JP2006330193A - Photosensitive resin composition, photosensitive element and method for producing printed wiring board using therefor - Google Patents

Photosensitive resin composition, photosensitive element and method for producing printed wiring board using therefor Download PDF

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Takuya Kajiwara
卓哉 梶原
Masaki Endo
昌樹 遠藤
Tetsuya Yoshida
哲也 吉田
Shuichi Itagaki
秀一 板垣
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition capable of forming a cured material layer which hardly contaminates a plating solution and exhibits excellent plating resistance even when electroless plating is carried out at a high temperature. <P>SOLUTION: The photosensitive resin composition contains a binder polymer, a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, a photopolymerization initiator and a guanamine compound represented by formula (1) wherein R<SP>1</SP>denotes H, an alkyl group or an aryl group which may have a substituent. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、感光性エレメント及びこれらを用いたプリント配線板の製造方法に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a photosensitive element, and a method for producing a printed wiring board using these.

従来、プリント配線板においては、回路パターンの保護等を目的として、回路パターン上に金属めっきが行われている。また、近年では、プリント配線板に実装される実装部品として、小型化に有利なChip Scale Package(CSP)やBall GridArray(BGA)の利用が増大してきている。これらの実装部品は、通常、回路パターン上に設けられた実装パッド(はんだパッド)にはんだボールを介して係合することにより回路基板と接続される。この際、回路基板の回路パターン面には、実装パッドを除く全面にソルダーレジストが形成されることが一般的である。このような実装方法において、上述した実装パッド上には、実装部品との間の接触抵抗を低減することを目的として、金属めっきが施されることが多い。これらの回路パターンや実装パッド上に形成される金属めっきとしては、実装部品等の良好な接続を可能にするために金めっきが多用されている。   Conventionally, in a printed wiring board, metal plating is performed on a circuit pattern for the purpose of protecting the circuit pattern. In recent years, the use of Chip Scale Package (CSP) and Ball Grid Array (BGA), which are advantageous for miniaturization, is increasing as mounting parts mounted on printed wiring boards. These mounting components are usually connected to the circuit board by engaging with mounting pads (solder pads) provided on the circuit pattern via solder balls. In this case, a solder resist is generally formed on the entire circuit pattern surface of the circuit board except for the mounting pads. In such a mounting method, metal plating is often performed on the mounting pad described above for the purpose of reducing the contact resistance with the mounting component. As metal plating formed on these circuit patterns and mounting pads, gold plating is frequently used in order to enable good connection of mounted components and the like.

さらに、金属めっきの方法は、近年、従来の電解めっき法から無電解めっき法へと急速に移行しつつある。これは、プリント配線板は、従来にも増して更なる小型化・高密度化が進められており、電極リードの取り付けが必要な従来の電解めっきでは、かかる小型化等の流れに対応できないためである。また、無電解めっきによれば、均一な膜厚及び平滑な表面を有するめっき膜が得られるという利点もある。このため、無電解めっきへの移行は、携帯用電子機器用の基板において特に顕著に進んでいる。   Further, in recent years, the method of metal plating is rapidly shifting from the conventional electrolytic plating method to the electroless plating method. This is because printed wiring boards are being further miniaturized and densified compared to conventional methods, and conventional electroplating that requires electrode lead attachment cannot cope with such downsizing trends. It is. In addition, electroless plating has an advantage that a plating film having a uniform film thickness and a smooth surface can be obtained. For this reason, the shift to electroless plating is particularly remarkable in the substrate for portable electronic devices.

ところが、このような携帯用電子機器は、従来の電子機器に比べて落下等の衝撃や曲げ等の力を受け易いものであった。そして、これらの力が携帯電子機器に付加された場合には、かかる携帯用電子機器に搭載された基板において実装部品が脱落してしまう等の不都合が生じ易い傾向にあった。   However, such portable electronic devices are more susceptible to impacts such as dropping and forces such as bending than conventional electronic devices. When these forces are applied to the portable electronic device, there is a tendency that inconveniences such as mounting components fall off on the board mounted on the portable electronic device.

そこで、このような不都合を低減するために、ソルダーレジスト上に、実装パッドを除くように感光性樹脂組成物の硬化物からなる層を更に設けた状態で無電解めっきを施し、その後、この硬化物の層を除去することによって、無電解めっき層をより良好に形成させる方法が試みられている(特許文献1、2参照)。これにより、実装パッドとはんだボールとの接続信頼性を向上させることができ、実装部品の脱落等を低減することが可能となる。
特開2004−12812号公報 特開2003−35953号公報
Therefore, in order to reduce such inconvenience, electroless plating is performed on the solder resist with a layer made of a cured product of the photosensitive resin composition so as to remove the mounting pad, and then this curing is performed. Attempts have been made to form an electroless plating layer better by removing the object layer (see Patent Documents 1 and 2). As a result, the connection reliability between the mounting pad and the solder ball can be improved, and the dropout of the mounted component can be reduced.
JP 2004-12812 A JP 2003-35953 A

しかしながら、上記従来技術について本発明者らが検討したところ、上記のようにソルダーレジスト上に感光性樹脂組成物の硬化物層を形成する方法には、以下に示すような改善点があることを見出した。すなわち、無電解めっきは通常、比較的高い温度で行われることが多いが、かかる高温条件で無電解めっきを行った場合、硬化物層の剥離や破れが生じ易い傾向にあった。つまり、感光性樹脂組成物からなる硬化物層は、高温条件における耐めっき性が低かった。そして、このように硬化物層の剥離や破れが生じると、上述したような硬化物層を形成する利点が十分に得られ難くなり、結果として従来のように実装部品の脱落等が生じ易い結果となる。   However, the present inventors have examined the above prior art and found that the method for forming a cured layer of the photosensitive resin composition on the solder resist as described above has the following improvements. I found it. That is, the electroless plating is usually performed at a relatively high temperature, but when the electroless plating is performed under such a high temperature condition, the cured product layer tends to be peeled off or torn. That is, the cured product layer made of the photosensitive resin composition had low plating resistance under high temperature conditions. When the cured product layer is peeled or torn like this, it is difficult to sufficiently obtain the advantage of forming the cured product layer as described above, and as a result, mounting components are likely to drop off as in the past. It becomes.

このような不都合を解消するには、感光性樹脂組成物中に密着性を向上させ得る添加剤を添加するのが有効であったが、このような添加剤を含む感光性樹脂組成物を用いると、無電解金めっきの際にかかる添加剤がめっき液中に析出しやすい傾向にあった。その結果、めっきが阻害されて十分なめっき層が形成されなくなることが判明した。   In order to eliminate such inconvenience, it was effective to add an additive capable of improving adhesion to the photosensitive resin composition, but a photosensitive resin composition containing such an additive is used. In addition, the additive applied during electroless gold plating tends to precipitate in the plating solution. As a result, it has been found that plating is inhibited and a sufficient plating layer cannot be formed.

そこで、本発明はこのような事情にかんがみてなされたものであり、高温条件で無電解めっきを行った場合であっても、めっき液の汚染が少なく、しかも優れた耐めっき性を発揮し得る硬化物層を形成することができる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。本発明はまた、かかる感光性樹脂組成物を用いた感光性エレメント、及びこれらを用いるプリント配線板の製造方法を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made in view of such circumstances, and even when electroless plating is performed under high temperature conditions, the plating solution is less contaminated and can exhibit excellent plating resistance. It aims at providing the photosensitive resin composition which can form a hardened | cured material layer. Another object of the present invention is to provide a photosensitive element using such a photosensitive resin composition and a method for producing a printed wiring board using these photosensitive elements.

上記目的を達成するために、本発明の感光性樹脂組成物は、バインダーポリマーと、エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、光重合開始剤と、下記一般式(1)で表されるグアナミン化合物とを含有することを特徴とする。

Figure 2006330193

[式中、Rは、水素原子、アルキル基又は置換基を有していてもよいアリール基を示す。] In order to achieve the above object, the photosensitive resin composition of the present invention is represented by a binder polymer, a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, a photopolymerization initiator, and the following general formula (1). And a guanamine compound.
Figure 2006330193

[Wherein, R 1 represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an aryl group which may have a substituent. ]

このような構成を有する感光性樹脂組成物によれば、回路パターン上に設けられたソルダーレジスト等の保護層に対して密着性に優れるほか、優れた強度を有する硬化物層を形成できる。したがって、この感光性樹脂組成物によれば、添加剤等を添加しなくても高温条件下において基板からの剥離や破れを生じることが少なく、耐めっき性に優れる硬化物層を形成し得るようになる。その結果、この感光性樹脂組成物からなる硬化物層を形成させることにより、めっき液を汚染することなく実装パッド等に対する無電解めっきを良好に行うことが可能となる。これにより、得られたプリント配線板は、実装部品等の脱落が極めて生じ難いものとなる。   According to the photosensitive resin composition having such a configuration, in addition to excellent adhesion to a protective layer such as a solder resist provided on a circuit pattern, a cured product layer having excellent strength can be formed. Therefore, according to this photosensitive resin composition, it is possible to form a cured product layer that is less likely to peel or break from the substrate under high-temperature conditions without adding an additive or the like, and has excellent plating resistance. become. As a result, by forming a cured product layer made of this photosensitive resin composition, it is possible to satisfactorily perform electroless plating on a mounting pad or the like without contaminating the plating solution. As a result, the obtained printed wiring board is extremely unlikely to drop off mounted components or the like.

より具体的には、バインダーポリマーは、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸アルキルエステルをモノマー単位として含むアクリル系樹脂を含有するものであると好ましい。これにより、得られる硬化物層の密着性、強度の特性が更に優れるようになる。   More specifically, the binder polymer preferably contains an acrylic resin containing (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid alkyl ester as monomer units. Thereby, the adhesiveness of the hardened | cured material layer obtained and the characteristic of intensity | strength become further excellent.

また、上記本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤として、2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体を含むことが好ましい。添加剤である上述したグアナミン化合物と、光重合開始剤である2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体との組み合わせにより、得られる硬化物層の耐めっき性が更に向上する。   The photosensitive resin composition of the present invention preferably contains a 2,4,5-triarylimidazole dimer as a photopolymerization initiator. The combination of the above-described guanamine compound that is an additive and the 2,4,5-triarylimidazole dimer that is a photopolymerization initiator further improves the plating resistance of the resulting cured layer.

さらに、光重合性化合物としては、下記一般式(2)で表されるビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物を含むことが好ましい。かかる化合物を含む感光性樹脂組成物は、上述した特性に更に優れるものとなる。

Figure 2006330193

[式中、R21及びR22は、それぞれ独立に、炭素数2〜6のアルキレン基、R23及びR24は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を示し、p及びqは、p+q=4〜40を満たす正の整数である。] Further, the photopolymerizable compound preferably includes a bisphenol A-based (meth) acrylate compound represented by the following general formula (2). The photosensitive resin composition containing such a compound is further excellent in the above-described characteristics.
Figure 2006330193

[Wherein, R 21 and R 22 each independently represent an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, R 23 and R 24 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and p and q are p + q = It is a positive integer satisfying 4 to 40. ]

より具体的には、上記特性を良好に得るために、感光性樹脂組成物の各成分は以下に示すような配合比を満たすことが好ましい。すなわち、バインダーポリマー及び光重合性化合物の総量100質量部に対し、バインダーポリマーの含有量が40〜80質量部であり、光重合性化合物の含有量が20〜60質量部であり、光重合開始剤の含有量が0.1〜20質量部であり、グアナミン化合物の含有量が0.05〜10質量部であると好ましい。   More specifically, in order to obtain the above characteristics satisfactorily, it is preferable that each component of the photosensitive resin composition satisfies the following compounding ratio. That is, with respect to 100 parts by mass of the total amount of the binder polymer and the photopolymerizable compound, the content of the binder polymer is 40 to 80 parts by mass, the content of the photopolymerizable compound is 20 to 60 parts by mass, and photopolymerization is started. It is preferable that the content of the agent is 0.1 to 20 parts by mass and the content of the guanamine compound is 0.05 to 10 parts by mass.

