方向をR、ヨーイングの方向をθとして示している。
なお、図1に示すステージ装置は、XY駆動機構に接続されて、被駆動体をX軸方向とY軸方向に更に移動してもよい。本実施例のステージ装置は、液晶ディスプレイ用の露光装置や液晶ディスプレイ用の検査装置に適用可能で、大型の被駆動体を搭載可能で安定した動作が可能である。
ステージ装置は、ベース1、ガイド2、スライダー3、保持部4、駆動部、計測系、を有する。
ベース1は、ステージ装置の各部を搭載する台である。ベース1は、不図示の駆動機構によってXY方向に移動される。
ガイド2は、正方形形状のXY断面を有する直方体又は立方体形状を有して、ベース1の上面1aに取り付けられる。このように、ガイド2は、従来のような円筒形形状ではない。ガイド2は、ベース1に対して移動しない。ガイド2は、スライダー3をZ軸方向に案内する案内部材である。本実施例のガイド2は、Z軸方向に平行な4つの表面(第1面)2aを有する。表面2aは、後述するように、加圧空気の圧力を受ける。ガイド2は、正方形形状のXY断面を有するため、4つの表面2aは同一形状と面積を有する。このため、各表面2aが受ける加圧空気による圧力は等しく均衡が取れている。ガイド2は円筒形形状ではないので圧力バランスは維持し易い。
スライダー3は、保持部4に接続され、ガイド2の周りに移動可能に構成されている。スライダー3は、外形は直方体又は立方体形状を有する。このように、スライダー3も、従来のような中空円筒形状ではない。より詳細には、スライダー3は、図2に示すXY平面において正方形状の外壁面3aと正方形状の内壁面3bと上面3cを有し、内壁面3bの内側は中空である。上面3cは保持部4の底面4bに取り付けられている。
スライダー3の内壁面3bの内側には、二種類の軸受部が設けられて、これらの軸受部によってスライダー3はガイド2に対して移動可能に構成されている。移動方向は、Z軸方向と、XYZの各軸周りの回転方向である。Z軸方向用の軸受と、XYZの各軸周りの回転方向用の軸受を分けることによって、スライダー3がXYZの各軸周りの回転方向に移動する際に、スライダー3とガイド2との間隔を維持することができる。
まず、本実施例のスライダー3は、軸受部(第1軸受部)10を介してガイド2の表面2aに接続され、これにより、スライダー3はガイド2の表面2aに対する移動が容易になる。表面2aはZ軸方向に平行であるので、スライダー3はZ軸方向に移動することが容易になる。
軸受部10は、スライダー3よりも内側に(ガイド2の近くに)設けられ、基部11と、それに保持される軸受12を有する。
基部11は、直方体形状を有し、ガイド2に対向する側に凹部を有して、かかる凹部に軸受12が取り付けられている。基部11は、スライダー3がZ軸方向とXYZの各軸の回転方向に移動する際に、ベース1に接触しない。
軸受12は、特許文献1のように、多孔質パッド(静圧パッド)から構成される空気軸受である。軸受12の直方体のガイド2に対向する表面13は対応するガイド2の表面2aに平行に配置されている。軸受12の表面13は、基部11の内面11aと同一高さであり、同一平面を構成する。
ガイド2の表面2aと軸受12の内面13(及び基部11の内面11a)はZ軸方向に平行である。スライダー3は、後述するように、軸受部10に軸受部20を介して接続されており、軸受部10とスライダー3はZ軸方向に一体として移動する。スライダー3がZ軸方向に移動するときには軸受12の内面13とガイド2の表面2aとの間隔(ギャップ)G1は変化しない。各軸受12の内面13と対応するガイド2の表面2aとの間隔G1は等しく設定されている。軸受12が静圧軸受の場合、保持部4が被駆動体に伴って大型化しても間隔G1の最大値はある程度決定されており、あまり大きくすることはできない。
軸受12は、図2に示すように、スライダー3の内壁面3bの中央部四ケ所に設けられている。4つの軸受12は同一形状と寸法を有する。軸受12が内壁面3bの一部に限定されているのは隣り合う軸受12同士の機械的な干渉を防止するためである。また、中央部に限定されているのは、保持部4の傾斜を防止するためである。
ガイド2は軸部として機能して回転せず、軸受12から不図示のコンプレッサを介して加圧空気がガイド2の表面2aに吹き付けられるため、軸受12は空気静圧軸受として機能する。本実施例の軸受12は、ガイド2との間の隙間に空気の膜を形成し、この空気の膜を介してガイド2に対して保持されている。なお、軸受12が使用可能な流体は空気に限定されない。例えば、軸受12は、他の気体(窒素など)や液体を加圧流体として使用してかかる流体の膜を形成する流体静圧軸受であってもよい。また、軸受12は、転がり軸受や磁気軸受を使用してもよい。
