JP2010217686A - 共焦点スキャナ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】走査盤を交換することなく、異なる複数条件での撮像を可能とする共焦点スキャナ装置を提供する。
【解決手段】ピンホール円盤１１は、小ピンホール領域ＳＣ１に存在するピンホールと、大ピンホール領域ＳＣ２に存在するピンホールとではピンホール径が異なっていることを特徴としている。小ピンホール領域ＳＣ１には直径２５μｍのピンホールが、大ピンホール領域ＳＣ２には直径５０μｍのピンホールが、それぞれ形成されている。例えば、ピンホール列ＰＬ６は１つの螺旋状の曲線に沿って配置されたピンホール列であるが、小ピンホール領域ＳＣ１と大ピンホール領域３１ｂの境界線を境にしてピンホール径が異なっている。両方の領域ＳＣ１，ＳＣ２に跨る他のピンホール列についても同様である。
【選択図】図２

Description

本発明は、ピンホールが形成された走査盤を回転させることにより光走査を行う共焦点スキャナ装置に関する。

共焦点顕微鏡は、共焦点光学系を用いることにより、像面上、及び光軸方向に優れた分解能で、試料の微細構造の観察、測定を行える光学顕微鏡である。共焦点顕微鏡の構成の１つに、ピンホール円盤を光走査に用いた構成がある。ピンホール円盤を用いた構成では、試料上の複数の点を同時に走査することができるため、一般に像形成速度が速いという優れた特徴を有する。

特開２００５−０５５５４０号公報 特開２００８−２３３５４３号公報

一般に、ピンホールを用いた共焦点光学系では、像面上・光軸方向の分解能や、明るさ・コントラスト等の共焦点像の品質は、ピンホール径、対物レンズの開口数（ＮＡ）、照明光の波長、戻り光の波長等の光学条件に依存することが知られている。そのため、高品質な共焦点像を得るためには、試料や測定条件に合わせて、これらの光学条件を適切な構成とする必要がある。例として、共焦点光学系において、ピンホール径のみを変更することを考えた場合、ピンホール径を小さくすると、分解能は向上するが、走査光量、及び撮像装置に集光される試料からの戻り光の光量は減り、暗い画像となってしまう。逆にピンホール径を大きくすると、分解能は低下するが明るい画像が得られる。このように、高品質な共焦点像を得るためには、分解能と光量という相反するパラメータを考慮してピンホール径を決定する必要がある。

しかし、従来の共焦点顕微鏡では、ピンホールの径を切り替えるにはピンホール円盤を取り替えなければならず、構成が複雑化するとともに、切り替えに時間を要するという問題がある。

この問題に対し特許文献１においては、走査円盤に同心円状の複数の開口パターン領域に分割し、それぞれの開口パターン領域に径の相違する開口を形成し、この走査円盤を機械的にスライドすることで、それぞれの開口パターン領域を光軸上に配置する方法が示されている。しかしながら、この方法は、機械的に構成部品の相対位置を変更する必要が生じ、装置の構成が複雑になるばかりでなく、切り替えに時間を要するという問題点がある。

また、特許文献２においては、ピンホール列毎に径の相違するピンホールを形成した走査円盤と撮像のタイミングを制御するコントローラを用いることで、それぞれの開口パターン領域で得られる像を分けて撮像する方法が示されている。しかしながら、ピンホール列の配置される螺旋状の曲線の形状や本数によっては、それぞれの開口パターン領域で得られる像を分けて撮像することができない場合があるという問題点がある。例えば、図７に示す構成では、２本のピンホール列ＰＬ３１、及びＰＬ３２にそれぞれ径の相違するピンホールが配列されているが、走査領域２０内に２種類の径のピンホールが常に混在するので、それぞれの開口パターン領域で得られる像を分けて撮像することは不可能である。

本発明の目的は、走査盤を交換することなく、異なる複数条件での撮像を可能とする共焦点スキャナ装置を提供することにある。

本発明の共焦点スキャナ装置は、ピンホールが形成された走査盤を回転させることにより光走査を行う共焦点スキャナ装置において、前記走査盤は、その周方向について、互いに光学パターンの異なる複数の領域に分割されていることを特徴とする。
この共焦点スキャナ装置によれば、走査盤は、その周方向について、互いに光学パターンの異なる複数の領域に分割されているので、走査盤を交換することなく、異なる複数条件での撮像が可能となる。

