JP4428399B2 - Photosensitive resin composition used for production of printed wiring board - Google Patents

Photosensitive resin composition used for production of printed wiring board Download PDF

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本発明は、プリント配線板の製造法及びそれに用いる感光性樹脂組成物に関する。特に工程の簡略化、実装部品の接続信頼性の向上及び歩留りの改善を可能とするプリント配線板の製造法及びそれに用いる感光性樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a method for producing a printed wiring board and a photosensitive resin composition used therefor. In particular, the present invention relates to a method for producing a printed wiring board that can simplify the process, improve the connection reliability of mounted components, and improve the yield, and a photosensitive resin composition used therefor.

従来、プリント配線板の製造分野では、回路の保護及び接触抵抗の低減等を目的として、回路の上に金属めっき加工が行われている。また、携帯電子機器の普及に伴い、使用される実装部品の形態としては、小型化に有利なチップスケールパッケージ(Chip Scale Package、以下、CSPと略す)やボールグリッドアレイ(Ball Grid Array、以下、BGAと略す)が急速に増えている。このような実装部品は、実装パッド(はんだパッド)等を除いた回路付き配線板の回路導体の全面にレジストを形成して、露出しているパッドの部分等に金属めっき加工を施す。その後実装部品と金属めっき加工されたパッドとをはんだボールによって接合させて、回路付き配線板を他の回路付き配線板又は他の部品と接続させている。金属めっき加工では、良好な金属結合を確保するため、多くの場合、金めっきを用いる。金めっきは、高価であり、またモース硬さが2.5と軟らかい。   Conventionally, in the field of manufacturing printed wiring boards, metal plating is performed on a circuit for the purpose of protecting the circuit and reducing contact resistance. In addition, with the spread of portable electronic devices, the types of mounting components used are chip scale packages (hereinafter abbreviated as CSP) and ball grid arrays (hereinafter abbreviated as CSP), which are advantageous for downsizing. (Abbreviated as BGA) is rapidly increasing. In such a mounting component, a resist is formed on the entire surface of the circuit conductor of the wiring board with a circuit excluding the mounting pad (solder pad) and the like, and the exposed pad portion and the like are subjected to metal plating. Thereafter, the mounted component and the metal plated pad are joined by a solder ball to connect the circuit-equipped wiring board to another circuit-equipped wiring board or another component. In metal plating, gold plating is often used in order to ensure good metal bonding. Gold plating is expensive and has a Mohs hardness of 2.5.

プリント配線板の小型化・高密度化の傾向、更には電子部品の表面実装への金属めっき技術の適用に伴い、金属めっきの主流は、電極用リード線が不要であり、かつ均一なめっき膜厚及び平滑な表面が得られる等の理由から、電解めっきから無電解めっきへ移行しつつあり、特に携帯電子機器用基板においては急速に進行している。しかし、無電解めっき法によるプリント配線板は、従来の電解めっき法による配線板と比較すると、Niめっき層に含まれるリンが原因で機械強度に劣り、また接合の歩留まりが悪いため、はんだボール接続信頼性が低いという問題を我々は見出した。更に、はんだボール接続信頼性が低いにも係らず、工程が多くなり複雑化するという問題を我々は見出した。   Due to the trend toward miniaturization and higher density of printed wiring boards, and the application of metal plating technology to surface mounting of electronic components, the mainstream of metal plating is the need for electrode lead wires and a uniform plating film For reasons such as obtaining a thick and smooth surface, the electroplating is shifting to electroless plating, and particularly in a substrate for portable electronic devices. However, the printed wiring board by electroless plating method is inferior in mechanical strength due to phosphorus contained in the Ni plating layer and the bonding yield is low compared to the conventional wiring board by electrolytic plating method. We found the problem of low reliability. Furthermore, despite the low solder ball connection reliability, we have found the problem that the number of processes increases and the process becomes complicated.

また、近年、携帯電子機器用基板では、落下衝撃、或いは入力キーを押す力により発生する曲げやたわみのため、CSPやBGA等の実装部品が基板表面から脱落しやすいという問題が発生している。この対策として、落下衝撃等を吸収するような基材を用いること、無電解めっきの方法を工夫すること等が考えられているが、有効な対策は未だ立てられていない。   In recent years, a substrate for a portable electronic device has a problem that mounting components such as CSP and BGA are likely to drop off from the surface of the substrate due to a drop impact or bending or deflection caused by the force of pressing an input key. . As countermeasures, it has been considered to use a base material that absorbs a drop impact or the like, or to devise a method of electroless plating, but no effective countermeasures have been established yet.

本発明の目的は、上記の問題を解消し、配線板の小型化・高密度化を達成する電子部品の表面実装に対応した新規な工程手法を用いて、簡略化され、高い歩留りを有する工程で、得られるプリント配線板が高い実装部品の接続信頼性を有する、改善されたプリント配線板の製造法、並びにこのような製造方法に用いるのに適し、めっき耐性及び剥離性に優れた感光性樹脂組成物及びその層を提供することにある。   The object of the present invention is to simplify the process with a high yield by using a novel process method corresponding to the surface mounting of electronic parts that solves the above problems and achieves miniaturization and high density of the wiring board. The obtained printed wiring board has high connection reliability of mounted parts, and an improved printed wiring board manufacturing method, and suitable for use in such a manufacturing method, and has excellent plating resistance and peelability. It is providing the resin composition and its layer.

本発明の方法は、プリント配線板の製造方法であって、
(i)回路付き配線板の上にソルダーレジストを形成する工程;
(ii)該ソルダーレジストの上に、予め成形した感光性樹脂組成物の層を積層する工程;
(iii)該感光性樹脂組成物の層を、露光し、現像して、該感光性樹脂組成物のレジストパターンを形成する工程;
(iv)それらの全面に無電解めっきを行う工程;及び
(v)該感光性樹脂組成物の層を剥離する工程
を含むことを特徴とするプリント配線板の製造方法に関する。
The method of the present invention is a method of manufacturing a printed wiring board,
(I) forming a solder resist on the circuit board with circuit;
(Ii) a step of laminating a layer of a previously formed photosensitive resin composition on the solder resist;
(Iii) a step of exposing and developing the layer of the photosensitive resin composition to form a resist pattern of the photosensitive resin composition;
The present invention relates to a method for producing a printed wiring board, comprising: (iv) a step of performing electroless plating on the entire surface thereof; and (v) a step of peeling off a layer of the photosensitive resin composition.

本発明は、プリント配線板製造における、2種以上の異なる無電解めっきを行うためのめっきレジスト用の感光性樹脂組成物であって、   The present invention is a photosensitive resin composition for a plating resist for performing two or more different electroless platings in printed wiring board production,

該感光性樹脂組成物に含まれる、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物における反応基の総モル数ΣMが、式(I):

Figure 0004428399

(式中、ΣMは、該感光性樹脂組成物の固形分1kg当たりの前記反応基の総モル数であり、Miは該感光性樹脂組成物の固形分1kg当たりの光重合性化合物iのモル数であり、Niは光重合性化合物iの反応基の数であり、そしてkは組成物中の光重合性化合物の総数である)
で示されるとき、
該感光性樹脂組成物に含まれる、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物における反応基の総数ΣMが、該感光性樹脂組成物の固形分1kg当たり、0.3〜1.5モルである、感光性樹脂組成物に関する。 The total number of moles ΣM of reactive groups in the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group polymerizable in the molecule contained in the photosensitive resin composition is represented by the formula (I):
Figure 0004428399

(In the formula, ΣM is the total number of moles of the reactive group per kg solid content of the photosensitive resin composition, and Mi is the mole of photopolymerizable compound i per kg solid content of the photosensitive resin composition. And Ni is the number of reactive groups in photopolymerizable compound i and k is the total number of photopolymerizable compounds in the composition)
When indicated by
The total number of reactive groups ΣM in the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group polymerizable in the molecule contained in the photosensitive resin composition is 0.3 per 1 kg of the solid content of the photosensitive resin composition. It is related with the photosensitive resin composition which is -1.5 mol.

以下、本発明について詳細に説明する。
本発明において、回路付き配線板とは、基材及び回路(回路導線)からなる回路付き配線板であり、スルーホール等を有してもよく、また、多層構造を有してもよく、プリント配線板に含まれるものである。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
In the present invention, the circuit board with a circuit is a circuit board with a circuit comprising a base material and a circuit (circuit conductor), may have a through-hole or the like, may have a multilayer structure, It is included in the wiring board.

レジストとは、エッチング、はんだ付け又は膜形成を選択的に行うため、プリント配線板の特定領域をマスク又は保護する被覆材料であり、めっき保護膜としても機能する。通常、フォトレジストを用い、その感光性を利用して、微細かつ正確なパターンを所定の領域に高い精度で被覆形成して、被保護物を保護する。本発明において、レジストは目的により2種類に分けられる。   The resist is a coating material that masks or protects a specific area of the printed wiring board in order to selectively perform etching, soldering, or film formation, and also functions as a plating protective film. Usually, a photoresist is used, and a fine and accurate pattern is coated on a predetermined region with high accuracy by utilizing its photosensitivity to protect the object to be protected. In the present invention, the resist is classified into two types depending on the purpose.

その一方は、ソルダーレジストであり、例えばはんだ付けにより接合部分を形成する領域のみが露出するように(言い換えれば、実装パッド等を除いた回路付き配線板の全面を被覆するように)、塗布し、露光して、所望の被覆(保護)パターンを有するよう形成したものである。   One of them is a solder resist, for example, applied so that only the region where the joint portion is formed is exposed by soldering (in other words, covers the entire surface of the circuit board with the circuit except the mounting pads). , And formed so as to have a desired coating (protection) pattern.

もう一つは、ソルダーレジストとは異なり、めっきレジストの目的で用いるレジストであり、感光性樹脂組成物を予め成形した層/フィルムの形態で用いて、無電解めっきを行う領域のみが露出するように(言い換えれば、パッドの部分等のめっきによる金属の付着が望ましくない回路付き配線板の全面を被覆するように)、成形層/フィルムを露光して、感光性樹脂組成物のレジストパターンを形成するものである。   The other is a resist used for the purpose of a plating resist, unlike a solder resist, and the photosensitive resin composition is used in the form of a pre-formed layer / film so that only the region where electroless plating is performed is exposed. (In other words, so as to cover the entire surface of the wiring board with a circuit where metal adhesion by plating such as a pad portion is not desirable), the molding layer / film is exposed to form a resist pattern of the photosensitive resin composition To do.

以下に図を用いて本発明の一例をより詳細に説明する。図1に示すように、基板1及び回路2からなる回路付き基材上に(A)、実装パッド等以外の領域にソルダーレジスト3を形成する(B)。その後、ソルダーレジスト3の上に、予め成形した感光性樹脂組成物の層4を積層し、該感光性樹脂組成物の層を、露光し、現像して、無電解めっきを行う部分のみ露出するように(パッドの部分等のめっきによる金属の付着が望ましくない領域を被覆するように)、めっきレジストの目的で更に感光性樹脂組成物層のレジストパターン4’を形成する(C)。このレジストパターン4’は、その後、任意に後硬化させることができる。ソルダーレジスト3及び感光性樹脂組成物層のレジストパターン4’をマスクとして、それらの全面に、無電解めっき5、例えばNi/AuめっきのようにNi無電解めっきを行い、マスクされていない回路の表面にめっき被膜を形成し(D)、引き続き置換Auめっき6を行って(E)、所要の部分にのみ金属めっき加工されためっき膜を得る。次いで、めっきレジストの目的で感光性樹脂組成物層のレジストパターン4’を剥離して(F)、実装部品の接続信頼性に優れたプリント配線板を得る。   Hereinafter, an example of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, a solder resist 3 is formed in a region other than a mounting pad or the like (B) on a substrate with a circuit composed of a substrate 1 and a circuit 2 (B). Thereafter, a layer 4 of the photosensitive resin composition previously molded is laminated on the solder resist 3, and the layer of the photosensitive resin composition is exposed and developed to expose only a portion where electroless plating is performed. As described above (so as to cover a region where metal adhesion by plating such as a pad portion is not desirable), a resist pattern 4 ′ of the photosensitive resin composition layer is further formed for the purpose of plating resist (C). This resist pattern 4 'can then optionally be post-cured. Using the solder resist 3 and the resist pattern 4 ′ of the photosensitive resin composition layer as a mask, electroless plating 5, for example, Ni electroless plating such as Ni / Au plating, is performed on the entire surface of the resist pattern 4 ′. A plating film is formed on the surface (D), and then substitution Au plating 6 is performed (E) to obtain a plating film that is metal-plated only at a required portion. Next, the resist pattern 4 ′ of the photosensitive resin composition layer is peeled off for the purpose of plating resist (F) to obtain a printed wiring board excellent in connection reliability of mounted components.

