JP2010217903A - Photosensitive resin composition and method for manufacturing printed wiring board - Google Patents

Photosensitive resin composition and method for manufacturing printed wiring board Download PDF

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知明 青木
Takuya Kajiwara
卓哉 梶原
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition for forming a cured product layer on a surface resin layer of a substrate where a circuit has been formed and the surface resin layer has a predetermined pattern, the photosensitive resin composition having excellent resolution, adhesion property, photosensitivity and plating durability as well as excellent peel properties. <P>SOLUTION: The following photosensitive resin composition is used to form the cured product layer on the surface resin layer of the substrate where the circuit has been formed and the surface resin layer has the predetermined pattern. The photosensitive resin composition contains (A) a binder polymer, (B) a photopolymerizable compound having at least one polymerizable ethylenically unsaturated bond in the molecule, and (C) a photopolymerization initiator, wherein the total molar number of ethylenically unsaturated groups included in the component (B) per 1 kg of the solid content in the photosensitive resin composition is from 1.5 to 3.5. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、感光性樹脂組成物及びプリント配線板の製造方法に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition and a method for producing a printed wiring board.

従来、プリント配線板の製造分野では、回路の保護及び接触抵抗の低減等を目的として、回路上に金属めっき加工が行われている。また、携帯電子機器の普及に伴い、使用される実装部品の形態は小型化に有利な Chip Scale Package(CSP)やBall Grid Array(BGA)が急速に増えている。このような実装部品は、実装パッド(はんだパッド)等を除いたプリント配線板の回路導体の全面にソルダーレジストを形成して、パッドの部分等に金属めっき加工を施し、実装部品とめっき加工されたパッドとをはんだボールによって係合させ、配線板と接続させている。金属めっき加工には、良好な金属結合を確保するために、多くの場合、金めっきが用いられている。   Conventionally, in the printed wiring board manufacturing field, metal plating is performed on a circuit for the purpose of protecting the circuit and reducing contact resistance. In addition, with the spread of portable electronic devices, chip scale packages (CSPs) and ball grid arrays (BGAs), which are advantageous for downsizing, are rapidly increasing in the form of mounted components used. Such mounting components are plated with mounting components by forming a solder resist on the entire surface of the circuit conductor of the printed wiring board excluding the mounting pads (solder pads), etc., and subjecting the pads to metal plating. The pad is engaged with the solder ball and connected to the wiring board. In many cases, gold plating is used for metal plating in order to ensure a good metal bond.

そして、上記分野における金めっきの方法は、電解めっき法から無電解めっき法へ急速に移行している。これは、プリント配線板の小型化・高密度化が進捗したこと、電極用リード線が不要で均一なめっき膜厚及び平滑な表面が得られること等に基づくものであり、無電解めっきへの移行は携帯電子機器用基板において特に顕著である。   And the gold plating method in the said field | area is changing rapidly from the electroplating method to the electroless-plating method. This is based on the progress of miniaturization and higher density of printed wiring boards, the need for electrode lead wires and the uniform plating film thickness and smooth surface. The transition is particularly noticeable in portable electronic device substrates.

近年急速に市場が拡大している携帯電話等の携帯電子機器に用いられる基板に無電解めっき法を用いた場合、落下衝撃や入力キーを押す力による曲げにより、CSPやBGA等の実装部品が基板表面から脱落しやすい等の問題が発生している。その一因は、無電解めっき法によるプリント配線板が、電解めっき法によるものよりも、はんだボール接続信頼性が低いためであると考えられている。   When an electroless plating method is used for a substrate used in a portable electronic device such as a mobile phone whose market has been rapidly expanding in recent years, mounting parts such as CSP and BGA are caused by bending due to a drop impact or pressing force of an input key. Problems such as easy removal from the substrate surface have occurred. One reason for this is believed to be that the printed wiring board by the electroless plating method has lower solder ball connection reliability than that by the electrolytic plating method.

このはんだボール接続信頼性を向上させるためには、CSPやBGA等の電子部品のプリント配線板への表面実装を、回路形成がされた基板上に所定のパターンでソルダーレジストを形成させ、その上に感光性樹脂組成物の層を所定のパターンで形成させて、無電解めっきを行った後に、感光性樹脂組成物の層をアルカリ水溶液等を用いて剥離除去する方法により行うことが考えられる。   In order to improve the solder ball connection reliability, surface mounting of electronic components such as CSP and BGA onto a printed wiring board is performed by forming a solder resist with a predetermined pattern on a circuit board. It is conceivable that the photosensitive resin composition layer is formed in a predetermined pattern and electroless plating is performed, and then the photosensitive resin composition layer is peeled and removed using an alkaline aqueous solution or the like.

このような感光性樹脂組成物として、以下の特許文献1記載の液状レジストインキ組成物や、以下の特許文献2記載の感光性熱硬化性樹脂組成物が提案されている。
特開昭61−243869号公報 特開平1−141904号公報
As such a photosensitive resin composition, the liquid resist ink composition of the following patent document 1, and the photosensitive thermosetting resin composition of the following patent document 2 are proposed.
JP-A 61-243869 JP-A-1-141904

しかしながら、本発明者らは、特許文献1,2に記載されている感光性樹脂組成物について詳細に検討を行った結果、該感光性樹脂組成物は、従来の回路形成がされていないフラットな基板上に直接適用するものであることから、良好な光感度及び解像度を得るための従来の感光性樹脂組成物の組成をそのまま適用することができないことを見出した。すなわち、本発明者らは、上述のプリント配線板への電子部品の実装方法では、既にソルダーレジストが形成され表面に凹凸のある配線基板の該表面上に感光性樹脂組成物が適用されるため、その解像度、密着性、光感度及びめっき耐性等の特性が低下する傾向にあることが判明した。   However, as a result of detailed investigations on the photosensitive resin compositions described in Patent Documents 1 and 2, the present inventors have found that the photosensitive resin composition is flat without conventional circuit formation. It was found that the composition of the conventional photosensitive resin composition for obtaining good photosensitivity and resolution cannot be applied as it is because it is applied directly on the substrate. That is, the present inventors have applied the photosensitive resin composition on the surface of the wiring board having a solder resist already formed and uneven on the surface in the above-described method for mounting an electronic component on a printed wiring board. It has been found that characteristics such as resolution, adhesion, photosensitivity and plating resistance tend to decrease.

更に詳細な検討を行ったところ、該感光性樹脂組成物の上記の密着性等の特性を維持するためにソルダーレジストとの密着性を向上させた場合、アルカリ水溶液を用いても該感光性樹脂組成物をソルダーレジストから剥離除去できなくなることも確認された。   As a result of further detailed investigation, when the adhesiveness with the solder resist is improved in order to maintain the above-mentioned properties such as the adhesiveness of the photosensitive resin composition, the photosensitive resin can be used even when an alkaline aqueous solution is used. It was also confirmed that the composition could not be peeled off from the solder resist.

そこで、本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、一定のパターンを有する表面樹脂層を備える回路形成済基板の前記表面樹脂層上に硬化物層を形成させるための感光性樹脂組成物であって、優れた解像度、密着性、光感度及びめっき耐性を有するのみならず、剥離性にも優れる感光性樹脂組成物及びそれを用いたプリント配線基板の製造方法を提供することを目的とする。   Then, this invention is made | formed in view of the said situation, The photosensitive resin composition for forming a hardened | cured material layer on the said surface resin layer of the circuit-formed board | substrate provided with the surface resin layer which has a fixed pattern. An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition having not only excellent resolution, adhesion, photosensitivity and plating resistance but also excellent peelability and a method for producing a printed wiring board using the same. To do.

本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、上記感光性樹脂組成物に含有される特定の化合物中の特定の基が、該感光樹脂組成物の上記密着性等に影響を与えることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have determined that the specific group in the specific compound contained in the photosensitive resin composition has the adhesiveness of the photosensitive resin composition. It has been found that it has an influence, and the present invention has been completed.

すなわち、本発明の感光性樹脂組成物は、一定のパターンを有する表面樹脂層を備える回路形成済基板の前記表面樹脂層上に硬化物層を形成させるためのものであって、(A)バインダーポリマーと、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤とを含有しており、当該感光性樹脂組成物中の固形分1kg当たりの前記(B)成分に含まれるエチレン性不飽和基の総モル数が、1.5〜3.5であることを特徴とする。   That is, the photosensitive resin composition of the present invention is for forming a cured product layer on the surface resin layer of a circuit-formed substrate having a surface resin layer having a certain pattern, and (A) a binder A polymer, (B) a photopolymerizable compound having at least one polymerizable ethylenically unsaturated bond in the molecule, and (C) a photopolymerization initiator, in the photosensitive resin composition The total number of moles of ethylenically unsaturated groups contained in the component (B) per 1 kg of the solid content is 1.5 to 3.5.

一定のパターンを有する表面樹脂層を備える回路形成済基板の表面には、凹凸が存在していることに加え、感光性樹脂組成物が接触するのは表面樹脂層である。よって、回路形成がなされていない状態の回路形成用基板の導体層に積層させる従来の感光性樹脂組成物層を回路形成基板に直接適用することはできない。しかしながら、本発明者らは、感光性樹脂組成物に含有される光重合性化合物中のエチレン性不飽和基の数を、上述のように調整することにより、表面樹脂層を備えており且つ表面凹凸を有する回路形成済基板を用いた場合であっても、解像度、密着性、光感度及びめっき耐性のいずれをも向上させることが可能になり、更には優れた剥離性をも有することを新たに見出したものである。   In addition to the presence of irregularities on the surface of the circuit-formed substrate having a surface resin layer having a certain pattern, the photosensitive resin composition is in contact with the surface resin layer. Therefore, the conventional photosensitive resin composition layer laminated | stacked on the conductor layer of the circuit formation board | substrate in the state in which circuit formation is not made cannot be applied directly to a circuit formation board | substrate. However, the inventors have provided a surface resin layer by adjusting the number of ethylenically unsaturated groups in the photopolymerizable compound contained in the photosensitive resin composition as described above, and the surface It is possible to improve all of resolution, adhesion, photosensitivity, and plating resistance even when using a circuit-formed substrate having irregularities, and it has a new excellent peelability. It is what I found in.