軸受部10は、基部11の(ガイド2又は内面11aとは反対側の)外面11bから突出する突起14を有する。突起14は、外面11bからスライダー3の方向に突出し、基部11と一体でもよいし、ネジ止めや接着によって固定されていてもよい。突起14は、球面の一部を構成する表面(第2面)14aを有する。4つの軸受部10の4つの突起14の表面14aは同一の球面を構成している。球の中心は、図1に示すように、ガイド2の中心軸(ヨーイングの回転中心であるZ軸)上にあり、球の半径はrである。
スライダー3は、軸受部20を介して軸受部10の突起14の表面14aに接続され、これにより、スライダー3は突起14の表面14aに対する移動が容易になる。表面14aは球面であるので、スライダー3はXYZの各軸の周りの回転方向に移動することが容易になる。
軸受部(第2軸受部)20は、スライダー3よりも内側に(ガイド2の近くに)設けられ、基部21と、それに保持される軸受(第2軸受)22を有する。軸受部20は、軸受部10に対応して4つ設けられている。
基部21は、直方体から球の一部を除去した形状を有し、ガイド2に対向する側に球面状の窪み(球面座)を有して、かかる窪みに軸受22が取り付けられている。球面の球の中心は突起14の表面14aの球の中心同じである。基部21は、スライダー3がXYZの各軸の回転方向に移動する際に、基部11に接触しない。基部21は、ガイド2側の内面21aと内面21aと反対側の外面21bを有する。内面21aには軸受22が設けられ、外面21bは平面でスライダー3に固定される。固定方法は限定されない。
軸受22は、突起14の表面14aに対するZ軸又はZ軸に垂直な軸(即ち、X軸方向又はY軸方向)、の周りの回転方向の移動(即ち、ヨーイング、ローリング又はピッチング)を容易にする。軸受22は、図3では、転がり軸受であるが、静圧軸受でもよい。静圧軸受の場合、ガイド2に対向する面は球面として構成され、その球の中心は突起14の球面14aの球の中心と同一に設定される。
基部21の内面21aは、突起14の表面14aと同一の球の中心を有するから間隔は一定に維持されている。スライダー3は軸受部20に固定されており、軸受部20とスライダー3はXYZの各軸周りの回転方向に一体として移動する。スライダー3がXYZの各軸周りの回転方向に移動するときには基部21の内面21aと突起14の表面14aとの間隔(ギャップ)G2は変化しない。各基部21の内面21aと対応する突起14の表面14aとの間隔G2は等しく設定されている。また、スライダー3がXYZの各軸周りの回転方向に移動するときには軸受部10の軸受12の内面13とガイド2の表面2aとの間隔(ギャップ)G1も変化しない。あるいは、間隔G1は、変化しても6〜10μmの隙間に対して1μm以下の微小な変化量に維持される。
軸受22は、図2に示すように、スライダー3の内壁面3bの中央部四ケ所に設けられている。4つの軸受部20は同一形状と寸法を有する。このように、本実施例は、少なくとも二組の球面座と静圧軸受を組み合わせている。軸受部20が内壁面3bの一部に限定されているのは隣り合う軸受22同士の機械的な干渉を防止するためである。また、中央部に限定されているのは、保持部4の傾斜を防止するためである。
突起14は軸部として機能して回転せず、軸受22は流体静圧軸受、磁気軸受などを使用してもよい。
保持部4は平板部材であり、上面4aにおいて不図示の被駆動体を保持する。Z軸方向は上面4aに垂直である。被駆動体は、例えば、液晶基板である。保持方法は、不図示のチャックなどを使用することができる。底面4bにはスライダー3の上面3cと接続され、スライダー3の外側において駆動部に接続されている。
駆動部は、一端が保持部4の底面4bに取り付けられ、他端がベース1に取り付けられたZリニアモータ(アクチュエータ)5とθリニアモータ(アクチュエータ)6から構成される。Zリニアモータ5は、図2に示すように、保持部4の四隅近傍に配置され、θリニアモータ6はX方向に並んだ一対の左右のZリニアモータ5の間に配置される。
Zリニアモータ5はZ軸方向に推力を発生し、保持部4の全荷重を支えてもよいが、自重補償として、空気ばねや、磁石の斥力を併用してもよい。例えば、Z方向に移動する場合には、全てのZリニアモータ5が同量だけ上昇又は下降する。ローリングの場合、図2の上側又は下側の一対のZリニアモータ5が同量だけ上昇又は下降する。ピッチングの場合、図2の左側又は右側の一対のリニアモータ5が同量だけ上昇又は下降する。