本発明の方法のように、ソルダ−レジストの形成工程(本発明の工程(i))を無電解めっき等の工程(本発明の工程(ii)〜(v))より前に行う場合、感光性樹脂組成物の層が積層される場所はソルダ−レジスト上となる。この場合、ソルダ−レジスト自体は遮光性が高いため、光もれに関する問題は発生しない。   When the solder-resist formation step (the step (i) of the present invention) is performed before the steps such as electroless plating (the steps (ii) to (v) of the present invention) as in the method of the present invention The place where the layer of the conductive resin composition is laminated is on the solder resist. In this case, since the solder resist itself has a high light shielding property, there is no problem with respect to light leakage.

本発明の方法とは異なる工程順序を用いる場合は、状況が異なる。例えば、この工程順序を、回路付き基板上に感光性樹脂組成物の層を積層し、露光及び現像でレジストパタ−ンを形成し、無電解Ni/Auめっきを行い、感光性樹脂組成物の層を剥離する(本発明の工程(ii)〜(v)に相当)、その後ソルダ−レジストを形成する(本発明の工程(i)に相当)方法のように、ソルダ−レジストの形成工程と無電解めっき等の工程の順番が本発明の方法とは逆になる場合、感光性樹脂組成物の層が積層される場所はガラスエポキシ基板等の上となる。   The situation is different when using a different process sequence than the method of the present invention. For example, in this process sequence, a photosensitive resin composition layer is laminated on a circuit board, a resist pattern is formed by exposure and development, electroless Ni / Au plating is performed, and a photosensitive resin composition layer is formed. (Corresponding to steps (ii) to (v) of the present invention), and then forming a solder resist (corresponding to step (i) of the present invention). When the order of steps such as electrolytic plating is reversed from the method of the present invention, the place where the layer of the photosensitive resin composition is laminated is on a glass epoxy substrate or the like.

このようにソルダ−レジストの形成工程を無電解めっき等の工程より後に行う場合、感光性樹脂組成物の層が積層される場所はガラスエポキシ基板等の上になる。ガラスエポキシ基板等は遮光性が低いため、露光すべきでない領域の感光性樹脂組成物までも露光してしまう点が問題となる。つまり、基板を上面から露光したとき、基板上面の感光性樹脂組成物の層を透過した光が、ガラスエポキシ基板を透過し、基板下面の感光性樹脂組成物の層に届き、また、同様のことが反対側でも起こるため、不要に硬化した感光性樹脂組成物の層が得られ、無電解めっき後の剥離工程で剥離残りの不良が発生する場合がある。また、無電解金めっき処理後に金めっき面にソルダ−レジストを形成するため、ソルダ−レジストの現像残さが金めっき表面に残りやすく、電気特性が低下するという問題もある。   Thus, when performing the formation process of a soldering resist after processes, such as an electroless plating, the place where the layer of the photosensitive resin composition is laminated | stacked will be on a glass epoxy board | substrate. Since glass epoxy substrates and the like have low light shielding properties, there is a problem in that even a photosensitive resin composition in a region that should not be exposed is exposed. That is, when the substrate is exposed from the upper surface, the light transmitted through the photosensitive resin composition layer on the upper surface of the substrate passes through the glass epoxy substrate and reaches the photosensitive resin composition layer on the lower surface of the substrate. Since this also occurs on the opposite side, a layer of the photosensitive resin composition that is unnecessarily cured is obtained, and there may be a case where a defect remaining after peeling occurs in the peeling step after electroless plating. Further, since the solder resist is formed on the gold plating surface after the electroless gold plating treatment, there is a problem that the development residue of the solder resist is likely to remain on the gold plating surface and the electrical characteristics are deteriorated.

したがって、該プリント配線板の製造方法においては、その工程の順番が重要であり、ソルダ−レジストの形成工程が無電解めっき等の工程より前である必要がある。このことにより、実装部品の接続信頼性に優れたプリント配線板を得ることができる。   Therefore, in the method for producing the printed wiring board, the order of the steps is important, and the solder-resist forming step needs to be before the step such as electroless plating. As a result, a printed wiring board excellent in connection reliability of mounted components can be obtained.

本発明におけるソルダーレジストとしては、レジストに用い得る材料であれば特に材料は制限はされない。例えば、フォトレジストを用いてソルダーレジストを形成する場合、回路付き配線板上にフォトレジストを塗布し、予備乾燥した後、フォトマスクを介して選択的に活性エネルギー線で露光して光重合させ、現像液で現像してソルダーレジストのレジストパターンを形成し、その後、加熱して熱硬化させることにより、ソルダーレジストを形成させる。ここで、フォトレジストを基板上に塗布して塗膜を形成する方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、スクリーン印刷法、カーテン塗装、ロール塗装、スプレー塗装など、適宜、塗布方法を選択することができる。また、フォトレジストをフィルム上に成形したエレメント(感光性エレメント)を基板上に積層し、露光、現像することにより、ソルダーレジストを得ることができる。また、非感光性のソルダーレジストによってもスクリーン印刷法等によって同様にソルダーレジストを形成することができる。   The solder resist in the present invention is not particularly limited as long as it can be used for the resist. For example, when forming a solder resist using a photoresist, after applying the photoresist on a circuit board with circuit and pre-drying, it is selectively exposed to active energy rays through a photomask and photopolymerized, It develops with a developing solution and forms the resist pattern of a soldering resist, Then, a soldering resist is formed by heating and thermosetting. Here, as a method for forming a coating film by applying a photoresist on a substrate, a known method can be used. For example, an application method can be selected as appropriate, such as screen printing, curtain coating, roll coating, and spray coating. Moreover, a solder resist can be obtained by laminating an element (photosensitive element) obtained by forming a photoresist on a film on a substrate, and exposing and developing. Similarly, a solder resist can be formed by a screen printing method or the like using a non-photosensitive solder resist.

本発明におけるめっきレジスト目的の感光性樹脂組成物(A)は、プリント配線板製造における無電解めっきのレジスト用の感光性樹脂組成物であって、
該感光性樹脂組成物は、回路付き配線板の上に形成されたソルダーレジストの上に積層し、パターン形成して用いることが好ましい。その形態又は形状は、特に制限はされないが、ソルダーレジストが形成された回路付き配線板の上に予め成形した層として積層して用いることが好ましい。また、液状の組成物の形態で、塗布し、乾燥した後、任意に、保護フィルムで被覆して用いることができる。また、予め成形した形態としては、例えば、支持体上に塗布し、乾燥させ、任意に保護フィルムで被覆した、感光性エレメントの形態で用いることが好ましい。(A)層の厚さは、適用するプリント配線板の用途により異なる。例えば、乾燥後の厚さで約1〜100μmであることが好ましい。また、めっき耐性の見地からは、40〜75μmであることがより好ましい。液状体樹脂組成物(A)の乾燥後、保護フィルムを被覆して用いる場合は、保護フィルムとして、ポリエチレン、ポリプロピレンのような重合体フィルムなどが挙げられる。
The photosensitive resin composition (A) for the purpose of plating resist in the present invention is a photosensitive resin composition for resist for electroless plating in printed wiring board production,
The photosensitive resin composition is preferably used by laminating on a solder resist formed on a circuit board with a circuit and forming a pattern. Although the form or shape is not particularly limited, it is preferably laminated and used as a layer formed in advance on a circuit board with a circuit on which a solder resist is formed. Moreover, after apply | coating and drying with the form of a liquid composition, it can coat | cover with a protective film arbitrarily and can be used. Moreover, as a form shape | molded previously, it is preferable to use with the form of the photosensitive element which apply | coated on the support body, made it dry, and was coat | covered with the protective film arbitrarily, for example. (A) The thickness of a layer changes with uses of the printed wiring board to apply. For example, the thickness after drying is preferably about 1 to 100 μm. Moreover, it is more preferable that it is 40-75 micrometers from a viewpoint of plating tolerance. When the liquid resin composition (A) is dried and then coated with a protective film, examples of the protective film include polymer films such as polyethylene and polypropylene.

本発明の感光性樹脂組成物(A)は、少なくとも1種の光重合性化合物及び光重合開始剤、任意にバインダーポリマー等を含む。このような光重合性化合物は、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有するものが好ましい。   The photosensitive resin composition (A) of the present invention contains at least one photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator, optionally a binder polymer. Such a photopolymerizable compound is preferably one having a polymerizable ethylenically unsaturated group in the molecule.

本発明によれば、本発明の感光性樹脂組成物に含まれる、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物における反応基の総モル数ΣMが、式(I):

Figure 0004428399

(式中、ΣMは、該感光性樹脂組成物の固形分1kg当たりの前記反応基の総モル数であり、Miは該感光性樹脂組成物の固形分1kg当たりの光重合性化合物iのモル数であり、Niは光重合性化合物iの反応基の数であり、そしてkは組成物中の光重合性化合物の総数である)
で示されるとき、
該感光性樹脂組成物に含まれる、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物における反応基の総数ΣMは、めっき耐性と無電解めっき後の剥離時間のバランスを考慮すると、該感光性樹脂組成物の固形分1kg当たり、0.3〜1.5モルであることが好ましく、0.4〜1.3モルであることがより好ましく、0.5〜1.1モルであることが特に好ましい。 According to the present invention, the total number of moles ΣM of reactive groups in the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group polymerizable in the molecule contained in the photosensitive resin composition of the present invention is represented by the formula (I):
Figure 0004428399

(In the formula, ΣM is the total number of moles of the reactive group per kg solid content of the photosensitive resin composition, and Mi is the mole of photopolymerizable compound i per kg solid content of the photosensitive resin composition. And Ni is the number of reactive groups in photopolymerizable compound i and k is the total number of photopolymerizable compounds in the composition)
When indicated by
The total number of reactive groups ΣM in the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group polymerizable in the molecule contained in the photosensitive resin composition is determined in consideration of the balance between plating resistance and peeling time after electroless plating. The solid content of the photosensitive resin composition is preferably 0.3 to 1.5 mol, more preferably 0.4 to 1.3 mol, and 0.5 to 1.1 mol. It is particularly preferred that

上記の感光性樹脂組成物(A)に用いる分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物としては、例えば、多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物;2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリブトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン等のビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物;グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物;分子内にウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物等のウレタンモノマー;ノニルフェノキシポリエチレンオキシ(メタ)アクリレート;γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β′−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β′−(メタ)アクリロイルオキシアルキル−o−フタレート等のフタル酸系化合物;(メタ)アクリル酸アルキルエステル等が挙げられ、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物等が好ましい。とりわけ、ビスフェノールAポリオキシエチレンジメタクリレート;エチレンオキシド、ポリプロピレンオキシド変性ウレタンジメタクリレート又はエチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリアクリレートが好ましい。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。光重合性化合物の分子量は1000以上であることが好ましく、1500以上であることがより好ましく、2000以上であることが特に好ましく、2500以上であることが極めて好ましい。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。   As a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group polymerizable in the molecule used in the photosensitive resin composition (A), for example, an α, β-unsaturated carboxylic acid is reacted with a polyhydric alcohol. The resulting compound: 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolypropoxy) phenyl) propane, 2,2- Bisphenol A-based (meth) acrylate compounds such as bis (4-((meth) acryloxypolybutoxy) phenyl) propane and 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxypolypropoxy) phenyl) propane; Compound obtained by reacting glycidyl group-containing compound with α, β-unsaturated carboxylic acid; (meth) acrylate compound having urethane bond in molecule Urethane monomers such as nonylphenoxypolyethyleneoxy (meth) acrylate; γ-chloro-β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyalkyl-β ′-(meth) acryloyloxy Phthalic acid compounds such as alkyl-o-phthalate; (meth) acrylic acid alkyl esters and the like, and bisphenol A (meth) acrylate compounds are preferred. In particular, bisphenol A polyoxyethylene dimethacrylate; ethylene oxide, polypropylene oxide-modified urethane dimethacrylate or ethylene oxide-modified trimethylolpropane triacrylate is preferable. These can be used alone or in combination of two or more. The molecular weight of the photopolymerizable compound is preferably 1000 or more, more preferably 1500 or more, particularly preferably 2000 or more, and extremely preferably 2500 or more. These can be used alone or in combination of two or more.