さらに、本発明の感光性樹脂組成物は、(B)成分として、ビスフェノールA系ポリオキシエチレンジ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド,プロピレンオキシド変性ウレタンジ(メタ)アクリレート及びエチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリアクリレートからなる群より選ばれる少なくとも一種を含有することが好ましい。これにより、感光性樹脂組成物の密着性等を一層向上させることができる。   Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention comprises, as component (B), bisphenol A-based polyoxyethylene di (meth) acrylate, ethylene oxide, propylene oxide-modified urethane di (meth) acrylate, and ethylene oxide-modified trimethylolpropane triacrylate. It is preferable to contain at least one selected from the group. Thereby, the adhesiveness etc. of the photosensitive resin composition can be improved further.

また、本発明の感光性樹脂組成物は、(D)着色剤をも含有しており、該(D)成分として、下記一般式(1);

Figure 2010217903


で表される化合物を含有することが好ましい。なお、式中R1、R2、R3及びR4は、それぞれ独立に炭素数1〜18のアルキル基、炭素数2〜18のアルケニル基、炭素数2〜18のアルキニル基、アリール基、炭素数1〜18のカルボキシレート基、炭素数1〜18のアルコキシル基、炭素数2〜18のアルケニルオキシ基、炭素数2〜18のアルキニルオキシ基、炭素数2〜18のアリルオキシ基、炭素数2〜18のアルコキシカルボニル基、炭素数1〜18のアルキルチオ基、炭素数1〜18のアルキルスルホニル基又は炭素数1〜18のアルキルスルフィニル基を示す。これにより、該感光性樹脂組成物はめっき浴の汚染を抑制することもできる。 The photosensitive resin composition of the present invention also contains (D) a colorant, and as the component (D), the following general formula (1);
Figure 2010217903


It is preferable to contain the compound represented by these. In the formula, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 18 carbon atoms, an alkynyl group having 2 to 18 carbon atoms, an aryl group, C1-C18 carboxylate group, C1-C18 alkoxyl group, C2-C18 alkenyloxy group, C2-C18 alkynyloxy group, C2-C18 allyloxy group, carbon number A C1-C18 alkylthio group, a C1-C18 alkylsulfonyl group, or a C1-C18 alkylsulfinyl group is shown. Thereby, this photosensitive resin composition can also suppress the contamination of a plating bath.

また本発明は、一定のパターンを有する表面樹脂層を備える回路形成済基板の表面樹脂層上に、感光性樹脂組成物の硬化物からなり且つ一定のパターンを有する硬化物層を形成し、回路形成済基板上に表面樹脂層及び硬化物層をこの順に備えた積層基板を得る第1の工程と、該積層基板に対して無電解めっきを行う第2の工程と、該無電解めっきが施された積層基板から、一定のパターンを有する硬化物層を除去する第3の工程と、を含むプリント配線板の製造方法であって、該感光性樹脂組成物が、本発明の感光性樹脂組成物であることを特徴とする。   The present invention also provides a circuit wherein a cured product layer made of a cured product of a photosensitive resin composition and having a certain pattern is formed on a surface resin layer of a circuit-formed substrate having a surface resin layer having a certain pattern, A first step of obtaining a laminated substrate having a surface resin layer and a cured product layer in this order on a formed substrate; a second step of performing electroless plating on the laminated substrate; and performing the electroless plating. And a third step of removing the cured product layer having a certain pattern from the laminated substrate, wherein the photosensitive resin composition is the photosensitive resin composition of the present invention. It is a thing.

さらに、第2の工程を実施した後に、表面樹脂層を硬化させる第4の工程を含むことが好ましく、該第2の工程が、積層基板に対して無電解ニッケル−金めっきを行う工程であると更に好ましい。   Furthermore, it is preferable to include a fourth step of curing the surface resin layer after performing the second step, and the second step is a step of performing electroless nickel-gold plating on the multilayer substrate. And more preferred.

以上説明したように、本発明によれば、一定のパターンを有する表面樹脂層を備える回路形成済基板の前記表面樹脂層上に硬化物層を形成させるための感光性樹脂組成物であって、優れた解像度、密着性、光感度及びめっき耐性を有するのみならず、剥離性にも優れた感光性樹脂組成物を提供することができる。   As described above, according to the present invention, a photosensitive resin composition for forming a cured product layer on the surface resin layer of a circuit-formed substrate having a surface resin layer having a certain pattern, A photosensitive resin composition having not only excellent resolution, adhesion, photosensitivity and plating resistance but also excellent peelability can be provided.

以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.

本発明の感光性樹脂組成物は、上述したように、一定のパターンを有する表面樹脂層を備える回路形成済基板のその表面樹脂層上に硬化物層を形成させるためのものであって、(A)バインダーポリマーと、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤とを含有しており、(B)成分に含有される該感光性樹脂組成物中の固形分1kg当たりのエチレン性不飽和基の総モル数が、1.5〜3.5のものである。   The photosensitive resin composition of the present invention is for forming a cured product layer on the surface resin layer of a circuit-formed substrate having a surface resin layer having a certain pattern as described above, A) contains a binder polymer, (B) a photopolymerizable compound having at least one polymerizable ethylenically unsaturated bond in the molecule, and (C) a photopolymerization initiator. The total number of moles of ethylenically unsaturated groups per kg of solid content in the photosensitive resin composition to be contained is 1.5 to 3.5.

ここで、「回路形成済基板」とは、絶縁体層とその上に形成された導体層を備える基板であって、該導体層が所定形状の回路を形成しているものをいう。また、「一定のパターンを有する表面樹脂層を備える回路形成済基板」とは、回路形成済基板の回路形成がされている面上に表面樹脂層を備え、該層が一定のパターンを有するものをいう。さらに、「表面樹脂層」とは回路形成済基板上に形成された樹脂層であり、典型的にはエポキシ樹脂等の強靭な硬化性樹脂からなるものである。   Here, the “circuit-formed substrate” is a substrate including an insulator layer and a conductor layer formed thereon, and the conductor layer forms a circuit having a predetermined shape. In addition, “a circuit-formed substrate having a surface resin layer having a certain pattern” means that a surface resin layer is provided on the surface of the circuit-formed substrate on which a circuit is formed, and the layer has a certain pattern. Say. Furthermore, the “surface resin layer” is a resin layer formed on a circuit-formed substrate, and is typically made of a tough curable resin such as an epoxy resin.

((A)成分)
(A)成分としては、例えば、ポリエステル樹脂、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられる。これらのバインダーポリマーは、単独又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
((A) component)
Examples of the component (A) include polyester resins, acrylic resins, styrene resins, epoxy resins, amide resins, amide epoxy resins, alkyd resins, phenol resins, and urethane resins. These binder polymers can be used alone or in combination of two or more.

バインダーポリマーとしては、エチレン性不飽和二重結合を有した単量体を重合(ラジカル重合等)して得られたものであることが好ましい。エチレン性不飽和二重結合を有した単量体としては、例えば、スチレン;ビニルトルエン、α−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−メトキシスチレン、p−クロロスチレン等のスチレン誘導体;ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド;アクリロニトリル;ビニル−n−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類;(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、α−ブロモ(メタ)アクリル酸、β−フリル(メタ)アクリル酸、β−スチリル(メタ)アクリル酸等の(メタ)アクリル酸系単量体;マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、等のマレイン酸系単量体が挙げられ、これら以外にも、フマル酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸が例示可能である。   The binder polymer is preferably obtained by polymerizing a monomer having an ethylenically unsaturated double bond (such as radical polymerization). Examples of the monomer having an ethylenically unsaturated double bond include styrene; styrene derivatives such as vinyltoluene, α-methylstyrene, p-methylstyrene, p-methoxystyrene, and p-chlorostyrene; diacetone acrylamide Acrylamide such as acrylonitrile; esters of vinyl alcohol such as vinyl-n-butyl ether; alkyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, dimethylaminoethyl ester (meth) acrylate, (meth) Glycidyl acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, α-bromo (meth) acrylic acid, β-furyl (meth) acrylic acid, β-styryl (meth) acrylic (Meth) acrylic acid monomers such as acids Maleic acid monomers such as maleic acid, maleic anhydride, monomethyl maleate and the like are listed. Besides these, fumaric acid, cinnamic acid, α-cyanocinnamic acid, itaconic acid, crotonic acid, propiolic acid Can be exemplified.

なお、(メタ)アクリル酸とはアクリル酸又はそれに対応するメタクリル酸をいい、(メタ)アクリレートとはアクリレート又はそれに対応するメタクリレートをいう。   In addition, (meth) acrylic acid refers to acrylic acid or methacrylic acid corresponding thereto, and (meth) acrylate refers to acrylate or methacrylate corresponding thereto.