前記領域はピンホールが形成された領域、光透過領域、および遮光領域のいずれかであってもよい。

前記走査盤は、内周と外周を有し、前記内周と前記外周を結ぶ１本以上の直線、又は曲線上の全部、又は一部にピンホールを配列したピンホール列を有し、且つ前記内周と前記外周を結ぶ複数の直線、又は曲線によって、複数の前記領域に分割され、且つ前記ピンホール列の少なくとも１本の軌跡が、前記領域の境界を横断して配置されていてもよい。

前記領域の内、少なくとも２つが前記ピンホール領域であり、前記ピンホール領域に配置される前記ピンホールの径が、それぞれの前記ピンホール領域毎に相違していてもよい。

前記走査盤の回転角度を前記領域との関係で認識する認識手段を備えてもよい。

前記認識手段は前記走査盤に形成された光学パターンに基づいて前記回転角度を認識してもよい。

前記走査盤により光走査された試料からの光を撮像する撮像手段と、前記認識手段による認識に基づいて、前記撮像手段により撮像される撮像フレームまたは撮像のための光学的状態を切り替える切替手段と、を備えてもよい。

本発明の共焦点スキャナ装置によれば、走査盤は、その周方向について、互いに光学パターンの異なる複数の領域に分割されているので、走査盤を交換することなく、異なる複数条件での撮像が可能となる。

実施例１の共焦点スキャナ装置を適用した共焦点顕微鏡システムの構成を示すブロック図。 本発明の走査円盤の一実施例を示す図であり、（ａ）は走査円盤における領域分割の方法を示す平面図、（ｂ）は走査円盤のピンホールパターンを示す平面図。 本発明の走査円盤のピンホールパターンの他の実施例を示す平面図。 実施例２の共焦点スキャナ装置を適用した共焦点顕微鏡システムの構成を示すブロック図。 実施例３の共焦点スキャナ装置を適用した共焦点顕微鏡システムの構成を示すブロック図。 本発明の走査円盤の構成例を示す平面図。 従来の走査円盤の一例を示す平面図。

以下、本発明による共焦点スキャナ装置の実施形態について説明する。

図１は実施例１の共焦点スキャナ装置を適用した共焦点顕微鏡システムの構成を示すブロック図、図２（ａ）は走査円盤における領域分割の方法を示す平面図、図２（ｂ）は走査円盤のピンホールパターンを示す平面図である。

図１に示すように、共焦点顕微鏡システムは、共焦点スキャナユニット１と、照明光を照射するレーザ光源装置２と、対物レンズ３と、試料が載置される試料台４と、試料の画像を撮像するＣＣＤ撮像装置５と、ＣＣＤ撮像装置５の動作タイミングを制御する同期制御装置６と、を備える。

共焦点スキャナユニット１は、後述する走査円盤としてのピンホール円盤１１と、ピンホール円盤１１を回転させるためのモータ１２と、コリメートレンズ１３と、ビームスプリッタ１４と、結像レンズ１５と、フォトセンサ１６と、を備える。

ピンホール円盤１１は、円形の透明基板に所定パターンの遮光膜を形成することで作製される。図２（ａ）に示すように、ピンホール円盤１１には、外周にスリットＳＬ１〜ＳＬ１２が、その内側に回転走査部ＳＣが、それぞれ設けられる。回転走査部ＳＣは、円盤１１の中心を通る直線で図２（ａ）において上下２つの領域に分けられ、それぞれ小ピンホール領域ＳＣ１、及び大ピンホール領域ＳＣ２とされている。すなわち、回転走査部ＳＣは、周方向に（１８０度ずつ）、小ピンホール領域ＳＣ１と大ピンホール領域ＳＣ２とに分割されている。

図２（ｂ）に示すように、回転走査部ＳＣには、それぞれ螺旋状の曲線に沿ってピンホール列ＰＬ１〜ＰＬ１２が形成されており、一般にニポウ円盤と呼ばれる構成となっている。この構成ではピンホール円盤１１が３０度回転することで、図２（ｂ）に示す走査領域２０を一様に１回の光走査を行えることが特徴である。これは１２本のピンホール列ＰＬ１〜ＰＬ１２により構成されているためであり、より多くのピンホール列を配置した場合には、より少ない回転角で走査領域２０を一様に１回の光走査を行うことも可能である。