θリニアモータ6はθ方向に推力を発生する。例えば、図2の時計回りに回転する場合、右側のθリニアモータ6は下側に変位し、左側のθリニアモータ6が上側に同量だけ変位する。
計測系は、ステージ装置の位置を計測する。計測系は、保持部4の側面4cに設けられた参照ミラー8と折り曲げミラー9を有し、不図示のレーザ干渉計に光路OPを介して接続されている。レーザ干渉計は、Z軸方向の位置、ピッチングの傾き、ローリングの傾き、θ方向の回転量を検出することができる。但し、これらの検出に、リニアエンコーダーやレーザ変位計を使用してもよい。ステージ装置をXYステージ上に搭載した場合、参照ミラー8や折り曲げミラー9は長尺にすればよい。
動作において、ステージ装置が保持部4に搭載された被駆動体をZ軸方向に移動する場合には、図1において、間隔G1は変化しない。また、ステージ装置が保持部4に搭載された被駆動体をローリングした状態を図1の二点鎖線で示す。図1に実線と二点鎖線で示すように、保持部4がローリングしても軸受部10とガイド2との間の間隔G1は変化しない。これは、保持部4が、ピッチングやヨーイングする場合も同様である。このように、本実施例のステージ装置は被駆動体をZ移動、ローリング、ピッチング又はヨーイングしても間隔G1を維持することができ、ガイド2に部材が衝突することを防止することができるため、動作が安定する。
本実施例は、Z軸方向用の軸受部10と、XYZの各軸周りの回転方向用の軸受部20を分けることによって、スライダー3がXYZの各軸周りの回転方向に移動する際に、スライダー3とガイド2との間隔G1を維持している。しかし、軸受部20を更に複数の方向のために分割してもよい。
図4は、かかる変形例の断面図であり、図5は、透過平面図であり、図6は、図4のA−A線に沿った平面図である。本変形例のステージ装置は、上部と下部の二段に分かれている。
上部(上段)は、ベース1A、ガイド2A、スライダー3A、駆動部としてのZリニアモータ5、計測系を有する。ベース1Aとガイド2Aの構成はベース1とガイド2と同様である。スライダー3Aは、軸受部10の代わりに軸受部10Aを有し、軸受部20の代わりに軸受部30Aを有する。軸受部10Aは、図3において球面を有する突起14の代わりに円筒面の一部を構成する突起(不図示)を有する。軸受部30Aは、軸受部20と同様の形状を有するが、ガイド2A側の凹状の内面は円筒面であり、軸受部10Aの突起状の円筒面と同心状に形成されている。スライダー3Aによって保持部4はZ軸方向とローリング方向に移動することができる。
下部(下段)は、ベース1B、ガイド2B、スライダー3B、駆動部としてのθリニアモータ6、Z軸静圧軸受40を有する。ベース1Bとガイド2Bの構成はベース1とガイド2と同様である。スライダー3Bによって保持部4はθ方向とピッチング方向に移動することができる。スライダー3Bは、軸受部10の代わりに軸受部10Bを有し、軸受部20の代わりに軸受部30Bを有する。軸受部10Bは、球面を有する突起14の代わりに円筒面の一部を構成する突起(不図示)を有し、軸受部10Bは軸受部10Aの円筒面の中心軸(又は母線)と直交する中心軸(又は母線)を有する。軸受部30Bは、軸受部20と同様の形状を有するが、ガイド2B側の凹状の内面は円筒面であり、軸受部10Bの突起状の円筒面と同心状に形成されている。
本変形例においても、スライダー3がZ軸方向とXYZの各軸の周りの回転方向に移動する際に、スライダー3とガイド2との間隔G1を維持することができる。二段構造にすると剛性を上げることができるという利点もある。なお、Z軸静圧軸受40は、図1に示す軸受部10の底部に設けられてもよい。
また、ベース1BをX軸方向に延長してベース1cとすればX軸方向の駆動機構を兼ねることもできる。図7は、かかる状態を示す平面図である。6aは回転子、6bは可動子である。図7では、θリニアモータ6は、ベース1cをZ軸方向に垂直な一つのX軸方向に移動させると共に保持部4をZ軸の周りにθ回転させる。
本実施例のステージ装置は、原版のパターンを基板に露光する投影露光装置において基板を駆動する基板ステージに適用することができる。デバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)は、露光装置を使用して感光剤を塗布した基板(ウエハ、ガラスプレート等)を露光する工程と、基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより製造される(デバイス製造方法)。また、本実施例のステージ装置は、基板の検査装置用の基板ステージにも適用することができる。
