JP2010194592A - Solder flattening tool - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、リードフレーム等のワーク上に供給された半田を押圧する半田平坦化用治具に関する。 The present invention relates to a solder flattening jig that presses solder supplied onto a workpiece such as a lead frame.
リードフレームのアイランドにチップをボンディングするダイボンダは、アイランドに定量の半田が供給される半田供給機構と、半田供給を受けたアイランド上の半田を平坦に押し拡げてチップとほぼ同一の形状(矩形状)に成形する半田たたき機構と、半田上にチップをボンディングするボンディング機構とを備える。 The die bonder that bonds the chip to the island of the lead frame has a solder supply mechanism that supplies a certain amount of solder to the island, and the solder on the island that is supplied with the solder is flattened and spread almost flat (the rectangular shape). ) And a bonding mechanism for bonding a chip onto the solder.
半田たたき機構は、図5に示すような四角柱状の半田平坦化用治具101を備えている(特許文献1及び特許文献2)。図6は、図5におけるC−C線断面図あり、図6に示すように、外周縁部102よりも内側に、矩形状の凹部103が設けられている。この凹部103の底部104は平面状となっている。
The solder striking mechanism includes a square columnar
図7(a)に示すように、半田供給機構にてリードフレーム107のアイランド105に半田106が円形に供給されると、供給された半田106に、図示省略の駆動機構によって半田平坦化用治具を下降させて、加熱した半田平坦化用治具の凹部103を半田106に押し付ける。これにより、凹部103の底部104にて半田105が外側に押し拡げられ、凹部103の形状(矩形状)に半田を成形する。
As shown in FIG. 7A, when the
特許文献1に記載のものは、凹部の底部と外部とを連通する連通孔を設けることにより、凹部内に巻き込まれた空気を連通孔を介して排出するものである。特許文献2に記載のものは、凹部の周縁部に溝を形成し、余分な半田を溝へ吸収するものである。
The device described in Patent Document 1 discharges air entrained in the recess through the communication hole by providing a communication hole that communicates the bottom of the recess with the outside. In the device described in
前記特許文献1〜特許文献2に記載のものを用いて、供給された半田106を押し拡げると、凹部103の底部104はほぼ平面状であるため、半田106は同心円状に拡がる。このため、図7(b)に示すように、半田106は、矩形状である凹部103よりはみ出てしまい、矩形状に成形することができない。なお、図7(b)の点線は、凹部103の外縁を示している。また、半田106の供給量を少なくすると、円形のままであり、矩形状に成形することができない。
When the supplied
ところで、半田上にボンディングされるチップの形状が矩形状である場合、チップのコーナー部を含む全域に半田を供給する必要があるため、半田の形状も矩形状とする必要がある。すなわち、押し拡げられた半田の形状が小さな円である場合、チップのコーナー部に半田が供給されず、また、押し拡げられた半田の形状が大きな円である場合、リードフレームから半田がはみ出して不良品となるおそれがある。このため、押し拡げられた半田の形状を、チップの形状に合わせて矩形状に成形する必要がある。 By the way, when the shape of the chip bonded on the solder is rectangular, it is necessary to supply the solder to the entire area including the corner portion of the chip, so that the shape of the solder also needs to be rectangular. In other words, when the shape of the expanded solder is a small circle, the solder is not supplied to the corner portion of the chip, and when the shape of the expanded solder is a large circle, the solder protrudes from the lead frame. There is a risk of defective products. For this reason, it is necessary to shape the expanded solder into a rectangular shape in accordance with the shape of the chip.
そこで、本発明は上記課題に鑑みて、供給された半田を矩形状に成形することができ、不良品の発生を防止することができる半田平坦化用治具を提供する。 Therefore, in view of the above problems, the present invention provides a solder flattening jig capable of forming the supplied solder into a rectangular shape and preventing the occurrence of defective products.