また、本発明は、上記本発明の感光性樹脂組成物を用いた感光性エレメントを提供する。すなわち、本発明の感光性エレメントは、支持体と、この支持体上に設けられた上記本発明の感光性樹脂組成物からなる感光層とを備えることを特徴とする。このような感光性エレメントによれば、上述した無電解めっきの方法において、ソルダーレジスト等の保護層上への硬化物層の形成をより簡便に行うことが可能となる。   Moreover, this invention provides the photosensitive element using the photosensitive resin composition of the said invention. That is, the photosensitive element of the present invention comprises a support and a photosensitive layer made of the above-described photosensitive resin composition of the present invention provided on the support. According to such a photosensitive element, in the above-described electroless plating method, it is possible to more easily form a cured product layer on a protective layer such as a solder resist.

ここで、この感光性エレメントにおける感光層は、365nmの波長を有する光に対する透過率が5〜75%であるとより好ましい。かかる感光層は、硬化に用いる波長域の活性光線を当該層内に十分拡散させることができるため、十分な硬化を容易に行うことが可能である。その結果、高い密着性及び強度を有しており、これにより優れた耐めっき性を有する硬化物層を形成し得るものとなる。   Here, it is more preferable that the photosensitive layer in this photosensitive element has a transmittance of 5 to 75% for light having a wavelength of 365 nm. Such a photosensitive layer can sufficiently diffuse actinic rays in the wavelength region used for curing in the layer, and therefore can be sufficiently cured easily. As a result, it has high adhesiveness and strength, whereby a cured product layer having excellent plating resistance can be formed.

本発明は更に、上記本発明の感光性樹脂組成物又は感光性エレメントを用いたプリント配線板の製造方法を提供するものである。すなわち、本発明の第1のプリント配線板の製造方法は、回路パターンを備える回路基板と、回路パターンの一部が露出する露出部が形成されるように回路基板の表面を覆う保護層とを備える保護層付き回路基板の保護層上に、上記本発明の感光性樹脂組成物からなる感光層を形成する感光層形成工程と、感光層における露出部上の領域以外の領域に活性光線を照射して露光部を形成する露光工程と、感光層における露光部以外の領域を除去して露出部を露出させる現像工程と、露出部に対して無電解めっきを施すめっき工程と、露光部を除去する除去工程とを含むことを特徴とする。   The present invention further provides a method for producing a printed wiring board using the photosensitive resin composition or photosensitive element of the present invention. That is, the first printed wiring board manufacturing method of the present invention includes a circuit board provided with a circuit pattern, and a protective layer that covers the surface of the circuit board so that an exposed portion from which a part of the circuit pattern is exposed is formed. A photosensitive layer forming step of forming a photosensitive layer comprising the photosensitive resin composition of the present invention on a protective layer of a circuit board with a protective layer provided, and irradiating actinic rays to a region other than the region on the exposed portion of the photosensitive layer An exposure step for forming an exposed portion, a developing step for removing regions other than the exposed portion in the photosensitive layer to expose the exposed portion, a plating step for performing electroless plating on the exposed portion, and removing the exposed portion And a removing step.

また、本発明の第2のプリント配線板の製造方法は、回路パターンを備える回路基板と、回路パターンの一部が露出する露出部が形成されるように回路基板の表面を覆う保護層と、を備える保護層付き回路基板の保護層上に、上記本発明の感光性エレメントにおける感光層を積層する感光層形成工程と、感光層における露出部上の領域以外の領域に活性光線を照射して露光部を形成する露光工程と、感光層における露光部以外の領域を除去し、露出部を露出させる現像工程と、露出部に対して無電解めっきを施すめっき工程と、露光部を除去する除去工程とを含むことを特徴とする。   Further, the second printed wiring board manufacturing method of the present invention includes a circuit board provided with a circuit pattern, a protective layer covering the surface of the circuit board so that an exposed portion from which a part of the circuit pattern is exposed, A photosensitive layer forming step of laminating a photosensitive layer in the photosensitive element of the present invention on a protective layer of a circuit board with a protective layer, and irradiating actinic rays to a region other than the region on the exposed portion of the photosensitive layer An exposure step for forming an exposed portion, a developing step for removing regions other than the exposed portion in the photosensitive layer to expose the exposed portion, a plating step for performing electroless plating on the exposed portion, and a removal for removing the exposed portion And a process.

これらのプリント配線板の製造方法においては、回路基板上に形成された保護層上に、上記本発明の感光性樹脂組成物から得られた硬化物層を形成していることから、実装パッド(上記露出部がこれに該当する)に対する無電解めっきを良好に行うことができる。その結果、得られたプリント配線板は、実装部品等の接合した場合に、かかる実装部品の脱落等が極めて生じ難いものとなる。   In these printed wiring board manufacturing methods, since a cured product layer obtained from the photosensitive resin composition of the present invention is formed on a protective layer formed on a circuit board, a mounting pad ( The electroless plating can be satisfactorily performed on the exposed portion). As a result, when the obtained printed wiring board is joined to a mounted component or the like, the mounted component is hardly dropped off.

本発明によれば、高温条件で無電解めっきを行った場合であっても、優れた耐めっき性を発揮し得る硬化物層を形成することができる感光性樹脂組成物を提供することができる。また、本発明によれば、かかる感光性樹脂組成物を用いた感光性エレメント、及びこれらを用いるプリント配線板の製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even if it is a case where electroless plating is performed on high temperature conditions, the photosensitive resin composition which can form the hardened | cured material layer which can exhibit the outstanding metal-plating resistance can be provided. . Moreover, according to this invention, the manufacturing method of the photosensitive element using such a photosensitive resin composition and a printed wiring board using these can be provided.

以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。
[感光性エレメント]
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.
[Photosensitive element]

図1は、好適な実施形態に係る感光性エレメントの断面構成を模式的に示す図である。感光性エレメント1は、支持体10と、この支持体10上に設けられた感光層20と、感光層20上に設けられた保護フィルム30とを備えている。   FIG. 1 is a diagram schematically showing a cross-sectional configuration of a photosensitive element according to a preferred embodiment. The photosensitive element 1 includes a support 10, a photosensitive layer 20 provided on the support 10, and a protective film 30 provided on the photosensitive layer 20.

まず、感光層20について説明する。感光層20は、感光性樹脂組成物から構成される層である。感光層を構成する感光性樹脂組成物は、(A)バインダーポリマー(以下、「A成分」という)、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物(以下、「B成分」という)、(C)光重合開始剤(以下、「C成分」という)及び(D)上記一般式(1)で表されるグアナミン化合物を含む添加剤(以下、「D成分」という)を少なくとも含んでいる。以下、A成分、B成分、C成分及びD成分についてそれぞれ詳細に説明する。   First, the photosensitive layer 20 will be described. The photosensitive layer 20 is a layer composed of a photosensitive resin composition. The photosensitive resin composition constituting the photosensitive layer includes (A) a binder polymer (hereinafter referred to as “A component”), (B) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond (hereinafter referred to as “B component”). , (C) a photopolymerization initiator (hereinafter referred to as “C component”) and (D) an additive containing a guanamine compound represented by the general formula (1) (hereinafter referred to as “D component”). Yes. Hereinafter, the A component, the B component, the C component, and the D component will be described in detail.

(A成分)
まず、A成分について説明する。A成分としては、例えば、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂等が挙げられる。アルカリ現像性に優れる点から、アクリル系樹脂を用いることが好ましい。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
(A component)
First, the A component will be described. Examples of the component A include acrylic resins, styrene resins, epoxy resins, amide resins, amide epoxy resins, alkyd resins, and phenol resins. From the viewpoint of excellent alkali developability, it is preferable to use an acrylic resin. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

このようなA成分は、例えば、重合性単量体をラジカル重合させることにより製造することができる。上記重合性単量体としては、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン等のα−位若しくは芳香族環において置換されている重合可能なスチレン誘導体、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド、アクリロニトリル、ビニル−n−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、α−ブロモ(メタ)アクリル酸、α−クロル(メタ)アクリル酸、β−フリル(メタ)アクリル酸、β−スチリル(メタ)アクリル酸、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル、フマール酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸などが挙げられる。A成分としては、これらを2種以上組み合わせて用いてもよい。   Such component A can be produced, for example, by radical polymerization of a polymerizable monomer. Examples of the polymerizable monomer include polymerizable styrene derivatives substituted at the α-position or aromatic ring such as styrene, vinyl toluene, α-methylstyrene, acrylamide such as diacetone acrylamide, acrylonitrile, vinyl, and the like. -Esters of vinyl alcohol such as n-butyl ether, (meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylic acid tetrahydrofurfuryl ester, (meth) acrylic acid dimethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid diethylaminoethyl ester, ( (Meth) acrylic acid glycidyl ester, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, α-bromo (meth) acryl Acid, α-chloro ( T) Acrylic acid, β-furyl (meth) acrylic acid, β-styryl (meth) acrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, monomethyl maleate, monoethyl maleate, monoisopropyl maleate and the like, Examples include fumaric acid, cinnamic acid, α-cyanocinnamic acid, itaconic acid, crotonic acid, and propiolic acid. As the component A, two or more of these may be used in combination.

ここで、本明細書においては、(メタ)アクリル酸とは、アクリル酸及びそれに対応するメタクリル酸を意味し、(メタ)アクリレートとは、アクリレート及びそれに対応するメタクリレートを意味し、(メタ)アクリロイル基とは、アクリロイル基及びそれに対応するメタクリロイル基を意味するものとする。   Here, in the present specification, (meth) acrylic acid means acrylic acid and methacrylic acid corresponding thereto, (meth) acrylate means acrylate and methacrylate corresponding thereto, and (meth) acryloyl. The group means an acryloyl group and a corresponding methacryloyl group.

(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、下記一般式(3)で表される化合物や、この化合物のアルキル基にヒドロキシル基、エポキシ基、ハロゲン等が置換したものが挙げられる。

Figure 2006330193

[式中、R31は、水素原子又はメチル基、R32は、炭素数1〜12のアルキル基を示す。] Examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include compounds represented by the following general formula (3) and those obtained by substituting a hydroxyl group, an epoxy group, a halogen or the like on the alkyl group of this compound.
Figure 2006330193

[Wherein R 31 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 32 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms. ]

上記式(3)におけるR32で表される基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基やこれらの構造異性体が挙げられる。 Examples of the group represented by R 32 in the above formula (3) include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group, an octyl group, a nonyl group, a decyl group, and an undecyl group. , Dodecyl groups and structural isomers thereof.