バインダーポリマーは、アルカリ溶液を用いてアルカリ現像を行う場合の現像性の見地から、カルボキシル基を有するポリマーの1種又は2種以上からなることが好ましい。   The binder polymer is preferably composed of one or more kinds of polymers having a carboxyl group from the viewpoint of developability when alkali development is performed using an alkaline solution.

可撓性の見地からは、上記カルボキシル基を有するポリマーは、(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸アルキルエステルとこれらと共重合し得るモノマー(以下「共重合モノマー」という。)との共重合体であることが好ましい。共重合モノマーとしては、可撓性を更に向上させるためにスチレン及び/又はスチレン誘導体が好ましく、スチレンがより好ましい。   From the viewpoint of flexibility, the polymer having a carboxyl group is a copolymer of (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid alkyl ester, and a monomer copolymerizable therewith (hereinafter referred to as “copolymerization monomer”). A polymer is preferred. As the copolymerization monomer, styrene and / or a styrene derivative are preferable to further improve flexibility, and styrene is more preferable.

(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸アルキルエステルとスチレン及び/又はスチレン誘導体との共重合体においては、スチレン及び/又はスチレン誘導体の合計の重量比率は、重合性単量体の全重量を基準として、3〜30重量%であることが好ましく、4〜28重量%であることがより好ましく、5〜27重量%であることが特に好ましい。スチレン及び/又はスチレン誘導体の含有量の総和が3重量%未満では密着性が不十分となる傾向にあり、また、30重量%を超えると剥離片が大きくなって剥離時間が長くなる傾向がある。なお、ここでの「重量%」は質量基準と同等とする(以下同様)。   In the copolymer of (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid alkyl ester and styrene and / or styrene derivative, the total weight ratio of styrene and / or styrene derivative is the total weight of the polymerizable monomer. As a reference, it is preferably 3 to 30% by weight, more preferably 4 to 28% by weight, and particularly preferably 5 to 27% by weight. If the total content of styrene and / or styrene derivative is less than 3% by weight, the adhesion tends to be insufficient, and if it exceeds 30% by weight, the peel piece tends to be large and the peel time tends to be long. . Note that “% by weight” here is equivalent to the mass standard (the same applies hereinafter).

また、(A)成分の酸価は、30〜200mgKOH/gであることが好ましく、45〜150mgKOH/gであることがより好ましい。酸価が30mgKOH/g未満では現像時間が長くなる傾向があり、200mgKOH/gを超えると光硬化した感光性樹脂組成物の耐現像液性が低下する傾向がある。   Moreover, it is preferable that the acid value of (A) component is 30-200 mgKOH / g, and it is more preferable that it is 45-150 mgKOH / g. When the acid value is less than 30 mgKOH / g, the development time tends to be long, and when it exceeds 200 mgKOH / g, the developer resistance of the photocured photosensitive resin composition tends to be lowered.

(A)成分の重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定することができる(標準ポリスチレンを用いた検量線による換算)。この測定法によれば、バインダーポリマーのMwは、20000〜300000が好ましく、25000〜150000がより好ましい。Mwが20000未満では耐現像液性が低下する傾向にあり、300000を超えると現像時間が長くなる傾向にある。またバインダーポリマーの分散度(Mw/Mn)は1.0〜3.0であることが好ましく、1.0〜2.5であることがより好ましい。分散度が3.0を超えると接着性及び解像度が低下する傾向にある。   The weight average molecular weight (Mw) and number average molecular weight (Mn) of the component (A) can be measured by gel permeation chromatography (GPC) (converted by a calibration curve using standard polystyrene). According to this measurement method, the Mw of the binder polymer is preferably 20,000 to 300,000, more preferably 25,000 to 150,000. When the Mw is less than 20,000, the developer resistance tends to decrease, and when it exceeds 300,000, the development time tends to be long. Further, the degree of dispersion (Mw / Mn) of the binder polymer is preferably 1.0 to 3.0, and more preferably 1.0 to 2.5. When the degree of dispersion exceeds 3.0, the adhesiveness and resolution tend to decrease.

以上説明したバインダーポリマーは、1種類を単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。2種類以上を組み合わせて使用する場合のバインダーポリマーとしては、例えば、異なる共重合成分からなる2種類以上のバインダーポリマー、異なる重量平均分子量の2種類以上のバインダーポリマー、異なる分散度の2種類以上のバインダーポリマーなどが挙げられる。   The binder polymer demonstrated above can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. As a binder polymer in the case of using two or more types in combination, for example, two or more types of binder polymers comprising different copolymerization components, two or more types of binder polymers having different weight average molecular weights, and two or more types of binder polymers having different degrees of dispersion are used. Examples thereof include a binder polymer.

((B)成分)
(B)成分は、上述のように、分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物であって、(B)成分に含有される感光性樹脂組成物中の固形分1kg当たりのエチレン性不飽和基の総モル数が、1.5〜3.5のものである。
((B) component)
The component (B) is a photopolymerizable compound having at least one polymerizable ethylenically unsaturated bond in the molecule, as described above, in the photosensitive resin composition contained in the component (B). The total number of moles of ethylenically unsaturated groups per kg of solid content is 1.5 to 3.5.

ここで、「感光性樹脂組成物中の固形分」とは、一定のパターンが形成された表面樹脂層を備える回路形成済基板に感光性樹脂組成物を塗布するために溶剤に溶解させる固体状の溶質のことをいう。   Here, the “solid content in the photosensitive resin composition” means a solid state dissolved in a solvent in order to apply the photosensitive resin composition to a circuit-formed substrate having a surface resin layer on which a certain pattern is formed. It refers to the solute.

また、(B)成分に含有されるエチレン性不飽和基は、光重合の際に別の光重合性化合物との結合に関与するものである。従って、例えば光重合性化合物がビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物である場合、該化合物1分子当たりの「エチレン性不飽和基」の数は2となる。   In addition, the ethylenically unsaturated group contained in the component (B) is involved in bonding with another photopolymerizable compound during photopolymerization. Therefore, for example, when the photopolymerizable compound is a bisphenol A (meth) acrylate compound, the number of “ethylenically unsaturated groups” per molecule of the compound is 2.

エチレン性不飽和基の総モル数が上述の数値範囲である光重合性化合物を用いることにより、表面樹脂層を備え、表面凹凸を有する回路形成済基板を用いた場合であっても、解像度、密着性、光感度及びめっき耐性のいずれをも向上させることが可能になり、更には優れた剥離性(アルカリ剥離性)をも有することが可能となる。   By using a photopolymerizable compound in which the total number of moles of ethylenically unsaturated groups is in the above numerical range, the resolution is obtained even when a circuit-formed substrate having a surface resin layer and having surface irregularities is used. It becomes possible to improve all of adhesiveness, photosensitivity, and plating resistance, and also to have excellent peelability (alkali peelability).

エチレン性不飽和基の総モル数が1.5未満であると、特にめっき層の一部がその下地層と吸着しない傾向にあり、3.5を越えるとアルカリ水溶液による剥離が困難になる傾向にあり、生産性が低下してしまう。また、剥離残りが発生しやすく、プリント配線板の品質不良の原因となってしまう。このような観点及び本発明の効果を一層発揮する観点から、エチレン性不飽和基の総モル数は1.5〜2.5であると好ましく、1.6〜2.0であるとより好ましい。   When the total number of moles of ethylenically unsaturated groups is less than 1.5, a part of the plating layer tends not to adsorb to the underlying layer, and when it exceeds 3.5, peeling with an alkaline aqueous solution tends to be difficult. Therefore, productivity is lowered. In addition, peeling residue is likely to occur, which causes defective printed wiring boards. From such a viewpoint and the viewpoint of further exerting the effect of the present invention, the total number of moles of the ethylenically unsaturated group is preferably 1.5 to 2.5, and more preferably 1.6 to 2.0. .

(B)成分である光重合化合物としては、例えば、多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物;ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物;グリシジル基含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物;分子内にウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物等のウレタンモノマーが挙げられ、これら以外にも、ノニルフェノキシポリオキシエチレンアクリレート;γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β’−(メタ)アクリロイルオキシアルキル−o−フタレート等のフタル酸系化合物;(メタ)アクリル酸アルキルエステル等が例示可能である。これらは1種類を単独で或いは2種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the photopolymerizable compound as component (B) include compounds obtained by reacting polyhydric alcohols with α, β-unsaturated carboxylic acids; bisphenol A-based (meth) acrylate compounds; glycidyl group-containing compounds with α, Compounds obtained by reacting β-unsaturated carboxylic acids; urethane monomers such as (meth) acrylate compounds having a urethane bond in the molecule; nonylphenoxypolyoxyethylene acrylate; γ-chloro- Phthalic acid compounds such as β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyalkyl-β ′-(meth) acryloyloxyalkyl-o-phthalate; alkyl (meth) acrylate Examples include esters. These can be used alone or in combination of two or more.

多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が2〜14であるポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレン基の数が2〜14であるポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレン基の数が2〜14であり、プロピレン基の数が2〜14であるポリエチレン・ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO,PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは1種類を単独で或いは2種類以上を組み合わせて用いることができる。ここで「EO」とは「エチレンオキシド」のことをいい、「PO」とは「プロピレンオキシド」のことをいう。そして「EO変性」とはエチレンオキシドユニット(−CH2−CH2−O−)のブロック構造を有することを意味し、「PO変性」とはプロピレンオキシドユニット(−CH2−CH2−CH2−O−)のブロック構造を有することを意味する。 Examples of the compound obtained by reacting a polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid include, for example, polyethylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene groups and 2 to 14 propylene groups. Polypropylene glycol di (meth) acrylate which is a polyethylene polypropylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene groups and 2 to 14 propylene groups, trimethylolpropane di (meth) acrylate, Trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, PO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO, PO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethanetri (meta) ) Examples include acrylate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. These can be used alone or in combination of two or more. Here, “EO” refers to “ethylene oxide”, and “PO” refers to “propylene oxide”. “EO modified” means having a block structure of ethylene oxide units (—CH 2 —CH 2 —O—), and “PO modified” means propylene oxide units (—CH 2 —CH 2 —CH 2 —). O-) having a block structure.