本発明の半田平坦化用治具は、ワーク上に供給された半田を押圧して平坦状とする半田平坦化用治具であって、半田を押圧して外側へはみ出させる矩形状の平坦状押圧面と、この押圧面の外周側に配設される矩形状の外壁と、この外壁と押圧面との間に、押圧面からはみ出た半田を外壁のコーナー部を含む各辺まで行き渡らせる半田案内構造とを設けたものである。 The solder flattening jig of the present invention is a solder flattening jig that presses the solder supplied onto the workpiece to make it flat, and is a rectangular flat shape that presses the solder and protrudes outward. Solder that spreads the solder protruding from the pressing surface to each side including the corner portion of the outer wall between the pressing surface, the rectangular outer wall disposed on the outer peripheral side of the pressing surface, and the outer wall and the pressing surface And a guide structure.
本発明の半田平坦化用治具によれば、平坦状押圧面を設けたことにより、この平坦状押圧面にて半田を押圧して、外側に向かってはみ出させることができる。また、平坦状押圧面の外周側に半田案内構造を設けているため、はみ出た半田を外壁にまで案内して、外壁の各辺及びコーナー部にまで行き渡らせることができる。しかも、外壁にて半田が外部にはみ出るのを防止することができる。これにより、供給された半田を矩形状に成形することができる。 According to the solder flattening jig of the present invention, by providing the flat pressing surface, the solder can be pressed by the flat pressing surface and protrude outward. Further, since the solder guide structure is provided on the outer peripheral side of the flat pressing surface, the protruding solder can be guided to the outer wall and spread to each side and corner portion of the outer wall. In addition, it is possible to prevent the solder from protruding to the outside at the outer wall. Thereby, the supplied solder can be formed into a rectangular shape.
前記半田案内構造は、押圧面側から外壁の各辺に向かって順次深くなる階段状凹部を備えたものとしたり、底面が押圧面から外壁の辺に向かって順次深くなるよう傾斜するテーパ面とした凹部を備えたものとしたりできる。これにより、半田案内構造の底部が深くなる程、半田の流動速度が遅くなって、半田の流動速度を押圧面側から外壁側に向かって遅くすることができる。 The solder guide structure is provided with a stepped concave portion that gradually becomes deeper from the pressing surface side toward each side of the outer wall, or a tapered surface that is inclined so that the bottom surface becomes deeper from the pressing surface toward the outer wall side. Or provided with a concave portion. As a result, the deeper the bottom of the solder guiding structure, the slower the solder flow rate, and the slower the solder flow rate can be from the pressing surface side toward the outer wall side.
前記半田案内構造は、前記外壁のコーナー部近傍を除く部位に、外壁の各辺側に流れる半田を逃がす逃げ孔を備えたものとできる。押圧された半田は、同心円状に拡がるため、まず、中心からの距離が最短である外壁の辺の中央部に最初に到達する。これに対して、中心からの距離が最長である外壁のコーナー部には、この中央部に到達した後、最後に到達する。このため、逃げ孔を設けると、コーナー部よりも先に到達した余分な半田は逃げ孔に向かって流動することになり、その間に、コーナー部に必要な半田を到達させることができる。これにより、外壁から半田がはみ出るのを防止できる。 The solder guide structure may be provided with a relief hole for escaping the solder flowing on each side of the outer wall at a portion excluding the vicinity of the corner portion of the outer wall. Since the pressed solder spreads concentrically, it first reaches the center of the side of the outer wall whose distance from the center is the shortest. On the other hand, the corner portion of the outer wall having the longest distance from the center reaches the end after reaching the central portion. For this reason, when a relief hole is provided, the excess solder that has reached the corner portion flows toward the relief hole, and the necessary solder can reach the corner portion during that time. Thereby, it can prevent that solder protrudes from an outer wall.