より具体的には上記式(3)で表される化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸プロピルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸ペンチルエステル、(メタ)アクリル酸ヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸ヘプチルエステル、(メタ)アクリル酸オクチルエステル、(メタ)アクリル酸−2−エチルヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸ノニルエステル、(メタ)アクリル酸デシルエステル、(メタ)アクリル酸ウンデシルエステル、(メタ)アクリル酸ドデシルエステルが挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   More specifically, examples of the compound represented by the formula (3) include (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid propyl ester, and (meth) acrylic acid butyl. Ester, (meth) acrylic acid pentyl ester, (meth) acrylic acid hexyl ester, (meth) acrylic acid heptyl ester, (meth) acrylic acid octyl ester, (meth) acrylic acid-2-ethylhexyl ester, (meth) acrylic acid Nonyl ester, (meth) acrylic acid decyl ester, (meth) acrylic acid undecyl ester, (meth) acrylic acid dodecyl ester may be mentioned. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

A成分としては、後述するようなアルカリ現像性をより良好にする観点から、カルボキシル基を含むものが好ましい。このようなA成分としては、例えば、カルボキシル基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体をラジカル重合させることにより得られたものが挙げられる。このようなA成分は、適宜、感光性を有する基を有していてもよい。カルボキシル基を有する重合性単量体としては、上述したような(メタ)アクリル酸が好ましい。   As the component A, those containing a carboxyl group are preferable from the viewpoint of improving alkali developability as described later. Examples of such component A include those obtained by radical polymerization of a polymerizable monomer having a carboxyl group and other polymerizable monomers. Such A component may have a photosensitive group as appropriate. As the polymerizable monomer having a carboxyl group, (meth) acrylic acid as described above is preferable.

なかでも、A成分としては、アルカリ現像性及び光照射後のレジストの剥離性を向上させる観点から、(メタ)アクリル酸及び/又は(メタ)アクリル酸アルキルエステルをモノマー単位として含むアクリル系樹脂を含有することが好ましく、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸アルキルエステルをモノマー単位として含むアクリル系樹脂を含有することがより好ましい。また、その他の重合性単量体として、スチレン又はスチレン誘導体をモノマー単位として更に含むものが好ましい。スチレン又はスチレン誘導体をモノマー単位として含むことで、得られる硬化物層の密着性及び剥離性が更に向上する。特に、A成分としては、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、並びに、スチレン又はスチレン誘導体を共重合成分として得られた共重合体が好ましい。   Among these, as the component A, an acrylic resin containing (meth) acrylic acid and / or (meth) acrylic acid alkyl ester as a monomer unit from the viewpoint of improving the alkali developability and the releasability of the resist after light irradiation. It is preferable to contain, and it is more preferable to contain acrylic resin containing (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid alkyl ester as monomer units. Moreover, what further contains styrene or a styrene derivative as a monomer unit as another polymerizable monomer is preferable. By including styrene or a styrene derivative as a monomer unit, the adhesion and peelability of the resulting cured product layer are further improved. In particular, as the component A, (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid alkyl ester, and a copolymer obtained using styrene or a styrene derivative as a copolymerization component are preferable.

スチレン又はスチレン誘導体を共重合成分として用いることにより、感光性樹脂組成物の密着性及び剥離特性が共に良好となる。このスチレン又はスチレン誘導体の含有量は、A成分を形成するための共重合成分の全量を基準として、2〜40質量%であると好ましく、3〜28質量%であるとより好ましく、5〜27質量%であると更に好ましい。この含有量が2質量%未満であると、感光性樹脂組成物の密着性が低下する傾向にある。一方、40質量%を超えると、剥離片が大きくなって剥離時間が長くなる傾向にある。   By using styrene or a styrene derivative as a copolymerization component, both the adhesiveness and the release characteristics of the photosensitive resin composition are improved. The content of this styrene or styrene derivative is preferably 2 to 40% by mass, more preferably 3 to 28% by mass, based on the total amount of copolymerization components for forming the component A, and 5 to 27 More preferably, it is mass%. When the content is less than 2% by mass, the adhesiveness of the photosensitive resin composition tends to decrease. On the other hand, if it exceeds 40% by mass, the peeling piece tends to be large and the peeling time tends to be long.

このようなA成分の酸価は、30〜250mgKOH/gであると好ましく、50〜200mgKOH/gであるとより好ましい。この酸価が30mgKOH/g未満であると、現像時間が長くなる傾向にある。一方、250mgKOH/gを超えると、光硬化したレジストの耐現像液性が低下する傾向にある。なお、現像時に溶剤による現像を行う場合は、カルボキシル基を有する重合性単量体の配合量を、溶剤現像を行わない場合に比して少量となるように調整することが望ましい。   The acid value of such an A component is preferably 30 to 250 mgKOH / g, and more preferably 50 to 200 mgKOH / g. If the acid value is less than 30 mg KOH / g, the development time tends to be longer. On the other hand, when it exceeds 250 mgKOH / g, the developing solution resistance of the photocured resist tends to be lowered. In addition, when developing with a solvent at the time of image development, it is desirable to adjust the compounding quantity of the polymerizable monomer which has a carboxyl group so that it may become small compared with the case where solvent development is not performed.

さらに、A成分の重量平均分子量は、20,000〜300,000であると好ましく、40,000〜150,000であるとより好ましい。重量平均分子量が20,000未満では、感光性樹脂組成物の耐現像液性が低下する傾向にある。一方、300,000を超えると、現像時間が長くなる傾向にある。   Furthermore, the weight average molecular weight of the component A is preferably 20,000 to 300,000, and more preferably 40,000 to 150,000. When the weight average molecular weight is less than 20,000, the developer resistance of the photosensitive resin composition tends to be lowered. On the other hand, if it exceeds 300,000, the development time tends to be longer.

A成分としては、上述した化合物等を単独で、または2種以上を組み合わせて適用することができる。2種以上のA成分の好適な組み合わせとしては、例えば、それぞれ異なる共重合成分から得られたもの同士、それぞれ異なる重量平均分子量を有するもの同士、それぞれ異なる分散度を有するもの同士といった組み合わせが挙げられる。   As the component A, the above-described compounds and the like can be applied alone or in combination of two or more. Suitable combinations of two or more A components include, for example, combinations obtained from different copolymer components, those having different weight average molecular weights, and those having different degrees of dispersion. .

(B成分)
次に、B成分について説明する。B成分としては、例えば、多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物、グリシジル基含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、分子内にウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物等のウレタンモノマー又はウレタンオリゴマーが挙げられる。また、これら以外にも、ノニルフェノキシポリオキシエチレンアクリレート、フタル酸系化合物(例えば、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β´−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β´−(メタ)アクリロイルオキシアルキル−o−フタレート等)、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、EO変性ノニルフェニル(メタ)アクリレート等が例示可能である。
(B component)
Next, the B component will be described. As the component B, for example, a compound obtained by reacting an α, β-unsaturated carboxylic acid with a polyhydric alcohol, a bisphenol A (meth) acrylate compound, an α, β-unsaturated carboxylic acid to a glycidyl group-containing compound. Examples include compounds obtained by reaction, urethane monomers or urethane oligomers such as (meth) acrylate compounds having a urethane bond in the molecule. Besides these, nonylphenoxy polyoxyethylene acrylate, phthalic acid compounds (for example, γ-chloro-β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyalkyl-β '-(Meth) acryloyloxyalkyl-o-phthalate, etc.), (meth) acrylic acid alkyl ester, EO-modified nonylphenyl (meth) acrylate, and the like can be exemplified.

なかでも、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物又は分子内にウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物が、得られるレジストパターンの耐めっき性や密着性を向上し得ることから好ましく、上記式(2)で表されるビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物が特に好ましい。なお、B成分は、上述の如く、分子内にエチレン性不飽和結合を有する化合物であるが、かかるB成分としては、上述した化合物を単独で、又は2種以上組み合わせて用いることができる。2種以上の組み合わせとしては、分子内に1つのエチレン性不飽和結合を有する化合物と、分子内に2以上のエチレン性不飽和結合を有する化合物との組み合わせが、感度、解像度を向上させる観点から特に好適である。   Among these, a bisphenol A-based (meth) acrylate compound or a (meth) acrylate compound having a urethane bond in the molecule is preferable because it can improve the plating resistance and adhesion of the resulting resist pattern, and the above formula (2) A bisphenol A (meth) acrylate compound represented by the formula is particularly preferred. In addition, although a B component is a compound which has an ethylenically unsaturated bond in a molecule | numerator as above-mentioned, as this B component, the compound mentioned above can be used individually or in combination of 2 or more types. As a combination of two or more kinds, a combination of a compound having one ethylenically unsaturated bond in the molecule and a compound having two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule can improve sensitivity and resolution. Particularly preferred.

上述した化合物のうち、多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が2〜14であるポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレン基の数が2〜14であるポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレン基の数が2〜14でありプロピレン基の数が2〜14であるポリエチレン・ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO、PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Among the compounds described above, examples of the compound obtained by reacting a polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid include, for example, polyethylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene groups, propylene group Polypropylene glycol di (meth) acrylate having 2-14 in number, polyethylene polypropylene glycol di (meth) acrylate having 2-14 in number of ethylene groups and 2-14 in number of propylene groups, trimethylolpropane di (Meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, PO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO, PO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylo Examples include rumethane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate.

ここで、EO及びPOは、それぞれエチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドを示し、EO変性された化合物は、エチレンオキサイド基のブロック構造を有するものであり、PO変性された化合物は、プロピレンオキサイド基のブロック構造を有するものである。これらは、単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Here, EO and PO represent ethylene oxide and propylene oxide, respectively, the EO-modified compound has a block structure of ethylene oxide group, and the PO-modified compound has a block structure of propylene oxide group. It is what you have. These can be used alone or in combination of two or more.

また、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリブトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the bisphenol A-based (meth) acrylate compound include 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane and 2,2-bis (4-((meth) acryloxy). Polypropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolybutoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxypolypropoxy) phenyl) propane Etc. These can be used alone or in combination of two or more.

より具体的には、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパンとしては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシジエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘプタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシオクタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシノナエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシウンデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシドデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサデカエトキシ)フェニル)プロパン等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。   More specifically, as 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane, for example, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydiethoxy) phenyl) Propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytriethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetraethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis ( 4-((meth) acryloxypentaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxy) Heptaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyoctaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryl) Xinonaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyundecaethoxy) phenyl) propane, 2 , 2-bis (4-((meth) acryloxydodecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytridecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4- ((Meth) acryloxytetradecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxy) Hexadecaethoxy) phenyl) propane and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

これらのうち、2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパンは、BPE−500(製品名、新中村化学工業株式会社製)として商業的に入手可能であり、2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパンは、BPE−1300(商品名、新中村化学工業株式会社製)として商業的に入手可能である。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。なお、この2,2−ビス(4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパンの一分子内のエチレンオキサイド基の数は、4〜20であると好ましく、8〜15であるとより好ましい。   Of these, 2,2-bis (4- (methacryloxypentaethoxy) phenyl) propane is commercially available as BPE-500 (product name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.). -Bis (4- (methacryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane is commercially available as BPE-1300 (trade name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.). These can be used alone or in combination of two or more. The number of ethylene oxide groups in one molecule of 2,2-bis (4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl) propane is preferably 4-20, and more preferably 8-15.