分子内にウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、β位にOH基を有する(メタ)アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、2,6−トルエンジイソシアネート、2,4−トルエンジイソシアネート、1,6−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス((メタ)アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート)ヘキサメチレンイソシアヌレート、EO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート、EO,PO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは1種類を単独で或いは2種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of (meth) acrylate compounds having a urethane bond in the molecule include (meth) acrylic monomers having an OH group at the β-position, isophorone diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, 2,4-toluene diisocyanate, 1,6 -Addition reaction products with diisocyanate compounds such as hexamethylene diisocyanate, tris ((meth) acryloxytetraethylene glycol isocyanate) hexamethylene isocyanurate, EO-modified urethane di (meth) acrylate, EO, PO-modified urethane di (meth) acrylate, etc. Can be mentioned. These can be used alone or in combination of two or more.

そして、上記のノニルフェノキシポリエチレンオキシ(メタ)アクリレートとしては、例えば、ノニルフェノキシテトラエチレンオキシ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシペンタエチレンオキシ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシヘキサエチレンオキシ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシヘプタエチレンオキシ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシオクタエチレンオキシ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシノナエチレンオキシ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシデカエチレンオキシ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシウンデカエチレンオキシ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは1種類を単独で或いは2種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the nonylphenoxypolyethyleneoxy (meth) acrylate include nonylphenoxytetraethyleneoxy (meth) acrylate, nonylphenoxypentaethyleneoxy (meth) acrylate, nonylphenoxyhexaethyleneoxy (meth) acrylate, and nonylphenoxyhepta. Examples include ethyleneoxy (meth) acrylate, nonylphenoxyoctaethyleneoxy (meth) acrylate, nonylphenoxynonaethyleneoxy (meth) acrylate, nonylphenoxydecaethyleneoxy (meth) acrylate, nonylphenoxyundecaethyleneoxy (meth) acrylate, etc. It is done. These can be used alone or in combination of two or more.

これらのなかでも、(B)成分は、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物を含むことが好ましく、該ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物は下記一般式(2);

Figure 2010217903


で表される化合物であることが好ましい。なお、式中、R11及びR12はそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、X及びYはそれぞれ独立に炭素数2〜6のアルキレン基を示し、p及びqはp+q=4〜40となるように選ばれる正の整数を示す。さらに、R11及びR12はいずれもメチル基であることが好ましく、X及びYはいずれもエチレン基であることが好ましく、p及びqはp+q=10〜40となるように選ばれる正の整数であることが好ましい。 Among these, the component (B) preferably contains a bisphenol A (meth) acrylate compound, and the bisphenol A (meth) acrylate compound is represented by the following general formula (2);
Figure 2010217903


It is preferable that it is a compound represented by these. In the formula, R 11 and R 12 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, X and Y each independently represent an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, and p and q are p + q = 4 to 40 A positive integer chosen to be Further, R 11 and R 12 are preferably both methyl groups, X and Y are preferably both ethylene groups, and p and q are positive integers selected such that p + q = 10-40. It is preferable that

ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物としては、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリブトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン等が挙げられる。これらは1種類を単独で或いは2種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of bisphenol A-based (meth) acrylate compounds include 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane and 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolypropoxy) phenyl. ) Propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolybutoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxypolypropoxy) phenyl) propane and the like. . These can be used alone or in combination of two or more.

また、(B)成分のMwは、GPCに基づき、1000以上であることが好ましく、1500以上であることがより好ましく、2000以上であることが更に好ましく、2500以上であることが特に好ましい。また、Mwの上限は5000であることが好ましい。Mwが1000未満では剥離性が低下する傾向があり、5000を超えると感光性樹脂組成物の粘度が上昇して作業性が低下する傾向がある。   Further, the Mw of the component (B) is preferably 1000 or more, more preferably 1500 or more, still more preferably 2000 or more, and particularly preferably 2500 or more based on GPC. Moreover, it is preferable that the upper limit of Mw is 5000. If Mw is less than 1000, the peelability tends to decrease, and if it exceeds 5000, the viscosity of the photosensitive resin composition increases and the workability tends to decrease.

((C)成分)
(C)成分としては、例えば、ベンゾフェノン;N,N’−テトラアルキル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン;2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−プロパノン−1等の芳香族ケトン;アルキルアントラキノン等のキノン類;ベンゾインアルキルエーテル等のベンゾインエーテル化合物;ベンゾイン、アルキルベンゾイン等のベンゾイン化合物;ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体;2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体;9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体;N−フェニルグリシン、N−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物等が挙げられる。これらは1種類を単独で或いは2種類以上を組み合わせて用いることができる。
((C) component)
Examples of the component (C) include benzophenone; N, N′-tetraalkyl-4,4′-diaminobenzophenone; 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2. -Aromatic ketones such as methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propanone-1; quinones such as alkylanthraquinones; benzoin ether compounds such as benzoin alkyl ethers; benzoins such as benzoin and alkylbenzoins Compound; benzyl derivative such as benzyldimethyl ketal; 2,4,5-triarylimidazole dimer; acridine derivative such as 9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9′-acridinyl) heptane; N-phenyl Glycine, N-phenylglycine derivative, coumarin compound And the like. These can be used alone or in combination of two or more.

これらのなかでも、2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体及びN,N’−テトラアルキル−4,4’−ジアミノベンゾフェノンがより好ましい。   Among these, 2,4,5-triarylimidazole dimer and N, N′-tetraalkyl-4,4′-diaminobenzophenone are more preferable.

2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体は、例えば、下記一般式(3);

Figure 2010217903


で表される化合物である。なお、式中、R21、R22及びR23は、それぞれ独立に、フェニル基又は置換フェニル基を示す。 The 2,4,5-triarylimidazole dimer is, for example, the following general formula (3);
Figure 2010217903


It is a compound represented by these. In the formula, R 21 , R 22 and R 23 each independently represent a phenyl group or a substituted phenyl group.

好適なトリアリールイミダゾール二量体としては、例えば、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(p−クロロフェニル)イミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(p−フルオロフェニル)イミダゾール二量体、2,2’−ビス(o−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(p−クロロ−p−メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジクロロフェニル)イミダゾール二量体、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジブロモフェニル)イミダゾール二量体、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(p−クロロナフチル)イミダゾール二量体、2,2’−ビス(m,p−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルイミダゾール二量体、2,2’−ビス(o,p−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルイミダゾール二量体、2,2’−ビス(o,p−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジクロロフェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2,4−ジ(p−メトキシフェニル)−5−フェニルイミダゾール二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2,2’−ビス(p−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルイミダゾール二量体、2,2’−ビス(o−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジクロロフェニル)イミダゾール二量体、2,2’−ビス(o−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(p−ヨードフェニル)イミダゾール二量体、2,2’−ビス(m−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルイミダゾール二量体、2,2’−ビス(m,p−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルイミダゾール二量体等が挙げられる。これらは1種類を単独で或いは2種類以上を組み合わせて用いることができる。   Suitable triarylimidazole dimers include, for example, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,5,4 ′, 5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2- (o -Chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (p-chlorophenyl) imidazole dimer, 2- ( o-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) imidazole dimer, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (p-fluorophenyl) Imidazole dimer, 2,2′-bis (o-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (p-chloro-p-methoxyphenyl) imidazole dimer, 2,2′-bis (O-Chlorophe ) -4,4 ′, 5,5′-tetra (o, p-dichlorophenyl) imidazole dimer, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra ( o, p-dibromophenyl) imidazole dimer, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (p-chloronaphthyl) imidazole dimer, 2,2 ′ -Bis (m, p-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylimidazole dimer, 2,2'-bis (o, p-dichlorophenyl) -4,4', 5,5 ' -Tetraphenylimidazole dimer, 2,2'-bis (o, p-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (o, p-dichlorophenyl) imidazole dimer, 2- (o- Fluorophenyl) -4,5-diphenylimi Zole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4-di (p -Methoxyphenyl) -5-phenylimidazole dimer, 2- (2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methylmercaptophenyl) -4,5-diphenylimidazole Dimer, 2,2′-bis (p-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylimidazole dimer, 2,2′-bis (o-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (o, p-dichlorophenyl) imidazole dimer, 2,2'-bis (o-bromophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (p-iodophenyl) Imidazo Dimer, 2,2′-bis (m-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylimidazole dimer, 2,2′-bis (m, p-dibromophenyl) And -4,4 ', 5,5'-tetraphenylimidazole dimer. These can be used alone or in combination of two or more.

N,N’−テトラアルキル−4,4’−ジアミノベンゾフェノンは、例えば、下記一般式(4);

Figure 2010217903


で表される化合物である。ここで、式中、R31、R32、R33及びR34は、それぞれ独立にアルキル基(好ましくは炭素数1〜4のアルキル基)を示す。 N, N′-tetraalkyl-4,4′-diaminobenzophenone is, for example, the following general formula (4);
Figure 2010217903


It is a compound represented by these. Here, in the formula, R 31 , R 32 , R 33 and R 34 each independently represent an alkyl group (preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms).