前記逃げ孔は、外壁の各辺に沿って複数設けられ、コーナー部寄りの逃げ孔の開口面積を、中央部側の逃げ孔の開口面積よりも小さくしたり、逃げ孔の間隔を、辺の中央部側からコーナー部側ヘ向かって疎としたりすることができる。すなわち、辺の中央部では最初に半田が到達するため、半田を押圧してから半田が到達するまでに最も時間を要しない。一方、コーナー部に寄る程、遅く半田が到達するため、半田を押圧してから半田が到達するまでに時間を要する。これにより、辺の中央部側における半田到達時と、コーナー部における半田到達時との時間差が最も大となり、辺の中央部側では半田を逃がす量を最も多くする必要がある。このため、辺の中央部側において、逃げ孔の開口面積を大きくしたり、逃げ孔の間隔を密にしたりすることにより、半田の逃げ量を多くして半田が流れる量を少なくすれば、辺の中央部への到達とコーナー部への到達とを同時とすることができる。 A plurality of the escape holes are provided along each side of the outer wall, and the opening area of the escape hole near the corner is made smaller than the opening area of the escape hole on the center side, or the interval between the escape holes is It can be sparse from the center side toward the corner side. That is, since the solder reaches first in the central portion of the side, it takes the least time until the solder reaches after the solder is pressed. On the other hand, the closer to the corner, the slower the solder arrives, so it takes time for the solder to arrive after the solder is pressed. As a result, the time difference between the time when the solder reaches the central portion of the side and the time when the solder reaches the corner portion is the largest, and the amount of solder that needs to escape is maximized on the central portion side. Therefore, on the side of the side of the side, by increasing the opening area of the escape holes or by increasing the distance between the escape holes, the amount of solder flow can be reduced by reducing the amount of solder flowing. It is possible to simultaneously reach the center and the corner.
前記半田案内構造は、前記押圧面側からコーナー部側に向かって、半田をガイドするためのガイド溝を備えるものとできる。これにより、押圧面からコーナー部に向かって直線的に半田を供給することができる。 The solder guide structure may include a guide groove for guiding the solder from the pressing surface side toward the corner side. Thereby, solder can be supplied linearly from the pressing surface toward the corner portion.
本発明では、供給された半田を矩形状に成形することができて、チップの形状にほぼ沿った形状とすることができる。これにより、不良品の発生を防止することができる。 In the present invention, the supplied solder can be formed into a rectangular shape, and can be formed in a shape substantially in line with the shape of the chip. Thereby, generation | occurrence | production of inferior goods can be prevented.
前記半田案内構造を、押圧面側から外壁の各辺に向かって順次深くなる階段状凹部を備えたものとしたり、底面が押圧面から外壁の辺に向かって順次深くなるよう傾斜するテーパ面とした凹部を備えたものとしたりすると、容易に半田案内構造を形成することができる。 The solder guide structure is provided with a stepped concave portion that gradually becomes deeper from the pressing surface side toward each side of the outer wall, or a tapered surface that is inclined so that the bottom surface becomes deeper from the pressing surface toward the outer wall side. If the concave portion is provided, a solder guide structure can be easily formed.
逃げ孔を設けると、外壁から半田がはみ出るのを防止できるため、不良品の発生を一層防止することができる。 Providing the escape holes can prevent the solder from protruding from the outer wall, thereby further preventing the occurrence of defective products.
辺の中央部側において、逃げ孔の大きさを大きくしたり、逃げ孔の間隔を密にしたりすると、辺の中央部側において半田が流れる量を少なくすることができ、辺の中央部への到達とコーナー部への到達とを同時とすることができ、効率良く半田を矩形状とすることができる。 Increasing the size of the escape holes on the side of the side or increasing the distance between the escape holes can reduce the amount of solder flowing on the side of the side, The arrival and the arrival at the corner can be performed simultaneously, and the solder can be efficiently rectangular.
押圧面からコーナー部に向かって直線的に半田を供給することができるため、コーナー部に半田を、迅速かつ確実に供給することができて、一層効率良く、安定して半田を矩形状とすることができる。 Since the solder can be supplied linearly from the pressing surface toward the corner portion, the solder can be supplied quickly and surely to the corner portion, and the solder is made into a rectangular shape more efficiently and stably. be able to.
以下本発明の実施の形態を図1〜図4に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.