また、図２（ｂ）に示すピンホール列ＰＬ１〜ＰＬ１２では、個々のピンホール列に対応する螺旋状の曲線の基端（円盤の中心に近い端）とピンホール円盤２の中心を結ぶ直線と、この曲線の終端（円盤の周辺に近い端）とピンホール円盤２の中心を結ぶ直線とが成す角度が９０度（０．２５周分）となるように設置されているが、螺旋状の曲線の前記角度はこれに限るものではなく、例えばピンホール円盤の中心を２周（７２０度）回る曲線上にピンホール列を配置した構成としても良い。

螺旋状の曲線に沿ったピンホール列を有すピンホール円盤を構成する場合、一般には、数百以上のピンホールを一つのピンホール列上に配置するため、螺旋状の曲線が、ピンホール円盤の中心を１周以上回るような構成を取ることは妥当である。

図２（ｂ）に示すように、ピンホール円盤１１は、小ピンホール領域ＳＣ１に存在するピンホールと、大ピンホール領域ＳＣ２に存在するピンホールとではピンホール径が異なっていることを特徴としている。小ピンホール領域ＳＣ１には直径２５μｍのピンホールが、大ピンホール領域ＳＣ２には直径５０μｍのピンホールが、それぞれ形成されている。例えば、ピンホール列ＰＬ６は１つの螺旋状の曲線に沿って配置されたピンホール列であるが、小ピンホール領域ＳＣ１と大ピンホール領域３１ｂの境界線を境にしてピンホール径が異なっている。両方の領域ＳＣ１，ＳＣ２に跨る他のピンホール列についても同様である。なお、ピンホール径の組み合わせはこれに限るものではない。

また、ピンホール列の配置される曲線または直線の本数や形状はこれに限るものではなく、ピンホール円盤１１の区分された領域（ピンホール領域ＳＣ１およびピンホール領域ＳＣ２）毎に、それぞれ走査領域２０を一様に光走査できる構成となっていれば良い。例えば、図３に示すような構成でも良い。図３の例では、上下のピンホール領域ＳＣ１，ＳＣ２でピンホール列の配置される螺旋状の曲線の本数が異なり、更に曲線の曲がる方向が逆になっているが、上下のピンホール領域ＳＣ１，ＳＣ２のそれぞれは一般的なニポウ円盤の構成となっており、一様な光走査を行うことができる。

図２（ａ）および図２（ｂ）に示すように、ピンホール円盤１１の外周部には、３０度の走査周期に対応した間隔（スリット周期）でスリットＳＬ１〜ＳＬ１２が形成されている。また、スリットＳＬ１のみは他のスリットに比べ幅が狭く、スリット周期に対する暗部の比率を高くしてあり、これにより、同期制御装置６においてピンホール円盤の回転角度の絶対値を３０度単位で識別することが可能となる。但し、スリットの位置や構成はこれに限るものではなく、例えば、スリットを円盤の内周側に配置しても良いし、回転走査部を区画する境界位置に幅の狭いスリットを配置する構成としても良い。

フォトセンサ１６は、ピンホール円盤２のスリットＳＬ１〜ＳＬ１２を光学的に読み取って走査位置識別信号１６ａを出力する。走査位置識別信号１６ａは同期制御装置６に入力される。

同期制御装置６は、少なくとも図示しないマイクロコントローラ、ＲＡＭ、及びＲＯＭを有し、図示しないコンピュータからの指令により、ＲＯＭに記録されている同期制御プログラムに従って動作する。同期制御装置６は走査位置識別信号１６ａを入力とし、撮像制御信号６ａを出力する。

ＣＣＤ撮像装置５は、図示しないＣＣＤ画像センサ、及び撮像制御部を有し、撮像制御信号６ａを入力とし、図示しないコンピュータに、撮像した画像を転送する機能を有する。

次に、共焦点顕微鏡システムの動作について説明する。

レーザ光源装置２から共焦点スキャナユニット１に入射した照明光は、コリメートレンズ１３で平行光線に変換され、ビームスプリッタ１４を透過し、ピンホール円盤１１に照射される。ピンホール円盤１１のピンホールを通過した照明光は、対物レンズ３により試料台４上の試料に集光照射される。一方、試料からの戻り光（蛍光・反射光等）は、対物レンズ３により集光され、ピンホール円盤１１のピンホールを通過し、ビームスプリッタ１４で反射し、結像レンズ１５で結像され、ＣＣＤ撮像装置５で受光される。このようにして、試料の共焦点像をＣＣＤ撮像装置５の受光面に結像することができる。