(C成分)
次に、C成分について説明する。C成分としては、例えば、ベンゾフェノン、N,N’−テトラメチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,N’−テトラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロパノン−1等の芳香族ケトン;2−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、2−t−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ベンズアントラキノン、2−フェニルアントラキノン、2,3ージフェニルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン、9,10−フェナンタラキノン、2−メチル1,4−ナフトキノン、2,3−ジメチルアントラキノン等のキノン類;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物;ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物;ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体;2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体;9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体、N−フェニルグリシン等のN−フェニルグリシン誘導体;クマリン系化合物;ジエチルチオキサントン等のチオキサントン系化合物と、ジメチルアミノ安息香酸等の3級アミン化合物との反応物などが挙げられる。これらは、単独で用いてもよく、2種類以上を混合して用いてもよい。
(C component)
Next, the C component will be described. Examples of the component C include benzophenone, N, N′-tetramethyl-4,4′-diaminobenzophenone (Michler ketone), N, N′-tetraethyl-4,4′-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4′-. Such as dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propanone-1, etc. Aromatic ketone; 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone, 2-t-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-benzanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, 1 -Chloroanthraquinone, 2-methylant Quinones such as quinone, 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenantharaquinone, 2-methyl 1,4-naphthoquinone and 2,3-dimethylanthraquinone; benzoins such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether and benzoin phenyl ether Ether compounds; benzoin compounds such as benzoin, methylbenzoin, and ethylbenzoin; benzyl derivatives such as benzyldimethyl ketal; 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4 , 5-Di (methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer , 2- (p-methoxyphenyl)- 2,4,5-triarylimidazole dimers such as 4,5-diphenylimidazole dimer; acridine derivatives such as 9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9'-acridinyl) heptane, N- N-phenylglycine derivatives such as phenylglycine; coumarin compounds; reaction products of thioxanthone compounds such as diethylthioxanthone and tertiary amine compounds such as dimethylaminobenzoic acid. These may be used alone or in combination of two or more.

(D成分)
本実施形態の感光性樹脂組成物は、D成分として少なくとも上記一般式(1)で表されるグアナミン化合物を含有している。上記一般式(1)で表される化合物において、Rで表される基としては、メチル基又はフェニル基が好ましい。なかでも、このようなグアナミン化合物としては、ベンゾグアナミン又はアセトグアナミンが好適である。
(D component)
The photosensitive resin composition of this embodiment contains the guanamine compound represented by the said General formula (1) at least as D component. In the compound represented by the general formula (1), the group represented by R 1 is preferably a methyl group or a phenyl group. Among these, benzoguanamine or acetoguanamine is suitable as such a guanamine compound.

以上、好適な実施形態の感光性樹脂組成物に含まれるA〜D成分について説明したが、これらのA〜D成分は、感光性樹脂組成物において、以下に示す含有量で含有されていると好ましい。   As mentioned above, although the AD component contained in the photosensitive resin composition of suitable embodiment was demonstrated, when these AD components are contained with the content shown below in the photosensitive resin composition. preferable.

まず、A成分の含有量は、A成分及びB成分の総量100質量部に対して40〜80質量部であると好ましく、45〜70質量部であるとより好ましい。A成分の含有量が40質量部未満であると、感光性樹脂組成物の硬化物からなる硬化物層が脆くなる他、感光性エレメントを形成する際の塗膜性が劣化する傾向にある。一方、80質量部を超えると、感度が低下する傾向にある。なお、本明細書においては、「質量部」と重量基準値(「重量部」)と実質的に同等である。   First, the content of the A component is preferably 40 to 80 parts by mass and more preferably 45 to 70 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the A component and the B component. When the content of the component A is less than 40 parts by mass, the cured product layer made of the cured product of the photosensitive resin composition becomes brittle and the coating properties at the time of forming the photosensitive element tend to deteriorate. On the other hand, when it exceeds 80 mass parts, it exists in the tendency for a sensitivity to fall. In the present specification, “part by mass” is substantially equivalent to a weight reference value (“part by weight”).

また、B成分の含有量はA成分及びB成分の総量100質量部に対して20〜60質量部であると好ましく、30〜55質量部であるとより好ましい。この含有量が20質量部未満であると、感光性樹脂組成物の感度が不十分となる傾向にあり、60質量部を超えると、硬化物層が脆くなる傾向にある。   Moreover, content of B component is preferable in it being 20-60 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of A component and B component, and it is more preferable in it being 30-55 mass parts. When this content is less than 20 parts by mass, the sensitivity of the photosensitive resin composition tends to be insufficient, and when it exceeds 60 parts by mass, the cured product layer tends to become brittle.

さらに、C成分の含有量は、A成分及びB成分の総量100質量部に対して0.1〜20質量部であると好ましく、0.2〜10質量部であるとより好ましい。この含有量が0.1質量部未満であると、感光性樹脂組成物の感度が不十分となる傾向にあり、20質量部を超えると、露光の際、感光層20の表面領域での活性光線の吸収が増大し、下層部の硬化が不十分となる場合がある。   Furthermore, the content of the C component is preferably 0.1 to 20 parts by mass and more preferably 0.2 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the A component and the B component. When the content is less than 0.1 parts by mass, the sensitivity of the photosensitive resin composition tends to be insufficient. When the content exceeds 20 parts by mass, the activity in the surface region of the photosensitive layer 20 is exposed during exposure. Light absorption may increase, and the lower layer may not be sufficiently cured.

またさらに、D成分の含有量は、A成分及びB成分の総量100質量部に対して0.05〜10質量部であると好ましく、0.1〜3質量部であるとより好ましい。D成分の含有量が0.05質量部未満であると、プリント配線板の製造時における下層の保護層や回路基板に対する密着性が不十分となる傾向にある。一方、10質量部を超えると、めっきの際にめっき浴汚染が生じる場合がある。   Furthermore, the content of the D component is preferably 0.05 to 10 parts by mass and more preferably 0.1 to 3 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the A component and the B component. When the content of the D component is less than 0.05 parts by mass, the adhesion to the lower protective layer and the circuit board tends to be insufficient during the production of the printed wiring board. On the other hand, if it exceeds 10 parts by mass, plating bath contamination may occur during plating.

なお、本実施形態の感光性樹脂組成物は、上記A〜D成分以外に、所望とする性状に応じてその他の成分を更に含有していてもよい。その他の成分としては、マラカイトグリーン等の染料、トリブロモフェニルスルホン、ロイコクリスタルバイオレット等の光発色剤、熱発色防止剤、p−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、顔料、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤などが挙げられる。これらの成分の含有量は、A成分及びB成分の総量100質量部に対して各々0.01〜20質量部であると好ましい。これらは、1種を単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。   In addition, the photosensitive resin composition of this embodiment may further contain other components according to the desired property in addition to the above-described components A to D. Examples of other components include dyes such as malachite green, photochromic agents such as tribromophenyl sulfone and leuco crystal violet, thermochromic inhibitors, plasticizers such as p-toluenesulfonamide, pigments, fillers, antifoaming agents, Examples include flame retardants, stabilizers, adhesion imparting agents, leveling agents, peeling accelerators, antioxidants, fragrances, imaging agents, and thermal crosslinking agents. The content of these components is preferably 0.01 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of component A and component B, respectively. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

また、感光性樹脂組成物は、必要に応じて溶剤を含むワニスの形態とされてもよい。溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、N,N−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテルやこれらの混合溶剤等が挙げられる。このワニスは、固形分30〜60質量%程度の溶液であると、後述する塗布が容易となるため、好ましい。   Moreover, the photosensitive resin composition may be in the form of a varnish containing a solvent as necessary. Examples of the solvent include methanol, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-dimethylformamide, propylene glycol monomethyl ether, and mixed solvents thereof. The varnish is preferably a solution having a solid content of about 30 to 60% by mass because application described later becomes easy.

上記構成を有する感光性エレメント1において、感光層20の厚さは、1〜100μmであると好ましく、1〜50μmであるとより好ましい。1μm未満の厚さを有する感光層20を形成するのは困難な傾向にある。一方、感光層20の厚さが100μmを超えると、この感光層20が積層される保護層や回路基板に対する接着性が低下するほか、当該層20の解像度も低下する傾向にある。   In the photosensitive element 1 having the above-described configuration, the thickness of the photosensitive layer 20 is preferably 1 to 100 μm, and more preferably 1 to 50 μm. It tends to be difficult to form the photosensitive layer 20 having a thickness of less than 1 μm. On the other hand, when the thickness of the photosensitive layer 20 exceeds 100 μm, the adhesiveness to the protective layer and the circuit board on which the photosensitive layer 20 is laminated decreases, and the resolution of the layer 20 tends to decrease.

また、感光層20は、365nmの波長の光に対する透過率が、5〜75%であると好ましく、7〜60%であるとより好ましく、10〜40%であると更に好ましい。この透過率が5%未満となる場合、感光層の密着性が不十分となる傾向にある。一方、75%を超えると、活性光線の吸収が不十分となって解像度が低下する場合がある。かかる透過率は、UV分光計により測定することができ、UV分光計としては、例えば、日立製作所社製、228A型Wビーム分光光度計が挙げられる。   Further, the photosensitive layer 20 has a transmittance for light having a wavelength of 365 nm of preferably 5 to 75%, more preferably 7 to 60%, and still more preferably 10 to 40%. When the transmittance is less than 5%, the adhesion of the photosensitive layer tends to be insufficient. On the other hand, if it exceeds 75%, the actinic ray may not be sufficiently absorbed and the resolution may be lowered. Such transmittance can be measured by a UV spectrometer. Examples of the UV spectrometer include a 228A type W beam spectrophotometer manufactured by Hitachi, Ltd.

感光性エレメント1における支持体10としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルム等が挙げられる。この支持体10の厚さは、5〜25μmであると好ましく、8〜20μmであるとより好ましく、10〜16μmであると更に好ましい。この厚さが5μm未満では、感光層20から剥離する際に破れが生じ易い傾向にある。一方、25μmを超える場合、支持体10を通して露光を行う際に感光層20の解像度が低下する傾向にある。   Examples of the support 10 in the photosensitive element 1 include a polymer film having heat resistance and solvent resistance such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, and polyester. The thickness of the support 10 is preferably 5 to 25 μm, more preferably 8 to 20 μm, and still more preferably 10 to 16 μm. If the thickness is less than 5 μm, tearing tends to occur when peeling from the photosensitive layer 20. On the other hand, when the thickness exceeds 25 μm, the resolution of the photosensitive layer 20 tends to decrease when exposure is performed through the support 10.

また、支持体10のヘーズは、0.001〜5.0であると好ましく、0.001〜2.0であるとより好ましく、0.01〜1.8であると更に好ましい。支持体10のヘーズが2.0を超えると、この支持体10を通して露光を行う際に感光層20の解像度が低下する傾向にある。かかるヘーズは、JIS K 7105に準拠する方法により測定することができ、例えば、濁度計(NHD−1001DP(日本電色工業社製)等)によって測定可能である。   The haze of the support 10 is preferably 0.001 to 5.0, more preferably 0.001 to 2.0, and still more preferably 0.01 to 1.8. When the haze of the support 10 exceeds 2.0, the resolution of the photosensitive layer 20 tends to decrease when exposure is performed through the support 10. Such haze can be measured by a method based on JIS K 7105, and can be measured by, for example, a turbidimeter (NHD-1001DP (manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.)).

また、保護フィルム30としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルム等が挙げられる。保護フィルム30としては、感光層20に対する接着力が、支持体10よりも小さいものを選択して用いることが好ましく、低フィッシュアイのフィルムであるとより好ましい。   Examples of the protective film 30 include polymer films having heat resistance and solvent resistance such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, and polyester. As the protective film 30, it is preferable to select and use a film having an adhesive force with respect to the photosensitive layer 20 smaller than that of the support 10, and more preferably a low fish eye film.