上記の多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が2〜14であるポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレン基の数が2〜14であるポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレン基の数が2〜14であり、プロピレン基の数が2〜14であるポリエチレン・ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO,PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the compound obtained by reacting the polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid include, for example, polyethylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene groups and 2 propylene groups. Polypropylene glycol di (meth) acrylate which is ˜14, polyethylene polypropylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene groups and 2 to 14 propylene groups, trimethylolpropane di (meth) Acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, PO modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO, PO modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylol methanetri ( And (meth) acrylate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

なお、EOはエチレンオキシドを示し、EO変性された化合物はエチレンオキシド基のブロック構造を有する。また、POはプロピレンオキシドを示し、PO変性された化合物はプロピレンオキシド基のブロック構造を有する。   Note that EO represents ethylene oxide, and the EO-modified compound has a block structure of an ethylene oxide group. PO represents propylene oxide, and the PO-modified compound has a block structure of propylene oxide groups.

上記の2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパンとしては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシジエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘプタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシオクタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシノナエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシウンデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシドデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサデカエトキシ)フェニル)プロパン等が挙げられ、2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパンは、BPE−500(新中村化学工業(株)製、製品名)として商業的に入手可能であり、2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパンは、BPE−1300(新中村化学工業(株)製)として商業的に入手可能である。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。また、分子内のエトキシ基の数は14以上であることが好ましく、20以上であることがより好ましく、25以上であることが特に好ましい。分子内エトキシ基の数は、50以下であることが好ましい。   As the above 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane, for example, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydiethoxy) phenyl) propane, 2, 2-bis (4-((meth) acryloxytriethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetraethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-(( (Meth) acryloxypentaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyheptaethoxy) phenyl ) Propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyoctaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxynona) Toxi) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyundecaethoxy) phenyl) propane, 2 , 2-bis (4-((meth) acryloxydodecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytridecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4- ((Meth) acryloxytetradecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxy) Hexadecaethoxy) phenyl) propane and the like, and 2,2-bis (4- (methacryloxypentaethoxy) phenyl) propane is a BPE 500 (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product name) and 2,2-bis (4- (methacryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane is BPE-1300 (Shin-Nakamura Chemical) (Available from Kogyo Co., Ltd.). These can be used alone or in combination of two or more. Further, the number of ethoxy groups in the molecule is preferably 14 or more, more preferably 20 or more, and particularly preferably 25 or more. The number of intramolecular ethoxy groups is preferably 50 or less.

上記の2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパンとしては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシジエトキシオクタプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラエトキシテトラプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサエトキシヘキサプロポキシ)フェニル)プロパン等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。   As the above 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxypolypropoxy) phenyl) propane, for example, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydiethoxyoctapropoxy) phenyl) Examples include propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetraethoxytetrapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexaethoxyhexapropoxy) phenyl) propane, and the like. It is done. These can be used alone or in combination of two or more.

上記の分子内にウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、β位にOH基を有する(メタ)アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、2,6−トルエンジイソシアネート、2,4−トルエンジイソシアネート、1,6−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス((メタ)アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート)ヘキサメチレンイソシアヌレート、EO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート、EO,PO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。EO変性ウレタンジ(メタ)アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業(株)製、製品名UA−11等が挙げられる。また、EO,PO変性ウレタンジ(メタ)アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業(株)製、製品名UA−13等が挙げられる。   Examples of the (meth) acrylate compound having a urethane bond in the molecule include, for example, a (meth) acryl monomer having an OH group at the β-position, isophorone diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, 2,4-toluene diisocyanate, 1 , 6-hexamethylene diisocyanate and other diisocyanate compounds, tris ((meth) acryloxytetraethylene glycol isocyanate) hexamethylene isocyanurate, EO-modified urethane di (meth) acrylate, EO, PO-modified urethane di (meth) acrylate Etc. Examples of the EO-modified urethane di (meth) acrylate include the product name UA-11 manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. Examples of EO and PO-modified urethane di (meth) acrylates include the product name UA-13 manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.

上記のノニルフェノキシポリエチレンオキシ(メタ)アクリレートとしては、例えば、ノニルフェノキシテトラエチレンオキシ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシペンタエチレンオキシ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシヘキサエチレンオキシ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシヘプタエチレンオキシ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシオクタエチレンオキシ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシノナエチレンオキシ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシデカエチレンオキシ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシウンデカエチレンオキシ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Examples of the nonylphenoxypolyethyleneoxy (meth) acrylate include nonylphenoxytetraethyleneoxy (meth) acrylate, nonylphenoxypentaethyleneoxy (meth) acrylate, nonylphenoxyhexaethyleneoxy (meth) acrylate, and nonylphenoxyheptaethyleneoxy. (Meth) acrylate, nonylphenoxyoctaethyleneoxy (meth) acrylate, nonylphenoxynonaethyleneoxy (meth) acrylate, nonylphenoxydecaethyleneoxy (meth) acrylate, nonylphenoxyundecaethyleneoxy (meth) acrylate, and the like.

上記の感光性樹脂組成物(A)に用いる光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、N,N′−テトラメチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)等のN,N′−テトラアルキル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−プロパン−1−オン等の芳香族ケトン、アルキルアントラキノン等のキノン類、ベンゾインアルキルエーテル等のベンゾインエーテル化合物、ベンゾイン、アルキルベンゾイン等のベンゾイン化合物、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9′−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体、N−フェニルグリシン、N−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物などが挙げられる。また、2つの2,4,5−トリアリールイミダゾールのアリール基の置換基は同一で対称な化合物を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えてもよい。また、密着性及び感度の見地からは、2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体がより好ましい。これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the photopolymerization initiator used in the photosensitive resin composition (A) include N, N′-tetraalkyl such as benzophenone and N, N′-tetramethyl-4,4′-diaminobenzophenone (Michler ketone). -4,4'-diaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2- Aromatic ketones such as morpholino-propan-1-one, quinones such as alkylanthraquinones, benzoin ether compounds such as benzoin alkyl ether, benzoin compounds such as benzoin and alkylbenzoin, benzyl derivatives such as benzyldimethyl ketal, 2- (o -Chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- ( -Chlorophenyl) -4,5-di (methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5- 2,4,5-triarylimidazole dimer such as diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 9-phenylacridine, 1,7-bis ( And acridine derivatives such as 9,9'-acridinyl) heptane, N-phenylglycine, N-phenylglycine derivatives, and coumarin compounds. Further, the substituents of the aryl groups of two 2,4,5-triarylimidazoles may give the same and symmetric compounds, or differently give asymmetric compounds. From the viewpoint of adhesion and sensitivity, 2,4,5-triarylimidazole dimer is more preferable. These can be used alone or in combination of two or more.

本発明の感光性樹脂組成物(A)に用いられるバインダーポリマーとしては、例えば、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂等が挙げられる。アルカリ現像性の見地からは、アクリル系樹脂が好ましい。これらは単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。なお、本発明における(メタ)アクリル酸とはアクリル酸及びそれに対応するメタクリル酸を意味し、(メタ)アクリレートとはアクリレート及びそれに対応するメタクリレートを意味し、(メタ)アクリロイル基とはアクリロイル基及びそれに対応するメタクリロイル基を意味する。また、任意に、上記のバインダーポリマーは感光性基を有することができる。   Examples of the binder polymer used in the photosensitive resin composition (A) of the present invention include acrylic resins, styrene resins, epoxy resins, amide resins, amide epoxy resins, alkyd resins, phenol resins, and the like. Is mentioned. From the viewpoint of alkali developability, an acrylic resin is preferable. These can be used alone or in combination of two or more. In the present invention, (meth) acrylic acid means acrylic acid and methacrylic acid corresponding thereto, (meth) acrylate means acrylate and corresponding methacrylate, (meth) acryloyl group means acryloyl group and The corresponding methacryloyl group is meant. Optionally, the binder polymer can have a photosensitive group.

上記のバインダーポリマーは、例えば、重合性単量体をラジカル重合させることにより製造することができる。上記の重合性単量体としては、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−エチルスチレン等の重合可能なスチレン誘導体、アクリルアミド、アクリロニトリル、ビニル−n−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、α−ブロモ(メタ)アクリル酸、α−クロル(メタ)アクリル酸、β−フリル(メタ)アクリル酸、β−スチリル(メタ)アクリル酸、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル、フマル酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオル酸などが挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。   The binder polymer can be produced, for example, by radical polymerization of a polymerizable monomer. Examples of the polymerizable monomer include polymerizable styrene derivatives such as styrene, vinyl toluene, α-methyl styrene, p-methyl styrene, and p-ethyl styrene, acrylamide, acrylonitrile, vinyl n-butyl ether, and the like. Esters of vinyl alcohol, (meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylic acid tetrahydrofurfuryl ester, (meth) acrylic acid dimethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid diethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid glycidyl ester 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, α-bromo (meth) acrylic acid, α-chloro ( (Meth) acrylic acid, β-furyl ( T) Acrylic acid, β-styryl (meth) acrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, maleic acid monoesters such as monomethyl maleate, monoethyl maleate, monoisopropyl maleate, fumaric acid, cinnamic acid, α- Examples thereof include cyanocinnamic acid, itaconic acid, crotonic acid, and propiolic acid. These can be used alone or in combination of two or more.

上記の(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸ペンチル、(メタ)アクリル酸ヘキシル、(メタ)アクリル酸ヘプチル、(メタ)アクリル酸オクチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル及びこれらの構造異性体等が挙げられる。これらは単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, ( Examples include hexyl (meth) acrylate, heptyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and structural isomers thereof. These can be used alone or in combination of two or more.

上記のバインダーポリマーは、アルカリ現像性の見地から、カルボキシル基を含有させることが好ましく、例えば、カルボキシル基を有する重合性単量体と、他の重合性単量体とを、ラジカル重合させて製造することができる。上記のカルボキシル基を有する重合性単量体としては、メタクリル酸が好ましい。また、上記のバインダーポリマーは、膜物性の見地からスチレン又はスチレン誘導体を重合性単量体として含有させることが好ましい。   The binder polymer preferably contains a carboxyl group from the viewpoint of alkali developability. For example, the binder polymer is produced by radical polymerization of a polymerizable monomer having a carboxyl group and another polymerizable monomer. can do. As the polymerizable monomer having a carboxyl group, methacrylic acid is preferable. The binder polymer preferably contains styrene or a styrene derivative as a polymerizable monomer from the viewpoint of film properties.

