JP2010228969A - ガラス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 酸化物基準の質量%で、SiO2成分、B2O3成分、Al2O3成分およびLi2O成分を含有し、これらの成分の合量が90%以上であり、これらの成分の質量%の比Li2O/Al2O3が0.9以上であり、0〜300℃における平均線膨張係数が30×10−7℃−1以下であるガラス。
【選択図】図1
Description
また、センサまたはアクチュエータ(機械的駆動機構)と、それを駆動する集積回路とが混在するMEMS(マイクロエレクトロニクスメカニカルシステム)装置においては、外部要因から内部を保護するための気密封止する方法として陽極接合が用いられる。この陽極接合とはガラスとシリコンウエハを接合する方法であり、これに用いられるガラスは可動イオンを含有し、シリコンウエハと近似した低い平均線膨張係数を有することが好ましい。
さらに可動イオンとして好ましいリチウム成分の含有量が少なく、陽極接合性が低いことが予測される。
酸化物基準の質量%で、SiO2成分、B2O3成分、Al2O3成分およびLi2O成分を含有し、これらの成分の合量が90%以上であり、
これらの成分の質量%の比Li2O/Al2O3が0.9以上であり、
0〜300℃における平均線膨張係数が30×10−7℃−1以下であるガラス。
(構成2)
酸化物基準の質量%で、
SiO2 64%〜95%
B2O3 2%〜35%
Al2O3 0.1%〜10%
Li2O3 0.1%〜10%
の各成分を含有する構成1に記載のガラス。
(構成3)
酸化物基準の質量%で、
Na2O成分を0〜5%、および/または
K2O成分を0〜5%、および/または
Cs2O成分を0〜5%
の各成分を含有する構成1または2に記載のガラス。
(構成4)
酸化物基準の質量%で、Na2O成分、Li2O成分、K2O成分およびCs2O成分の合量が17%以下である構成1〜3のいずれかに記載のガラス。
(構成5)
酸化物基準の質量%で、
MgO成分を0〜5%、および/または
CaO成分を0〜5%、および/または
SrO成分を0〜5%、および/または
BaO成分を0〜5%、
の各成分を含有する構成1〜4のいずれかに記載のガラス。
(構成6)
酸化物基準の質量%でAs2O3成分および/またはSb2O3成分を0%〜2%含有する構成1〜5のいずれかに記載のガラス。
(構成7)
酸化物基準の質量%でCeO2成分および/またはSnO2成分を0%〜2%含有する構成1〜6のいずれかに記載のガラス。
(構成8)
ガラス転移点が600℃以下である構成1〜7のいずれかに記載のガラス。
(構成9)
粘度が103.0dPa・sを示すときの温度が1500℃以下である構成1〜8のいずれか記載のガラス。
ここで、「酸化物基準」とは、本発明のガラスの構成成分の原料として使用される酸化物、硝酸塩等が溶融時にすべて分解され酸化物へ変化すると仮定して、ガラス中に含有される各成分の組成を表記する方法であり、この生成酸化物の質量の総和を100質量%として、ガラス中に含有される各成分の量を表記する。
これらの条件を満たすことにより、Li2O成分を比較的多く含有しつつ低い平均線膨張係数を有するガラスを得ることができる。
また、本発明のガラスの溶融温度をより低くし、低温溶融性を得やすくするためには、前記SiO2成分の含有量の上限は95%以下とすることが好ましく、93%以下とすることがより好ましく、90%以下とすることが最も好ましい。
また、前記B2O3成分の含有量が35%を超えるとガラスの平均線膨張係数が大きくなるとともに、分相傾向が増大するため、前記B2O3成分の含有量の上限は35%以下とすることが好ましく、33%以下とすることがより好ましく、30%以下とすることが最も好ましい。
またAl2O3成分の含有量が10%を超えると溶融温度が高温になるとともに、ガラス転移点が高くなるため、熱間加工性が悪くなりやすい。従って、Al2O3成分の上限は10%以下とすることが好ましく、9%以下とすることがより好ましく、8%以下とすることが最も好ましい。
また、Li2O成分の含有量が10%を超えると平均線膨張係数が大きくなりやすく、熱間成形時にガラスが失透し易くなるためLi2O成分の上限は10%であることが好ましく、9%であることがより好ましく、8%であることが最も好ましい。
ただし、ここでいう含有しないとは、不純物として混入される場合を除き、人為的に含有させないことを意味する。
溶融後、必要に応じ清澄、撹拌を行いガラスを均質化させ、その後成形型に溶融ガラスを流しこみ急冷することによって成形、徐冷炉において徐冷する。
また、図1に本発明の実施例15と比較例1の温度−粘度グラフを示す。
また、平均線膨張係数はJOGIS(日本光学硝子工業会規格)16−2003「光学ガラスの常温付近の平均線膨張係数の測定方法」に則り、温度範囲を0℃から50℃および0℃から300℃の範囲に換えて測定した値をいう。
また、ガラス転移点はJOGIS08−2003「光学ガラスの熱膨張の測定方法」により測定した値である。
熱処理後のガラスを観察したところ失透の発生はなく、熱処理の前後での透過率の変化を調査したところ、透過率に変化は見られなかった。
Claims (9)
- 酸化物基準の質量%で、SiO2成分、B2O3成分、Al2O3成分およびLi2O成分を含有し、これらの成分の合量が90%以上であり、
これらの成分の質量%の比Li2O/Al2O3が0.9以上であり、
0〜300℃における平均線膨張係数が30×10−7℃−1以下であるガラス。 - 酸化物基準の質量%で、
SiO2 64%〜95%
B2O3 2%〜35%
Al2O3 0.1%〜10%
Li2O3 0.1%〜10%
の各成分を含有する請求項1に記載のガラス。 - 酸化物基準の質量%で、
Na2O成分を0〜5%、および/または
K2O成分を0〜5%、および/または
Cs2O成分を0〜5%
の各成分を含有する請求項1または2に記載のガラス。 - 酸化物基準の質量%で、Na2O成分、Li2O成分、K2O成分およびCs2O成分の合量が17%以下である請求項1〜3のいずれかに記載のガラス。
- 酸化物基準の質量%で、
MgO成分を0〜5%、および/または
CaO成分を0〜5%、および/または
SrO成分を0〜5%、および/または
BaO成分を0〜5%、
の各成分を含有する請求項1〜4のいずれかに記載のガラス。 - 酸化物基準の質量%でAs2O3成分および/またはSb2O3成分を0%〜2%含有する請求項1〜5のいずれかに記載のガラス。
- 酸化物基準の質量%でCeO2成分および/またはSnO2成分を0%〜2%含有する請求項1〜6のいずれかに記載のガラス。
- ガラス転移点が600℃以下である請求項1〜7のいずれかに記載のガラス。
- 粘度が103.0dPa・sを示すときの温度が1500℃以下である請求項1〜8のいずれかに記載のガラス。
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