保護フィルム30の厚さは、5〜30μmであると好ましく、10〜28μmであるとより好ましく、15〜25μmであると更に好ましい。この厚さが5μm未満であると、感光層20から剥離する際に破れが生じるおそれがある。一方、30μmを超える保護フィルムは、不要なコストの増大を招く傾向にある。   The thickness of the protective film 30 is preferably 5 to 30 μm, more preferably 10 to 28 μm, and still more preferably 15 to 25 μm. If the thickness is less than 5 μm, tearing may occur when peeling from the photosensitive layer 20. On the other hand, a protective film exceeding 30 μm tends to cause an unnecessary increase in cost.

この保護フィルム30の長手方向の引っ張り強さは、13MPa以上であると好ましく、13〜100MPaであるとより好ましく、15〜100MPaであると更に好ましく、16〜100MPaであると特に好ましい。この引っ張り強さが13MPa未満であると、感光層20から剥離する際に破れが生じるおそれがある。また、短手方向の引っ張り強さは、9MPa以上であると好ましく、9〜100MPaであるとより好ましく、10〜100MPaであると更に好ましく、11〜100MPaであると特に好ましく、12〜100MPaであると極めて好ましい。この引っ張り強さが9MPa未満であると、感光層20からの剥離の際、破れが生じる場合がある。これらの引っ張り強さは、JIS C 2318−1997(5.3.3)に準拠して測定することができる。例えば、東洋ボールドウィン社製テンシロン等の引っ張り強さ試験機により測定可能である。   The tensile strength in the longitudinal direction of the protective film 30 is preferably 13 MPa or more, more preferably 13 to 100 MPa, still more preferably 15 to 100 MPa, and particularly preferably 16 to 100 MPa. If the tensile strength is less than 13 MPa, there is a risk of tearing when peeling from the photosensitive layer 20. Further, the tensile strength in the short direction is preferably 9 MPa or more, more preferably 9 to 100 MPa, further preferably 10 to 100 MPa, particularly preferably 11 to 100 MPa, and 12 to 100 MPa. It is extremely preferable. If the tensile strength is less than 9 MPa, tearing may occur at the time of peeling from the photosensitive layer 20. These tensile strengths can be measured according to JIS C 2318-1997 (5.3.3). For example, it can be measured by a tensile strength tester such as Tensilon manufactured by Toyo Baldwin.

なお、感光性エレメント1における支持体10及び保護フィルム30は、必要に応じて適宜の表面処理を施してもよい。ただし、これらは最終的に感光層20から剥離されるものであることから、かかる剥離を阻害しないような表面処理を行うことが望ましい。さらに、これらの支持体10又は保護フィルム30は、帯電防止処理が施されていてもよい。   In addition, the support body 10 and the protective film 30 in the photosensitive element 1 may perform an appropriate surface treatment as necessary. However, since these are finally peeled off from the photosensitive layer 20, it is desirable to perform a surface treatment that does not inhibit such peeling. Furthermore, the support 10 or the protective film 30 may be subjected to an antistatic treatment.

上記構成を有する感光性エレメント1は、例えば、以下に示す方法で製造することができる。例えば、支持体10上に、上述の感光性樹脂組成物を所定の溶剤に溶解して得られる塗布液を塗布した後、溶剤を除去することにより感光層20を形成し、次いで、感光層20上に上記したポリプロピレンフィルム等の保護フィルムを積層する方法が挙げられる。この塗布液としては、上述したような感光性樹脂組成物のワニスが好適である。   The photosensitive element 1 which has the said structure can be manufactured by the method shown below, for example. For example, after applying a coating solution obtained by dissolving the above-described photosensitive resin composition in a predetermined solvent on the support 10, the solvent is removed to form the photosensitive layer 20, and then the photosensitive layer 20. The method of laminating | stacking protective films, such as an above-described polypropylene film, is mentioned. As this coating liquid, the varnish of the photosensitive resin composition as described above is suitable.

塗布の方法としては、例えば、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等の方法が挙げられる。また、溶剤の除去は、例えば、加熱により行うことができ、その場合の加熱温度は約70〜150℃であると好ましく、加熱時間は5〜30分間程度であると好ましい。なお、溶剤除去後の感光層20中の溶剤残存量は、その後の工程の溶剤の拡散を防止する観点から、2質量%以下とすることが望ましい。また、感光層20上にポリプロピレンフィルムを積層する方法としては、例えば、ポリプロピレンフィルムを感光層上に供給しながらロールにより加圧する方法が挙げられる。   Examples of the coating method include a roll coater, a comma coater, a gravure coater, an air knife coater, a die coater, and a bar coater. The solvent can be removed, for example, by heating. In this case, the heating temperature is preferably about 70 to 150 ° C., and the heating time is preferably about 5 to 30 minutes. The solvent remaining amount in the photosensitive layer 20 after removal of the solvent is desirably 2% by mass or less from the viewpoint of preventing the diffusion of the solvent in the subsequent steps. Moreover, as a method of laminating a polypropylene film on the photosensitive layer 20, for example, a method of pressing with a roll while supplying the polypropylene film onto the photosensitive layer can be mentioned.

そして、こうして得られた感光性エレメント1は、例えば、そのままの平板状の形態で、又は、円筒状などの巻芯に巻きとり、ロール状の形態で貯蔵することができる。なお、感光性エレメント1は、必ずしも上述した保護フィルム30を有していなくてもよく、支持体10と感光層20との2層構造であってもよい。
[プリント配線板の製造方法]
The photosensitive element 1 thus obtained can be stored, for example, in the form of a flat plate as it is, or wound around a cylindrical core or the like and rolled. Note that the photosensitive element 1 does not necessarily have the protective film 30 described above, and may have a two-layer structure of the support 10 and the photosensitive layer 20.
[Method of manufacturing printed wiring board]

次に、上述した感光性エレメント1を用いたプリント配線板の製造方法について図2を参照して説明する。図2は、実施形態に係るプリント配線板の製造工程を模式的に示す図である。   Next, a method for manufacturing a printed wiring board using the photosensitive element 1 described above will be described with reference to FIG. Drawing 2 is a figure showing typically the manufacturing process of the printed wiring board concerning an embodiment.

本実施形態のプリント配線板の製造方法においては、まず、基板40上に回路パターン50を有する回路基板80と、この回路基板80の回路パターン面を覆う保護層60とを備える保護層付き回路基板90を準備する(図2(a))。この保護層付き回路基板90においては、保護層60の一部に開口部70が形成されている。この開口部70によって回路パターン50の一部が露出して、露出部50aが形成されている。基板40、回路パターン50及び保護層60としては、従来のプリント配線板において用いられる基板、配線材料及びソルダーレジストを適用可能であり、このような保護層付き回路基板90は、公知の回路基板の製造方法によって製造可能である。   In the method for manufacturing a printed wiring board according to the present embodiment, first, a circuit board with a protective layer including a circuit board 80 having a circuit pattern 50 on the board 40 and a protective layer 60 covering the circuit pattern surface of the circuit board 80. 90 is prepared (FIG. 2A). In the circuit board 90 with a protective layer, an opening 70 is formed in a part of the protective layer 60. A part of the circuit pattern 50 is exposed through the opening 70 to form an exposed portion 50a. As the substrate 40, the circuit pattern 50, and the protective layer 60, a substrate, a wiring material, and a solder resist used in a conventional printed wiring board can be applied. Such a circuit substrate 90 with a protective layer is a known circuit board. It can be manufactured by a manufacturing method.

次いで、この保護層付き回路基板90における保護層60上に、上述した実施形態の感光性エレメント1を、その感光層20が保護層60に接するように接着させ、保護層60上に感光層20を積層させる(図2(b);感光層形成工程)。   Next, the photosensitive element 1 of the above-described embodiment is adhered on the protective layer 60 in the circuit board 90 with the protective layer so that the photosensitive layer 20 is in contact with the protective layer 60, and the photosensitive layer 20 is formed on the protective layer 60. Are laminated (FIG. 2B; photosensitive layer forming step).

感光層20の積層方法としては、感光性エレメント1に保護フィルム30が存在している場合、これを除去した後、感光層20を加熱しながら保護層付き回路基板90に圧着する方法が挙げられる。なお、この圧着は、密着性及び追従性を向上させる観点から、減圧下で行うことが好ましい。   Examples of the method for laminating the photosensitive layer 20 include a method in which when the protective film 30 is present on the photosensitive element 1, after removing the protective film 30, the photosensitive layer 20 is pressure-bonded to the circuit board 90 with the protective layer while heating. . In addition, it is preferable to perform this pressure bonding under reduced pressure from a viewpoint of improving adhesiveness and followable | trackability.

この際、感光層20の加熱温度は、70〜130℃とすることが好ましく、圧着圧力は、0.1〜1.0MPa程度(1〜10kgf/cm程度)とすることが好ましい。ただし、これらの条件には特に制限はない。また、積層性をさらに向上させるために、保護層付き回路基板90の予熱処理を行ってもよい。ただし、上記のように感光層20を70〜130℃に加熱する場合は、必ずしもこの予熱処理は必要ではない。 At this time, the heating temperature of the photosensitive layer 20 is preferably 70 to 130 ° C., and the pressure bonding pressure is preferably about 0.1 to 1.0 MPa (about 1 to 10 kgf / cm 2 ). However, these conditions are not particularly limited. In addition, in order to further improve the lamination property, the pre-heat treatment of the circuit board 90 with the protective layer may be performed. However, when the photosensitive layer 20 is heated to 70 to 130 ° C. as described above, this pre-heat treatment is not necessarily required.

次いで、感光層20に対して、所定のパターンを有するマスク110を通して活性光線Lを照射し、活性光線Lが照射された部分の感光層20を構成している感光性樹脂組成物を光硬化させ、露光部22を形成させる(図2(c);露光工程)。この露光工程においては、感光層20における回路パターン50の露出部50a上の領域以外の領域に露光を行う。なお、感光層20上に存在する支持体10が透明の場合には、そのまま活性光線を照射することができ、支持体20が活性光線に対して遮光性を示す場合には、支持体20を除去した後に、活性光線を感光層20に照射する。   Next, the photosensitive layer 20 is irradiated with an actinic ray L through a mask 110 having a predetermined pattern, and the photosensitive resin composition constituting the photosensitive layer 20 of the portion irradiated with the actinic ray L is photocured. Then, the exposure part 22 is formed (FIG. 2C; exposure process). In this exposure step, the photosensitive layer 20 is exposed to a region other than the region on the exposed portion 50a of the circuit pattern 50. When the support 10 existing on the photosensitive layer 20 is transparent, it can be irradiated with actinic rays as it is. When the support 20 shows a light shielding property against the actinic rays, the support 20 is removed. After removal, the photosensitive layer 20 is irradiated with actinic rays.

マスク110は、例えば、アートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンであり、活性光線Lを遮蔽する遮蔽部110aと、これを透過する透明部110bとを有している。活性光線Lはこのマスク110の透明部110bのみを透過して、感光層20に画像状に照射されることとなる。また、活性光線Lの光源としては、従来公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものを用いることができる。ほかに、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものも用いることができる。   The mask 110 is, for example, a negative or positive mask pattern called an artwork, and includes a shielding part 110a that shields the actinic ray L and a transparent part 110b that transmits the shielding part 110a. The actinic ray L passes through only the transparent portion 110b of the mask 110 and is irradiated onto the photosensitive layer 20 in an image form. Further, as the light source of the actinic ray L, a conventionally known light source such as a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a xenon lamp, or the like that can effectively emit ultraviolet rays can be used. In addition, those that effectively emit visible light, such as photographic flood bulbs and solar lamps, can also be used.