好適なN,N’−テトラアルキル−4,4’−ジアミノベンゾフェノンとしては、N,N’−テトラメチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,N’−テトラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン等が挙げられる。   Suitable N, N′-tetraalkyl-4,4′-diaminobenzophenones include N, N′-tetramethyl-4,4′-diaminobenzophenone (Michler ketone), N, N′-tetraethyl-4,4 ′. -Diaminobenzophenone etc. are mentioned.

((D)成分)
本発明の感光性樹脂組成物は、着色剤を(D)成分として含有してもよい。この(D)成分である着色剤は、感光時のハレーションを十分に防止すべく、色相を安定化させるために感光性樹脂組成物に添加されるものである。
((D) component)
The photosensitive resin composition of the present invention may contain a colorant as the component (D). The colorant as component (D) is added to the photosensitive resin composition in order to stabilize the hue in order to sufficiently prevent halation during exposure.

(D)成分としては、N−[4−[[4−(ジエチルアミノ)フェニル]フェニルメチレン]−2,5−シクロヘキサジエン−1−イリデン]−N−エチル−エタナミニウムサルフェート(ダイヤモンドグリーン)、N−[4−[[4−(ジメチルアミノ)フェニルメチレン]−2,5−シクロヘキサジエン−1−イリデン]−N−エチル−エタナミニウムサルフェート、マラカイトグリーン、エチルバイオレット、アシッドマゼンダ等のトリフェニルメタン系染料、スチリール系染料、メタロシアニン系染料、オキソノール系染料等が挙げられる。これらは1種類を単独で或いは2種類以上を組み合わせて用いることができる。   As the component (D), N- [4-[[4- (diethylamino) phenyl] phenylmethylene] -2,5-cyclohexadiene-1-ylidene] -N-ethyl-ethanaminium sulfate (diamond green), N -[4-[[4- (dimethylamino) phenylmethylene] -2,5-cyclohexadiene-1-ylidene] -N-ethyl-ethanaminium sulfate, malachite green, ethyl violet, acid magenta, and other triphenylmethane series And dyes, styryl dyes, methocyanine dyes, and oxonol dyes. These can be used alone or in combination of two or more.

これらのうち、無電解めっき汚染性に優れる観点から、下記一般式(1);

Figure 2010217903


で表される化合物を含有することが好ましい。なお、式中R1、R2、R3及びR4はそれぞれ独立に炭素数1〜18のアルキル基,炭素数2〜18のアルケニル基、炭素数2〜18のアルキニル基、アリール基、炭素数1〜18のカルボキシレート基、炭素数1〜18のアルコキシ基、炭素数2〜18のアルケニルオキシ基、炭素数2〜18のアルキニルオキシ基、炭素数2〜18のアリルオキシ基、炭素数2〜18のアルコキシカルボニル基、炭素数1〜18のアルキルチオ基、炭素数1〜18のアルキルスルホニル基又は炭素数1〜18のアルキルスルフィニル基を示す。 Among these, from the viewpoint of excellent electroless plating contamination, the following general formula (1);
Figure 2010217903


It is preferable to contain the compound represented by these. In the formula, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 18 carbon atoms, an alkynyl group having 2 to 18 carbon atoms, an aryl group, carbon C1-C18 carboxylate group, C1-C18 alkoxy group, C2-C18 alkenyloxy group, C2-C18 alkynyloxy group, C2-C18 allyloxy group, C2-C2 -18 alkoxy carbonyl group, a C1-C18 alkylthio group, a C1-C18 alkylsulfonyl group, or a C1-C18 alkylsulfinyl group is shown.

上記R1、R2、R3及びR4は、一般的染料として工業的に入手可能である観点から、それぞれ独立に炭素数1〜18のアルキル基,炭素数1〜18のアルコキシル基、炭素数1〜18のアルキルスルホニル基、炭素数1〜18のカルボキシレート基であることが好ましく、炭素数1〜18のアルキル基,炭素数1〜18のアルコキシル基であることがより好ましく、同一又は異なる炭素数1〜18のアルキル基であることが更に好ましく、同一又は異なる炭素数1〜8のアルキル基であることが特に好ましく、同一の炭素数1〜8のアルキル基であることが更に一層好ましい。 R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alkoxyl group having 1 to 18 carbon atoms, carbon, from the viewpoint of being industrially available as a general dye. It is preferably an alkylsulfonyl group having 1 to 18 carbon atoms or a carboxylate group having 1 to 18 carbon atoms, more preferably an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, or an alkoxyl group having 1 to 18 carbon atoms. More preferably, they are different alkyl groups having 1 to 18 carbon atoms, particularly preferably the same or different alkyl groups having 1 to 8 carbon atoms, and even more preferably the same alkyl groups having 1 to 8 carbon atoms. preferable.

上記一般式(2)で表される化合物としては、例えばR1、R2、R3及びR4が全てエチル基である4−(p−(ジエチルアミノ)−α−フェニルベンジリデン)−2,5−シクロヘキサジエン−1−イリデンサルフェート(N−[4−[[4−(ジエチルアミノ)フェニル]フェニルメチレン]−2,5−シクロヘキサジエン−1−イリデン]−N−エチル−エタナミニウムサルフェート)や、4−(p−(ジメチルアミノ)−α−フェニルベンジリデン)−2,5−シクロヘキサジエン−1−イリデンサルフェート(N−[4−[[4−(ジメチルアミノ)フェニル]フェニルメチレン]−2,5−シクロヘキサジエン−1−イリデン]−N−エチル−エタナミニウムサルフェート)が挙げられる。これらは1種類を単独で或いは2種類以上を組み合わせて用いることができる。これらのなかで、4−(p−(ジエチルアミノ)−α−フェニルベンジリデン)−2,5−シクロヘキサジエン−1−イリデンサルフェートはベーシックグリーン1又はブリリアントグリーンとして知られており、めっき汚染性が低く容易に入手可能なことから極めて好ましい。 Examples of the compound represented by the general formula (2) include 4- (p- (diethylamino) -α-phenylbenzylidene) -2,5 in which R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are all ethyl groups. -Cyclohexadiene-1-ylidene sulfate (N- [4-[[4- (diethylamino) phenyl] phenylmethylene] -2,5-cyclohexadien-1-ylidene] -N-ethyl-ethanaminium sulfate), 4- (p- (dimethylamino) -α-phenylbenzylidene) -2,5-cyclohexadiene-1-ylidene sulfate (N- [4-[[4- (dimethylamino) phenyl] phenylmethylene] -2, 5-cyclohexadiene-1-ylidene] -N-ethyl-ethanaminium sulfate). These can be used alone or in combination of two or more. Among these, 4- (p- (diethylamino) -α-phenylbenzylidene) -2,5-cyclohexadiene-1-ylidene sulfate is known as Basic Green 1 or Brilliant Green and has low plating contamination. It is very preferable because it is easily available.

本発明の感光性樹脂組成物においては、(A)成分40〜80重量部と(B)成分20〜60重量部との合計100重量部に対する、(C)成分及び(D)成分の配合量を、それぞれ、0.01〜20重量部及び0.001〜0.5重量部とすることが好ましく、それぞれ、0.05〜10重量部及び0.005〜0.2重量部とすることがより好ましい。また、(B)成分の総重量を基準としたビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物の配合量は、3〜90重量%であることが好ましい。   In the photosensitive resin composition of this invention, the compounding quantity of (C) component and (D) component with respect to a total of 100 weight part of (A) component 40-80 weight part and (B) component 20-60 weight part. Are preferably 0.01 to 20 parts by weight and 0.001 to 0.5 parts by weight, respectively, and 0.05 to 10 parts by weight and 0.005 to 0.2 parts by weight, respectively. More preferred. Moreover, it is preferable that the compounding quantity of the bisphenol A type | system | group (meth) acrylate compound on the basis of the total weight of (B) component is 3-90 weight%.

(D)成分の含有量は、感光性樹脂組成物の全重量を基準として0.001〜0.5重量%であることが好ましく、0.005〜0.2重量%であることがより好ましい。(D)成分の含有量を上記範囲内にすることにより、高い解像度、密着性及び光感度を保ったまま、めっきの際の感光性樹脂組成物によるめっき浴汚染を、大幅に低減することが可能となる。   The content of component (D) is preferably 0.001 to 0.5% by weight, more preferably 0.005 to 0.2% by weight, based on the total weight of the photosensitive resin composition. . By keeping the content of the component (D) within the above range, the plating bath contamination by the photosensitive resin composition during plating can be significantly reduced while maintaining high resolution, adhesion and photosensitivity. It becomes possible.

また、(C)成分として4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン及び2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体を含み、これらを含んだ上で(D)成分にダイヤモンドグリーン、マラカイトグリーン及びビクトリアピュアブルーの少なくとも1つを含有することが好ましい。   Further, as component (C), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone and 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer are included, and after these are included, diamond is added to component (D) It preferably contains at least one of green, malachite green and Victoria pure blue.

なお、感光性樹脂組成物には、(A)〜(D)成分以外の成分として、必要に応じて、トリブロモフェニルスルホン、ロイコクリスタルバイオレット等の光発色剤、熱発色防止剤、p−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、顔料、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、はく離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤などを更に含有することができる。   In the photosensitive resin composition, as components other than the components (A) to (D), a photochromic agent such as tribromophenylsulfone or leucocrystal violet, a thermochromic inhibitor, p-toluene, if necessary. Further contains plasticizers such as sulfonamides, pigments, fillers, antifoaming agents, flame retardants, stabilizers, adhesion-imparting agents, leveling agents, peeling accelerators, antioxidants, fragrances, imaging agents, thermal crosslinking agents, etc. can do.