上記のスチレン又はスチレン誘導体を共重合成分として、密着性及び剥離特性の両方を考慮すると、3〜30重量%含むことが好ましく、4〜28重量%含むことがより好ましく、5〜27重量%含むことが特に好ましい。   In consideration of both adhesion and peeling properties, the above styrene or styrene derivative is used as a copolymerization component, preferably 3 to 30% by weight, more preferably 4 to 28% by weight, and more preferably 5 to 27% by weight. It is particularly preferred.

上記のバインダーポリマー成分の酸価は、現像時間及び耐現像液性の両方を考慮すると、30〜200mgKOH/gであることが好ましく、45〜150mgKOH/gであることがより好ましい。また、現像工程として溶剤現像を行う場合は、カルボキシル基を有する重合性単量体を少量に調製することが好ましい。   The acid value of the binder polymer component is preferably 30 to 200 mg KOH / g, more preferably 45 to 150 mg KOH / g, considering both development time and developer resistance. Moreover, when performing solvent image development as a image development process, it is preferable to prepare the polymerizable monomer which has a carboxyl group in a small quantity.

上記のバインダーポリマー成分の重量平均分子量(ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)で測定し、標準ポリスチレンを用いた検量線により換算)は、現像時間及び耐現像液性の両方を考慮すると、20,000〜300,000であることが好ましく、25,000〜150,000であることがより好ましい。また、任意に、上記のバインダーポリマーは感光性基を有することができる。   The weight average molecular weight (measured by gel permeation chromatography (GPC) and converted by a calibration curve using standard polystyrene) of the above binder polymer component is 20,000 to 20,000 considering both development time and developer resistance. It is preferable that it is 300,000, and it is more preferable that it is 25,000-150,000. Optionally, the binder polymer can have a photosensitive group.

これらのバインダーポリマーは、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。2種類以上を組み合わせて用いる場合のバインダーポリマーとしては、例えば、異なる共重合成分からなる2種類以上のバインダーポリマー、異なる重量平均分子量の2種類以上のバインダーポリマー、異なる分散度の2種類以上のバインダーポリマーなどが挙げられる。また、特開平11−327137号公報記載のマルチモード分子量分布を有するポリマーを用いることもできる。   These binder polymers can be used alone or in combination of two or more. Examples of the binder polymer used in combination of two or more types include, for example, two or more types of binder polymers composed of different copolymerization components, two or more types of binder polymers having different weight average molecular weights, and two or more types of binders having different degrees of dispersion. Examples thereof include polymers. A polymer having a multimode molecular weight distribution described in JP-A No. 11-327137 can also be used.

本発明の感光性樹脂組成物(A)は、任意に、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、トルエン、N,N−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に、溶解して、固形分30〜60重量%程度の溶液として、塗布することができる。   The photosensitive resin composition (A) of the present invention is optionally made of methanol, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, toluene, N, N-dimethylformamide, propylene glycol monomethyl ether or the like. It can melt | dissolve in a solvent or these mixed solvents, and can apply | coat as a solution of about 30-60 weight% of solid content.

本発明の感光性樹脂組成物(A)には、任意に、分子内に少なくとも1つのカチオン重合可能な環状エーテル基を有する光重合性化合物(オキセタン化合物等)、カチオン重合開始剤、マラカイトグリーン等の染料、トリブロモメチルフェニルスルホン、ロイコクリスタルバイオレット等の光発色剤、熱発色防止剤、p−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、顔料、充填材、消泡剤、難燃剤、安定剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤等を添加することができる。これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。   The photosensitive resin composition (A) of the present invention optionally includes a photopolymerizable compound (such as an oxetane compound) having at least one cationically polymerizable cyclic ether group in the molecule, a cationic polymerization initiator, malachite green, and the like. Dyes, photochromic agents such as tribromomethylphenylsulfone, leucocrystal violet, thermochromic inhibitors, plasticizers such as p-toluenesulfonamide, pigments, fillers, antifoaming agents, flame retardants, stabilizers, leveling agents , Peeling accelerators, antioxidants, fragrances, imaging agents, thermal crosslinking agents, and the like can be added. These can be used alone or in combination of two or more.

また、ベンズトリアゾ−ル及びその誘導体、ベンズイミダゾ−ル及びその誘導体及びベンズチアゾ−ル及びその誘導体等の密着性向上剤は、該感光性樹脂組成物中に添加しないほうが好ましい。その理由は、密着性向上剤を含む感光性樹脂組成物の層をめっきレジストとして無電解めっきを行う場合、例えば無電解ニッケルめっき浴中に密着性向上剤が溶出してしまい、銅等の導体表面に防錆被膜を形成し、無電解ニッケルめっきが析出しなくなる場合があるためである。また、この密着性向上剤によって形成された導体表面の防錆被膜は、無電解めっきの前処理等では取り除くことが難しいため、無電解めっきの前処理等を工夫することによって、この問題を解決することは難しい。しかしながら、このような導体表面の処理は、部分的に無電解Ni/Auめっきし、めっきレジスト剥離後、導体表面を腐食から保護するという目的には重要である。そのため、密着性向上剤を感光性樹脂組成物の層に添加するのではなく、OSP(Organic Solderability Preservative)等の技術を利用して表面処理することが好ましい。このめっきレジスト剥離後にめっきレジストで保護されていた部分は、無電解Ni/Au部分めっきされた導体部分と電気的に接続されている場合に極度の腐食が観察され、銅と金の電位差に由来する腐食と考えられる。この腐食部は、はんだ付け性が悪くなるため、はんだの接続信頼性を低下させる原因となるので好ましくない。   Further, it is preferable not to add an adhesion improver such as benztriazole and derivatives thereof, benzimidazole and derivatives thereof, and benzthiazole and derivatives thereof to the photosensitive resin composition. The reason is that when electroless plating is performed using a photosensitive resin composition layer containing an adhesion improver as a plating resist, for example, the adhesion improver is eluted in an electroless nickel plating bath, and a conductor such as copper This is because a rust preventive film is formed on the surface, and electroless nickel plating may not be deposited. In addition, it is difficult to remove the antirust coating on the conductor surface formed by this adhesion improver by pretreatment of electroless plating, so this problem can be solved by devising pretreatment of electroless plating. Difficult to do. However, such treatment of the conductor surface is important for the purpose of partially electroless Ni / Au plating and protecting the conductor surface from corrosion after the plating resist is stripped. Therefore, it is preferable to perform surface treatment using a technique such as OSP (Organic Solderability Preservative) rather than adding an adhesion improver to the layer of the photosensitive resin composition. The portion protected by the plating resist after the plating resist was peeled off was observed to be extremely corroded when electrically connected to the electroless Ni / Au partially plated conductor portion, and was derived from the potential difference between copper and gold. It is thought that corrosion. This corroded portion is not preferable because the solderability deteriorates and causes a decrease in solder connection reliability.

本発明で用いる感光性エレメントは、例えば、支持体として、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の重合体フィルム上に、感光性樹脂組成物(A)を塗布し、乾燥して、得ることができる。塗布の方法は、例えば、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等の公知の方法で行うことができる。また、乾燥は、約70〜150℃で約5〜30分間行うことができる。また、乾燥後における(A)層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する点を考慮すると、2重量%以下が好ましい。上記の重合体フィルムの厚さは、1〜100μmとすることが好ましい。   The photosensitive element used in the present invention can be obtained, for example, by coating the photosensitive resin composition (A) on a polymer film such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, or polyester as a support and drying it. it can. The coating method can be performed by a known method such as a roll coater, a comma coater, a gravure coater, an air knife coater, a die coater, or a bar coater. Moreover, drying can be performed at about 70-150 degreeC for about 5 to 30 minutes. Further, the amount of the remaining organic solvent in the layer (A) after drying is preferably 2% by weight or less in consideration of preventing the diffusion of the organic solvent in the subsequent step. The thickness of the polymer film is preferably 1 to 100 μm.

本発明の感光性エレメントの保護フィルムとして、支持体と同様のフィルムを用いることができる。保護フィルムには、感光性樹脂組成物(A)の層及び支持体の接着力よりも、(A)層及び保護フィルムの接着力の方が小さいものが好ましく、また、低フィッシュアイのフィルムが好ましい。これらの重合体フィルムの1種を(A)層の支持体として用い、異なる1種を(A)の保護フィルムとして用い、(A)層の両面に重合体フィルムを積層し、感光性エレメントを形成することができる。また、上記の感光性エレメントは、(A)層、支持体及び保護フィルムに加えて、クッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層や保護層を有することができる。   As the protective film for the photosensitive element of the present invention, a film similar to the support can be used. The protective film preferably has a smaller adhesive strength between the layer (A) and the protective film than the adhesive strength between the layer of the photosensitive resin composition (A) and the support, and a low fisheye film. preferable. One of these polymer films is used as a support for the (A) layer, one different type is used as the protective film for (A), the polymer films are laminated on both sides of the (A) layer, and the photosensitive element is used. Can be formed. Moreover, said photosensitive element can have intermediate | middle layers and protective layers, such as a cushion layer, an adhesive layer, a light absorption layer, and a gas barrier layer, in addition to (A) layer, a support body, and a protective film.

本発明の感光性エレメントは、そのままの平板状の形態に加えて、例えば感光性樹脂組成物(A)の層の一方の面に(保護されず露出している面に)、保護フィルムを積層して、円筒状などの巻芯に巻きとり、ロール状の形態で貯蔵することができる。なお、貯蔵時に、支持体が最も外側になるように巻き取られることが好ましい。上記ロール状の感光性エレメントロールの端面には、端面保護の見地から端面セパレータを設置することが好ましく、加えて耐エッジフュージョンの見地から防湿端面セパレータを設置することがより好ましい。また、梱包方法としては、透湿性の小さいブラックシートに包んで包装することが好ましい。   The photosensitive element of the present invention, in addition to the flat plate shape as it is, for example, laminated a protective film on one side of the layer of the photosensitive resin composition (A) (on the surface that is not protected and exposed) Then, it can be wound around a cylindrical core and stored in a roll form. In addition, it is preferable to wind up so that a support body may become the outermost part at the time of storage. From the standpoint of protecting the end face, it is preferable to install an end face separator on the end face of the roll-shaped photosensitive element roll. In addition, it is more preferable to install a moisture-proof end face separator from the standpoint of edge fusion resistance. Moreover, as a packaging method, it is preferable to wrap and package in a black sheet with low moisture permeability.

上記の巻芯は、特に限定されない。例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ABS樹脂(アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体)等のプラスチックなどが挙げられる。   The winding core is not particularly limited. Examples thereof include plastics such as polyethylene resin, polypropylene resin, polystyrene resin, polyvinyl chloride resin, ABS resin (acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer).

本発明の感光性エレメントを用いて感光性樹脂組成物(A)の層のレジストパターンを製造する場合、支持体及び保護フィルム付きの感光性エレメントでは、保護フィルムを除去して用いる。例えば、(A)層を、ソルダーレジスト形成済みの配線板に、約70〜130℃に加熱しながら、圧力約0.1〜1MPa(約1〜10kgf/cm2)で加熱圧着して、積層する方法が挙げられ、減圧下で積層することが好ましい。積層される面は、通常、ソルダーレジスト面の上であるが、特に制限はされない。 When manufacturing the resist pattern of the layer of the photosensitive resin composition (A) using the photosensitive element of this invention, a protective film is removed and used in the photosensitive element with a support body and a protective film. For example, layer (A) is laminated on a wiring board on which a solder resist has been formed by heating and pressing at a pressure of about 0.1 to 1 MPa (about 1 to 10 kgf / cm 2 ) while heating to about 70 to 130 ° C. It is preferable to perform lamination under reduced pressure. The surface to be laminated is usually on the solder resist surface, but is not particularly limited.