次いで、感光層20上に支持体10が残っている場合はこれを除去した後、感光層20に対してウエット現像、ドライ現像等を行い、露光部22以外の部分(未露光部)を除去する(図2(d);現像工程)。これにより、保護層60上に、露光部22から形成されるレジストパターンが形成される。この現像工程においては、未露光部が除去されることによって上述した露出部50aが再び露出する。   Next, if the support 10 remains on the photosensitive layer 20, it is removed, and then wet development, dry development, etc. are performed on the photosensitive layer 20 to remove portions other than the exposed portion 22 (unexposed portions). (FIG. 2 (d); development step). As a result, a resist pattern formed from the exposed portion 22 is formed on the protective layer 60. In this developing process, the exposed portion 50a is exposed again by removing the unexposed portion.

現像をウエット現像により行う場合、アルカリ性水溶液、水系現像液及び有機溶剤等の現像液を用いることができる。この場合、現像方法としては、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の方法を適宜採用できる。   When the development is performed by wet development, a developer such as an alkaline aqueous solution, an aqueous developer, and an organic solvent can be used. In this case, as a developing method, methods such as spraying, rocking immersion, brushing, and scraping can be appropriately employed.

ウエット現像においては、アルカリ性水溶液を用いることが、安全かつ安定であり、操作性が良好であることから特に好ましい。このアルカリ水溶液の塩基としては、リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ、リチウム、ナトリウム、カリウム若しくはアンモニウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カルシウム、燐酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩等が挙げられる。   In wet development, it is particularly preferable to use an alkaline aqueous solution because it is safe and stable and has good operability. Examples of the base of this alkaline aqueous solution include alkali hydroxides such as lithium, sodium or potassium hydroxide, alkali carbonates such as lithium, sodium, potassium or ammonium carbonate or bicarbonate, alkali metals such as calcium phosphate and sodium phosphate. Examples thereof include alkali metal pyrophosphates such as phosphate, sodium pyrophosphate and potassium pyrophosphate.

より具体的には、アルカリ性水溶液の現像液としては、例えば、0.1〜5重量%の炭酸ナトリウムの希薄溶液、0.1〜5重量%の炭酸カリウムの希薄溶液、0.1〜5重量%の水酸化ナトリウムの希薄溶液、0.1〜5重量%の四ホウ酸ナトリウムの希薄溶液等が挙げられる。さらに、アルカリ性水溶液のpHは、9〜11の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光層の現像性に合わせて調整することができる。また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を添加してもよい。   More specifically, the alkaline aqueous developer includes, for example, a 0.1-5 wt% dilute solution of sodium carbonate, a 0.1-5 wt% dilute solution of potassium carbonate, 0.1-5 wt%. % Dilute solution of sodium hydroxide, 0.1-5% by weight dilute solution of sodium tetraborate and the like. Furthermore, the pH of the alkaline aqueous solution is preferably in the range of 9 to 11, and the temperature can be adjusted according to the developability of the photosensitive layer. In the alkaline aqueous solution, a surfactant, an antifoaming agent, a small amount of an organic solvent for promoting development, and the like may be added.

また、水系現像液としては、水又はアルカリ水溶液と、一種以上の有機溶剤とからなる現像液が挙げられる。ここでアルカリ性水溶液の塩基としては、先に述べた物質以外に、例えば、ホウ砂やメタケイ酸ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、エタノールアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、2−アミノ−2−ヒドロキシメチル−1、3−プロパンジオール、1、3−ジアミノプロパノール−2、モルホリン等が挙げられる。現像液のpHは、レジストの現像が充分にできる範囲でできるだけ小さくすることが好ましく、pH8〜12とすることが好ましく、pH9〜10とすることがより好ましい。   Examples of the aqueous developer include a developer composed of water or an alkaline aqueous solution and one or more organic solvents. Here, as the base of the alkaline aqueous solution, for example, borax, sodium metasilicate, tetramethylammonium hydroxide, ethanolamine, ethylenediamine, diethylenetriamine, 2-amino-2-hydroxymethyl-1, Examples include 3-propanediol, 1,3-diaminopropanol-2, morpholine and the like. The pH of the developer is preferably as low as possible within a range where the resist can be sufficiently developed, preferably pH 8-12, more preferably pH 9-10.

上記有機溶剤としては、例えば、三アセトンアルコール、アセトン、酢酸エチル、炭素数1〜4のアルコキシ基をもつアルコキシエタノール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等が挙げられる。これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。有機溶剤の濃度は、2〜90質量%とすることが好ましく、その温度は、現像性にあわせて調整することができる。また、水系現像液中には、界面活性剤、消泡剤等を少量混入することもできる。単独で用いる有機溶剤系現像液としては、例えば、1,1,1−トリクロロエタン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、γ−ブチロラクトン等が挙げられる。   Examples of the organic solvent include triacetone alcohol, acetone, ethyl acetate, alkoxyethanol having an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, butyl alcohol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono And butyl ether. These can be used alone or in combination of two or more. The concentration of the organic solvent is preferably 2 to 90% by mass, and the temperature can be adjusted according to the developability. Further, a small amount of a surfactant, an antifoaming agent or the like can be mixed in the aqueous developer. Examples of the organic solvent developer used alone include 1,1,1-trichloroethane, N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, cyclohexanone, methyl isobutyl ketone, and γ-butyrolactone.

これらの有機溶剤は、引火防止のため、1〜20質量%の範囲で水を添加することが好ましい。また、必要に応じて2種以上の現像方法を併用してもよい。現像の方式には、ディップ方式、バトル方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等があり、高圧スプレー方式が解像度向上のためには最も適している。   These organic solvents preferably add water in the range of 1 to 20% by mass in order to prevent ignition. Moreover, you may use together 2 or more types of image development methods as needed. Development methods include a dip method, a battle method, a spray method, brushing, and slapping, and the high pressure spray method is most suitable for improving the resolution.

なお、上述した現像工程後には、現像後の処理として、必要に応じて60〜250℃程度の加熱又は0.2〜10J/cm程度の露光を行い、レジストパターン(露光部22)をさらに硬化してもよい。また、現像後に金属面のエッチングを行ってもよく、これには、例えば、塩化第二銅溶液、塩化第二鉄溶液、アルカリエッチング溶液等を用いることができる。 In addition, after the development process described above, as a post-development process, heating at about 60 to 250 ° C. or exposure at about 0.2 to 10 J / cm 2 is performed as necessary, and the resist pattern (exposed portion 22) is further formed It may be cured. Further, the metal surface may be etched after development, and for this, for example, a cupric chloride solution, a ferric chloride solution, an alkaline etching solution, or the like can be used.

それから、保護層60及びレジストパターン(露光部22)をマスクとして用い、回路基板80における回路パターン50の露出部50aに無電解めっきを施し、かかる露出部50aの表面上にめっき層55を形成させる(図2(e);めっき工程)。   Then, using the protective layer 60 and the resist pattern (exposed portion 22) as a mask, electroless plating is applied to the exposed portion 50a of the circuit pattern 50 on the circuit board 80, and a plated layer 55 is formed on the surface of the exposed portion 50a. (FIG. 2 (e); plating step).

無電解めっきは、例えば、レジストパターン(露光部22)が形成された保護層付き回路基板90をめっき浴に浸漬させることにより行うことができる。この際、めっき浴の温度は、60〜100℃程度とすることが好ましい。無電解めっきとしては、無電解ニッケルめっきが挙げられる。なお、めっき層55上には、更に金、銀、パラジウム、白金、ロジウム、銅、すず等の金属めっきを更に施してもよい。   The electroless plating can be performed, for example, by immersing the circuit board 90 with a protective layer on which a resist pattern (exposed portion 22) is formed in a plating bath. At this time, the temperature of the plating bath is preferably about 60 to 100 ° C. Examples of the electroless plating include electroless nickel plating. On the plating layer 55, metal plating such as gold, silver, palladium, platinum, rhodium, copper and tin may be further performed.

その後、保護層付き回路基板90から、上述したレジストパターン(露光部22)を剥離除去することにより、回路パターン50の露出部50a上にめっき層55が形成されたプリント配線板100を得る(図2(f);除去工程)。   Thereafter, the above-described resist pattern (exposed portion 22) is peeled and removed from the circuit board 90 with the protective layer, thereby obtaining the printed wiring board 100 in which the plating layer 55 is formed on the exposed portion 50a of the circuit pattern 50 (FIG. 2 (f); removal step).

レジストパターンの除去は、例えば、上述した現像工程で用いたものよりも強いアルカリ性を有する水溶液で処理することにより行うことができる。より具体的には、強アルカリ性の水溶液としては、例えば、1〜10重量%水酸化ナトリウム水溶液、1〜10重量%水酸化カリウム水溶液等が適用できる。また、剥離の方法としては、浸漬、スプレーが挙げられ、これらを組み合わせて行うこともできる。   The resist pattern can be removed by, for example, processing with an aqueous solution having alkalinity stronger than that used in the development step described above. More specifically, as the strong alkaline aqueous solution, for example, a 1 to 10% by weight sodium hydroxide aqueous solution, a 1 to 10% by weight potassium hydroxide aqueous solution and the like can be applied. Further, examples of the peeling method include dipping and spraying, and these can be performed in combination.

こうして得られたプリント配線板100においては、露出部50aが実装パッドとして機能する。そして、プリント配線板100は、この実装パッド上にはんだボール等を介して実装部品が実装されることにより、携帯用電子機器等に搭載される基板となる。そして、本実施形態においては、この実装パッド(露出部50a)上に、めっき層55が形成されていることから、はんだパッドを介した実装部品の接合が極めて有利となる。   In the printed wiring board 100 thus obtained, the exposed portion 50a functions as a mounting pad. And the printed wiring board 100 becomes a board | substrate mounted in a portable electronic device etc. by mounting mounted components via a solder ball etc. on this mounting pad. In the present embodiment, since the plating layer 55 is formed on the mounting pad (exposed portion 50a), it is very advantageous to join the mounting components via the solder pad.

なお、本発明のプリント配線板の製造方法は、必ずしも上述した実施形態に限定されず、適宜変更して実施してもよい。例えば、上記実施形態においては、保護層付き回路基板の保護層上に、感光性エレメントを介して感光層を積層させたが、これに限定されず、例えば、感光性樹脂組成物を含むワニスを保護層上に直接塗布すること等によって積層してもよい。このワニスや塗布方法としては、上述した感光性エレメントの製造と同様のもの及び方法を適用できる。また、多層化のため、プリント配線板には、スルーホール等が形成されてもよい。   In addition, the manufacturing method of the printed wiring board of this invention is not necessarily limited to embodiment mentioned above, You may implement it changing suitably. For example, in the above embodiment, the photosensitive layer is laminated on the protective layer of the circuit board with the protective layer via the photosensitive element. However, the present invention is not limited to this, for example, a varnish containing the photosensitive resin composition is used. You may laminate | stack by apply | coating directly on a protective layer. As the varnish and coating method, the same methods and methods as those for manufacturing the photosensitive element described above can be applied. Moreover, a through-hole etc. may be formed in a printed wiring board for multilayering.