ピンホール円盤１１はモータ１２の回転軸に固定されており、モータ１２を駆動することにより等速回転を行う。回転速度は毎分３０回転〜３０００回転の範囲で任意に指定できるが、特にこの範囲に限るものではない。ピンホール円盤１１の回転により、試料の観察領域を一様に光走査し、更にＣＣＤ撮像装置５のＣＣＤ画像センサに試料の観察領域の共焦点像を構成することができる。

同期制御装置６は同期制御プログラムによって、図示しないコンピュータから撮像シーケンス指令を受信し、ＲＡＭに格納する。撮像シーケンス指令は、撮像フレームを特定する撮像フレーム番号と、その撮像フレームで使用するピンホール領域（小ピンホール領域ＳＣ１または大ピンホール領域ＳＣ２）を区別する番号とを要素として含んでいる。複数の撮像フレームが存在する場合には、これらの要素群を２つ以上並べることで撮像シーケンス指令が構成される。

同期制御装置６は、フォトセンサ１６からの走査位置識別信号１６ａを利用して、ピンホール円盤１１の回転角の絶対値を３０度単位で識別する機能を持つ。同期制御装置６は、ピンホール円盤１１が等速回転を行っている状態で、走査位置識別信号１６ａのパルス幅を順番に測定していき、スリットＳＬ１に対応する短いパルスを見つける。このときマイクロコントローラ内のソフトウェア１２進カウンタをリセットし、以後、パルスの立ち上がりを検出する度に１２進カウンタを進める。このようにすることで、ピンホール円盤２の回転方向の３０度単位の絶対位置を１２進カウンタの値を参照することで把握することができる。

同期制御装置６とＣＣＤ撮像装置５を用いた撮像動作を以下に説明する。

同期制御装置６は、図示しないコンピュータから撮像シーケンス指令を受信すると、１フレーム目の撮像指令に指定されたピンホール領域が、走査領域２０を覆った直後の、走査位置識別信号１６ａの立ち上がりを検出すると同時に、撮像制御信号６ａの信号レベルをＨｉｇｈとする。次に、指定されたピンホール領域の境界が再び走査領域２０に差しかかる直前の、走査位置識別信号１６ａの立ち上がりを検出すると同時に、撮像制御信号６ａの信号レベルをＬｏｗとする。但し、同期制御装置６は、ピンホール円盤１１の回転速度と、それぞれのピンホール領域の区分情報と、走査領域２０の画角と配置の情報とが事前に設定されており、これらの情報を元に、特定のピンホール領域の境界が走査領域２０を覆う、あるいは差しかかるタイミングを計算している。

ＣＣＤ撮像装置５は、ＣＣＤ画像センサ、及び撮像制御部を備え、撮像制御信号６ａを入力とし、撮像制御信号６ａに同期して撮像動作を行う。即ち、ＣＣＤ撮像装置５の撮像制御部は、撮像制御信号６ａの信号レベルがＬｏｗからＨｉｇｈへ立ち上がると同時にＣＣＤ画像センサの露光を開始し、ＨｉｇｈからＬｏｗへ変化すると同時に露光を終了し、図示しないコンピュータへの画像転送を行う。

上記の動作を繰り返し行うことで、２フレーム目以降も同様に、撮像シーケンス指令に指定されたピンホール領域で得られる試料の像を、順番に撮像する。

このように、本実施例の共焦点スキャナ装置では、ピンホール円盤１１にピンホール径の異なる２種類のピンホール領域を設けたことで、２種類の光学条件による光学特性の異なる像の撮像を行うことができる。これらの２種類の光学条件の下で撮像された像は、それぞれ一定のピンホール径のピンホール領域で走査を行うことにより得られたものであり、異なる光学特性の像が同一フレーム内に撮像されてしまうことを完全に回避することができる。

また、ピンホール径の切り替えを行うためには、撮像のタイミングのみを制御すればよく、機械的に構成部品の相対位置を変更する必要が無いので、ピンホール径を高速に切り替えて撮像することができる。このことにより、例えば、小ピンホール領域による像と大ピンホール領域による像を交互に撮像することを非常に高速に行える。実験条件によっては、事前に最適な光学条件を決定することが難しい場合があり、２種類の光学条件を高速に切り替えながら、連続撮像を行い、撮像終了後に得られた画像を比較し、光学特性のより良い画像を選択するということが可能となる。

