JP2010199476A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 基板を処理する際に処理条件を指定する操作画面を有する操作手段を備えた基板処理装置と前記基板処理装置を管理する管理装置は通信可能に接続され、前記操作手段は、所定の技術者を指定する為の設定画面を有し、該設定画面に所定の設定条件が入力されると前記管理装置に送信され、該管理装置は前記基板処理装置から収集した情報から該基板処理装置の状態を判断し、異常が発生した場合、入力された前記所定の設定条件に基づき前記所定の技術者に通知することを特徴とする基板処理システム。
   
2. 基板を処理する際に処理条件を指定する操作画面を有する操作手段と、前記設定された条件に従い前記基板を処理する制御手段と、前記基板の処理開始及び終了時間を管理する管理装置と接続するための通信手段を有する基板処理装置であって、
   前記操作手段は、所定の技術者を指定する為の設定画面を有し、該設定画面に所定の設定条件を入力されて前記所定の技術者が選択されると、前記所定の設定条件が前記管理装置に送信され、
   前記管理装置は、予め収集した情報から前記基板処理装置の状態を判断し、異常が発生した場合、入力された前記所定の設定条件に基づき前記所定の技術者に通知することを特徴とする基板処理装置。
   
3. 基板を処理する基板処理工程と、
   基板処理中に異常が発生したかを判定する判定工程と、
   異常が発生した場合に、基板処理工程を停止し、この異常の原因データを操作画面に表示する表示工程と、
   表示された前記原因から、前記基板処理工程が停止した要因を解析する解析工程と、
   前記操作画面から所定の設定画面を移行して前記要因に応じて所定の技術者を選択する選択工程と、
   前記所定の設定画面上で所定の作業を終えた後、異常の原因データを送信する送信工程と、
   解析された前記異常の原因データと選択された前記所定の技術者のデータとを比較し、最適な技術者を検索する検索工程と、
   検索された前記技術者の端末に異常が発生した基板処理装置のデータを通知する通知工程と、
   を有する基板処理装置の異常解析方法。
4. 基板を処理する基板処理工程と、
   基板処理中に異常が発生したかを判定する判定工程と、を少なくとも有する基板処理方法であって、
   異常が発生した場合、前記基板処理工程を中断し、請求項３記載の異常解析方法を実施し、
   異常が発生しなかった場合、基板処理が完了するまで前記基板処理工程を続行する
   基板処理方法。
   
5. 基板処理装置の異常の対応に適した技術者の端末に前記異常のデータを表示する基板処理装置の異常表示方法であって、
   異常が発生した基板処理装置から、前記管理装置が前記異常の原因データを受信する工程と、
   受信した前記異常の原因データが解析される工程と、
   解析された異常の原因と技術者のデータとを比較し、異常個所と技術分野が一致する技術者を検索する工程と、
   検索の結果、前記基板処理装置の異常の対応に適した技術者を選び出し、決定する工程と、
   選び出した前記技術者に異常が発生した前記基板処理装置のデータを送信する工程と、
   前記技術者の端末に、前記基板処理装置の異常の内容が表示される
   基板処理装置の異常表示方法。
   
6. 基板処理装置の異常の対応に適した技術者の端末に前記異常のデータを通知するよう構成された管理装置で実行される判断プログラムであって、
   解析された異常の原因と各技術者のデータとを比較し、異常個所と技術分野が一致する技術者を検索するステップと、
   検索の結果、前記基板処理装置の異常の対応に適した技術者を選び出し、決定するステップと、
   を少なくとも有する判断プログラム。