以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
[感光性エレメントの作製]
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention still in detail, this invention is not limited to these Examples.
[Production of photosensitive element]

(実施例1〜2、比較例1〜2)
まず、A成分、発色剤、染料及び溶剤を混合した後、この混合物にB成分、C成分及びD成分を溶解させて、感光性樹脂組成物の溶液を得た。各成分の配合量は、表1に示す通りとした(表中の単位はそれぞれ重量部を示す)。

Figure 2006330193
(Examples 1-2, Comparative Examples 1-2)
First, after mixing A component, a color former, dye, and a solvent, B component, C component, and D component were dissolved in this mixture, and the solution of the photosensitive resin composition was obtained. The amount of each component was as shown in Table 1 (units in the table indicate parts by weight).
Figure 2006330193

なお、表中の各成分は以下の通りである。
A成分;メタクリル酸/メタクリル酸メチル/スチレンを重量比28/60/12で共重合させた共重合体(重量平均分子量60,000、ガラス転移温度124℃、酸価68mgKOH/g)をメチルセロソルブ/トルエン混合溶媒(重量比6/4)に溶解させた溶液(不揮発分重量50重量%)、
B1;2,2’−ビス(4−メタクリロキシペンタエトキシフェニル)プロパン(BPE−500、新中村化学工業社製)、
B2;ポリプロピレングリコール/ポリエチレングリコール変性ウレタンアクリレート(新中村化学工業社製)、
C1;2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、
C2;N,N’−テトラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン、
D1;ベンゾグアナミン;2,4−ジアミノ−6−フェニル−1,3,5−トリアジン(日本触媒社製)、
D2;1,2,3−ベンゾトリアゾール(BT、川口化学工業社製)
In addition, each component in a table | surface is as follows.
A component: A copolymer obtained by copolymerizing methacrylic acid / methyl methacrylate / styrene at a weight ratio of 28/60/12 (weight average molecular weight 60,000, glass transition temperature 124 ° C., acid value 68 mgKOH / g) is methyl cellosolve / Solution dissolved in toluene mixed solvent (weight ratio 6/4) (non-volatile content 50% by weight),
B1; 2,2′-bis (4-methacryloxypentaethoxyphenyl) propane (BPE-500, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
B2: Polypropylene glycol / polyethylene glycol modified urethane acrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
C1; 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer,
C2, N, N′-tetraethyl-4,4′-diaminobenzophenone,
D1; benzoguanamine; 2,4-diamino-6-phenyl-1,3,5-triazine (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.),
D2; 1,2,3-benzotriazole (BT, manufactured by Kawaguchi Chemical Industry Co., Ltd.)

次いで、得られた各感光性樹脂組成物の溶液を、16μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィルム、GS−16、ヘーズ:1.7%、帝人社製)上に均一に塗布し、100℃の熱風対流式乾燥機で10分間乾燥させて感光層を形成した後、感光層をポリエチレン製の保護フィルムで覆い、実施例1〜2及び比較例1〜2の感光性エレメントを得た。乾燥後の感光層の膜厚は、50μmであった。
[プリント配線板の製造]
Subsequently, the obtained solution of each photosensitive resin composition was uniformly applied onto a 16 μm-thick polyethylene terephthalate film (PET film, GS-16, haze: 1.7%, manufactured by Teijin Ltd.), and 100 ° C. After drying with a hot air convection dryer for 10 minutes to form a photosensitive layer, the photosensitive layer was covered with a polyethylene protective film to obtain photosensitive elements of Examples 1-2 and Comparative Examples 1-2. The film thickness of the photosensitive layer after drying was 50 μm.
[Manufacture of printed wiring boards]

(保護層付き回路基板の作製)
まず、プリント配線板の製造に先立って、以下に示す方法により保護層付き回路基板を作製した。すなわち、まず、銅箔(厚さ35μm)を両面に有するガラスエポキシ材である銅張積層板(MCL−E−679、日立化成工業社製)の片側の銅箔表面に、周縁部を1cm残して所定のパターンを有するエッチングレジストを形成した後、銅箔をエッチングして不要な部分を除去し、一部に実装パッドを含む回路パターンを形成させ、回路基板を得た。
(Production of circuit board with protective layer)
First, prior to the production of a printed wiring board, a circuit board with a protective layer was produced by the following method. That is, first, a 1 cm peripheral portion is left on the copper foil surface on one side of a copper clad laminate (MCL-E-679, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), which is a glass epoxy material having a copper foil (thickness: 35 μm) on both sides. After forming an etching resist having a predetermined pattern, the copper foil was etched to remove unnecessary portions, and a circuit pattern including a mounting pad in a part was formed to obtain a circuit board.

得られた回路基板の回路パターン面にフォトレジスト(PSR−4000、太陽インキ社製)を、周縁部を1cm残して全面に塗布した後、80℃で30分乾燥させた。このフォトレジストに対し、フォトツールを介して実装パッド部を覆う領域以外の全面を露光(露光機;オーク製作所社製HMW−590)した。露光後のフォトレジストに対し、1重量%の炭酸ナトリウム水溶液(30℃)を用いてスプレー現像を行い、未露光部を除去することにより、実装パッド上に形成されたフォトレジストの除去を行った。その後、得られたフォトレジスト付き回路基板を150℃で1時間処理することにより、フォトレジストを熱硬化させて、回路基板上に保護層(ソルダーレジスト)を形成させた。これにより、実装パッドが露出した保護層付き回路基板を得た。   A photoresist (PSR-4000, manufactured by Taiyo Ink Co., Ltd.) was applied on the entire surface leaving 1 cm of the peripheral edge on the circuit pattern surface of the obtained circuit board, and then dried at 80 ° C. for 30 minutes. The entire surface of the photoresist other than the region covering the mounting pad portion was exposed through a photo tool (exposure machine: HMW-590 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.). The exposed photoresist was spray-developed using a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution (30 ° C.), and the photoresist formed on the mounting pad was removed by removing unexposed portions. . Then, the obtained circuit board with a photoresist was processed at 150 ° C. for 1 hour to thermally cure the photoresist to form a protective layer (solder resist) on the circuit board. This obtained the circuit board with a protective layer which the mounting pad exposed.

(プリント配線板の作製)
次に、得られた保護層付き回路基板を用いてプリント配線板の製造を行った。すなわち、まず、実施例1〜2及び比較例1〜2の感光性エレメントにおける感光層を、それぞれ異なる上記保護層付き回路基板の保護層上に積層させた。具体的には、各感光性エレメントを、その感光層が保護層に接するように配置し、圧力0.4MPa、温度100℃、ラミネート速度1.5m/分でラミネートした。
(Preparation of printed wiring board)
Next, the printed wiring board was manufactured using the obtained circuit board with a protective layer. That is, first, the photosensitive layers in the photosensitive elements of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 were laminated on the protective layers of the circuit boards with different protective layers. Specifically, each photosensitive element was disposed so that the photosensitive layer was in contact with the protective layer, and laminated at a pressure of 0.4 MPa, a temperature of 100 ° C., and a laminating speed of 1.5 m / min.

次いで、保護層上に積層させた各感光層に対し、上記「保護層付き回路基板の作製」と同様にして、実装パッド上の領域以外の全面を露光した後、現像して、実装パッドのみが露出するように保護層を覆う形状のレジストパターン(感光性樹脂組成物の硬化物からなる硬化物層)を形成させた。そして、レジストパターン形成後の保護層付き回路基板に対し、150℃、1時間の加熱を施すことによりレジストパターンを更に硬化させ、回路基板上に、実装パッド以外の全面を覆うように設けられた保護層及びレジストパターンを有する積層板を得た。   Next, for each photosensitive layer laminated on the protective layer, the entire surface other than the region on the mounting pad is exposed and developed in the same manner as in the above-mentioned “production of circuit board with protective layer”, and only the mounting pad is developed. A resist pattern (cured product layer made of a cured product of the photosensitive resin composition) having a shape covering the protective layer was formed so as to be exposed. And the resist pattern was further hardened by heating the circuit board with the protective layer after forming the resist pattern at 150 ° C. for 1 hour, and provided on the circuit board so as to cover the entire surface other than the mounting pads. A laminate having a protective layer and a resist pattern was obtained.

その後、得られた各積層板に対し、以下の(a)〜(l)の各工程を順に行い無電解めっきを施すことにより、実装パッド上にめっき層を形成させた。   Thereafter, the following steps (a) to (l) were sequentially performed on the obtained laminates to perform electroless plating, thereby forming a plating layer on the mounting pad.

(a)脱脂処理
積層板を、脱脂剤(Z−200、ワールドメタル社製)に50℃、1分間の条件で浸漬して、脱脂処理を行った。
(b)水洗
積層板を、室温で2分間流水により洗浄した。
(c)ソフトエッチング
積層板を、100g/Lの過硫酸アンモニウム浴に室温で1分間浸漬して、実装パッドの表面をソフエッチングした。
(d)水洗
積層板を、室温で2分間流水により洗浄した。
(e)酸洗処理
積層板を、10%硫酸溶液に室温で1分間浸漬することにより酸洗浄を行った。
(f)水洗
積層板を、室温で2分間流水により洗浄した。
(g)活性化
積層板を、無電解めっき用触媒溶液SA−100(日立化成社製)に室温で5分間浸漬させて、実装パッドを活性化させた。
(h)水洗
積層板を、室温で2分間流水により洗浄した。
(i)無電解ニッケルめっき
積層板を、Ni−Pめっき液(P含有量7%、NIPS−100、日立化成工業社製)に80℃で20分間浸漬させ、実装パッドに対して無電解めっきを行った。
(j)水洗
積層板を、室温で2分間流水により洗浄した。
(k)置換型無電解金メッキ
積層板を、置換型金メッキ液であるオーロテックSF(アトテック社製)に85℃で10分間浸漬して、実装パッド上に置換型無電解金メッキを施した。
(l)後処理
積層板を、室温で2分間流水により洗浄した後、85℃で15分間乾燥させた。
(A) Degreasing treatment The laminate was immersed in a degreasing agent (Z-200, manufactured by World Metal Co., Ltd.) at 50 ° C. for 1 minute for degreasing treatment.
(B) Washing with water The laminate was washed with running water at room temperature for 2 minutes.
(C) Soft etching The surface of the mounting pad was soft etched by immersing the laminate in a 100 g / L ammonium persulfate bath at room temperature for 1 minute.
(D) Washing with water The laminate was washed with running water at room temperature for 2 minutes.
(E) Pickling treatment Pickling was performed by immersing the laminate in a 10% sulfuric acid solution at room temperature for 1 minute.
(F) Washing with water The laminate was washed with running water at room temperature for 2 minutes.
(G) Activation The laminated board was immersed in the electroless plating catalyst solution SA-100 (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) for 5 minutes at room temperature to activate the mounting pad.
(H) Washing with water The laminate was washed with running water at room temperature for 2 minutes.
(I) Electroless nickel plating The laminate is immersed in a Ni-P plating solution (P content 7%, NIPS-100, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) at 80 ° C. for 20 minutes, and electroless plating is applied to the mounting pad. Went.
(J) Washing with water The laminate was washed with running water at room temperature for 2 minutes.
(K) Substitution-type electroless gold plating The laminate was immersed in Aurotech SF (manufactured by Atotech Co., Ltd.), which is a substitution-type gold plating solution, at 85 ° C. for 10 minutes to perform substitution-type electroless gold plating on the mounting pad.
(L) Post-treatment The laminate was washed with running water at room temperature for 2 minutes and then dried at 85 ° C. for 15 minutes.

