JP2010236888A - 回路基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回路基板100の対向する端部をそれぞれ挟持する挟持部を有して回路基板を保持する保持機構2と、保持機構2によって保持されている回路基板100の反りの大きさを測定する測定部と、測定された反りの大きさに基づいて特定される移動距離だけプローブ31を移動させて回路基板100にプロービングさせるプロービング機構3とを備えて、回路基板100に対する検査を実行可能に構成され、各端部を挟持している各挟持部を互いに離反する向きに移動させて回路基板100を牽引する牽引機構6と、測定された反りの大きさが所定の大きさ以下となるまで牽引機構6を制御して回路基板100を牽引させる牽引処理を実行する制御部10とを備え、プロービング機構3は、牽引処理の終了後にプロービングを実行する。
【選択図】図1
Description
2 保持機構
3 プロービング機構
4 レーザ変位計
6 牽引機構
10 制御部
31 プローブ
51 モータ
52 ボールねじ
53 ロードセル
60 検査処理
100 回路基板
101a,101b 端部
12a,12b クランプ部
B 反り量
Bs 所定値
F 牽引力
Fs 上限値
Si 電気信号
Claims (5)
- 回路基板における互いに対向する端部をそれぞれ挟持する挟持部を有して当該回路基板を保持する保持機構と、当該保持機構によって保持されている前記回路基板の反りの大きさを測定する測定部と、当該測定部によって測定された反りの大きさに基づいて特定される移動距離だけプローブを移動させて前記保持機構によって保持されている前記回路基板に対して当該プローブをプロービングさせるプロービング機構とを備えて、前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて当該回路基板に対する検査を実行する回路基板検査装置であって、
前記各端部を挟持している前記各挟持部を互いに離反する向きに移動させて前記回路基板を牽引する牽引機構と、前記測定部によって測定された前記反りの大きさが所定の大きさ以下となるまで当該牽引機構を制御して前記回路基板を牽引させる牽引処理を実行する牽引制御部とを備え、
前記プロービング機構は、前記牽引処理の終了後に前記プロービングを実行する回路基板検査装置。 - 前記牽引機構は、1回の牽引動作において予め規定された所定の長さだけ前記挟持部を移動させ、
前記測定部は、前記牽引機構の前記牽引動作が終了する度に前記反りの大きさの測定を実行し、
前記牽引制御部は、前記牽引処理において、前記測定部によって測定された前記反りの大きさが前記所定の大きさ以下となるまで前記牽引機構を制御して前記牽引動作を繰り返して実行させる請求項1記載の回路基板検査装置。 - 前記測定部は、前記回路基板の中央部における1つの測定点についての前記反りの大きさを測定し、
前記牽引制御部は、前記牽引処理において、前記測定部によって測定された前記1つの測定点についての前記反りの大きさが前記所定の大きさ以下となるまで前記牽引機構を制御して前記回路基板を牽引させる請求項1または2記載の回路基板検査装置。 - 前記測定部は、前記回路基板における複数の測定点についての前記反りの大きさを測定し、
前記牽引制御部は、前記牽引処理において、前記測定部によって測定された全ての前記測定点についての前記反りの大きさが前記所定の大きさ以下となるまで前記牽引機構を制御して前記回路基板を牽引させる請求項1または2記載の回路基板検査装置。 - 前記回路基板を牽引する牽引力を検出する検出部を備え、
前記牽引制御部は、前記検出部によって検出された前記牽引力が所定の牽引力以上のときに前記牽引処理を停止する請求項1から4のいずれかに記載の回路基板検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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---|---|---|---|---|
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CN116124571A (zh) * | 2022-11-18 | 2023-05-16 | 濮阳市邦士电子科技有限公司 | 一种印制电路板拉脱强度测试仪 |
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