また、本発明の感光性樹脂組成物は、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、N,N−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解する。その際、固形分30〜60%程度の溶液とすることもできる。   The photosensitive resin composition of the present invention is soluble in a solvent such as methanol, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-dimethylformamide, propylene glycol monomethyl ether, or a mixed solvent thereof. . In that case, it can also be set as the solution of solid content about 30-60%.

本発明の感光性樹脂組成物は感光性エレメントに構成されることも可能である。感光性エレメントは、支持体と、支持体上に形成された上記本発明の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備えるものである。なお、感光性樹脂組成物層上には、層を被覆する保護フィルムを更に備えていてもよい。   The photosensitive resin composition of this invention can also be comprised in the photosensitive element. A photosensitive element is equipped with a support body and the photosensitive resin composition layer which consists of a photosensitive resin composition of the said this invention formed on the support body. In addition, you may further provide the protective film which coat | covers a layer on the photosensitive resin composition layer.

感光性樹脂組成物層は、本発明の感光性樹脂組成物を上述したような溶剤に溶解して固形分30〜60重量%程度の溶液とした後に、係る溶液を支持体上に塗布して乾燥することにより形成することが好ましい。塗布は、例えば、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等の公知の方法で行うことができ、乾燥は70〜150℃、5〜30分間程度で行うことができる。また、感光性樹脂組成物中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する点から、2重量%以下とすることが好ましい。   The photosensitive resin composition layer is prepared by dissolving the photosensitive resin composition of the present invention in a solvent as described above to obtain a solution having a solid content of about 30 to 60% by weight, and then applying the solution on a support. It is preferable to form by drying. The application can be performed by a known method such as a roll coater, comma coater, gravure coater, air knife coater, die coater, bar coater, etc., and drying can be performed at 70 to 150 ° C. for about 5 to 30 minutes. Further, the amount of the remaining organic solvent in the photosensitive resin composition is preferably 2% by weight or less from the viewpoint of preventing the organic solvent from diffusing in the subsequent step.

感光性樹脂組成物層の厚さは乾燥後の厚さで、1〜100μmであることが好ましく、1〜50μmであることがより好ましい。この厚さが1μm未満では工業的に塗工困難となり、100μmを超えると接着力、解像度が低下する傾向がある。   The thickness of the photosensitive resin composition layer is the thickness after drying, preferably 1 to 100 μm, and more preferably 1 to 50 μm. If the thickness is less than 1 μm, it is difficult to apply industrially, and if it exceeds 100 μm, the adhesive strength and the resolution tend to decrease.

支持体は、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムを用いることができる。厚さは5〜25μmであることが好ましく、8〜20μmであることがより好ましく、10〜20μmであることが特に好ましい。厚さが5μm未満では現像前の支持体はく離の際に、支持体が破れやすくなる傾向があり、25μmを超えると解像度が低下する傾向がある。   As the support, for example, a polymer film having heat resistance and solvent resistance, such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, and polyester can be used. The thickness is preferably 5 to 25 μm, more preferably 8 to 20 μm, and particularly preferably 10 to 20 μm. When the thickness is less than 5 μm, the support tends to be broken when the support is peeled off before development, and when it exceeds 25 μm, the resolution tends to decrease.

保護フィルムは、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムを用いることができる。厚さは5〜30μmであることが好ましく、10〜28μmであることがより好ましく、15〜25μmであることが特に好ましい。厚さが5μm未満ではラミネートの際、保護フィルムが破れやすくなる傾向があり、30μmを超えると廉価性に劣る傾向がある。   As the protective film, for example, a polymer film having heat resistance and solvent resistance such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, and polyester can be used. The thickness is preferably 5 to 30 μm, more preferably 10 to 28 μm, and particularly preferably 15 to 25 μm. When the thickness is less than 5 μm, the protective film tends to be easily broken during lamination, and when it exceeds 30 μm, the cost tends to be inferior.

本発明の感光性エレメントは、クッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層や保護層等を更に有していてもよい。また得られた感光性エレメントはシート状、又は巻芯にロール状に巻き取って保管することができる。   The photosensitive element of the present invention may further include an intermediate layer such as a cushion layer, an adhesive layer, a light absorption layer, and a gas barrier layer, a protective layer, and the like. Moreover, the obtained photosensitive element can be wound up and stored in the form of a sheet or a roll around a core.

次に、本発明のプリント配線板の製造方法について説明する。   Next, the manufacturing method of the printed wiring board of this invention is demonstrated.

本発明のプリント配線板の製造方法は、一定のパターンを有する表面樹脂層を備える回路形成済基板の表面樹脂層上に、上述した本発明の感光性樹脂組成物の硬化物からなる、一定のパターンを有する硬化物層を形成し、回路形成済基板上に表面樹脂層及び硬化物層をこの順に備えた積層基板を得る第1の工程と、積層基板に対して無電解めっきを行う第2の工程と、無電解めっきがされた積層基板から、一定のパターンを有する硬化物層を除去する第3の工程とを含んでいる。   The method for producing a printed wiring board of the present invention comprises a cured product of the above-described photosensitive resin composition of the present invention on a surface resin layer of a circuit-formed substrate provided with a surface resin layer having a certain pattern. A first step of forming a cured product layer having a pattern and obtaining a laminated substrate having a surface resin layer and a cured product layer in this order on a circuit-formed substrate, and a second step of performing electroless plating on the laminated substrate And the third step of removing the cured product layer having a certain pattern from the laminated substrate subjected to electroless plating.

上記方法では第1の工程において、表面樹脂層上に感光性樹脂組成物を積層し、該組成物の所定部分に活性光線を照射して硬化部を形成せしめ、次いで、該硬化部以外の部分を除去することにより、一定のパターンを有する硬化物層を形成することもできる。   In the above method, in the first step, a photosensitive resin composition is laminated on the surface resin layer, and a predetermined portion of the composition is irradiated with actinic rays to form a cured portion, and then a portion other than the cured portion. By removing, a cured product layer having a certain pattern can be formed.

また、上記の第1の工程において、一定のパターンを有する表面樹脂層を備える回路形成済基板の前記表面樹脂層上に、上述した本発明の感光性エレメントにおける感光性樹脂組成物層を積層し、該層の所定部分に活性光線を照射して硬化物層を形成せしめ、次いで、該硬化物層以外の部分を除去することにより一定のパターンを有する硬化物層を形成し、回路形成済基板上に表面樹脂層及び硬化物層をこの順に備えた積層基板を得るようにしてもよい。かかる場合においては、感光性エレメントにおける感光性樹脂組成物層を約70〜150℃に加熱しながら、圧力約0.1〜1MPa(約1〜10kgf/cm2)で加熱圧着して、積層することが好ましく、かかる積層は減圧下で行ってもよい。 In the first step, the photosensitive resin composition layer in the photosensitive element of the present invention described above is laminated on the surface resin layer of the circuit-formed substrate having a surface resin layer having a certain pattern. Then, a predetermined portion of the layer is irradiated with actinic rays to form a cured product layer, and then a portion other than the cured product layer is removed to form a cured product layer having a certain pattern. A laminated substrate having a surface resin layer and a cured product layer in this order may be obtained. In such a case, the photosensitive resin composition layer in the photosensitive element is heated and pressure-bonded at a pressure of about 0.1 to 1 MPa (about 1 to 10 kgf / cm 2 ) while being heated to about 70 to 150 ° C., and laminated. Preferably, such lamination may be performed under reduced pressure.

上記製造方法においては、表面樹脂層及び感光性樹脂組成物層のいずれもがパターニングされるが、両層のパターニングは、ネガマスク又はポジマスクを介して活性光線(紫外線等)を照射し、照射後除去すべき部分を公知の方法で除去することにより形成することが好ましい。感光性樹脂組成物については、上記マスクを用い紫外線で硬化層を形成した後に、未硬化部分を、例えば、0.1〜5重量%炭酸ナトリウムの希薄溶液、0.1〜5重量%炭酸カリウムの希薄溶液、0.1〜5重量%水酸化ナトリウムの希薄溶液等のアルカリ性水溶液(pHは9〜11が好ましく、界面活性剤、消泡剤、有機溶剤等が添加されていてもよい。)により除去(現像)することができる。現像後は、約60〜250℃の加熱及び/又は約0.2〜10J/cm2の露光により、一定のパターンを有する感光性樹脂組成物層(硬化物層)を、後硬化させることが好ましい。これにより、該硬化物層はより安定化される。 In the above manufacturing method, both the surface resin layer and the photosensitive resin composition layer are patterned, but patterning of both layers is performed by irradiating with actinic rays (such as ultraviolet rays) through a negative mask or a positive mask and then removing after irradiation. Preferably, the portion to be formed is removed by a known method. For the photosensitive resin composition, after forming a cured layer with ultraviolet rays using the mask, an uncured portion is, for example, a dilute solution of 0.1 to 5 wt% sodium carbonate, 0.1 to 5 wt% potassium carbonate. Alkaline solutions such as dilute solutions of 0.1 to 5 wt% sodium hydroxide (pH is preferably 9 to 11, and surfactants, antifoaming agents, organic solvents, etc. may be added). Can be removed (developed). After development, the photosensitive resin composition layer (cured product layer) having a certain pattern may be post-cured by heating at about 60 to 250 ° C. and / or exposure at about 0.2 to 10 J / cm 2. preferable. Thereby, the cured product layer is further stabilized.