こうして、ソルダーレジスト済み回路付き配線板上に積層させた感光性樹脂組成物(A)の層に、ネガ型又はポジ型のマスクパターンを介して、活性光線を照射して、露光する。上記の活性光線の光源には、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線及び可視光等を有効に放射するものを用いることができる。また、レーザー直接描画露光法も用いることができる。   In this way, the layer of the photosensitive resin composition (A) laminated on the wiring board with a circuit subjected to solder resist is irradiated with actinic rays through a negative or positive mask pattern to be exposed. As the actinic ray light source, a known light source such as a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, a high-pressure mercury lamp, a xenon lamp, or the like that can effectively emit ultraviolet rays and visible light can be used. A laser direct drawing exposure method can also be used.

また、本発明において露光は、例えば高圧水銀灯ランプを有する露光機((株)オーク製作所製、HMW−590)を用いて、ストーファー21段ステップタブレット(濃度領域0.05〜3.05、濃度ステップ0.15、ステップタブレットの大きさ20mm×175mm、各ステップの大きさ5mm×14mm)のステップ段数が8(濃度1.10)となるエネルギー量で露光する。これは、銅張積層板上に積層された該感光性樹脂組成物の層に1重量%炭酸ナトリウム水溶液を層全面に0.15MPaの圧力でスプレ−噴射した際に、該感光性樹脂組成物の層が除去された時間を最小現像時間とする場合、別の銅張積層板上に積層された感光性樹脂組成物の層を上記の21段ステップタブレットを通して活性光線(高圧水銀灯での全波長)をE(mJ/cm2)照射し、1重量%炭酸ナトリウム水溶液を層全面に0.15MPaの圧力でスプレ−噴射(最小現像時間の2倍の時間)した際に、ステップ段数が8(濃度1.10)に該当するレジストの基板上の残存面積(5mm×14mmに対する)が90%以上であるエネルギー量である。 In the present invention, the exposure is carried out using, for example, an exposure machine (HMW-590, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) having a high-pressure mercury lamp lamp, and a stove 21 step tablet (density area 0.05 to 3.05, density). Step 0.15, step tablet size 20 mm × 175 mm, each step size 5 mm × 14 mm) is exposed with an energy amount of 8 (density 1.10). This is because when a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution is sprayed onto the layer of the photosensitive resin composition laminated on a copper clad laminate at a pressure of 0.15 MPa over the entire surface of the photosensitive resin composition, When the minimum development time is taken as the time during which the layer is removed, the photosensitive resin composition layer laminated on another copper-clad laminate is passed through the 21-step tablet described above with actinic rays (all wavelengths in a high-pressure mercury lamp). ) Was irradiated with E (mJ / cm 2 ) and sprayed with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution over the entire surface at a pressure of 0.15 MPa (twice the minimum development time), the number of step steps was 8 ( This is an energy amount in which the remaining area (relative to 5 mm × 14 mm) of the resist corresponding to the density 1.10) is 90% or more.

次いで、露光した後、感光性樹脂組成物(A)の層上に支持体が付着している場合、支持体をオートピーラー等で除去した後、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤等の現像液によるウエット現像、又はドライ現像等で現像し、所望の(A)の層のレジストパターンを製造することができる。アルカリ性水溶液としては、例えば、0.1〜5重量%炭酸ナトリウム、0.1〜5重量%炭酸カリウム、0.1〜5重量%水酸化ナトリウムの希薄溶液が挙げられる。アルカリ性水溶液のpHは、9〜11が好ましく、その温度は、(A)層の現像性に合わせて調整される。また、アルカリ性水溶液に、界面活性剤、消泡剤、有機溶剤等を添加して用いることができる。現像の方式としては、例えば、ディップ方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等が挙げられる。   Next, after the exposure, when the support is attached on the layer of the photosensitive resin composition (A), the support is removed with an auto peeler or the like and then developed with an alkaline aqueous solution, an aqueous developer, an organic solvent or the like. The resist pattern of the desired layer (A) can be produced by developing with wet development using a liquid or dry development. Examples of the alkaline aqueous solution include a dilute solution of 0.1 to 5% by weight sodium carbonate, 0.1 to 5% by weight potassium carbonate, and 0.1 to 5% by weight sodium hydroxide. The pH of the alkaline aqueous solution is preferably 9 to 11, and the temperature is adjusted according to the developability of the layer (A). Moreover, surfactant, an antifoamer, an organic solvent, etc. can be added and used for alkaline aqueous solution. Examples of the development method include a dip method, a spray method, brushing, and slapping.

現像後の処理として、任意に、後硬化することができる。例えば、約60〜250℃で加熱し、又は、更に約0.2〜10J/cm2の露光を行うことにより、所望の感光性樹脂組成物の層のレジストパターンを、更に硬化(後硬化)させて用いてもよい。 Optionally, post-curing can be performed as the treatment after development. For example, the resist pattern of the layer of the desired photosensitive resin composition is further cured (post-cured) by heating at about 60 to 250 ° C. or further exposing at about 0.2 to 10 J / cm 2. May be used.

現像された感光性樹脂組成物層のレジストパターンをマスクとして、現像後に行われる金属端子部等のめっきとしては、例えば、無電解ニッケルめっきと、その無電解ニッケルめっき上への置換性の無電解めっきをする。置換めっきとしては、金、銀、パラジウム、白金、ロジウム、銅及びスズからなる群より選択される一種類以上の金属を含むめっき等が挙げられる。置換性の無電解めっきは、めっき液中に上記の金属のイオンを含有することにより、先にめっきしたニッケルとのイオン化傾向の差によって、ニッケルが溶解して上記金属が析出するものである。また、上記の金属の中から一種類以上の金属を含む無電解めっきは、めっき液中に還元剤を含むものでもよく、上記の金属の中から一種類以上の金属イオンとの置換反応とともに、上記の金属の中から一種類以上の金属イオンの還元反応による析出が含まれるものも用いることができる。例えば、現像された感光性樹脂組成物の層のレジストパターンをマスクとして、現像後に行われる金属めっき加工は金属端子部等に、脱脂処理、ソフトエッチング、酸洗処理、活性化などのめっき前処理を行い、無電解ニッケルめっきを行い、続けて、無電解金めっきを行うことによって、無電解Ni/Auめっきを形成することができる。   The plating of the metal terminal portion, etc., performed after development using the developed resist pattern of the photosensitive resin composition layer as a mask, for example, electroless nickel plating and replaceable electroless plating on the electroless nickel plating Plating. Examples of the displacement plating include plating containing one or more kinds of metals selected from the group consisting of gold, silver, palladium, platinum, rhodium, copper and tin. Substitutional electroless plating is one in which the metal is precipitated by the dissolution of nickel due to the difference in ionization tendency from the previously plated nickel by containing ions of the metal in the plating solution. In addition, the electroless plating containing one or more kinds of metals from among the above metals may include a reducing agent in the plating solution, along with a substitution reaction with one or more kinds of metal ions from the above metals, Among the above-mentioned metals, those containing precipitation due to a reduction reaction of one or more kinds of metal ions can also be used. For example, with the resist pattern of the developed photosensitive resin composition layer as a mask, metal plating performed after development is performed on the metal terminal portion, etc., pre-plating treatment such as degreasing treatment, soft etching, pickling treatment, activation, etc. By performing electroless nickel plating and subsequently performing electroless gold plating, electroless Ni / Au plating can be formed.

次いで、めっきレジスト目的での感光性樹脂組成物(A)の層のレジストパターンは、例えば、現像に用いたアルカリ性水溶液より更に強アルカリ性の水溶液で剥離することができる。上記の強アルカリ性の水溶液としては、例えば、1〜10重量%水酸化ナトリウム水溶液、1〜10重量%水酸化カリウム水溶液等が用いられる。上記の剥離方式としては、例えば、浸漬方式、スプレー方式等が挙げられる。本発明の感光性樹脂組成物は、プリント配線板の電気特性の観点から、無電解めっき後に剥離されることが好ましい。   Subsequently, the resist pattern of the layer of the photosensitive resin composition (A) for the purpose of plating resist can be peeled off with a stronger alkaline aqueous solution than the alkaline aqueous solution used for development, for example. As said strong alkaline aqueous solution, 1-10 weight% sodium hydroxide aqueous solution, 1-10 weight% potassium hydroxide aqueous solution, etc. are used, for example. Examples of the peeling method include an immersion method and a spray method. The photosensitive resin composition of the present invention is preferably peeled off after electroless plating from the viewpoint of electrical characteristics of the printed wiring board.

また、(A)のレジストパターンを形成した回路付き配線板は、多層プリント配線板でもよく、小径スルーホールを有することができる。
通常、樹脂組成物の硬化物において、その硬化物の温度、貯蔵弾性率E′、損失弾性率E″及び損失正接tanδの関係を示す粘弾性温度分散曲線における貯蔵弾性率E′と損失弾性率E″の関係は、下式:
E″/E′=tanδ
で示される。ここで、理想弾性体では、δ=0であり、純粘性流体では、δ=π/2である。
In addition, the circuit-attached wiring board on which the resist pattern (A) is formed may be a multilayer printed wiring board and may have a small-diameter through hole.
Usually, in a cured product of a resin composition, the storage elastic modulus E ′ and the loss elastic modulus in a viscoelastic temperature dispersion curve showing the relationship among the temperature of the cured product, the storage elastic modulus E ′, the loss elastic modulus E ″, and the loss tangent tan δ. The relationship of E ″ is as follows:
E ″ / E ′ = tanδ
Indicated by Here, in an ideal elastic body, δ = 0, and in a purely viscous fluid, δ = π / 2.

また、硬化物の橋架け密度は下記の条件のとき、下式:   The bridge density of the cured product is the following formula when the following conditions are satisfied:

Figure 0004428399

で表される。そして、硬化物の弾性率は、下式:
Figure 0004428399

It is represented by And the elastic modulus of the cured product is the following formula:

Figure 0004428399

で表される。
Figure 0004428399

It is represented by

単位:
橋架け密度:(mol/m3);試料の幅、試料の厚み、試料の長さ:(mm);動的応力:(gf);動的歪:(mm);位相差:δ(deg);貯蔵弾性率E′:(Pa);損失弾性率E″(Pa);|E|: (Pa);1gf/mm2=9806Pa;(気体定数):8.31441JK-1mol-1;(絶対温度):(K)
unit:
Crosslink density: (mol / m 3 ); sample width, sample thickness, sample length: (mm); dynamic stress: (gf); dynamic strain: (mm); phase difference: δ (deg ); Storage modulus E ′: (Pa); loss modulus E ″ (Pa); | E * |: (Pa); 1 gf / mm 2 = 9806 Pa; (gas constant): 8.31441 JK −1 mol −1 ; (Absolute temperature): (K)

本発明における感光性樹脂組成物(A)の光硬化及び/又は熱硬化による硬化物は、上記の粘弾性温度分散曲線における貯蔵弾性率E′の値として、めっき液に対する耐性を考慮すると、損失正接tanδのピ−ク温度(ガラス転移点温度)より30℃から50℃高い温度において、2.0×106 Pa(N/m2)以上であることが好ましく、2.5×106 Pa(N/m2)であることがより好ましい。また、損失正接tanδのピ−ク温度(ガラス転移点温度)より30℃から50℃高い温度において、2.0×106〜8.0×106 Pa(N/m2)であることが好ましく、2.5×106〜6.0×106 Pa(N/m2)であることがより好ましい。損失正接tanδのピ−ク温度(ガラス転移点温度)より40℃高い温度においては、2.0×106Pa(N/m2)以上であることが好ましく、2.5×106Pa(N/m2)であることがより好ましい。 The cured product obtained by photocuring and / or heat-curing the photosensitive resin composition (A) in the present invention has a loss when considering the resistance to the plating solution as the value of the storage elastic modulus E ′ in the viscoelastic temperature dispersion curve. It is preferably 2.0 × 10 6 Pa (N / m 2 ) or more at a temperature 30 ° C. to 50 ° C. higher than the peak temperature (glass transition temperature) of tangent tan δ, and 2.5 × 10 6 Pa. More preferably (N / m 2 ). Further, it is 2.0 × 10 6 to 8.0 × 10 6 Pa (N / m 2 ) at a temperature 30 ° C. to 50 ° C. higher than the peak temperature (glass transition temperature) of the loss tangent tan δ. Preferably, it is 2.5 × 10 6 to 6.0 × 10 6 Pa (N / m 2 ). It is preferably 2.0 × 10 6 Pa (N / m 2 ) or more at a temperature 40 ° C. higher than the peak temperature (glass transition temperature) of the loss tangent tan δ, and 2.5 × 10 6 Pa ( N / m 2 ) is more preferable.