図1に本発明の半田平坦化用治具の斜視図を示し、この半田平坦化用治具は、リードフレームにチップをボンディングするダイボンダに設けられるものである。すなわち、ダイボンダは、アイランドに定量の半田が供給される半田供給機構と、半田供給を受けたアイランド上の半田を平坦に押し拡げてチップとほぼ同一の形状(矩形状)に成形する半田たたき機構と、半田上にチップをボンディングするボンディング機構とを備える。半田平坦化用治具は、半田たたき機構に備えられており、リードフレーム等のワーク上に、半田供給機構にて供給された半田を押圧して平坦状とするものである。 FIG. 1 shows a perspective view of a solder flattening jig of the present invention, which is provided in a die bonder for bonding a chip to a lead frame. In other words, the die bonder has a solder supply mechanism that supplies a certain amount of solder to the island, and a solder tapping mechanism that flattens and spreads the solder on the island that has received the solder supply into a shape (rectangular shape) that is almost the same as the chip. And a bonding mechanism for bonding the chip onto the solder. The solder flattening jig is provided in a solder hitting mechanism, and presses the solder supplied by the solder supply mechanism onto a work such as a lead frame to make it flat.
このような半田平坦化用治具は、図1に示すように、四角柱状に形成されており、中央部には、供給された半田を押圧して外側にはみ出させる平坦状押圧面1と、この押圧面1の外周側に配設される矩形状の外壁9と、この外壁9と押圧面1との間に設けられて、押圧面1からはみ出た半田を、外壁9のコーナー部9bを含む各辺9aまで行き渡らせる半田案内構造2とを備えている。
Such a solder flattening jig is formed in a quadrangular prism shape as shown in FIG. 1, and a flat pressing surface 1 that presses the supplied solder and protrudes outward at the center, and The rectangular outer wall 9 disposed on the outer peripheral side of the pressing surface 1 and the solder that is provided between the outer wall 9 and the pressing surface 1 and protrudes from the pressing surface 1 are attached to the
図2は、図1におけるA−A線断面図であり、平坦状押圧面1は、中央部に設けられた矩形状を有する平面である。この平坦状押圧面1の外周側には、矩形状の外壁9が設けられている。すなわち、平坦状押圧面1の外周側に、矩形状の鍔部10が設けられ、この鍔部10の内周面を外壁9としている。鍔部10の先端部は、平坦状押圧面1よりも僅かに下側に設けられている。
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1, and the flat pressing surface 1 is a flat surface having a rectangular shape provided at the center. A rectangular outer wall 9 is provided on the outer peripheral side of the flat pressing surface 1. That is, a
半田案内構造2は、外壁9と押圧面1との間に設けられ、押圧面側から外壁9の各辺9aに向かって順次深くなる階段状凹部3を備えている。すなわち、階段状凹部3は、平坦状押圧面1の外側に設けられる第1段部4と、平坦状押圧面1より深い位置に設けられる第1平面部5と、第2段部6と、第1平面部5より深い位置に設けられる第2平面部7とから構成されている。
The
前記外壁9のコーナー部近傍を除く部位に、底部から外部に向かって連通する逃げ孔8を設けている。逃げ孔8は、各辺9aに沿って3つずつ設けられている。すなわち、1つの辺9aの中央部には、1つの逃げ孔8aを設け、その両隣に1つずつ逃げ孔8bを設けている。この場合、コーナー部寄りの逃げ孔8bの開口面積を、中央部の逃げ孔8aの開口面積よりも小さくしている。
An escape hole 8 that communicates from the bottom to the outside is provided in a portion of the outer wall 9 excluding the vicinity of the corner. Three escape holes 8 are provided along each
図3は、図1におけるB−B線断面図であり、半田案内構造2に、押圧面側からコーナー部側に向かって、半田をガイドするためのガイド溝11が設けられている。このガイド溝11は、第2平面部7よりも深い平面状の溝であり、平坦状押圧面1にて押圧された半田を、コーナー部9bへ直線的にガイドすることができる。
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 1. The