パターニングの結果、回路形成済基板における回路(導体層)の少なくとも一部を露出させ、無電解めっきにより回路(導体層)上にめっき層の形成を行う。無電解めっきとしては、無電解ニッケルめっきが挙げられ、無電解ニッケルめっき上には、金、銀、パラジウム、白金、ロジウム、銅、スズ等の金属めっきを行ってもよい。これらのなかで、無電解ニッケル上に金めっきを施す無電解ニッケル−金めっきが、めっきの信頼性等の観点から好ましい。   As a result of patterning, at least a part of the circuit (conductor layer) on the circuit-formed substrate is exposed, and a plating layer is formed on the circuit (conductor layer) by electroless plating. Examples of the electroless plating include electroless nickel plating, and metal plating such as gold, silver, palladium, platinum, rhodium, copper, and tin may be performed on the electroless nickel plating. Among these, electroless nickel-gold plating in which gold plating is performed on electroless nickel is preferable from the viewpoint of the reliability of plating.

無電解めっきの後は、一定のパターンを有する感光性樹脂組成物層(硬化物層)を除去する。除去に当たっては、例えば、現像に用いたアルカリ性水溶液より更に強アルカリ性の水溶液を用いることが好ましい。強アルカリ性の水溶液としては、例えば、1〜10重量%水酸化ナトリウム水溶液、1〜10重量%水酸化カリウム水溶液、1〜50重量%モノエタノールアミン水溶液、1〜50重量%トリエタノールアミン水溶液等が挙げられ、除去の方法としては、例えば、室温〜70℃の範囲で、浸漬やスプレーを行う方法が挙げられる。   After the electroless plating, the photosensitive resin composition layer (cured product layer) having a certain pattern is removed. For removal, for example, it is preferable to use a stronger alkaline aqueous solution than the alkaline aqueous solution used for development. Examples of the strongly alkaline aqueous solution include 1 to 10% by weight sodium hydroxide aqueous solution, 1 to 10% by weight potassium hydroxide aqueous solution, 1 to 50% by weight monoethanolamine aqueous solution, and 1 to 50% by weight triethanolamine aqueous solution. Examples of the removal method include a method of dipping or spraying in the range of room temperature to 70 ° C.

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples.

まず表1に示す材料を混合し、感光性樹脂組成物の溶液を得た。   First, the materials shown in Table 1 were mixed to obtain a photosensitive resin composition solution.

Figure 2010217903
Figure 2010217903

なお、表1において、*1は、2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパン(新中村化学工業株式会社製)、*2は、2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパン(新中村化学工業株式会社製)、*3は、PO/EO変性ウレタンアクリレート(新中村化学工業株式会社製)、*4は、EO変性トリメチロールプロパントリアクリレート(三洋化成工業株式会社製)、*5は、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−メタクリロイルオキシエチル−o−フタレート(日立化成工業株式会社製)、*6は、ポリプロピレングリコールジアクリレート(プロピレングリコール鎖の繰り返し単位は6〜7、新中村化学工業株式会社製)、*7は、イソシアヌレート変性トリアクリレート(新中村化学工業株式会社製)、*8は、4−(p−(ジエチルアミノ)−α−フェニルベンジリデン)−2,5−シクロヘキサジエン−1−イリデンサルフェート(富士化成貿易株式会社製)、*9は、N−(4−(ジメチルアミノ)フェニル)フェニルメチレン−2,5−シクロヘキサジエン−1−イリデン)−N−メチルメタミニウム蓚酸塩(保土谷化学工業株式会社製)、*10は、アイゼン ビクトリア ピュアブルーBOH(商品名、保土谷化学工業株式会社製)をそれぞれ示す。さらに、表1中の数値の単位は重量部である。   In Table 1, * 1 represents 2,2-bis (4- (methacryloxypentaethoxy) phenyl) propane (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), and * 2 represents 2,2-bis (4- ( Methacryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane (made by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), * 3 is PO / EO-modified urethane acrylate (made by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), * 4 is EO-modified trimethylolpropane triacrylate (Manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd.), * 5 is γ-chloro-β-hydroxypropyl-β′-methacryloyloxyethyl-o-phthalate (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), * 6 is polypropylene glycol diacrylate ( The repeating unit of propylene glycol chain is 6-7, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), * 7 is isocyanurate-modified triac Rate (made by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), * 8 is 4- (p- (diethylamino) -α-phenylbenzylidene) -2,5-cyclohexadiene-1-ylidene sulfate (made by Fuji Kasei Trading Co., Ltd.) , * 9 is N- (4- (dimethylamino) phenyl) phenylmethylene-2,5-cyclohexadiene-1-ylidene) -N-methylmetaminium succinate (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.), * 10 Indicates Eizen Victoria Pure Blue BOH (trade name, manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.). Furthermore, the unit of numerical values in Table 1 is parts by weight.

次に、得られた感光性樹脂組成物の溶液を、寸法(幅380mm×厚さ20μm)のポリエチレンテレフタレートフィルム(以下、「PETフィルム」という。)上に乾燥後の厚さが50μmとなるように塗布した後、熱風対流式乾燥機を用いて100℃で乾燥し、感光性樹脂組成物層を形成させた。乾燥後、厚さ35μmのポリエチレンフィルムで感光性樹脂組成物層を被覆し、ロールで加圧して、感光性エレメントを得た。   Next, the obtained photosensitive resin composition solution is dried on a polyethylene terephthalate film (hereinafter referred to as “PET film”) having dimensions (width 380 mm × thickness 20 μm) so that the thickness after drying becomes 50 μm. Then, it was dried at 100 ° C. using a hot air convection dryer to form a photosensitive resin composition layer. After drying, the photosensitive resin composition layer was coated with a polyethylene film having a thickness of 35 μm and pressed with a roll to obtain a photosensitive element.

(回路形成済基板の作製)
縦12.5cm×横20cm×厚さ1.6mmの両面銅張りエポキシ積層板(日立化成工業(株)製、MCL−E−61)の片面の銅箔表面に周縁部1cmを残してエッチングレジストを形成し、不要な銅箔をエッチング除去し、金属端子(パッド)や配線の回路を形成した後、残余のエッチングレジストをはく離して、回路形成済基板を得た。裏面は全面エッチングし、ガラスエポキシ表面が露出した状態にした。
(Production of circuit-formed board)
Etching resist leaving 1 cm peripheral edge on the copper foil surface of one side of double-sided copper-clad epoxy laminate (HCL, Hitachi Chemical Co., Ltd., MCL-E-61) measuring 12.5 cm long × 20 cm wide × 1.6 mm thick Then, unnecessary copper foil was removed by etching to form metal terminals (pads) and wiring circuits, and then the remaining etching resist was removed to obtain a circuit-formed substrate. The entire back surface was etched so that the glass epoxy surface was exposed.

(表面樹脂層の形成)
得られた回路形成済基板の回路面に、フォトレジスト(太陽インキ(株)製、PSR−4000)を、周縁部1cm全面に塗布し、80℃で30分乾燥した。その後、フォトツールを介し、露光機((株)オーク製作所製、HMW−590)を用いて、めっきする実装パッド部を除く全面を露光した。未露光部分を1重量%の炭酸ナトリウム水溶液(30℃)でスプレー現像し、パッド部上のフォトレジストを除去して、レジストパターンを形成し、その後、150℃で1時間加熱することにより熱硬化させ、回路形成済基板上に表面樹脂層(ソルダーレジスト)を形成した。
(Formation of surface resin layer)
Photoresist (manufactured by Taiyo Ink Co., Ltd., PSR-4000) was applied to the entire peripheral surface of 1 cm on the circuit surface of the obtained circuit-formed substrate, and dried at 80 ° C. for 30 minutes. Then, the whole surface except the mounting pad part to plate was exposed using the exposure machine (Corporation | KK Oak Manufacturing, HMW-590) through the photo tool. The unexposed area is spray-developed with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution (30 ° C), the photoresist on the pad is removed to form a resist pattern, and then heat-cured by heating at 150 ° C for 1 hour. A surface resin layer (solder resist) was formed on the circuit-formed substrate.

(感光性樹脂組成物層の形成)
表面樹脂層を備えた回路形成済基板の両面に、先に得られた実施例1〜6及び比較例1〜2にかかる感光性エレメントにおける感光性樹脂組成物層を、圧力0.4MPa、温度100℃、ラミネート速度1.5m/分でラミネートし、積層した。積層された感光性樹脂組成物層の実装パッドを除く全面を露光し、現像してレジストパターンを形成した。その後、150℃で1時間加熱することにより感光性樹脂組成物層を熱硬化させ、回路形成済基板上に表面樹脂層及び硬化物層(硬化した感光性樹脂組成物層)がこの順に形成されパターニングがされた積層基板を得た。
(Formation of photosensitive resin composition layer)
The photosensitive resin composition layers in the photosensitive elements according to Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 and 2 previously obtained on both surfaces of the circuit-formed substrate provided with the surface resin layer were pressure 0.4 MPa, temperature. Lamination was performed at 100 ° C. and a lamination speed of 1.5 m / min. The entire surface of the laminated photosensitive resin composition layer excluding the mounting pad was exposed and developed to form a resist pattern. Then, the photosensitive resin composition layer is thermally cured by heating at 150 ° C. for 1 hour, and a surface resin layer and a cured product layer (cured photosensitive resin composition layer) are formed in this order on the circuit-formed substrate. A patterned laminated substrate was obtained.