また、本発明の感光性樹脂組成物(A)は、現像液やめっき液に対する耐性を考慮すると、その硬化物の吸水率が8%以下であることが好ましく、6%以下であることがより好ましく、5%以下であることが特に好ましく、4%以下であることがとりわけ好ましい。   In addition, the photosensitive resin composition (A) of the present invention preferably has a water absorption of 8% or less, more preferably 6% or less, considering the resistance to a developer or a plating solution. It is preferably 5% or less, particularly preferably 4% or less.

また、本発明の感光性樹脂組成物(A)は、めっき時の硬化塗膜の破れやすさを考慮すると、その硬化物の破断伸びが50%以上であることが好ましく、70%以上であることがより好ましく、80%以上であることが特に好ましく、90%以上であることがとりわけ好ましい。   Further, the photosensitive resin composition (A) of the present invention preferably has a breaking elongation of 50% or more, preferably 70% or more, considering the ease of tearing of the cured coating film during plating. Is more preferable, 80% or more is particularly preferable, and 90% or more is particularly preferable.

以下、本発明の例及びその比較例によって本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples of the present invention and comparative examples thereof, but the present invention is not limited to these examples.

バインダーポリマーの合成
撹拌機、還流冷却器、温度計、滴下ロート及び窒素ガス導入管を備えたフラスコに、エチレングリコールモノメチルエーテル対トルエンが重量比3:2の混合溶液(以下、溶液Aとする)700gを加え、窒素ガスを吹き込みながら、撹拌し、85℃まで加熱した。温度85℃の溶液Aに、メタクリル酸110g、メチルメタクリレート225g、エチルアクリレート135g、スチレン30g及びアゾビスイソブチロニトリル3gを予め混合した液を、4時間かけて滴下し、その後、85℃で撹拌しながら2時間保温した。次いで、溶液A60gをとり、アゾビスイソブチロニトリル0.3gを溶解し、この溶液を、10分かけてフラスコ内に滴下した。その後、得られた溶液を、撹拌しながら、85℃で5時間保温した後、冷却して、重合体を得た。得られた重合体は、不揮発分が41.8重量%、重量平均分子量が84,000であった。
Synthesis of Binder Polymer In a flask equipped with a stirrer, reflux condenser, thermometer, dropping funnel and nitrogen gas introduction tube, a mixed solution of ethylene glycol monomethyl ether and toluene in a weight ratio of 3: 2 (hereinafter referred to as solution A). 700 g was added, stirred while blowing nitrogen gas, and heated to 85 ° C. A solution prepared by previously mixing 110 g of methacrylic acid, 225 g of methyl methacrylate, 135 g of ethyl acrylate, 30 g of styrene and 3 g of azobisisobutyronitrile was added dropwise to solution A at a temperature of 85 ° C. over 4 hours, and then stirred at 85 ° C. The mixture was kept warm for 2 hours. Next, 60 g of the solution A was taken, 0.3 g of azobisisobutyronitrile was dissolved, and this solution was dropped into the flask over 10 minutes. Then, after stirring the obtained solution at 85 degreeC for 5 hours, stirring, it cooled and the polymer was obtained. The obtained polymer had a nonvolatile content of 41.8% by weight and a weight average molecular weight of 84,000.

なお、重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー法によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算した値である。   The weight average molecular weight is a value measured by a gel permeation chromatography method and converted using a standard polystyrene calibration curve.

感光性樹脂組成物の材料
実施例における化合物は、下記に示すものを用いた。
2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパン(BPE−500:新中村化学工業(株)製)、分子量:804
2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパン(BPE−1300:新中村化学工業(株)製)、分子量:1684
EO,PO変性ウレタンジメタクリレート(UA−13:新中村化学工業(株)製)、分子量:1436
EO変性トリメチロールプロパントリアクリレート(TA−401:三洋化成工業(株)製)、分子量:428
ポリプロピレングリコールジアクリレート(APG−400:新中村化学工業(株)製)(プロピレングリコール鎖の数:7)、分子量:532
ポリエチレングリコールジメタクリレート(4G:新中村化学工業(株)製)(エチレングリコール鎖の数:4)、分子量:330
ポリエチレングリコールジメタクリレート(14G:新中村化学工業(株)製)(エチレングリコール鎖の数:14)、分子量:770
ポリエチレングリコールジアクリレート(A−600:新中村化学工業(株)製)(エチレングリコール鎖の数:14)、分子量:742
Materials for Photosensitive Resin Composition The compounds shown below were used in the examples.
2,2-bis (4- (methacryloxypentaethoxy) phenyl) propane (BPE-500: manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), molecular weight: 804
2,2-bis (4- (methacryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane (BPE-1300: manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), molecular weight: 1684
EO, PO-modified urethane dimethacrylate (UA-13: Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), molecular weight: 1436
EO-modified trimethylolpropane triacrylate (TA-401: manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd.), molecular weight: 428
Polypropylene glycol diacrylate (APG-400: manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) (number of propylene glycol chains: 7), molecular weight: 532
Polyethylene glycol dimethacrylate (4G: manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) (number of ethylene glycol chains: 4), molecular weight: 330
Polyethylene glycol dimethacrylate (14G: manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) (number of ethylene glycol chains: 14), molecular weight: 770
Polyethylene glycol diacrylate (A-600: manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) (number of ethylene glycol chains: 14), molecular weight: 742

例1
(a)表1に示す材料配合で、本発明の感光性樹脂組成物の溶液を得た。
(b)寸法(幅380mm×厚さ20μm)のポリエチレンテレフタレートフィルム(以下、PETとする)上に、先の工程で得られた感光性樹脂組成物の溶液を、乾燥後の膜厚が50μmとなるように塗工した。熱風対流式乾燥機を用いて、100℃で乾燥させ、その上に、厚さ35μmのポリエチレンフィルムを載せ、ロールで加圧して、被覆して、本発明の感光性エレメントを得た。
Example 1
(A) A solution of the photosensitive resin composition of the present invention was obtained with the material composition shown in Table 1.
(B) On a polyethylene terephthalate film (hereinafter referred to as PET) having dimensions (width 380 mm × thickness 20 μm), the solution of the photosensitive resin composition obtained in the previous step has a film thickness after drying of 50 μm. Coated so that. The film was dried at 100 ° C. using a hot air convection dryer, and a 35 μm thick polyethylene film was placed thereon, pressed with a roll, and coated to obtain the photosensitive element of the present invention.

例2〜12
表1に示すように成分の配合を代えた以外は、例1と同様にして、本発明の感光性エレメントを得た。
表1に、例1〜12の感光性樹脂組成物の配合を示す。表中、単位は重量部である。バインダーポリマーは不揮発分の重量を示した。
Examples 2-12
As shown in Table 1, a photosensitive element of the present invention was obtained in the same manner as in Example 1 except that the composition of the components was changed.
Table 1 shows the formulations of the photosensitive resin compositions of Examples 1-12. In the table, the unit is parts by weight. The binder polymer showed a non-volatile weight.

Figure 0004428399
Figure 0004428399

特性評価試験
特性評価用試料の作製
例1〜8
寸法が縦12.5cm×横20cm×厚さ1.6mmの銅張りエポキシ積層板(日立化成工業(株)製、MCL−E−67)の銅箔の表面にエッチングレジストを形成し、不要な銅箔をエッチング除去し、金属端子(パッド)や配線の回路を形成した後、残余のエッチングレジストを剥離して、回路付き配線板を得た。
得られた回路付き配線板の上に、フォトレジスト(太陽インキ(株)製、PSR−4000)を全面に塗布し、次いで80℃で30分間乾燥した。その後、マスクパターン(フォトツール)を介し、露光機((株)オーク製作所製、HMW−590)を用いて、パッド部を除き、全面を露光した。未露光部分(パッド部)を、1重量%の炭酸ナトリウム水溶液(30℃)でスプレー現像し、パッド部上のフォトレジストを除去して、ソルダーレジストのレジストパターンを形成した。その後、150℃で1時間加熱して、更に熱硬化させて、ソルダーレジストを形成した。
このソルダーレジストが形成された基板上に、厚さ50μmの先の方法で作成した例1〜8の感光性エレメント(感光層)を、圧力0.4MPa、100℃、ラミネート速度1.5m/分で圧着して、積層した。その後、上記と同様の方法で、パッド部を除き、全面を露光して、現像して、硬化した感光性樹脂組成物の層(A層)で被覆された特性評価用試料1〜8を得た。
Characteristic Evaluation Test Preparation Examples 1 to 8 of Characteristic Evaluation Samples
An etching resist is formed on the surface of the copper foil of a copper-clad epoxy laminate (MCL-E-67, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) having dimensions of 12.5 cm in length, 20 cm in width, and 1.6 mm in thickness. The copper foil was removed by etching to form a metal terminal (pad) or wiring circuit, and then the remaining etching resist was removed to obtain a wiring board with circuit.
On the obtained wiring board with circuit, a photoresist (manufactured by Taiyo Ink Co., Ltd., PSR-4000) was applied on the entire surface, and then dried at 80 ° C. for 30 minutes. Thereafter, the entire surface was exposed through a mask pattern (photo tool) using an exposure machine (HMW-590, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) except for the pad portion. The unexposed portion (pad portion) was spray-developed with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution (30 ° C.) to remove the photoresist on the pad portion, thereby forming a resist pattern of a solder resist. Then, it heated at 150 degreeC for 1 hour, and also was thermosetted, and the soldering resist was formed.
On the substrate on which this solder resist was formed, the photosensitive element (photosensitive layer) of Examples 1 to 8 prepared by the above method having a thickness of 50 μm was subjected to a pressure of 0.4 MPa, 100 ° C., and a laminating speed of 1.5 m / min. And then laminated. Thereafter, in the same manner as described above, the entire surface was exposed, developed, except for the pad portion, and samples 1 to 8 for characteristic evaluation covered with a layer (A layer) of the cured photosensitive resin composition were obtained. It was.