次に、本発明の半田平坦化用治具によって、リードフレーム上に供給された半田を押圧して、形状を整える方法について説明する。まず、図4(a)に示すように、半田供給機構(図示省略)にてリードフレーム22のアイランド20に定量の半田21が円形に供給される。その後、リードフレーム22は搬送され、半田たたき機構の下方にまで搬送されると、図示省略の駆動機構によって半田平坦化用治具を下降させて、加熱した半田平坦化用治具の平坦状押圧面1を半田21に押し付ける。
Next, a method for adjusting the shape by pressing the solder supplied onto the lead frame with the solder flattening jig of the present invention will be described. First, as shown in FIG. 4A, a predetermined amount of
そして、平坦状押圧面1にて押圧された半田21は、平坦状押圧面1の外側に押し拡げられて半田案内構造2にはみ出る。半田案内構造2に供給された半田21は、半田案内構造2の底部が深くなる程、流動速度が遅くなって、押圧面側から外壁側に向かって遅くなる。すなわち、第1平面部5において流動速度が遅くなり、第2平面部7においては更に遅くなる。このように、半田案内構造2では、半田21の流動速度は押圧面側から外側に向かって速度を落としつつ、同心円状に拡がっていく。
Then, the
また、半田21は、ガイド溝11を通って、押圧面側からコーナー部側に向かって直線的に拡がっていくことになる。
In addition, the
同心円状に拡がった半田21は、まず、中心からの距離が最短である外壁9の辺9aの中央部に最初に到達し、中心からの距離が最長である外壁9のコーナー部9bには、中央部に到達した後、最後に到達する。この場合、外壁9のコーナー部近傍を除く部位に逃げ孔8a、8bを設けているので、コーナー部9bよりも先に到達した余分な半田は逃げ孔8a、8bに向かって流動することになる。その間に、コーナー部9bに必要な半田21を到達させることができるため、外壁9から半田21がはみ出るのを防止できる。
First, the
前記したように、辺9aの中央部では最初に半田21が到達するため、半田21を押圧してから半田21が到達するまでに最も時間を要しない。一方、コーナー部9bに寄る程、遅く半田21が到達するため、半田21を押圧してから半田21が到達するまでに時間を要する。これにより、辺9aの中央部側における半田到達時と、コーナー部9bにおける半田到達時との時間差が最も大となり、辺9aの中央部側では半田21を逃がす量を最も多くする必要がある。そこで、辺9aの中央部側において、逃げ孔8aの開口面積を大きくしているので、半田21の逃げ量を多くして半田21が流れる量を少なくできる。
As described above, since the
その間に、半田21はガイド溝11を通って、押圧面1からコーナー部9bに向かって直線的に拡がっていき、コーナー部9bに必要な半田21を到達させることができる。このため、辺9aの中央部とコーナー部9bとに、ほぼ同じタイミングで半田21を供給するようにできる。しかも、外壁9にて半田21が外部にはみ出るのを防止できる。
Meanwhile, the
その後、駆動機構によって半田平坦化用治具を上昇させる。これにより図4(b)に示すように、半田21を矩形状に成形することができる。
Thereafter, the solder flattening jig is raised by the driving mechanism. As a result, as shown in FIG. 4B, the
本発明では、供給された半田21を矩形状に成形することができて、チップの形状にほぼ沿った形状とすることができる。これにより、不良品の発生を防止することができる。
In the present invention, the supplied
前記半田案内構造2を、押圧面側から外壁9の各辺9aに向かって順次深くなる階段状凹部3を備えたものとすると、容易に半田案内構造2を形成することができる。
When the
逃げ孔8を設けると、外壁9から半田21がはみ出るのを防止できるため、不良品の発生を一層防止することができる。
Providing the escape hole 8 can prevent the
辺9aの中央部側において、逃げ孔8の大きさを大きくすると、辺9aの中央部側において半田21が流れる量を少なくすることができ、辺9aの中央部への到達とコーナー部9bへの到達とを同時とすることができ、効率良く半田21を矩形状とすることができる。
If the size of the escape hole 8 is increased on the side of the
押圧面1からコーナー部9bに向かって直線的に半田を供給することができるため、コーナー部9bに半田を、迅速かつ確実に供給することができて、一層効率良く、安定して半田を矩形状とすることができる。
Since the solder can be supplied linearly from the pressing surface 1 toward the
第2実施形態として、半田案内構造2は、底面が押圧面1から外壁9の辺9aに向かって順次深くなるよう傾斜するテーパ面とした凹部を備えたものとできる。
As a second embodiment, the
第3実施形態として、逃げ孔8は、外壁9の各辺9aに沿って複数設けられ、逃げ孔8の間隔を、辺の中央部側からコーナー部側ヘ向かって疎とすることができる。
As a third embodiment, a plurality of escape holes 8 are provided along each
