JP2009009300A - バッチプロセス解析システムおよびバッチプロセス解析方法 - Google Patents
バッチプロセス解析システムおよびバッチプロセス解析方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】データ蓄積手段51は、バッチプロセスから得られたバッチデータを蓄積する。基準空間作成手段52は、データ蓄積手段51に蓄積された上記バッチデータに基づいて基準空間を作成する。データ取得手段53は、解析対象となるバッチプロセスからバッチデータを取得する。距離算出手段54は、基準空間作成手段52により作成された基準空間に、データ取得手段53で得られたバッチデータを入力することでマハラノビス距離を算出する。貢献度算出手段55は、バッチプロセスのバッチデータの貢献度を算出する。
【選択図】図1
Description
(1)データの重ね合わせ
現在のバッチプロセスのデータ変化が正常か否かを判断するために、現状のデータをトレンド表示し、理想的なバッチデータと重ね合わせて目視で比較する方法である。
(2)自動比較
現在のバッチプロセスと理想的なバッチデータとを自動比較する方法である。この方法では、データ値の閾値による判定や偏差の閾値による判定を行っている。
このバッチプロセス解析システムによれば、マハラノビス距離の算出によりバッチプロセスの状況を解析するので、目視での判定に頼ることなく、容易かつ迅速に状況を解析できる。
このバッチプロセス解析方法によれば、マハラノビス距離の算出によりバッチプロセスの状況を解析するので、目視での判定に頼ることなく、容易かつ迅速に状況を解析できる。
同種のバッチプロセスのバッチデータは、理想的には常に同一データとなる。しかし、実際のバッチデータには、正常ないし理想的なデータからのずれがあり、各バッチデータの異常度はそれぞれのデータについて算出されたマハラノビス距離として把握できる。
51 データ蓄積手段
52 基準空間作成手段
53 データ取得手段
54 距離算出手段
55 貢献度算出手段
Claims (5)
- バッチプロセスから取得されたデータに基づいて当該バッチプロセスの状況を解析するバッチプロセス解析システムにおいて、
バッチプロセスから得られたデータを蓄積するデータ蓄積手段と、
前記データ蓄積手段に蓄積された前記データに基づいて基準空間を作成する基準空間作成手段と、
解析対象となるバッチプロセスからデータを取得するデータ取得手段と、
前記基準空間作成手段により作成された前記基準空間に、前記データ取得手段で得られた前記データを入力することでマハラノビス距離を算出する距離算出手段と、
を備えることを特徴とするバッチプロセス解析システム。 - 前記基準空間作成手段は、前記データ蓄積手段に蓄積された正常と判断されるデータに基づいて、正常と判断される基準空間を作成することを特徴とする請求項1に記載のバッチプロセス解析システム。
- 前記距離算出手段は、バッチプロセス単位でマハラノビス距離データを算出することを特徴とする請求項1または2に記載のバッチプロセス解析システム。
- 前記距離算出手段で算出されたマハラノビス距離に対するバッチプロセスのデータの貢献度を時間ごとに算出する貢献度算出手段を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のバッチプロセス解析システム。
- バッチプロセスから取得されたデータに基づいて当該バッチプロセスの状況を解析するバッチプロセス解析方法において、
バッチプロセスから得られたデータを蓄積するステップと、
蓄積された前記データに基づいて基準空間を作成するステップと、
解析対象となるバッチプロセスからデータを取得するステップと、
作成された前記基準空間に、前記データを取得するステップで得られた前記データを入力することでマハラノビス距離を算出するステップと、
を備えることを特徴とするバッチプロセス解析方法。
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