例9〜12
例1〜8と同様にして回路付き配線板を得た。得られた回路付き配線板の上に、厚さ50μmの例9〜12の感光性エレメント(感光層)を、圧力0.4MPa、100℃、ラミネ−ト速度1.5m/分で圧着して、積層した。その後、フォトツ−ルを介し、露光機((株)オ−ク製作所製、HMW-590)を用いて、パッド部を除き、全面を露光した。未露光部分(パッド部)を、1重量%の炭酸ナトリウム水溶液(30℃)でスプレ−現像し、パッド部上のフォトレジストを除去して、硬化した感光性樹脂組成物の層(A層)で被覆された特性評価用試料9〜12を得た。これらの特性評価用試料9〜12を、実施例1〜8と同様にして、(4)のめっき耐性評価及び(5)の剥離特性を評価した。
その後、この無電解Ni/Auめっきされた回路付き配線板の上に、フォトレジスト(太陽インキ(株)製、PSR−4000)を全面に塗布し、次いで80℃で30分乾燥した。その後、上記と同様の方法で、パッド部を除き、全面を露光して、現像し、パッド部上のフォトレジストを除去して、ソルダ−レジストのレジストパタ−ンを形成した。その後、150℃で1時間加熱して、更に熱硬化させて、ソルダ−レジストを形成した。
Examples 9-12
A circuit board with circuit was obtained in the same manner as in Examples 1-8. On the obtained circuit board with circuit, the photosensitive element (photosensitive layer) of Examples 9-12 having a thickness of 50 μm was pressure-bonded at a pressure of 0.4 MPa, 100 ° C. and a laminating speed of 1.5 m / min. And laminated. Thereafter, the entire surface was exposed through a photo tool except for the pad portion using an exposure machine (HMW-590, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.). The unexposed part (pad part) is spray-developed with a 1% by weight sodium carbonate aqueous solution (30 ° C.), the photoresist on the pad part is removed, and the layer of the cured photosensitive resin composition (A layer) Samples for characteristic evaluation 9 to 12 covered with the above were obtained. These characteristic evaluation samples 9 to 12 were evaluated in the same manner as in Examples 1 to 8, except for (4) plating resistance evaluation and (5) peeling characteristics.
Thereafter, a photoresist (manufactured by Taiyo Ink Co., Ltd., PSR-4000) was applied on the entire surface of the circuit board with a circuit plated with electroless Ni / Au, and then dried at 80 ° C. for 30 minutes. Thereafter, the entire surface was exposed and developed by the same method as described above, and the photoresist on the pad portion was removed to form a solder resist resist pattern. Then, it heated at 150 degreeC for 1 hour, and also was thermosetted, and the soldering resist was formed.

(1)感光性樹脂組成物の硬化塗膜の貯蔵弾性率E′の測定方法
例で得られた本発明の感光性エレメントを、高圧水銀灯ランプを有する露光機((株)オーク製作所製、HMW−590)を用いて、ストーファー21段ステップタブレットのステップ段数が8となるエネルギー量で露光した。露光後、この感光性エレメントからPETフィルム及びポリエチレンフィルムを、手で剥離除去し、感光性樹脂組成物の硬化塗膜からなる寸法(縦5mm×横40mm×厚さ50μm単位)の評価用試料を作製した。
試験片を、チャック間距離20mmで粘弾性測定装置(Rheometrics(株)社製、SOLIDS ANALYZER RSA−II)に固定した。その後、昇温速度5℃/分、測定周波数10Hz、測定温度範囲−50℃〜250℃で測定を行い、損失正接tanδのピ−ク温度を求め、その温度から40℃高い温度の貯蔵弾性率E′を求めた。一例として、例6の粘弾性温度分散曲線を図2に示す(Tg=89℃、E′129℃=3.4×106(Pa))。
(1) Method for Measuring Storage Elastic Modulus E ′ of Cured Coating Film of Photosensitive Resin Composition The photosensitive element of the present invention obtained in the example was exposed to an exposure machine (HMW, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) having a high-pressure mercury lamp. -590), the exposure was carried out with an energy amount at which the number of steps of the stove 21-step tablet was 8. After the exposure, the PET film and the polyethylene film were peeled and removed from the photosensitive element by hand, and a sample for evaluation (size 5 mm × width 40 mm × thickness 50 μm unit) consisting of a cured coating film of the photosensitive resin composition was prepared. Produced.
The test piece was fixed to a viscoelasticity measuring apparatus (manufactured by Rheometrics Co., Ltd., SOLIDS ANALYZER RSA-II) with a distance between chucks of 20 mm. Thereafter, the temperature is measured at a heating rate of 5 ° C./minute, a measurement frequency of 10 Hz, and a measurement temperature range of −50 ° C. to 250 ° C., a peak temperature of the loss tangent tan δ is obtained, E 'was determined. As an example, the viscoelastic temperature dispersion curve of Example 6 is shown in FIG. 2 (Tg = 89 ° C., E ′ 129 ° C. = 3.4 × 10 6 (Pa)).

(2)感光性樹脂組成物の硬化塗膜の吸水率の測定方法
感光性エレメント(感光層)を、寸法が縦10cm×横15cm×厚さ1mmのステンレス板上に、圧力0.4MPa、100℃、ラミネート速度1.5m/分で加熱圧着し、積層して、積層片を作成した。高圧水銀灯ランプを有する露光機((株)オーク製作所製、HMW−590)を用い、ネガとして8cm×10cmの窓を有するフォトツールを積層片上に置いて、ストーファー21段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が8となるエネルギー量で露光した。露光後、この積層片を室温で15分間放置し、次いでPETを手で剥離除去し、1%の炭酸ナトリウム水溶液(30℃)をスプレーして現像し、感光性樹脂組成物の硬化塗膜からなる8×10cmの評価用試料を作製した。
試験片について、室温下、純水に浸漬する前と、純水に15分浸漬した後との重量差(硬化塗膜)から吸水率を求めた。
(2) Method for Measuring Water Absorption Rate of Cured Coating Film of Photosensitive Resin Composition A photosensitive element (photosensitive layer) is placed on a stainless steel plate having dimensions of 10 cm in length, 15 cm in width, and 1 mm in thickness, pressure 0.4 MPa, 100 A laminated piece was prepared by heat-pressing at a temperature of 1.5 ° C./min. Using an exposure machine having a high-pressure mercury lamp lamp (HMW-590, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.), a phototool having a window of 8 cm × 10 cm as a negative was placed on the laminated piece, and after development of the stove 21 step tablet The exposure was performed with an energy amount such that the number of remaining steps was 8. After the exposure, this laminate piece is allowed to stand at room temperature for 15 minutes, and then the PET is peeled and removed by hand, and developed by spraying with a 1% aqueous sodium carbonate solution (30 ° C.) from the cured coating film of the photosensitive resin composition. An 8 × 10 cm sample for evaluation was prepared.
About a test piece, the water absorption was calculated | required from the weight difference (cured coating film) before being immersed in pure water at room temperature, and after being immersed in pure water for 15 minutes.

(3)感光性樹脂組成物の硬化塗膜の破断伸びの測定方法
大きさ15mm×100mmの感光性エレメントを、高圧水銀灯ランプを有する露光機((株)オーク製作所製、HMW−590)を用いて、ストーファー21段ステップタブレットのステップ段数が8となるエネルギー量で露光した。露光後、この感光性エレメントからPET及びポリエチレンフィルムを、上記と同様の方法で除去し、感光性樹脂組成物の硬化塗膜からなる寸法(縦15mm×横100mm×厚さ50μm単位)の評価用試料を作製した。
試験片を、チャック間距離50mmで引張り試験機であるオートグラフ((株)レオテック社製、RT−3010D−CW)に固定した。その後、引張り速度2cm/分、上下方向に引張り試験を行い、破断伸びを測定した。
(3) Method for measuring elongation at break of cured coating film of photosensitive resin composition Using a photosensitive element having a size of 15 mm × 100 mm and an exposure machine (HMW-590, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) having a high-pressure mercury lamp. Then, the exposure was carried out with an energy amount at which the number of step stages of the stove 21-step tablet was eight. After exposure, the PET and polyethylene film are removed from the photosensitive element by the same method as above, and the dimensions (length 15 mm × width 100 mm × thickness 50 μm unit) consisting of a cured coating film of the photosensitive resin composition are evaluated. A sample was prepared.
The test piece was fixed to an autograph (RT-3010D-CW, manufactured by Rheotech Co., Ltd.) which is a tensile tester with a distance between chucks of 50 mm. Thereafter, a tensile test was performed in a vertical direction at a pulling speed of 2 cm / min, and elongation at break was measured.

(4)めっき耐性
得られた特性評価用試料に関し、以下の処理を、連続して行った。
(a)脱脂処理
Z−200((株)ワールドメタル社製、商品名)に、50℃で、1分間浸漬処理する。
(b)水洗
室温で、2分間、流水で洗浄する。
(c)ソフトエッチング
100g/lの過硫酸アンモニウム浴に、室温で、1分間浸漬処理する。
(d)水洗
室温で、2分間、流水で洗浄する。
(e)酸洗処理
10%硫酸溶液に、室温で、1分間浸漬処理する。
(f)水洗
室温で、2分間、流水で洗浄する。
(g)活性化
無電解めっき用触媒溶液SA−100(日立化成工業(株)製、商品名)に、室温で、5分間浸漬処理する。
(h)水洗
室温で、2分間、流水で洗浄する。
(i)無電解ニッケルめっき
Ni−Pめっき(P含有量7%)液であるNIPS−100(日立化成工業(株)製、商品名)に、85℃で、20分間浸漬処理する。
(j)水洗
室温で、2分間、流水で洗浄する。
(k)置換型無電解金めっき
置換型無電解金めっき液オーロテックSF(アトテック(株)製、商品名)に、85℃で、10分間浸漬処理する。
(l)後処理
めっき終了後、水洗し、85℃で15分間乾燥した。
こうして得られためっき加工された特性評価用評価試料について、視認で、レジスト破れの有無、特にパッド部周囲を調べた。
(4) Plating resistance With respect to the obtained sample for property evaluation, the following treatment was continuously performed.
(A) Degreasing treatment Z-200 (trade name, manufactured by World Metal Co., Ltd.) is immersed for 1 minute at 50 ° C.
(B) Washing with water Wash with running water at room temperature for 2 minutes.
(C) Soft etching Immerse in a 100 g / l ammonium persulfate bath at room temperature for 1 minute.
(D) Washing with water Wash with running water at room temperature for 2 minutes.
(E) Pickling treatment The steel plate is immersed in a 10% sulfuric acid solution at room temperature for 1 minute.
(F) Washing with water Wash with running water at room temperature for 2 minutes.
(G) Activation It is immersed in a catalyst solution SA-100 for electroless plating (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) for 5 minutes at room temperature.
(H) Washing with water Wash with running water at room temperature for 2 minutes.
(I) Electroless Nickel Plating An immersion treatment is performed at 85 ° C. for 20 minutes in NIPS-100 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) which is a Ni-P plating (P content 7%) solution.
(J) Washing with water Wash with running water at room temperature for 2 minutes.
(K) Substitutional type electroless gold plating Submerged type electroless gold plating solution Aurotec SF (Atotech Co., Ltd., trade name) is immersed at 85 ° C. for 10 minutes.
(L) Post-treatment After the completion of plating, the plate was washed with water and dried at 85 ° C. for 15 minutes.
The thus obtained plated evaluation sample for property evaluation was visually checked for the presence or absence of resist tearing, particularly around the pad portion.