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、外壁9は正方形であっても長方形であってもよい。長方形とする場合、長辺の逃げ孔8の数を短辺の逃げ孔8の数よりも多くすることができる。逃げ孔8の数は、3つに限られず、少なくすることも多くすることもでき、長孔を設けてもよい。逃げ孔8の開口断面としては、円形に限られず、楕円形、多角形であってもよく、1つの逃げ孔8において、断面積を相違させてもよい。押圧面1の形状は、必ずしも矩形である必要はなく、他の形状であってもよい。階段状凹部3の段部の数も、2つに限られず、1つであったり、3つ以上としたりすることもできる。 As described above, the embodiment of the present invention has been described. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible. For example, the outer wall 9 may be square or rectangular. In the case of a rectangular shape, the number of long-side escape holes 8 can be made larger than the number of short-side escape holes 8. The number of escape holes 8 is not limited to three, and can be reduced or increased, and long holes may be provided. The opening cross section of the escape hole 8 is not limited to a circular shape, and may be an oval shape or a polygonal shape. The shape of the pressing surface 1 is not necessarily rectangular, and may be another shape. The number of stepped portions of the stepped recess 3 is not limited to two, and may be one or three or more.
1 平坦状押圧面
2 半田案内構造
3 階段状凹部
8 逃げ孔
9 外壁
9a 辺
9b コーナー部
11 ガイド溝
21 半田
22 ワーク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flat-shaped
Claims (7)
半田を押圧して外側へはみ出させる矩形状の平坦状押圧面と、
この押圧面の外周側に配設される矩形状の外壁と、この外壁と押圧面との間に、押圧面からはみ出た半田を外壁のコーナー部を含む各辺まで行き渡らせる半田案内構造とを設けたことを特徴とする半田平坦化用治具。 A solder flattening jig that presses the solder supplied onto the workpiece to make it flat.
A rectangular flat pressing surface that presses the solder and protrudes outward;
A rectangular outer wall disposed on the outer peripheral side of the pressing surface, and a solder guide structure for spreading the solder protruding from the pressing surface to each side including the corner portion of the outer wall between the outer wall and the pressing surface. A solder flattening jig characterized by being provided.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180048474A (en) * | 2018-04-23 | 2018-05-10 | 주식회사 엘지화학 | A Soldering Apparatus |
JP2021086914A (en) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | 三菱電機株式会社 | Semiconductor manufacturing device |
CN113272943A (en) * | 2019-01-15 | 2021-08-17 | 佳能机械株式会社 | Solder flattening device, chip bonding machine, solder flattening method, and bonding method |
-
2009
- 2009-02-26 JP JP2009043938A patent/JP2010194592A/en not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180048474A (en) * | 2018-04-23 | 2018-05-10 | 주식회사 엘지화학 | A Soldering Apparatus |
KR102042807B1 (en) * | 2018-04-23 | 2019-11-08 | 주식회사 엘지화학 | A Soldering Apparatus |
CN113272943A (en) * | 2019-01-15 | 2021-08-17 | 佳能机械株式会社 | Solder flattening device, chip bonding machine, solder flattening method, and bonding method |
CN113272943B (en) * | 2019-01-15 | 2022-04-26 | 佳能机械株式会社 | Solder flattening method and device, chip bonding machine and bonding method |
JP2021086914A (en) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | 三菱電機株式会社 | Semiconductor manufacturing device |
JP7259714B2 (en) | 2019-11-27 | 2023-04-18 | 三菱電機株式会社 | Semiconductor manufacturing equipment |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120227 |
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A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20120615 |