以上により得られた感光性エレメント及び積層基板について、以下の方法により特性評価を行った。   About the photosensitive element and laminated substrate which were obtained by the above, characteristic evaluation was performed with the following method.

(めっき耐性)
得られた積層基板に関し、以下の処理を、連続して行った。
(a)脱脂処理
Z−200(株式会社ワールドメタル製、商品名)に、50℃で、1分間浸漬処理した。
(b)水洗
室温で、2分間、流水で洗浄した。
(c)ソフトエッチング
100g/Lの過硫酸アンモニウム浴に、室温で、1分間浸漬処理した。
(d)水洗
室温で、2分間、流水で洗浄した。
(e)酸洗処理
10%硫酸溶液に、室温で、1分間浸漬処理した。
(f)水洗
室温で、2分間、流水で洗浄した。
(g)活性化
無電解めっき用触媒溶液SA−100(日立化成工業株式会社製、商品名)に、室温で、5分間浸漬処理した。
(h)水洗
室温で、2分間、流水で洗浄した。
(i)無電解ニッケルめっき
Ni−Pめっき(P含有量7%)液であるNIPS−100(日立化成工業株式会社製、商品名)に、95℃で、20分間浸漬処理した。
(j)水洗
室温で、2分間、流水で洗浄した。
(k)置換型無電解金めっき
置換型無電解金めっき液オーロテックSF(アトテック株式会社製、商品名)に、85℃で、10分間浸漬処理した。
(l)後処理
めっき終了後、水洗し、85℃で15分間乾燥した。
(Plating resistance)
With respect to the obtained multilayer substrate, the following treatment was continuously performed.
(a) Immersion treatment was performed at 50 ° C. for 1 minute in degreasing treatment Z-200 (trade name, manufactured by World Metal Co., Ltd.).
(b) Washing with water Washing with running water at room temperature for 2 minutes.
(c) Soft etching The substrate was immersed in a 100 g / L ammonium persulfate bath at room temperature for 1 minute.
(d) Washing with water Washing with running water at room temperature for 2 minutes.
(e) Pickling treatment It was immersed in a 10% sulfuric acid solution for 1 minute at room temperature.
(f) Washing with water Washing with running water at room temperature for 2 minutes.
(g) The activated electroless plating catalyst solution SA-100 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) was immersed for 5 minutes at room temperature.
(h) Washing with water Washing with running water at room temperature for 2 minutes.
(i) An immersion treatment was performed at 95 ° C. for 20 minutes in NIPS-100 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) which is an electroless nickel plating Ni—P plating (P content: 7%) solution.
(j) Washing with water Washing with running water at room temperature for 2 minutes.
(k) Substitution type electroless gold plating Substitution type electroless gold plating solution Aurotec SF (Atotech Co., Ltd., trade name) was immersed for 10 minutes at 85 ° C.
(l) Post-treatment After completion of plating, the plate was washed with water and dried at 85 ° C. for 15 minutes.

こうして得られためっき加工された積層基板について、視認で、硬化物層(硬化した感光性樹脂組成物層)の破れの有無、特にパッド部周囲を調べた。   The plated laminated substrate thus obtained was visually examined for the presence or absence of tearing of the cured product layer (cured photosensitive resin composition layer), particularly around the pad portion.

(剥離特性)
得られた積層基板を、予め50℃に加温した3%の水酸化ナトリウム水溶液に浸漬し、硬化物層(硬化した感光性樹脂組成物層)が剥離するのに要した時間と、剥離残りの有無を観察した。
(Peeling characteristics)
The laminated substrate obtained was immersed in a 3% aqueous sodium hydroxide solution preheated to 50 ° C., and the time required for the cured product layer (cured photosensitive resin composition layer) to peel and the remaining peeling The presence or absence of was observed.

上記試験方法により得られた結果を以下の表2に示す。   The results obtained by the above test method are shown in Table 2 below.

Figure 2010217903
Figure 2010217903

なお、表2において、「エチレン性不飽和基モル数」とは感光性樹脂組成物中の固形分1kg当たりの(B)成分に含有されるエチレン性不飽和基の総モル数のことをいう。また、めっき耐性について、「○」は硬化物層の破れが認められなかったことを意味し、「×」は硬化物層の破れが認められたことを意味する。さらに、剥離特性について、「○」は剥離残りが認められなかったことを意味し、「×」は剥離残りが認められたことを意味する。   In Table 2, “number of moles of ethylenically unsaturated groups” refers to the total number of moles of ethylenically unsaturated groups contained in component (B) per kg of solid content in the photosensitive resin composition. . Regarding plating resistance, “◯” means that the cured product layer was not torn, and “x” means that the cured product layer was torn. Furthermore, regarding the peeling characteristics, “◯” means that no peeling residue was observed, and “X” means that peeling residue was recognized.

Claims (6)

一定のパターンを有する表面樹脂層を備える回路形成済基板の前記表面樹脂層上に硬化物層を形成させるための感光性樹脂組成物であって、
(A)バインダーポリマーと、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を含有しており、
前記(B)成分は、該(B)成分に含まれる感光性樹脂組成物中の固形分1kg当たりのエチレン性不飽和基の総モル数が、1.5〜3.5のものであることを特徴とする感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition for forming a cured product layer on the surface resin layer of a circuit-formed substrate having a surface resin layer having a certain pattern,
(A) a binder polymer, (B) a photopolymerizable compound having at least one polymerizable ethylenically unsaturated bond in the molecule, and (C) a photopolymerization initiator,
The component (B) has a total number of moles of ethylenically unsaturated groups per kg of solid content in the photosensitive resin composition contained in the component (B) of 1.5 to 3.5. A photosensitive resin composition characterized by the above.
前記(B)成分として、ビスフェノールA系ポリオキシエチレンジ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド,プロピレンオキシド変性ウレタンジ(メタ)アクリレート及びエチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリアクリレートからなる群より選ばれる少なくとも一種を含有することを特徴とする請求項1記載の感光性樹脂組成物。 The component (B) contains at least one selected from the group consisting of bisphenol A-based polyoxyethylene di (meth) acrylate, ethylene oxide, propylene oxide-modified urethane di (meth) acrylate and ethylene oxide-modified trimethylolpropane triacrylate. The photosensitive resin composition of Claim 1 characterized by the above-mentioned. (D)着色剤を含有しており、該(D)成分として、下記一般式(1);
Figure 2010217903

(式中R1、R2、R3及びR4は、それぞれ独立に炭素数1〜18のアルキル基、炭素数2〜18のアルケニル基、炭素数2〜18のアルキニル基、アリール基、炭素数1〜18のカルボキシレート基、炭素数1〜18のアルコキシル基、炭素数2〜18のアルケニルオキシ基、炭素数2〜18のアルキニルオキシ基、炭素数2〜18のアリルオキシ基、炭素数2〜18のアルコキシカルボニル基、炭素数1〜18のアルキルチオ基、炭素数1〜18のアルキルスルホニル基又は炭素数1〜18のアルキルスルフィニル基を示す。)
で表される化合物を含有することを特徴とする請求項1又は2記載の感光性樹脂組成物。
(D) contains a colorant, and as the component (D), the following general formula (1);
Figure 2010217903

Wherein R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 18 carbon atoms, an alkynyl group having 2 to 18 carbon atoms, an aryl group, carbon C1-C18 carboxylate group, C1-C18 alkoxyl group, C2-C18 alkenyloxy group, C2-C18 alkynyloxy group, C2-C18 allyloxy group, C2-C2 An alkoxycarbonyl group having 18 to 18 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 18 carbon atoms, an alkylsulfonyl group having 1 to 18 carbon atoms, or an alkylsulfinyl group having 1 to 18 carbon atoms.)
The photosensitive resin composition of Claim 1 or 2 containing the compound represented by these.
一定のパターンを有する表面樹脂層を備える回路形成済基板の前記表面樹脂層上に、感光性樹脂組成物の硬化物からなり且つ一定のパターンを有する硬化物層を形成し、前記回路形成済基板上に前記表面樹脂層及び前記硬化物層をこの順に備えた積層基板を得る第1の工程と、
前記積層基板に対して無電解めっきを行う第2の工程と、
前記無電解めっきが施された前記積層基板から、前記一定のパターンを有する硬化物層を除去する第3の工程と、を含むプリント配線板の製造方法であって、
前記感光性樹脂組成物として請求項1〜3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を用いることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
A cured product layer comprising a cured product of a photosensitive resin composition and having a certain pattern is formed on the surface resin layer of a circuit-formed substrate having a surface resin layer having a certain pattern, and the circuit-formed substrate is formed. A first step of obtaining a laminated substrate comprising the surface resin layer and the cured product layer in this order;
A second step of performing electroless plating on the laminated substrate;
A third step of removing the cured product layer having the certain pattern from the laminated substrate subjected to the electroless plating, and a method for producing a printed wiring board,
The manufacturing method of the printed wiring board characterized by using the photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-3 as the said photosensitive resin composition.
前記第2の工程を実施した後に、前記表面樹脂層を硬化させる第4の工程を含むことを特徴とする請求項4記載のプリント配線板の製造方法。 The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 4, further comprising a fourth step of curing the surface resin layer after performing the second step. 前記第2の工程が、前記積層基板に対して無電解ニッケル−金めっきを行う工程であることを特徴とする請求項4又は5記載のプリント配線板の製造方法。
6. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 4, wherein the second step is a step of performing electroless nickel-gold plating on the multilayer substrate.
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