(5)剥離特性
得られた特性評価用試料を、予め50℃に加温した3%の水酸化ナトリウム水溶液に浸漬した。ソルダーレジスト面から硬化した感光性樹脂組成物が剥離するのに要した時間と、剥離片の大きさを測定した。
表2に例1〜8の、表3に例9〜12の感光性樹脂組成物及びその組成物から得られた硬化塗膜に関する特性値を示す。特性値は、上記の方法で計算又は測定した、感光性樹脂組成物の固形分1kg当たりの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物の反応基量ΣM、粘弾性温度分散曲線における損失正接tanδのピ−ク温度(ガラス転移温度)から40℃高い温度の硬化塗膜の貯蔵弾性率E′、吸水率、破断伸び、めっき耐性及び剥離特性である。
(5) Peeling property The obtained sample for property evaluation was immersed in a 3% aqueous sodium hydroxide solution preheated to 50 ° C. The time required for the cured photosensitive resin composition to peel from the solder resist surface and the size of the peeled piece were measured.
Table 2 shows the characteristic values relating to the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 8 and Table 3 to Examples 9 to 12 and the cured coating films obtained from the compositions. The characteristic values are calculated or measured by the above method in the amount of reactive groups ΣM of the photopolymerizable compound having a polymerizable ethylenically unsaturated group per kg solid content of the photosensitive resin composition, in the viscoelastic temperature dispersion curve. These are the storage elastic modulus E ′, water absorption, elongation at break, plating resistance, and peeling characteristics of a cured coating film at a temperature 40 ° C. higher than the peak temperature (glass transition temperature) of the loss tangent tan δ.

Figure 0004428399
Figure 0004428399

Figure 0004428399
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表2から明らかなように、例1〜8の本発明の方法を用いて作製された特性評価用試料1〜8の配線板は、めっき加工の不要な実装パッド部に無電解めっきがされていないため、実装部品の接続信頼性に優れたものであった。   As is apparent from Table 2, the wiring boards of the characteristic evaluation samples 1 to 8 produced using the methods of the present invention in Examples 1 to 8 are electrolessly plated on the mounting pad portions that do not require plating. Therefore, the connection reliability of the mounted parts was excellent.

特に本発明の方法に本発明の感光性樹脂組成物を用いた例4〜8は、光重合性化合物における反応基の総数ΣMが0.3〜1.5モルであり、その硬化塗膜の貯蔵弾性率E′が損失正接tanδのピ−ク温度(ガラス転移温度)から40℃高い温度で2.0×106Pa(N/m2)以上である場合、吸水率が8%以下で、破断伸びが50%以上であり、めっき耐性に優れ、また、剥離することができ、剥離時間が100秒以下と短く、かつ剥離片が30mm以下に細分化し、優れた剥離特性を有することが分かり、優れた適合性を示した。 In particular, in Examples 4 to 8 in which the photosensitive resin composition of the present invention was used in the method of the present invention, the total number of reactive groups ΣM in the photopolymerizable compound was 0.3 to 1.5 mol. When the storage elastic modulus E ′ is 2.0 × 10 6 Pa (N / m 2 ) or more at a temperature 40 ° C. higher than the peak temperature (glass transition temperature) of the loss tangent tan δ, the water absorption is 8% or less. The elongation at break is 50% or more, the plating resistance is excellent, it can be peeled off, the peeling time is as short as 100 seconds or less, and the peeling piece is subdivided into 30 mm or less and has excellent peeling characteristics. It was understood and showed excellent compatibility.

例9〜12からは、二つの知見が得られる。一つは、本発明の方法に対する比較例としての知見である。本発明の方法における工程順序を変更した場合、感光性樹脂組成物の層に露光する際、光モレが起こった。そのため、剥離する際に一部剥離しない個所があり、使用済みのレジストパターンを容易に除去できなかった。   Two findings are obtained from Examples 9-12. One is knowledge as a comparative example for the method of the present invention. When the process sequence in the method of the present invention was changed, light leakage occurred when exposing the photosensitive resin composition layer. For this reason, there is a part where the resist pattern is not partly peeled off, and the used resist pattern cannot be easily removed.

もう一つは、本発明の感光性樹脂組成物の性能に関する知見である。本発明の組成物は、めっき耐性に優れていた。なお、剥離特性において剥離残りがあったのは、光もれのため、余分に露光されたからであり、本発明の組成物の本質的な性能とは関係がない。   Another is knowledge about the performance of the photosensitive resin composition of the present invention. The composition of the present invention was excellent in plating resistance. In addition, the reason why there was a peeling residue in the peeling characteristics was that the light was leaked and was exposed to extra light, and it was not related to the essential performance of the composition of the present invention.

また、感光性エレメントの積層を真空下で行った以外は、特性評価試料1〜8と同様にして、特性評価用試料を作成した場合、常圧下での積層より、真空下での積層した試料の方が、層積層面での凹凸に対する埋め込み性が改善した。めっき耐性の評価では、特性評価試料1〜4に関しては、破れありは変わらないが、破れ数は減少した。特性評価試料5〜8に関しては、破れなしは変わらないが、破れずにふくれた数が皆無になり、めっき耐性が向上した。   Moreover, when the sample for characteristic evaluation was created similarly to the characteristic evaluation samples 1-8 except having laminated | stacked the photosensitive element under the vacuum, the sample laminated | stacked under the vacuum rather than the lamination | stacking under a normal pressure. This improved the embedding property with respect to the unevenness on the layer lamination surface. In the evaluation of the plating resistance, the characteristic evaluation samples 1 to 4 did not change, but the number of breaks decreased. With respect to the characteristic evaluation samples 5 to 8, no breakage remained the same, but the number of blisters without breakage was eliminated, and the plating resistance was improved.

また、感光性樹脂組成物(A)の層の膜厚を20μmとした以外は、特性評価試料1〜8と同様にして、特性評価用試料を作製した場合、膜厚を50μmとした場合より膜厚を20μmとした場合の方が、めっき耐性の評価では全て破れありになり、めっき耐性が低下した。   In addition, when the characteristic evaluation sample was prepared in the same manner as the characteristic evaluation samples 1 to 8 except that the film thickness of the photosensitive resin composition (A) layer was 20 μm, the film thickness was 50 μm. When the film thickness was 20 μm, the evaluation of plating resistance was all broken, and the plating resistance was lowered.

本発明のプリント配線板の製造法は、新規な工程手法を用いて、配線板の小型化・高密度化を達成する電子部品の表面実装に適応しつつ、かつ工程を簡略化し、更に実装部品の接続信頼性及び歩留りを改善するプリント配線板の製造法である。本発明の方法に、本発明が見出した感光性樹脂組成物を用いることでより優れた効果が得られる。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、無電解めっきにおいて、優れた保護膜として性能を発揮する。
本発明のプリント配線板製造における、回路付き配線板の上に形成されたソルダーレジストの上に積層し、パターン形成して用いる、無電解めっきのレジスト用の感光性樹脂組成物の層は、めっき耐性及び剥離性に優れるため、実装部品の接続信頼性及び歩留りを改善する。
The printed wiring board manufacturing method of the present invention uses a novel process method to adapt to surface mounting of electronic components that achieve miniaturization and high density of the wiring board, while simplifying the process, and further mounting components This is a method for manufacturing a printed wiring board that improves the connection reliability and yield. A more excellent effect can be obtained by using the photosensitive resin composition found by the present invention in the method of the present invention.
Moreover, the photosensitive resin composition of the present invention exhibits performance as an excellent protective film in electroless plating.
In the production of the printed wiring board of the present invention, the layer of the photosensitive resin composition for the electroless plating resist, which is laminated on the solder resist formed on the wiring board with circuit and patterned, is plated. Since it has excellent resistance and peelability, it improves the connection reliability and yield of mounted components.

本発明の方法の一例によるプリント配線板の工程流れ概略図である。It is a process flow schematic diagram of a printed wiring board by an example of a method of the present invention. 本発明の方法の一例によるプリント配線板の工程流れ概略図である。It is a process flow schematic diagram of a printed wiring board by an example of a method of the present invention. 本発明の方法の一例によるプリント配線板の工程流れ概略図である。It is a process flow schematic diagram of a printed wiring board by an example of a method of the present invention. 本発明の方法の一例によるプリント配線板の工程流れ概略図である。It is a process flow schematic diagram of a printed wiring board by an example of a method of the present invention. 本発明の方法の一例によるプリント配線板の工程流れ概略図である。It is a process flow schematic diagram of a printed wiring board by an example of a method of the present invention. 本発明の方法の一例によるプリント配線板の工程流れ概略図である。It is a process flow schematic diagram of a printed wiring board by an example of a method of the present invention. 本発明の感光性樹脂組成物の硬化物の一例における粘弾性温度分散曲線図である。It is a viscoelastic temperature dispersion curve figure in an example of the hardened | cured material of the photosensitive resin composition of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 基板
2 回路
3 ソルダーレジスト
4 感光性樹脂組成物の層
4’ 感光性樹脂組成物の層のレジストパターン
5 無電解Niめっき
6 置換Auめっき
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board | substrate 2 Circuit 3 Solder resist 4 Photosensitive resin composition layer 4 'Resist pattern of the photosensitive resin composition layer 5 Electroless Ni plating 6 Substitution Au plating

Claims (4)

プリント配線板製造における、2種以上の異なる無電解めっきを行うためのめっきレジスト用の感光性樹脂組成物であって、
該感光性樹脂組成物に含まれる、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物における反応基の総モル数ΣMが、式(I):
Figure 0004428399

(式中、ΣMは、該感光性樹脂組成物の固形分1kg当たりの前記反応基の総モル数であり、Miは該感光性樹脂組成物の固形分1kg当たりの光重合性化合物iのモル数であり、Niは光重合性化合物iの反応基の数であり、そしてkは組成物中の光重合性化合物の総数である)
で示されるとき、
該感光性樹脂組成物に含まれる、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物における反応基の総数ΣMが、該感光性樹脂組成物の固形分1kg当たり、0.3〜1.5モルであり、かつ
該感光性樹脂組成物の硬化物の貯蔵弾性率E′の値が、該感光性樹脂組成物の硬化物のガラス転移点温度よりも40℃高い温度において、2.0×10 6 Pa(N/m 2 )以上である、感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition for a plating resist for performing two or more different electroless platings in printed wiring board production,
The total number of moles ΣM of reactive groups in the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group polymerizable in the molecule contained in the photosensitive resin composition is represented by the formula (I):
Figure 0004428399

(In the formula, ΣM is the total number of moles of the reactive group per kg solid content of the photosensitive resin composition, and Mi is the mole of photopolymerizable compound i per kg solid content of the photosensitive resin composition. And Ni is the number of reactive groups in photopolymerizable compound i and k is the total number of photopolymerizable compounds in the composition)
When indicated by
The total number of reactive groups ΣM in the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group polymerizable in the molecule contained in the photosensitive resin composition is 0.3 per 1 kg of the solid content of the photosensitive resin composition. 1.5 mol der is, and
At a temperature where the storage elastic modulus E ′ of the cured product of the photosensitive resin composition is 40 ° C. higher than the glass transition temperature of the cured product of the photosensitive resin composition, 2.0 × 10 6 Pa (N / m 2 ) or more, a photosensitive resin composition.
該感光性樹脂組成物が、ビスフェノールAポリオキシエチレンジメタクリレート;エチレンオキシド、ポリプロピレンオキシド変性ウレタンジメタクリレート及びエチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリアクリレートからなる群より選択される少なくとも1種の化合物を含む、請求項1に記載の組成物。   The photosensitive resin composition comprises at least one compound selected from the group consisting of bisphenol A polyoxyethylene dimethacrylate; ethylene oxide, polypropylene oxide modified urethane dimethacrylate, and ethylene oxide modified trimethylolpropane triacrylate. A composition according to 1. 該感光性樹脂組成物の硬化物の吸水率が、8%以下である、請求項1又は2記載の組成物。 The composition of Claim 1 or 2 whose water absorption of the hardened | cured material of this photosensitive resin composition is 8% or less. 該感光性樹脂組成物の硬化物の破断伸びが、50%以上である、請求項1〜のいずれか1項記載の組成物。 The composition of any one of Claims 1-3 whose breaking elongation of the hardened | cured material of this photosensitive resin composition is 50% or more.
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