更に、ピンホール径の切り替えを行うために、機械的に装置の構成部品の相対位置を変更する必要が無いので、共焦点スキャナ装置を簡単で堅牢な構成とすることができる。

また、一般に、ピンホール円盤式共焦点スキャナ装置では、露光時間をピンホール円盤の走査周期の整数倍とする必要があることが知られている。これは、撮像された画面上に、走査回数の違いよる縞状のバンディングノイズが発生することを防ぐためである。本実施例では、ピンホール円盤１１の走査周期に合わせて設置されたスリットを基準として、露光開始と露光終了のタイミングを制御しているため、上記のようなバンディングノイズの発生を完全に解消することができる。

図４は実施例２の共焦点スキャナ装置を適用した共焦点顕微鏡システムの構成を示すブロック図である。以下、実施例１と同一要素には同一符合を付し、その説明は省略する。

図４に示す共焦点顕微鏡システムは、マイクロレンズ付ピンホール円盤方式共焦点スキャナユニット１Ａと、音響光学変調器（ＡＯＭ）を備えたレーザ光源装置２Ａとを備える。マイクロレンズ付ピンホール円盤方式共焦点スキャナユニット１Ａはマイクロレンズ円盤１８を備える。

マイクロレンズ円盤１８はピンホール円盤１１と平行かつ正対する位置にあり、ピンホール円盤１１と同様、モータ１２の回転軸に固定されている。また、マイクロレンズ円盤１８には、ピンホール円盤１１に形成された個々のピンホールにそれぞれ正対する位置にマイクロレンズが設けられている。すなわち、マイクロレンズがピンホールと同一パターンで配置されている。モータ１２を駆動すると、両者は同時に回転する。本実施例では、照明光がマイクロレンズ円盤１８の個々のマイクロレンズによってピンホール円盤２のピンホールに集光されるため、実施例１の構成に比べ、照明光の利用効率を大幅に向上できるという優れた特徴を持つ。

一方、レーザ光源装置２Ａは音響光学変調器を内蔵し、音響光学変調器に入力する電圧値により、出射光量が調節される。同期制御装置６は、レーザ光源装置２Ａに向けて共焦点光源制御信号６ａを出力し、共焦点光源制御信号６ａはレーザ光源装置２Ａの音響光学変調器に入力される。本実施例では、実施例１のようにＣＣＤ撮像装置を制御する代わりに、ピンホール円盤１１による走査位置に同期してレーザ光源装置２Ａからのレーザ光を制御することによって照明光を適切な期間のみ照射することで、それぞれのピンホール領域毎の像を撮像している。

実施例１の構成に認められる効果に加え、本実施例は以下の効果を有す。

本実施例は、マイクロレンズ円盤１８を備えたことにより、照明光の利用効率を実施例１の構成に比較して大幅に向上することができる。また、実施例１では、ＣＣＤ撮像装置の露光時間は、ピンホール円盤１１が一回転に要する期間のうちの一部の期間しか利用できないため、設定可能な露光時間に制約がある。しかし、本実施例の構成では、ピンホール円盤１１を複数回、回転させながら、適切な期間のみ照明光の照射を行うことで、ＣＣＤ撮像装置５で連続的に露光することができ、露光時間の制約無く、撮像を行うことができる。

図５は実施例３の共焦点スキャナ装置を適用した共焦点顕微鏡システムの構成を示すブロック図、図６は本実施例の共焦点スキャナ装置で使用される走査円盤の構成を示す平面図である。以下、実施例１と同一要素には同一符合を付し、その説明は省略する。

図５に示すように、共焦点顕微鏡システムは、試料に透過照明を照射する透過照明光源７と、ＣＣＤ撮像装置５の前に置かれた液晶シャッタ５１と、音響光学変調器（ＡＯＭ）を備えたレーザ光源装置２Ａを備える。レーザ光源装置２は共焦点照明光を出射する。一方、透過照明光源７は透過照明を出射し、試料台４に置かれた試料の透過像を撮像する際に使用される。透過照明光源７の射出光量は入力する電圧値により調節可能とされる。