以上のようにして積層板に対して無電解めっきを行うことにより、実装パッド上にめっき層が形成されたプリント配線板を得た。なお、得られたプリント配線板は、保護層上に感光性樹脂組成物の硬化物からなるレジストパターンが残存した状態のものである。   By performing electroless plating on the laminate as described above, a printed wiring board having a plating layer formed on the mounting pad was obtained. In addition, the obtained printed wiring board is a thing of the state in which the resist pattern which consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition remained on the protective layer.

(耐めっき性の評価)
実施例1〜2及び比較例1〜2の感光性エレメントを用いて得られた各プリント配線板におけるレジストパターンを目視で観察し、レジストパターンの剥離や破れの有無、特に実装パッド周辺におけるこれらの有無を確認した。得られた結果を表2に示した。表2中、レジストパターンに剥離や破れが生じていなかったものを耐めっき性に優れるものとして○で示し、レジストパターンの剥離や破れが生じていたものを耐めっき性に劣るものとして×で示した。
(Evaluation of plating resistance)
The resist pattern in each printed wiring board obtained by using the photosensitive elements of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 was visually observed, and the presence or absence of peeling or tearing of the resist pattern, particularly those around the mounting pad. The presence or absence was confirmed. The obtained results are shown in Table 2. In Table 2, if the resist pattern was not peeled or torn, it was marked as ○ with excellent plating resistance, and if the resist pattern was peeled or torn, it was marked with × as inferior plating resistance. It was.

(めっき浴汚染性の評価)
次に、実施例1〜2及び比較例1〜2の各感光性エレメントを用い、以下に示すようにしてめっき浴汚染性の評価を行った。以下、実施例1の感光性エレメントを用いた場合を例に挙げて説明する。
(Evaluation of plating bath contamination)
Next, using the photosensitive elements of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2, the plating bath contamination was evaluated as described below. Hereinafter, the case where the photosensitive element of Example 1 is used will be described as an example.

すなわち、まず、実施例1の感光性エレメントからPETフィルム及び保護フィルムを剥離して感光層のみとした後、このうちの0.5mを、それぞれNi−Pめっき液(P含有量7%、NIPS−100、日立化成工業社製)に85℃で5時間浸漬した。 That is, first, the PET film and the protective film were peeled off from the photosensitive element of Example 1 to form only a photosensitive layer, and 0.5 m 2 of these were each replaced with Ni-P plating solution (P content 7%, NIPS-100, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) at 85 ° C. for 5 hours.

また、実施例1の感光性エレメントを用いて、上記「プリント配線板の作製」と同様にして無電解めっき前の積層板を2つ作製した。そして、得られた積層板に対し、それぞれ上記(a)〜(j)の工程を行うことにより、実装パッド上にNi−Pめっき層を形成させた。この際、(i)の工程で用いるめっき液としては、未処理のNi−Pめっき液と、上述した感光層浸漬後のNi−Pめっき液とをそれぞれ用いた。   Further, using the photosensitive element of Example 1, two laminates before electroless plating were produced in the same manner as in the above-mentioned “Production of printed wiring board”. And the Ni-P plating layer was formed on the mounting pad by performing the process of said (a)-(j) with respect to the obtained laminated board, respectively. At this time, as the plating solution used in the step (i), an untreated Ni-P plating solution and the Ni-P plating solution after immersion in the photosensitive layer described above were used.

そして、未処理のNi−Pめっき液を用いた場合に得られためっき層の厚さ(T(μm))と、感光層浸漬後のNi−Pめっき液を用いた場合に得られためっき層の厚さ(T(μm))とをそれぞれ測定した。これらの値を以下の式に代入して、Tに対するTの減少率(%)を算出した。こうして得られた値を、実施例1の感光性エレメントによるめっき浴汚染性を示す数値とした。この値が小さい感光性エレメント(感光性樹脂組成物)ほど、めっき浴を汚染してめっきを阻害する程度が大きいことを示している。
めっき浴汚染性(%)=100×T/T
And when the untreated Ni-P plating solution was used, the thickness (T 1 (μm)) of the plating layer obtained and when the Ni-P plating solution after immersion in the photosensitive layer was used were obtained. The thickness (T 2 (μm)) of the plating layer was measured. By substituting these values into the following equation, the decrease rate (%) of T 2 with respect to T 1 was calculated. The value thus obtained was used as a numerical value indicating the plating bath contamination by the photosensitive element of Example 1. The smaller the value of the photosensitive element (photosensitive resin composition), the greater the degree of contamination of the plating bath and hindering plating.
Plating bath contamination (%) = 100 × T 2 / T 1

同様の評価を実施例2及び比較例1〜2の感光性エレメントを用いてそれぞれ同様に行い、各感光性エレメントによるめっき浴汚染性を評価した。得られた結果をまとめて表2に示す。

Figure 2006330193
The same evaluation was performed in the same manner using the photosensitive elements of Example 2 and Comparative Examples 1 and 2, and the plating bath contamination by each photosensitive element was evaluated. The results obtained are summarized in Table 2.
Figure 2006330193

表2に示されるように、実施例1及び2の感光性エレメントにより形成されるレジストパターン(硬化物層)は、耐めっき性に十分優れており、しかも、めっき浴汚染性が十分に低いことが確認された。   As shown in Table 2, the resist pattern (cured material layer) formed by the photosensitive elements of Examples 1 and 2 is sufficiently excellent in plating resistance and has sufficiently low plating bath contamination. Was confirmed.

実施形態に係る感光性エレメントの断面構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the cross-sectional structure of the photosensitive element which concerns on embodiment. 図2は、実施形態に係るプリント配線板の製造工程を模式的に示す図である。Drawing 2 is a figure showing typically the manufacturing process of the printed wiring board concerning an embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1…感光性エレメント、10…支持体、20…感光層、22…露光部、30…保護フィルム、40…基板、50…回路パターン、50a…露出部、55…めっき層、60…保護層、70…開口部、80…回路基板、90…保護層付き回路基板、100…プリント配線板。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Photosensitive element, 10 ... Support body, 20 ... Photosensitive layer, 22 ... Exposure part, 30 ... Protection film, 40 ... Board | substrate, 50 ... Circuit pattern, 50a ... Exposed part, 55 ... Plating layer, 60 ... Protection layer, DESCRIPTION OF SYMBOLS 70 ... Opening part, 80 ... Circuit board, 90 ... Circuit board with a protective layer, 100 ... Printed wiring board.

Claims (9)

バインダーポリマーと、
エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、
光重合開始剤と、
下記一般式(1)で表されるグアナミン化合物と、
を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
Figure 2006330193

[式中、Rは、水素原子、アルキル基又は置換基を有していてもよいアリール基を示す。]
A binder polymer;
A photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond;
A photopolymerization initiator;
A guanamine compound represented by the following general formula (1);
A photosensitive resin composition comprising:
Figure 2006330193

[Wherein, R 1 represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an aryl group which may have a substituent. ]
前記バインダーポリマーは、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸アルキルエステルをモノマー単位として含むアクリル系樹脂を含有することを特徴とする請求項1記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the binder polymer contains an acrylic resin containing (meth) acrylic acid and a (meth) acrylic acid alkyl ester as monomer units. 前記光重合開始剤として、2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体を含むことを特徴とする請求項1又は2記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the photopolymerization initiator contains a 2,4,5-triarylimidazole dimer. 前記光重合性化合物として、下記一般式(2)で表されるビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2006330193

[式中、R21及びR22は、それぞれ独立に、炭素数2〜6のアルキレン基、R23及びR24は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を示し、p及びqは、p+q=4〜40を満たす正の整数である。]
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the photopolymerizable compound includes a bisphenol A-based (meth) acrylate compound represented by the following general formula (2). .
Figure 2006330193

[Wherein, R 21 and R 22 each independently represent an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, R 23 and R 24 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and p and q are p + q = It is a positive integer satisfying 4 to 40. ]
前記バインダーポリマー及び前記光重合性化合物の総量100質量部に対し、前記バインダーポリマーの含有量が40〜80質量部であり、前記光重合性化合物の含有量が20〜60質量部であり、前記光重合開始剤の含有量が0.1〜20質量部であり、前記グアナミン化合物の含有量が0.05〜10質量部であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。   The content of the binder polymer is 40 to 80 parts by mass, the content of the photopolymerizable compound is 20 to 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the binder polymer and the photopolymerizable compound, The content of the photopolymerization initiator is 0.1 to 20 parts by mass, and the content of the guanamine compound is 0.05 to 10 parts by mass. The photosensitive resin composition as described. 支持体と、該支持体上に設けられた請求項1〜5のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光層と、を備えることを特徴とする感光性エレメント。   A photosensitive element comprising: a support; and a photosensitive layer made of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5 provided on the support. 前記感光層は、365nmの波長を有する光に対する透過率が5〜75%であることを特徴とする請求項6記載の感光性エレメント。   The photosensitive element according to claim 6, wherein the photosensitive layer has a transmittance of 5 to 75% for light having a wavelength of 365 nm. 回路パターンを備える回路基板と、前記回路パターンの一部が露出する露出部が形成されるように前記回路基板の表面を覆う保護層と、を備える保護層付き回路基板の前記保護層上に、請求項1〜5のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光層を形成する感光層形成工程と、
前記感光層における、前記露出部上の領域以外の領域に活性光線を照射して露光部を形成する露光工程と、
前記感光層における前記露光部以外の領域を除去し、前記露出部を露出させる現像工程と、
前記露出部に対して無電解めっきを施すめっき工程と、
前記露光部を除去する除去工程と、
を含むことを特徴とするプリント配線板の製造方法。
On the protective layer of the circuit board with a protective layer, comprising: a circuit board provided with a circuit pattern; and a protective layer that covers a surface of the circuit board so that an exposed portion from which a part of the circuit pattern is exposed is formed. A photosensitive layer forming step of forming a photosensitive layer comprising the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5;
In the photosensitive layer, an exposure step of irradiating a region other than the region on the exposed portion with an actinic ray to form an exposed portion;
A developing step of removing the region other than the exposed portion in the photosensitive layer and exposing the exposed portion;
A plating step of performing electroless plating on the exposed portion;
A removing step of removing the exposed portion;
The printed wiring board manufacturing method characterized by including this.
回路パターンを備える回路基板と、前記回路パターンの一部が露出する露出部が形成されるように前記回路基板の表面を覆う保護層と、を備える保護層付き回路基板の前記保護層上に、請求項6又は7記載の感光性エレメントにおける前記感光層を積層する感光層形成工程と、
前記感光層における、前記露出部上の領域以外の領域に活性光線を照射して露光部を形成する露光工程と、
前記感光層における前記露光部以外の領域を除去し、前記露出部を露出させる現像工程と、
前記露出部に対して無電解めっきを施すめっき工程と、
前記露光部を除去する除去工程と、
を含むことを特徴とするプリント配線板の製造方法。
On the protective layer of the circuit board with a protective layer, comprising: a circuit board provided with a circuit pattern; and a protective layer that covers a surface of the circuit board so that an exposed portion from which a part of the circuit pattern is exposed is formed. A photosensitive layer forming step of laminating the photosensitive layer in the photosensitive element according to claim 6 or 7,
In the photosensitive layer, an exposure step of irradiating a region other than the region on the exposed portion with an actinic ray to form an exposed portion;
A developing step of removing the region other than the exposed portion in the photosensitive layer and exposing the exposed portion;
A plating step of performing electroless plating on the exposed portion;
A removing step of removing the exposed portion;
The printed wiring board manufacturing method characterized by including this.
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