JP2010214495A - プレーナ型アクチュエータの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 シリコンからなる第1のウェハ10の裏面側からエッチングして、トーションバー3,5または可動部4,6の少なくとも一方に対応する部位をトーションバー3,5または可動部4,6に応じた厚さが残るように除去して空隙を形成する工程と、第1のウェハ10の裏面側に、シリコンからなる第2のウェハ13を貼り合わせる工程と、第1のウェハ10の表面をエッチングして可動部4,6、トーションバー3,5および固定部2以外の部分を除去する工程と、第2のウェハ13の裏面をエッチングして固定部2以外の部分を除去する工程と、を備えている。
【選択図】 図2
Description
そして、このようなアクチュエータは、例えば、可動部にミラーを設けることで光ビームを偏向走査する光スキャナなどに適用される。
シリコンからなる第1のウェハの裏面側からエッチングして、前記トーションバーまたは前記可動部の少なくとも一方に対応する部位を前記トーションバーまたは前記可動部に応じた厚さが残るように除去して空隙を形成する工程と、
前記第1のウェハの裏面側に、シリコンからなる第2のウェハを貼り合わせる工程と、
前記第1のウェハの表面をパターニングし、前記第1のウェハをエッチングして前記可動部、前記トーションバーおよび前記固定部以外の部分を除去する工程と、
前記第2のウェハの裏面をパターニングして、前記第2のウェハをエッチングして前記固定部以外の部分を除去する工程と、
を備えていることを特徴とする。
シリコンからなる第1のウェハの裏面側からエッチングして、前記第1トーションバー、前記第2トーションバー、前記第1可動部または前記第2可動部の少なくともいずれか1つに対応する部位を前記第1トーションバー、前記第2トーションバー、前記第1可動部または前記第2可動部に応じた厚さが残るように除去して空隙を形成する工程と、
前記第1のウェハの裏面側に、シリコンからなる第2のウェハを貼り合わせる工程と、
前記第1のウェハの表面をパターニングし、前記第1のウェハをエッチングして前記第1トーションバー、前記第2トーションバー、前記第1可動部、前記第2可動部および前記固定部以外の部分を除去する工程と、
前記第2のウェハの裏面をパターニングして、前記第2のウェハをエッチングして前記固定部以外の部分を除去する工程と、
を備えていることを特徴とする。
図1および図2は、本発明に係る製造方法が適用されるプレーナ型アクチュエータの第1実施形態を示したものである。
まず、図3に示すように、単結晶シリコンからなる第1のウェハ10の表面に、保護膜を被覆する。保護膜としては、例えば、酸化炉などを用いてシリコンの酸化膜11を被膜する。また、保護膜としては、シリコンのエッチングに耐性のあるものであればよく、酸化膜以外にも金属等が考えられる。そして、図4および図5に示すように、第1のウェハ10の裏面をパターニングして、第1のウェハ10の第1トーションバー5および第2トーションバー3に対応する部位を除去して空隙12を形成する。
2 固定部
3 第2トーションバー
4 第2可動部
5 第1トーションバー
6 第1可動部
10 第1のウェハ
11 酸化膜
12 空隙
13 第2のウェハ
15 配線用保護膜
Claims (5)
- 枠状の固定部の内側に、トーションバーを介して回動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部からなるアクチュエータを製造するためのプレーナ型アクチュエータの製造方法において、
シリコンからなる第1のウェハの裏面側からエッチングして、前記トーションバーまたは前記可動部の少なくとも一方に対応する部位を前記トーションバーまたは前記可動部に応じた厚さが残るように除去して空隙を形成する工程と、
前記第1のウェハの裏面側に、シリコンからなる第2のウェハを貼り合わせる工程と、
前記第1のウェハの表面をパターニングし、前記第1のウェハをエッチングして前記可動部、前記トーションバーおよび前記固定部以外の部分を除去する工程と、
前記第2のウェハの裏面をパターニングして、前記第2のウェハをエッチングして前記固定部以外の部分を除去する工程と、
を備えていることを特徴とするプレーナ型アクチュエータの製造方法。 - 枠状の固定部の内側に、第2トーションバーを介して回動自在に支持され駆動手段により駆動される第2可動部と、この第2可動部の内側に第1トーションバーを介して回動自在に支持された第1可動部とからなる二次元アクチュエータを製造するためのプレーナ型アクチュエータの製造方法において、
シリコンからなる第1のウェハの裏面側からエッチングして、前記第1トーションバー、前記第2トーションバー、前記第1可動部または前記第2可動部の少なくともいずれか1つに対応する部位を前記第1トーションバー、前記第2トーションバー、前記第1可動部または前記第2可動部に応じた厚さが残るように除去して空隙を形成する工程と、
前記第1のウェハの裏面側に、シリコンからなる第2のウェハを貼り合わせる工程と、
前記第1のウェハの表面をパターニングし、前記第1のウェハをエッチングして前記第1トーションバー、前記第2トーションバー、前記第1可動部、前記第2可動部および前記固定部以外の部分を除去する工程と、
前記第2のウェハの裏面をパターニングして、前記第2のウェハをエッチングして前記固定部以外の部分を除去する工程と、
を備えていることを特徴とするプレーナ型アクチュエータの製造方法。 - 前記空隙を形成する工程の後に、前記第1のウェハの裏面および前記空隙の内面に保護膜を形成する工程を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータの製造方法。
- 前記空隙に、前記第1のウェハを貫通する空気抜き用の連通孔を形成することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータの製造方法。
- 前記空隙に、充填材を埋設することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータの製造方法。
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