同期制御装置６は、フォトセンサ１６からの走査位置識別信号１６ａに応じて共焦点光源制御信号６ａおよび透過照明制御信号６ｂおよびシャッタ制御信号６ｃを出力することにより、レーザ光源装置２Ａおよび透過照明光源７および液晶シャッタ５１を制御する。

図６に示すように、共焦点スキャナユニット１Ｂの走査円盤１１Ａは周方向に互いに分割されたピンホール部１１ａ、遮光部１１ｂおよび光透部１１ｃを備える。ピンホール部１１ａには、螺旋状の曲線上に配列したピンホール列が形成されている。また、走査円盤１１Ａの外周部にはピンホール円盤１１と同様のスリットＳＬ１，ＳＬ２，・・・が設けられている。

本実施例では、走査円盤１１Ａによる走査位置に同期して出力される同期制御装置６からの共焦点光源制御信号６ａおよび透過照明制御信号６ｂおよびシャッタ制御信号６ｃにより、レーザ光源装置２Ａおよび透過照明光源７および液晶シャッタ５１が制御される。例えば、試料の透過像を撮影する場合には、回転する走査円盤１１Ａの光透部１１ｃが走査領域２０に対応する位置にある期間に、透過照明光源７を照射し、レーザ光源装置２Ａの出力をゼロとし、また、液晶シャッタ５１を透過状態とし、適切な期間のみＣＣＤ撮像装置５に透過像が入射するようにする。これにより、ピンホール部１１ａにおける走査による試料の共焦点像と、透過照明光源７からの透過照明光による透過像とを区別して撮像することができる。このように、本実施例では、実施例１の構成における効果に加え、共焦点像と透過像を区別して撮像できるという効果がある。

以上説明したように、本発明の共焦点スキャナ装置によれば、走査盤は、その周方向について、互いに光学パターンの異なる複数の領域に分割されているので、走査盤を交換することなく、異なる複数条件での撮像が可能となる。

本発明の適用範囲は上記実施形態に限定されることはない。本発明は、ピンホールが形成された走査盤を回転させることにより光走査を行う共焦点スキャナ装置に対し、広く適用することができる。

１１ 走査円盤（走査盤）
１１Ａ 走査円盤（走査盤）
１１ａ 領域
１１ｂ 領域
１１ｃ 領域
５ 撮像手段
６ 同期制御装置（認識手段、切替手段）
１６ フォトセンサ（認識手段）
５１ 液晶シャッタ（切替手段）
ＳＬ１〜ＳＬ１２ スリット（光学パターン）
ＳＣ１ 領域
ＳＣ２ 領域

Claims (7)

1. ピンホールが形成された走査盤を回転させることにより光走査を行う共焦点スキャナ装置において、
   前記走査盤は、その周方向について、互いに光学パターンの異なる複数の領域に分割されていることを特徴とする共焦点スキャナ装置。
2. 前記領域はピンホールが形成されたピンホール領域、光透過領域、および遮光領域のいずれかであることを特徴とする請求項１に記載の共焦点スキャナ装置。
3. 前記走査盤は、内周と外周を有し、前記内周と前記外周を結ぶ１本以上の直線、又は曲線上の全部、又は一部にピンホールを配列したピンホール列を有し、
   且つ前記内周と前記外周を結ぶ複数の直線、又は曲線によって、複数の前記領域に分割され、且つ前記ピンホール列の少なくとも１本の軌跡が、前記領域の境界を横断して配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の共焦点スキャナ装置。
4. 前記領域の内、少なくとも２つが前記ピンホール領域であり、前記ピンホール領域に配置される前記ピンホールの径が、それぞれの前記ピンホール領域毎に相違していることを特徴とする請求項１乃至３に記載の共焦点スキャナ装置。
5. 前記走査盤の回転角度を前記領域との関係で認識する認識手段を備えることを特徴とする請求項１乃至４に記載の共焦点スキャナ装置。
6. 前記認識手段は前記走査盤に形成された光学パターンに基づいて前記回転角度を認識することを特徴とする請求項５に記載の共焦点スキャナ装置。
7. 前記走査盤により光走査された試料からの光を撮像する撮像手段と、
   前記認識手段による認識に基づいて、前記撮像手段により撮像される撮像フレームまたは撮像のための光学的状態を切り替える切替手段と、
   を備えることを特徴とする請求項５または６に記載の共焦点スキャナ装置。

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