JP2010208869A - 多結晶体または単結晶体の製造装置および製造方法 - Google Patents
多結晶体または単結晶体の製造装置および製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】原料融液401、403を貯留する第1の耐熱性容器3と第2の耐熱性容器2とを備え、第2の耐熱性容器2中の原料融液401を第1の耐熱性容器3中に供給する製造装置であって、第1の耐熱性容器3中の原料融液403の液面と離面しないように第1の耐熱性容器3中に防波機構301を設ける。
【選択図】図1
Description
また、前記原料融液はシリコン融液であることが好ましい。
本実施形態は、多結晶体または単結晶体を第1の耐熱性容器に貯留された原料融液から製造する装置であって、該第1の耐熱性容器に原料融液を供給する製造装置である。
シート形成法の一例について基本的な手順を図2、3を用いて以下に説明する。
本実施形態は、第2の耐熱性容器、第1の耐熱性容器(坩堝)および供給管を備え、防波機構と原料供給機構とが別体として構成されている点で一致するが、第一の実施形態とは、坩堝と防波機構が一体となっている点が異なる。
本実施形態は、防波機構の第1の耐熱性容器(坩堝)に対する設置位置を変更した実施形態である。
Claims (11)
- 原料融液を貯留する第1の耐熱性容器と第2の耐熱性容器とを備え、該第2の耐熱性容器中の原料融液を前記第1の耐熱性容器中に供給する製造装置であって、
前記第一の耐熱性容器中の原料融液の液面と離面しないように前記第一の耐熱性容器中に防波機構を設けることを特徴とする製造装置。 - さらに該第2の耐熱性容器中の原料融液を前記第1の耐熱性容器中に供給するための原料供給機構を備え、前記防波機構と該原料供給機構とが別体として構成されていることを特徴とする請求項1に記載の製造装置。
- 前記防波機構の水平方向の断面形状が、円弧、波型、直線または折れ線の形状であることを特徴とする請求項1または2に記載の製造装置。
- 前記防波機構は、前記第2の耐熱性容器から原料融液が滴下される落下地点の前記第1の耐熱性容器中の原料融液の液面を取り囲むような障壁である、請求項1から3のいずれかに記載の製造装置。
- 前記第1の耐熱性容器と前記防波機構とが一体となっているか、または、互いに当接するように配置されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の製造装置。
- 前記第2の耐熱性容器中の原料融液の液滴が前記第1の耐熱性容器中の原料融液に落下する地点が、前記防波機構内であって、第1の耐熱性容器中の原料融液において結晶体が製造される範囲から遠い位置となるように、前記防波機構が配置されることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の製造装置。
- 前記原料供給機構が前記第2の耐熱性容器に接続された供給管を含み、
前記供給管の取込口が前記第2の耐熱性容器に貯留された原料融液の液面と同じ高さに位置することを特徴とする請求項2に記載の製造装置。 - 前記供給管内を加熱するための加熱機構をさらに備えた、請求項1から7のいずれかに記載の製造装置。
- 前記原料融液はシリコン融液である、請求項1から8のいずれかに記載の製造装置。
- 請求項1から9のいずれかに記載の製造装置を用いた多結晶体または単結晶体の製造方法。
- 前記第1の耐熱性容器中の原料融液に下地板を接触させて液相状態にある原料融液からの凝固によって直接的に多結晶体からなるシート状の基板を得る、請求項10に記載の製造方法。
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2009
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