ステージ装置は、被駆動体を駆動するのに適用することができる。露光装置は、デバイスを製造する用途に適用することができる。
1、1A,1B、1C ベース
2、2A、2B ガイド
2a 表面(第1面)
3、3A、3B スライダー
4 保持部
10、10A、10B 軸受部(第1軸受部)
11、21 基部
12 軸受(第1軸受)
14 突起
14a 表面(第2面)
20、30A、30B 軸受部(第2軸受部)
22 軸受(第2軸受)
2、2A、2B ガイド
2a 表面(第1面)
3、3A、3B スライダー
4 保持部
10、10A、10B 軸受部(第1軸受部)
11、21 基部
12 軸受(第1軸受)
14 突起
14a 表面(第2面)
20、30A、30B 軸受部(第2軸受部)
22 軸受(第2軸受)
Claims (4)
- 被駆動体を駆動するステージ装置であって、
前記被駆動体を保持する保持部と、
当該保持部に接続されたスライダーと、
前記保持部が前記被駆動体を保持する面に垂直なZ軸方向に平行な第1面を有するガイドと、
前記ガイドの前記第1面に対する前記Z軸方向の移動を容易にする静圧軸受としての第1軸受と、前記ガイドとは反対側の面から突出して球面又は円筒面の一部を構成する第2面を有する突起と、を有する第1軸受部と、
前記突起の前記第2面に対するZ軸又はZ軸に垂直な軸、の周りの回転方向の移動を容易にする第2軸受を有して前記スライダーに固定される第2軸受部と、
を有することを特徴とするステージ装置。 - 前記ガイドが搭載されるベースと、
前記ベースを前記Z軸方向に垂直な一つの軸方向に移動させると共に前記保持部を前記Z軸の周りに回転するアクチュエータと、
を更に有することを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。 - 請求項1又は2に記載のステージ装置を有する露光装置。
- 請求項3に記載の露光装置を使用して基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップと、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009088772A JP2010245087A (ja) | 2009-04-01 | 2009-04-01 | ステージ装置及び露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009088772A JP2010245087A (ja) | 2009-04-01 | 2009-04-01 | ステージ装置及び露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010245087A true JP2010245087A (ja) | 2010-10-28 |
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ID=43097832
Family Applications (1)
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JP2009088772A Pending JP2010245087A (ja) | 2009-04-01 | 2009-04-01 | ステージ装置及び露光装置 |
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---|---|
JP (1) | JP2010245087A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111868481A (zh) * | 2018-02-21 | 2020-10-30 | 物理仪器(Pi)两合有限公司 | 光学测量装置的标尺元件 |
-
2009
- 2009-04-01 JP JP2009088772A patent/JP2010245087A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN111868481A (zh) * | 2018-02-21 | 2020-10-30 | 物理仪器(Pi)两合有限公司 | 光学测量装置的标尺元件 |
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